JP2007082370A - Dcブラシレスモータ装置および回転真空ポンプ - Google Patents

Dcブラシレスモータ装置および回転真空ポンプ Download PDF

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Abstract

【課題】 非同期回転駆動されるロータ停止状態から低回転速度域においても、充分な加速トルクを得ることができるDCブラシレスモータ装置の提供。
【解決手段】 パターン記憶部79には、回転パルス信号Gが発生されるロータ回転位置に対応する通電パターンよりも1つ後に形成される通電パターンを記憶する。モータロータ62が停止状態から所定回転速度となるまでは、モータ駆動波形生成回路72は通電パターンをモータロータ62の回転に非同期で生成する。そして、回転パルス信号Gが発生される毎に、通電パターンをパターン記憶部79に記憶されている通電パターンに置き換えてから順に生成させる。
【選択図】 図3

Description

本発明は、DCブラシレスモータ装置およびそのDCブラシレスモータ装置が搭載された回転真空ポンプに関する。
ターボ分子ポンプ(TMP)は、固定翼に対して回転翼が形成されたロータを高速回転することにより真空排気を行っている。ロータを回転駆動するモータとしては、DCブラシレスモータが知られている。一般的に、DCブラシレスモータでは、ロータの磁極を検知してロータの回転位置を検出するためにホール素子が用いられる。
ところが、ホール素子は耐放射線性能および耐熱性がポンプ本体の他の部品に比べて劣るため、ホール素子に代えてインダクタンスセンサを用いる技術が提案されている(例えば、特許文献1参照)。この方式では、モータロータの磁極を直接検出する代わりに、回転軸に凹凸面を有するターゲットを装着し、その凹凸面と対向するようにインダクタンスセンサを配置して、ターゲットとの距離の変化を検出して回転位置を検出するようにしている。
特開2001−231238号公報
しかしながら、上述したようなインダクタンスセンサ方式では、ターゲットを回転軸に固定する際に、モータロータの磁極位置とターゲットとの位相を正確に合わせる必要があり、組み立て作業に時間がかかるとともに、厳密に位相を一致させるのは困難であった。
このような問題に対して、本発明者は特願2005−145324号において、モータロータの回転と同期して得られる同期信号を、回転速度情報および位相差情報に基づいて補正することにより回転位置信号を算出し、その回転位置信号によりモータ駆動信号を生成する技術を提案している。
ところで、そのような回転位置信号を算出は、安定した回転周波数が得られる程度まで回転速度を上げる必要があり、そのような回転速度となるまでは非同期で回転させる必要があった。しかし、完全に非同期で駆動した場合には十分な回転トルクが得られない場合があり、ロータ重量が重い場合には安定した回転周波数が得られる程度まで加速できなくなるおそれがあった。
請求項1の発明は、モータステータの各相印加電圧の組み合わせパターンである通電パターンをロータ回転位置に応じて複数形成し、モータロータを磁極位置と同期して回転駆動するDCブラシレスモータ装置に適用され、モータロータの回転に同期した同期信号を発生する信号生成手段と、モータロータの磁極位置情報である回転位置信号と同期信号との位相差情報が予め記憶される位相差記憶手段と、同期信号に基づいてモータロータの回転速度情報を検出する回転速度検出手段と、モータロータの回転中に得られる同期信号を回転速度情報および位相差記憶手段に記憶されている位相差情報に基づいて補正することにより、回転位置信号を算出する信号演算手段と、信号演算手段で算出された回転位置信号に基づいて、複数の通電パターンをモータロータの回転に同期して生成する通電パターン生成手段と、同期信号が発生されるロータ回転位置に対応する通電パターンよりも1つ後に形成される通電パターンを記憶するパターン記憶手段と、(a)モータロータが停止状態から所定回転速度となるまではモータロータの回転に非同期の複数の通電パターンを生成して回転駆動するとともに、同期信号が発生される毎に通電パターンをパターン記憶手段に記憶されている通電パターンに置き換えてから順に生成させ、(b)モータロータが所定回転速度となったならば、通電パターン生成手段により生成された通電パターンによりモータロータを同期回転駆動するモータ始動制御手段とを備えたことを特徴とする。
