JP2007084358A - シリコン単結晶の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】チョクラルスキー法によるシリコン単結晶の製造方法であって、結晶軸を0.5〜5.0°傾斜させて結晶軸<110>の種結晶1を作製する工程と、前記種結晶1を融液に着液させ、結晶形状を数珠状に変動させる絞り工程とを具備することを特徴とするシリコン単結晶の製造方法。
【選択図】 図1
Description
結晶軸を0.5〜5.0°傾斜させて結晶軸<110>の種結晶を作製する工程と、
前記種結晶を融液に着液させ、結晶形状を数珠状に変動させる絞り工程と
を具備することを特徴とする。
図1に示すように、種結晶の結晶軸(110軸方向)を、結晶育成方向に対して角度θ傾斜させて種結晶1を作製した。角度θは、0.5°、1.0°、2.0°、5.0°と変化させた。また、結晶軸を傾斜させないで種結晶の作製を行った。
実施例1において傾斜を設けずに作製した種結晶を用い、図2の(a)に示すように、絞り工程の中で結晶径を定形で育成する最初の時点で数珠状3を1〜3個育成した。形状の種類は数珠状の径R1を定形部の径R2の2倍、3倍、4倍、数珠状の形状1つ当りの育成長Lは数珠状の径R1の2倍以内とした。結果を図4に示す。
実施例1,2を組み合わせた場合の結果を示す。実施例2の条件のうち、数珠2個、数珠の径R1は定形部の径R2の3倍で、種結晶には軸を傾けた(実施例1と同様の条件)ものを使用した。結果を図5に示す。
Claims (4)
- チョクラルスキー法によるシリコン単結晶の製造方法であって、
結晶軸を0.5〜5.0°傾斜させて結晶軸<110>の種結晶を作製する工程と、
前記種結晶を融液に着液させ、結晶形状を数珠状に変動させる絞り工程と
を具備することを特徴とするシリコン単結晶の製造方法。 - 前記絞り工程では、数珠を複数形成することを特徴とする請求項1記載のシリコン単結晶の製造方法。
- 前記絞り工程では、数珠の径を定形部の径の3倍以上にすることを特徴とする請求項1または2記載のシリコン単結晶の製造方法。
- 前記絞り工程での育成長を300mm以下にすることを特徴とする請求項1〜3いずれか1項記載のシリコン単結晶の製造方法。
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2005
- 2005-09-20 JP JP2005272436A patent/JP2007084358A/ja active Pending
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