JP2007094146A - 光スキャナ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】台座200には、枠体110の前側辺部112の左右方向中央部に対する対応部位にて、切欠221が形成されている。この切欠221は、光スキャナの共振周波数を目標共振周波数に調整する役割を果たす。
【選択図】図2
Description
光を反射する反射ミラーと、この反射ミラーを一方の側で支持する弾性梁と、この梁の他方の側で梁を支持する基体と、少なくとも梁の一部分に取り付けられて梁を駆動することで、反射ミラーを振動または揺動させる圧電素子と、で構成される。
この台座のうち基体と梁との連結部近傍部位に対する対応部位の少なくとも一部は、基体と接しないかまたは梁の少なくとも一部と接する形状となっていることを特徴とする。
このように、台座の上記対応部位を、基体と接しないように切欠として形成することで、請求項1に記載の発明の作用効果がより一層具体的に達成され得る。
台座の上記対応部位は、基体と梁との上記連結部近傍部位側へ開口する凹所として形成されていることを特徴とする。
台座は、基体との接合後に光スキャナの共振周波数を微調整するための微調整部を上記凹所に設けてなることを特徴とする。
基体を台座に取り付ける前の上記共振周波数を測定する共振周波数測定工程と、
この共振周波数測定工程によって測定された共振周波数に基づいて、台座のうち基体と梁との連結部近傍部位に対する対応部位の仕様を決定する台座仕様決定工程と、を有することを特徴とする。
光を反射する反射ミラーと、この反射ミラーを一方の側で支持する弾性梁と、この梁の他方の側で梁を支持する基体とを備えるスキャナ本体を一枚の材料ウエハに複数形成するスキャナ本体形成工程と、
スキャナ本体毎に、その梁に圧電素子を形成する圧電素子形成工程と、
この圧電素子形成工程後、スキャナ本体毎にその共振周波数を測定する共振周波数測定工程と、
上記各測定共振周波数から最小の共振周波数を決定する最小共振周波数決定工程と、
複数の台座形成部位を複数のスキャナ本体に対応するように一枚の剛性板に区画し、上記台座形成部位毎に、その対応スキャナ本体における基体と梁との連結部近傍部位に対する対応部位を、上記最小の共振周波数を上記対応のスキャナ本体の目標共振周波数に近づけるように加工する台座加工工程と、
材料ウエハを剛性板に積層する積層工程と、
この積層工程後、スキャナ本体毎にその共振周波数を再測定する共振周波数再測定工程と、
この共振周波数再測定工程後、上記台座形成部位毎に、その対応スキャナ本体における基体と梁との連結部近傍部位に対する対応部位を、上記再測定共振周波数を上記対応のスキャナ本体の目標共振周波数に一致させるように微調整加工するようにした微調整加工工程と、
この微調整加工工程後、剛性板を材料ウエハと共にスキャナ本体毎に分割して、複数の光スキャナを製造する。
(第1実施形態)
図1及び図2は、本発明が適用される光スキャナの第1実施形態を示している。当該光スキャナは、スキャナ本体100及び台座200によって構成されている。
(第2実施形態)
図5及び図6は、本発明が適用される光スキャナの第2実施形態の要部を示している。この第2実施形態では、上記第1実施形態にて述べた光スキャナにおいて、台座200に代えて、台座200Aが採用された構成となっている。
(第3実施形態)
図11〜図14は、本発明の第3実施形態の要部を示している。この第3実施形態では、上記第2実施形態にて述べた光スキャナを、複数個(例えば、16個)、製造する方法が提案されている。以下、この製造方法について説明する。
(1)上記第2実施形態にて述べた台座200Aの前側辺部220において、6本の支柱223に代えて、図15(c)にて示すごとく、4本の支柱225を採用する構成とし、かつ、台座200Aの後側辺部220においても、同様に6本の支柱223に代えて、4本の支柱225を採用してもよい。
(2)上記第2実施形態にて述べた台座200Aにおいて、前後両側の凹所222及び前後両側の各9本の支柱223に代えて、図16或いは図17にて示すごとく、前後両側の各一対の凹所226、前後両側の各一対の突出壁227及び前後両側の各18本の支柱228を採用した構成となっている。
(3)梁120に対して上記凹所は、一対ずつに限ることなく、1本ずつに構成してもよい。
(4)反射ミラー130の揺動方向は、各梁120の軸周り方向に限ることなく、当該各梁の軸に対する直交軸周り方向であってもよい。