請求項2の発明は、請求項1に記載のDCブラシレスモータ装置において、通電パターン生成手段は、複数の通電パターンの各パターン間に形成され、その前後の通電パターンを交互に複数配した中間状態通電パターンを、複数の通電パターンに加えてさらに生成し、パターン記憶手段には、同期信号が発生されるロータ回転位置に対応する通電パターンよりも2つ後に形成される通電パターンが記憶されるようにしたものである。
請求項3の発明は、請求項1または2に記載のDCブラシレスモータ装置において、モータステータの少なくとも一つの相の逆起電圧に基づいて位相差情報を算出する位相差演算手段を備え、位相差記憶手段は位相差演算手段により算出された位相差情報を記憶するようにしたものである。
請求項4の発明による回転真空ポンプは、請求項1〜3のいずれかに記載のDCブラシレスモータ装置を、ポンプロータの回転駆動手段として備えることを特徴とする。
本発明によれば、同期信号が発生される毎に通電パターンをパターン記憶手段に記憶されている通電パターンに置き換えてから順に生成させるようにしたので、ロータ停止状態から低回転速度域においても充分な加速トルクを得ることができる。
以下、図を参照して本発明を実施するための最良の形態について説明する。図1は、本発明によるDCブラシレスモータ装置の一実施の形態を示す図であり、DCブラシレスモータ装置が組み込まれた磁気軸受式ターボ分子ポンプの概略構成を示すブロック図である。ターボ分子ポンプはポンプ本体1と電源装置2とから構成されている。図1に示す例では、ポンプ本体1と電源装置2とをケーブルで接続するような構成としているが、ポンプ本体1と電源装置2とを一体で構成する場合もある。
ポンプ本体1には、回転翼(後述する)が形成されたロータ4が設けられている。ロータ4は磁気軸受5により非接触支持されるとともにモータ6により回転駆動される。モータ6にはDCブラシレスモータが用いられる。一方、電源装置2には、モータ6(DCブラシレスモータ)を駆動するモータ制御部7と、磁気軸受5に供給される励磁電流を制御する軸受制御部8とを備えている。
図2はポンプ本体1の詳細を示す断面図である。ポンプ本体1のケーシング10の内部に配設されたロータ4には、複数段の回転翼41およびネジロータ部42が形成されている。上下に並んだ回転翼41の各段の間には、固定翼43が交互に配設されている。また、ベース3には、回転するネジロータ部42と対向するようにネジステータ部44が配設されている。
ロータ4のシャフト部45にはDCブラシレスモータ6のモータロータ62が装着されており、モータロータ62には永久磁石が内蔵されている。一方、ベース3側には、回転磁界を形成するためのU相巻線,V相巻線およびW相巻線を有するモータステータ61が設けられている。シャフト部45の下端にはセンサターゲット46が設けられており、センサターゲット46と対向する位置には回転位置センサ47が設けられている。
回転位置センサ47は、センサターゲット46との距離を検出する距離センサであり、本実施の形態ではインダクタンスセンサが用いられている。回転位置センサ47としては、ロータ回転と同期した信号を出力するものであれば上述したものに限らず、光エンコーダ等を用いても良い。
