JP4197513B2 - レーザ割断方法及びその装置 - Google Patents
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Description
請求項2の発明は、脆性材料製の第1,第2の基板21,22を重ね合わせた状態で所定間隔で複数箇所を貼り合わせて、貼り合わせ部で一体化させた母基板1にレーザ光を照射し、母基板1を割断するレーザ割断方法であって、第1,第2の基板21,22を重ね合わせて所定間隔で複数箇所を接着剤で貼り合わせて、X軸方向に延在する貼り合わせ部23a,23b及びX軸に直交するY軸方向に延在する貼り合わせ部24a,24bによって一体化させると共に、第2の基板22の1辺を第1の基板21の1辺から突出させて段差2を形成した母基板1を準備し、第1,第2の基板21,22の接着剤で貼り合わせて形成され互いに隣接するX軸方向の貼り合わせ部23a,23bの間に1側面視でX軸方向に延在する第1の切断予定線3Aを設定すると共に、第1の切断予定線3A上に位置する初期クラック3Aaを第1,第2の基板21,22の1辺に形成し、かつ、第2の基板22の初期クラック3Aaから第1の切断予定線3A上に1側面からの赤外線のレーザLを照射し、第2の基板22の段差2の露出部分を割断した後に、第1の基板21の初期クラック3Aaから第1の切断予定線3A上に赤外線のレーザLを照射し、第1,第2の基板21,22を一体として割断して、2つのX軸方向の貼り合わせ部23a,23bを有する分離基板となし、次いで、分離基板の第1の基板21のX軸方向に延在する第2の切断予定線3Bを1つのX軸方向の貼り合わせ部23bの外側に設定すると共に、第2の切断予定線3B上の端部に位置させて形成した初期クラック3Baから第2の切断予定線3B上に赤外線のレーザLを照射し、第1の基板21を所定幅で割断し、第2の基板22の1辺と直交する他辺を第1の基板21の他辺から突出させた段差部7を形成して短冊状基板10となし、引き続き、第1,第2の基板21,22の接着剤で貼り合わせて形成され互いに隣接するY軸方向の貼り合わせ部24a,24bの間に位置してY軸方向に延在する第3の切断予定線14A〜14Fを設定すると共に、第3の切断予定線14A〜14F上の端部に位置する初期クラック18A,18Bを短冊状基板10の第1,第2の基板21,22の段差部7の端部に形成し、かつ、該第2の基板22の初期クラック18Bから第3の切断予定線14A〜14F上に1側面からの赤外線のレーザLを照射し、第2の基板22の段差部7の露出部分を割断した後、該第1の基板21の初期クラック18Aから第3の切断予定線14A〜14F上に赤外線のレーザLを照射し、第1,第2の基板21,22を一体として割断して完成品20を切り出すことを特徴とするレーザ割断方法である。
請求項3の発明は、完成品20が液晶基板であり、母基板1が、液晶基板の集合体であることを特徴とする請求項2のレーザ割断方法である。
段差2を有する母基板1を準備し、第1の工程を行う。第1の工程では、母基板1の段差2部分の端部つまり第1,第2の基板21,22の1辺に図5,図6に示す初期クラック3Aa,3Baを形成すると共に、赤外線レーザ光Lの照射によって図3に示す短冊状基板10を切り出す。
2:段差
3A:第1の切断予定線
3Aa:初期クラック
3B:第2の切断予定線
3Ba:初期クラック
7:段差部
10:短冊状基板
14,14A〜14F:(Y軸方向に延在する)第3の切断予定線
18A,18B:初期クラック
20:完成品
21:第1の基板
22:第2の基板
23a,23b:(X軸方向に延在する)貼り合わせ部
24a,24b:(Y軸方向に延在する)貼り合わせ部
L:赤外線のレーザ
Claims (3)
- 脆性材料製の第1,第2の基板(21,22)を重ね合わせた状態で所定間隔で複数箇所を貼り合わせて、貼り合わせ部で一体化させた母基板(1)にレーザ光を照射し、母基板(1)を割断するレーザ割断方法であって、