(5)本発明は反射ミラー130が共振モードで揺動または振動するよう、駆動可能な梁などで支持された構造のスキャナに適用できるので、例えば2対の梁120及び2対の圧電素子150に代えて、それぞれ、単一の梁及び圧電素子を採用してもよい。
(6)上記第3実施形態にて述べたシリコンウエハ300は、シリコンに限らず、一般に半導体からなる半導体ウエハであればよく、さらには、この半導体ウエハに代えて、例えば、ステンレス鋼板からなるウエハを採用してもよい。一般的には、シリコンウエハに限ることなく、一枚の材料ウエハであればよい。
(7)上記第1実施形態にて述べた切欠221の形状は、長方形状に限ることなく、例えば、正方形状或いは台形形状等の形状に適宜変更してもよい。
150…圧電素子、200、200A…台座、221…切欠、222…凹所、
223、225…支柱、224…板、300…シリコンウエハ、400…ガラス板、
410…台座形成部位、S10…スキャナ本体形成工程、S11…圧電素子形成工程、
S12…共振周波数測定工程、S15…台座加工工程、S16…陽極接合工程、
S17…共振周波数再測定工程、S18…共振周波数微調整加工工程、
S19…ダイシング工程。
Claims (6)
- 光を反射する反射ミラーと、この反射ミラーを一方の側で支持する弾性梁と、この梁の他方の側で前記梁を支持する基体と、少なくとも前記梁の一部分に取り付けられて前記梁を駆動することで、前記反射ミラーを振動または揺動させる圧電素子と、で構成される光スキャナにおいて、
前記基体と前記梁の少なくとも一部に対し接合される台座を備えて、
この台座のうち前記基体と前記梁との連結部近傍部位に対する対応部位の少なくとも一部は、前記基体と接しないかまたは前記梁の少なくとも一部と接する形状となっていることを特徴とする光スキャナ。 - 前記台座の前記対応部位は、前記基体と接しないように切欠として形成されていることを特徴とする請求項1に記載の光スキャナ。
- 前記台座の前記対応部位は、前記基体と前記梁との前記連結部近傍部位側へ開口する凹所として形成されていることを特徴とする請求項1に記載の光スキャナ。
- 前記台座は、前記基体との接合後に前記光スキャナの共振周波数を微調整するための微調整部を前記凹所に設けてなることを特徴とする請求項3に記載の光スキャナ。
- 光を反射する反射ミラーと、この反射ミラーを一方の側で支持する弾性梁と、この梁の他方の側で前記梁を支持する基体と、少なくとも前記梁の一部分に取り付けられて前記梁を駆動することで、前記反射ミラーを振動または揺動させる圧電素子と、で構成される光スキャナの製造方法において、
前記基体を前記台座に取り付ける前の前記共振周波数を測定する共振周波数測定工程と、
この共振周波数測定工程によって測定された共振周波数に基づいて、前記台座のうち前記基体と前記梁との連結部近傍部位に対する対応部位の仕様を決定する台座仕様決定工程と、を有する光スキャナの製造方法。 - 光を反射する反射ミラーと、この反射ミラーを一方の側で支持する弾性梁と、この梁の他方の側で前記梁を支持する基体とを備えるスキャナ本体を一枚の材料ウエハに複数形成するスキャナ本体形成工程と、
前記スキャナ本体毎に、その梁に圧電素子を形成する圧電素子形成工程と、
この圧電素子形成工程後、前記スキャナ本体毎にその共振周波数を測定する共振周波数測定工程と、
前記各測定共振周波数から最小の共振周波数を決定する最小共振周波数決定工程と、
複数の台座形成部位を前記複数のスキャナ本体に対応するように一枚の剛性板に区画し、前記台座形成部位毎に、その対応スキャナ本体における前記基体と前記梁との連結部近傍部位に対する対応部位を、前記最小の共振周波数を前記対応のスキャナ本体の目標共振周波数に近づけるように加工する台座加工工程と、
前記材料ウエハを前記剛性板に積層する積層工程と、
この積層工程後、前記スキャナ本体毎にその共振周波数を再測定する共振周波数再測定工程と、
この共振周波数再測定工程後、前記台座形成部位毎に、その対応スキャナ本体における前記基体と前記梁との連結部近傍部位に対する対応部位を、前記再測定共振周波数を前記対応のスキャナ本体の目標共振周波数に一致させるように微調整加工するようにした微調整加工工程と、
この微調整加工工程後、前記剛性板を前記材料ウエハと共に前記スキャナ本体毎に分割して、複数の光スキャナを製造する光スキャナ製造方法。
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