JP2007088443A5 - - Google Patents
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 32
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 2
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 claims description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 4
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 2
- ZBSCCQXBYNSKPV-UHFFFAOYSA-N oxolead;oxomagnesium;2,4,5-trioxa-1$l^{5},3$l^{5}-diniobabicyclo[1.1.1]pentane 1,3-dioxide Chemical compound [Mg]=O.[Pb]=O.[Pb]=O.[Pb]=O.O1[Nb]2(=O)O[Nb]1(=O)O2 ZBSCCQXBYNSKPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 claims 1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006227051A JP5131674B2 (ja) | 2005-08-23 | 2006-08-23 | 圧電体とその製造方法、圧電素子とそれを用いた液体吐出ヘッド及び液体吐出装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005241430 | 2005-08-23 | ||
| JP2005241430 | 2005-08-23 | ||
| JP2006227051A JP5131674B2 (ja) | 2005-08-23 | 2006-08-23 | 圧電体とその製造方法、圧電素子とそれを用いた液体吐出ヘッド及び液体吐出装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2007088443A JP2007088443A (ja) | 2007-04-05 |
| JP2007088443A5 true JP2007088443A5 (enExample) | 2009-09-17 |
| JP5131674B2 JP5131674B2 (ja) | 2013-01-30 |
Family
ID=37975065
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006227051A Expired - Fee Related JP5131674B2 (ja) | 2005-08-23 | 2006-08-23 | 圧電体とその製造方法、圧電素子とそれを用いた液体吐出ヘッド及び液体吐出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5131674B2 (enExample) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5181649B2 (ja) * | 2007-09-18 | 2013-04-10 | 日立電線株式会社 | 圧電素子 |
| JP5585178B2 (ja) * | 2010-04-13 | 2014-09-10 | いすゞ自動車株式会社 | 流体制御装置 |
| JP5905192B2 (ja) * | 2010-07-30 | 2016-04-20 | コニカミノルタ株式会社 | 超音波探触子の製造方法 |
| JP7025695B2 (ja) * | 2018-01-31 | 2022-02-25 | Tdk株式会社 | 誘電体磁器組成物、電子部品および積層セラミックコンデンサ |
| JP7338082B1 (ja) | 2023-01-10 | 2023-09-04 | 住友精密工業株式会社 | 圧電体膜基板の製造方法および圧電体膜基板 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03240944A (ja) * | 1990-02-17 | 1991-10-28 | Masahiko Naoe | アルミニウム薄膜形成用対向ターゲット式スパッタ法及び装置 |
| JP3343014B2 (ja) * | 1996-01-08 | 2002-11-11 | 株式会社東芝 | 酸化物単結晶の製造方法 |
| JP3595098B2 (ja) * | 1996-02-22 | 2004-12-02 | 株式会社東芝 | 薄膜キャパシタ |
| JP2002029838A (ja) * | 2000-07-21 | 2002-01-29 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 圧電材料 |
| JP4038753B2 (ja) * | 2000-07-21 | 2008-01-30 | セイコーエプソン株式会社 | 強誘電体薄膜素子の製造方法 |
| JP4182329B2 (ja) * | 2001-09-28 | 2008-11-19 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電体薄膜素子およびその製造方法、ならびにこれを用いた液体吐出ヘッド及び液体吐出装置 |
| JP4192794B2 (ja) * | 2004-01-26 | 2008-12-10 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電素子、圧電アクチュエーター、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、薄膜圧電共振器、及び電子機器 |
| JP2006294583A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-10-26 | Tokyo Institute Of Technology | 誘電体粉末および誘電体膜 |
| JP2006321672A (ja) * | 2005-05-18 | 2006-11-30 | Sanyo Electric Co Ltd | 誘電体磁器組成物及びその製造方法並びに積層セラミック部品 |
-
2006
- 2006-08-23 JP JP2006227051A patent/JP5131674B2/ja not_active Expired - Fee Related
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