ロータ4を非接触支持する磁気軸受5(図1参照)は、図2に示すようにラジアル磁気軸受を構成する電磁石51,52とアキシャル磁気軸受を構成する電磁石53とを有し、これらは5軸制御形磁気軸受を構成している。これらのラジアル電磁石51,52とアキシャル電磁石53に対応して、ロータ4の位置を検出するためのラジアル変位センサ55,56およびアキシャル変位センサ57が設けられている。11,12は非常用のメカニカルベアリングであり、13はポンプ本体1と電源装置2とを接続するケーブルが接続されるコネクタである。
図3は、DCブラシレスモータ装置を構成するモータステータ61,モータロータ62,センサターゲット46,回転位置センサ47およびモータ制御部7の概略構成を示すブロック図である。モータ制御部7は、回転パルス生成部70,電源71,モータ駆動波形生成回路72,信号遅延部73,回転速度検出部74,遅延時間演算部75,位相差記憶部76,差分演算部77,位相差測定部78およびパターン記憶部79を備えている。モータステータ61に設けられたU相巻線,V相巻線およびW相巻線には、電源71に接続されたモータ駆動波形生成回路72により駆動電圧が印加される。
なお、図2では回転位置センサ47をセンサターゲット46のアキシャル方向(図示下方)に配設したが、図3では回転位置センサ47をセンサターゲット46のラジアル方向に配設した場合について示した。
図4は回転位置センサ47とセンサターゲット46との位置関係を示す図であり、(a)は回転位置センサ47をセンサターゲット46のアキシャル方向に配設した場合を示し、(b)は回転位置センサ47をセンサターゲット46のラジアル方向に配設した場合を示す。図4(a)の場合、センサーターゲット46の下面は段差hを有する凹凸面となっており、凸面46aおよび凹面46bはそれぞれ回転角度に関して180度ずつに振り分けられている。
一方、図4(b)のようにラジアル方向に回転位置センサ47を配設する場合には、センサ対向面であるセンサターゲット46の外周面に、段差hの凸面46aおよび凹面46bが形成されている。回転位置センサ47からは、段差hによるインダクタンスの変化に応じた信号が回転パルス生成部70に出力される。回転パルス生成部70では、後述する図5のタイムチャートに示すような回転パルス信号Gが生成される。回転パルス信号Gは、回転位置センサ47がセンサターゲット46の凸面46aに対向するとHigh(H)状態となり、逆に凹面46bに対向するとLow(L)状態となる。
《回転位置信号の算出方法の説明》
本実施の形態では、モータロータ62の回転と同期して得られる同期信号を回転速度情報および位相差情報に基づいて補正し、正しい回転位置信号を算出するようにしている。まず、正しい回転位置信号の算出方法について説明する。図3において、回転パルス生成部70から出力される回転パルス信号Gは、信号遅延部73、回転速度検出部74および位相差測定部78に入力される。位相差測定部78は、回転パルス信号Gおよびモータステータ61に印加される駆動電圧に基づいて、センサターゲット46の段差部46cの位置とモータロータ62のN極とS極との境界面の位置との角度ズレθ(以下では、位相角度θと呼ぶ)を算出する。算出された位相角度θは、位相差記憶部76に記憶される。なお、この位相角度θは、センサターゲット46をシャフト部45(図2参照)に固定する際の組み立て誤差等によって生じる。位相角度θの算出方法については後述する。
回転速度検出部74は、回転位置センサ47の回転パルス信号Gに基づいてモータロータ62の回転周波数fを演算し、算出された回転周波数fを遅延時間演算部75に出力する。また、得られた回転周波数fから回転周期T1=1/fを算出し、回転周期T1を6分割して得られる通電パターン切替時間T1/6をモータ駆動波形生成回路72に入力する。
遅延時間演算部75は、位相差記憶部76に記憶されている位相角度θと、回転速度検出部74で算出されたロータ回転周波数fとに基づいて、磁極位置を表す回転位置信号Sと回転パルス信号Gとの間の遅延時間Δt(図5参照)を次式(1)に基づいて算出する。
Δt=(1/f)・(θ/360) …(1)