第2の基板(22)の1辺を第1の基板(21)の1辺から突出させて段差(2)を形成した状態で、第1,第2の基板(21,22)の接着剤で貼り合わせて形成され互いに隣接する貼り合わせ部(23a,23b)の間の切断予定線(3A)上に位置する初期クラック(3Aa)を第1,第2の基板(21,22)の1辺に形成し、かつ、第2の基板(22)の初期クラック(3Aa)から切断予定線(3A)に沿って赤外線のレーザ(L)を照射し、第2の基板(22)の段差(2)の露出部分を割断した後に、第1の基板(21)の初期クラック(3Aa)から切断予定線(3A)上に赤外線のレーザ(L)を照射し、第1,第2の基板(21,22)を一体として割断することを特徴とするレーザ割断方法。 - 脆性材料製の第1,第2の基板(21,22)を重ね合わせた状態で所定間隔で複数箇所を貼り合わせて、貼り合わせ部で一体化させた母基板(1)にレーザ光を照射し、母基板(1)を割断するレーザ割断方法であって、
第1,第2の基板(21,22)を重ね合わせて所定間隔で複数箇所を接着剤で貼り合わせて、X軸方向に延在する貼り合わせ部(23a,23b)及びX軸に直交するY軸方向に延在する貼り合わせ部(24a,24b)によって一体化させると共に、第2の基板(22)の1辺を第1の基板(21)の1辺から突出させて段差(2)を形成した母基板(1)を準備し、
第1,第2の基板(21,22)の接着剤で貼り合せて形成され互いに隣接するX軸方向の貼り合わせ部(23a,23b)の間に1側面視でX軸方向に延在する第1の切断予定線(3A)を設定すると共に、第1の切断予定線(3A)上に位置する初期クラック(3Aa)を第1,第2の基板(21,22)の1辺に形成し、かつ、第2の基板(22)の初期クラック(3Aa)から第1の切断予定線(3A)上に1側面からの赤外線のレーザ(L)を照射し、第2の基板(22)の段差(2)の露出部分を割断した後に、第1の基板(21)の初期クラック(3Aa)から第1の切断予定線(3A)上に赤外線のレーザ(L)を照射し、第1,第2の基板(21,22)を一体として割断して、2つのX軸方向の貼り合わせ部(23a,23b)を有する分離基板となし、
次いで、分離基板の第1の基板(21)のX軸方向に延在する第2の切断予定線(3B)を1つのX軸方向の貼り合わせ部(23b)の外側に設定すると共に、第2の切断予定線(3B)上の端部に位置させて形成した初期クラック(3Ba)から第2の切断予定線(3B)上に赤外線のレーザ(L)を照射し、第1の基板(21)を所定幅で割断し、第2の基板(22)の1辺と直交する他辺を第1の基板(21)の他辺から突出させた段差部(7)を形成して短冊状基板(10)となし、
引き続き、第1,第2の基板(21,22)の接着剤で貼り合わせて形成され互いに隣接するY軸方向の貼り合わせ部(24a,24b)の間に位置してY軸方向に延在する第3の切断予定線(14A〜14F)を設定すると共に、第3の切断予定線(14A〜14F)上の端部に位置する初期クラック(18A,18B)を短冊状基板(10)の第1,第2の基板(21,22)の段差部(7)の端部に形成し、かつ、該第2の基板(22)の初期クラック(18B)から第3の切断予定線(14A〜14F)上に1側面からの赤外線のレーザ(L)を照射し、第2の基板(22)の段差部(7)の露出部分を割断した後、該第1の基板(21)の初期クラック(18A)から第3の切断予定線(14A〜14F)上に赤外線のレーザ(L)を照射し、第1,第2の基板(21,22)を一体として割断して完成品(20)を切り出すことを特徴とするレーザ割断方法。 - 完成品(20)が液晶基板であり、母基板(1)が、液晶基板の集合体であることを特徴とする請求項2のレーザ割断方法。
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