遅延時間演算部75で算出された遅延時間Δtは信号遅延部73に入力される。信号遅延部73は、入力された回転パルス信号Gと遅延時間Δtとに基づいて正しい回転位置信号Sを生成し、その回転位置信号Sをモータ駆動波形生成回路72に出力する。モータ駆動波形生成回路72は、入力された回転位置信号Sおよび通電パターン切替時間T1/6に基づいて、モータステータ61の各巻線(U,V,W)に駆動電圧を印加する。
図5は駆動電圧の通電パターンを説明する図であり、回転パルス生成部70から出力される回転パルス信号G,信号遅延部73から出力される回転位置信号S、およびU,V,W相に印加される電圧を示すタイムチャートである。図5における1周期目の回転位置信号Sの周期は、回転速度検出部74で算出される回転パルス信号Gの周期T1と同一であるが、遅延時間Δtだけ遅れて生成される。さらに、次の周期の回転位置信号Sは、2周期目の回転パルス信号G(周期T2)の立ち上がりからΔtだけ遅れて立ち上がる。
モータ駆動波形生成回路72では、2周期目の回転位置信号Sの立ち上がりと同期して通電パターンの生成を開始する。通電パターンの切り替えは、回転速度検出部74から入力された通電パターン切替時間T1/6に基づいて行われる。さらに、3周期目の回転位置信号Sも3周期目の回転パルス信号Gに対してΔtだけ遅れて立ち上がり、その回転位置信号Sの立ち上がりと同期して通電パターンが生成される。
2周期目の回転信号Sの周期は2周期目の回転パルス信号Gの周期T2と等しいが、加速時や減速時にはロータ回転速度が変化するので、1周期目の周期T1に対して一般的にT2≠T1となる。図5に示す例ではT2<T1(加速状態)となっている。そのため、1周期目の信号波形の6番目の通電パターンの継続時間はT1/6よりも短くなる。
このように、回転位置センサ47から出力される回転パルス信号Gを、回転周波数fおよび位相角度θから算出される遅延時間Δtにより補正して正しい回転位置信号Sを算出し、その回転位置信号Sにより通電パターンを生成することにより、モータロータ62の磁極位置と回転パルス信号Gとの間に位相角度θが生じていても同期駆動が可能となる。その結果、センサターゲット46をシャフト部45に固定する際に、段差部46cの位置をモータロータ62のN極とS極との境界面の位置と正確に一致させる必要がなく、組み立て作業の効率化を図ることができる。
なお、位相角度θを算出するためには、回転速度検出部74で安定した回転周波数fが算出できる程度の回転速度でモータロータ62が回転していることが必要となる。そのため、始動時においては、図5に示すような通電パターンと同様の駆動電圧をモータロータ62の磁極位置とは無関係に非同期で生成し、その周期を順次短くすることによりロータ4を所定の回転速度まで加速する。そして、ロータ回転速度が、回転速度検出部74により安定した回転周波数fが取得可能な所定回転速度となったならば、上述したような同期運転に移行する。
[位相差角度θの算出方法の説明]
次に、位相差測定部78における位相角度θの算出方法について説明する。位相角度θを算出するためには、まず、停止状態にあるモータロータ62を上述したように非同期で始動し、所定回転速度となったならばいったん駆動電圧をオフする。差分演算部77にはU相に誘起される逆起電圧と中性点の電圧とが入力され、そこで「(差分)=(逆起電圧)−(中性点電圧)」が算出される。図6(a)は差分信号の一例を示す図であり、周期的な差分信号の1周期分、すなわちロータ1回転分を示したものである。ここでは2極モータを例に説明しているので、1回転の間に差分信号の正負が1回ずつ現れている。
位相差測定部78では、差分信号がゼロとなる点(ゼロクロス点)を検出する。このゼロクロス点Pと従来のホールセンサ等で検出される回転位置信号Sとの間に角度で30度の位相差があることは、従来から知られている。一方、位相差測定部78に入力された回転パルス信号G(図6(c)参照)は、図6(a)の差分信号に対して位相がずれている。そこで、位相差測定部78は、ゼロクロス点Pが検出されるタイミングと回転パルス信号Gの立ち上がりのタイミングとの時間差Tと、所定の位相差30度と、回転速度検出部74で検出される回転周期T1とに基づいて、次式(2)により回転パルス信号Gと回転位置信号Sとの位相差θ(=位相角度θ)を算出する。
θ=(T/T1)×360−30 …(2)
この位相差θは位相角度θとして位相差記憶部76に記憶される。いったん位相角度θが取得された後は、上述したように信号遅延部73により回転位置信号Sを生成し、モータロータ62の磁極位置に同期してモータ駆動を行う。なお、上述したゼロクロス点を求める方法は、従来のセンサレスモータに用いられている方法と同様のものであるが、本実施の形態ではモータ駆動電圧をオフにして逆起電圧を測定するようにしているので、PWM駆動時のスイッチングノイズ等が重畳されず、簡単な回路構成でゼロクロス点のタイミングを容易に取得することができる。
すなわち、従来のセンサレス駆動方式に比べて回転位置センサ47がコストアップ要因となるが、制御系が簡素化されるためトータルではコスト削減効果がある。また、制御そのものがセンサレスの場合より簡単になり、安定度も向上する。
なお、上述した実施の形態では、U相の逆起電圧を利用したが、V相またはW相の逆起電圧を利用しても良い。また、U,V,W相の一つの相の逆起電圧を計測し、その最大値Vmaxと最低値Vmin(=0V)との中間電圧(Vmax−Vmin)/2を求め、その中間電圧と計測される逆起電圧とが一致するタイミングを上述したゼロクロス点の代わりに利用しても良い。その場合、位相差θは上記同様(2)式で算出される。さらにまた、2つの相の逆起電圧の差分、例えばU相の逆起電圧とV相の逆起電圧との差分を利用しても良い。その場合には、位相差θは次式(3)により算出される。
θ=T/T1×360 …(3)
《より改善された始動方法に関する説明》
上述した例では、始動時はロータステータ61の磁界を非同期で回転させて、位相角度θが算出できる程度まで非同期で加速するような制御について説明した。しかし、完全に非同期で駆動した場合には十分な回転トルクが得られず、ロータ4の重量が重いと位相角度θが算出できる程度まで加速できなくなるおそれがある。そこで、本実施の形態では、以下に述べるような回転制御を行うことにより、大重量のロータ4であっても確実に加速できるようにした。
[第1の例]
図7,8は、改善された始動方法の第1の例を説明する図である。まず、モータステータ61の各U,V,W相に図7の通電パターン(1)の電圧を印加し、その状態を保つ。停止していたモータロータ62は、モータステータ61の磁界よって回転トルクが与えられてゆっくりと回転し、ステータ磁界の力と釣り合う位置で停止する。
この間、回転パルス信号Gの状態がオフからオンへと変化したか否かを検出する。図7に示す例では、回転パルス信号Gはオフ状態となっている。なお、図7の矢印は電流の流れる方向を示している。例えば、通電パターン(1)ではV相からU相へと電流が流れ、通電パターン(2)ではW相からU相へと電流が流れる。
次に、モータステータ61のU,V,W相の各々に通電パターン(2)の電圧を印加し、モータロータ62が停止するまでその通電状態を保持する。その結果、モータロータ62は、通電パターン(1)の停止位置から60度回転して停止する。そして、その間に回転パルス信号Gの状態がオフからオンへと変化したか否かを検出する。図7に示す例では、回転パルス信号Gはオフからオンへと変化する。このように回転パルス信号Gがオフからオンへ変化したならば、そのときの通電パターン(2)に対して一つ後の通電パターン(3)をパターン記憶部79に記憶する。
同様に、モータステータ61の各U,V,W相に通電パターン(3),(4),(5),(6)の電圧を順に印加して、各々モータロータ62が停止するまで待ち、その間に回転パルス信号Gの状態がオフからオンへと変化したか否かを検出する。そして、回転パルス信号Gの状態がオフからオンへ変化した場合には、そのときの通電パターンに対して一つ後の通電パターンをパターン記憶部79に記憶する。このようにしてモータロータ62を1回転させると、回転パルス信号Gがオフからオンへと変化する立ち上がりタイミングを必ず検出することができる。図7に示す回転パルス信号Gの場合には、上述したように通電パターン(2)において変化が検出され、通電パターン(2)よりも一つ後の通電パターン(3)がパターン記憶部79に記憶される。
上述した通電パターンの記憶動作が終了したならば、モータの回転駆動を開始する。まず、停止状態にあるモータに対して通電パターン(1)〜(6)の順に電圧を印加する。そして、回転パルス信号Gがオフからオンに変化する立ち上がりタイミングが検出されたならば、そのときの通電パターンがどの状態であっても、パターン記憶部79に記憶されている通電パターン(3)へと置き換え、その後、(3)、(4)、(5)…と順に切り替える。この場合、通電パターンの時間間隔をパターン切り替え毎に徐々に短くして、回転速度を加速させるようにする。
その後、回転パルス信号Gの周期が計測できるようになったならば、図8に示すように、1回前の周期T1を6分割した時間を通電パターンの切換時間として設定する。それ以降も、回転パルス信号Gの立ち上がりタイミングが検出されるたびに、通電パターン(3)への置き換えを行う。
図8に示す通電パターンでの駆動制御に移行した後に、位相角度θが算出できる程度に回転速度が上昇したならば、前述したように位相角度θを算出する。そして、回転パルス信号Gを遅延処理した正しい回転位置信号Sを求め、その回転位置信号Sを用いてモータロータ62を同期駆動する。
このように、第1の例の始動方法では、回転パルス信号Gがオフからオンに立ち上がるときの通電パターン(2)の一つ後の通電パターン(3)を記憶し、回転駆動する際には、回転パルス信号Gの立ち上がりと同期して常に1パターン後の通電パターン(3)から開始するするようにしたので、完全に同期してはいないが概ね同期するような形で回転駆動を行うことができる。
そのため、非同期で回転駆動する場合に比べて回転トルクの向上を図ることができ、回転速度を効率よく加速させることができる。その結果、始動開始から位相角度θを推定までの時間を短縮することができ、早期に同期回転駆動に移行することができる。また、加速性能が向上するので、位相角度推定開始時の回転速度をより高回転域とすることができ、推定精度の向上を図ることができる。なお、立ち上がりタイミングの通電パターン(2)ではなく、一つ後の通電パターン(3)を通電パターン置き換えに用いたのは、適切な加速が得られるようにするためである。
[第2の例]
図9〜11は、改善された始動方法に関する第2の例を説明する図である。図9は第1の例の図7に対応する図であって、回転パルス信号Gの状態がオフからオンへと変化するタイミングを検出する際の通電パターンを示したものである。第1の例では、モータロータ62を60度ずつ回転させて回転パルス信号Gの立ち上がりタイミングを検出したが、第2の例では図9のように通電パターンを切り替えることによりモータロータ62を30度ずつ回転させて検出するようにした。
図9に示すように、通電パターンは12種類あり、(1)〜(6)は図7に示した通電パターン(1)〜(6)とそれぞれ同一である。一方、通電パターン(1')では、通電パターン(1)の状態と通電パターン(2)の状態とが交互に現れる中間状態となっており、V相,W相からU相へと電流が流れる状態となっている。すなわち、V相およびW相の電圧はEとE/2の間で交互に変化しており、V相の電圧がEのときにはW相の電圧はE/2となり、逆に、V相の電圧がE/2のときにはW相の電圧はEとなっている。
通電パターン(2')では通電パターン(2)と通電パターン(3)とが交互に現れ、W相からU相およびV相へと電流が流れる状態となっている。通電パターン(3')では通電パターン(3)と通電パターン(4)とが交互に現れ、W相およびU相からV相へと電流が流れる状態となっている。通電パターン(4')では通電パターン(4)と通電パターン(5)とが交互に現れ、U相からW相およびV相へと電流が流れる状態となっている。通電パターン(5')では通電パターン(5)と通電パターン(6)とが交互に現れ、U相およびV相からW相へと電流が流れる状態となっている。通電パターン(6')では通電パターン(6)と通電パターン(1)とが交互に現れ、V相からW相およびU相へと電流が流れる状態となっている。
モータロータ62を停止状態から始動する際には、まず、最初は通電パターン(1)で電圧を印加して停止状態となるまで待つ。次に、通電パターン(1')の電圧を印加する。通電パターン(1')には、通電パターン(1)と通電パターン(2)とが交互に現れる中間状態となっているため、モータロータ62は通電パターン(1)の位置から30度回転した位置で釣り合って停止することになる。
次いで、通電パターンを(1')から(2)に変更すると、モータロータ62は通電パターン(1)の位置から60度回転した位置、すなわち、通電パターン(1')から30度回転した位置で釣り合って停止する。同様に、(2)、(2')、(3)、(3')、(4)、(4')、(5)、(5')、(6)、(6')、(1)の順に通電パターンを切り替える。この回転の間に、図9の回転パルス信号GBように回転パルス信号が変化した場合には、通電パターン(1')を印加した際に、回転パルス信号GBがオフからオンに変化する立ち上がりのタイミングが検出される。
ところで、第1の例では、回転パルス信号Gの状態がオフからオンへと変化するタイミングを検出するための通電パターンと、実際に回転駆動するための通電パターンとは同じものが使用された。第2の例では、立ち上がりタイミングの検出には上述した図9に示す通電パターンを使用し、実際に回転駆動するための通電パターンは図10に示すものを使用する。図10の場合も12の通電パターン(1)、(1')、(2)、(2')〜(6)、(6')により形成されるが、通電パターン(1')〜(6')は図9に示したものと異なり、それぞれ通電パターン(1)〜(6)と同一パターンとなっている。すなわち、図7に示した波形を6分割から12分割に変更したものになっている。
立ち上がりタイミングの検出動作時において、上述したように通電パターン(1')を印加した際に信号の立ち上がりが検出された場合には、図10における通電パターン(1')の2つ後の通電パターン(2')がパターン記憶部79に記憶される。また、回転パルス信号Gが図9の回転パルス信号GAのように変化する場合には、立ち上がりタイミングが検出される通電パターン(1)よりも2つ後の通電パターン(2)が記憶される。
このように第2の例の場合には、モータロータ62を30度ずつ回転して立ち上がりタイミングを検出するようにしたので、回転パルス信号Gの立ち上がりタイミング検出の位置精度が向上する。例えば、第1の例の場合には、図9の回転パルス信号GA,GBのいずれの場合でも、0〜60度の範囲の通電パターン(1)のときに立ち上がりが検出される。しかし、第2の例では、回転パルス信号GAの場合には0〜30度の範囲の通電パターン(1)のときに立ち上がりが検出され、回転パルス信号GBの場合には30〜60度の範囲の通電パターン(1')のときに立ち上がりが検出される。
立ち上がりタイミングを検出することにより通電パターンの記憶動作が終了したならば、次に、第1の例の場合と同様に、停止状態にあるモータに対して図10の通電パターン(1),(1'),(2),(2')〜の順に電圧を印加する。そして、回転パルス信号Gがオフからオンに変化する立ち上がりタイミングが検出されたならば、そのときの通電パターンがどの状態であっても、パターン記憶部79に記憶されている通電パターン(2')へと置き換え、その後、(3)、(3')、(4)、(4')…の順に通電パターンを切り替える。この場合、通電パターンの時間間隔をパターン切り替え毎に徐々に短くして、回転速度を加速させるようにする。
その後、回転パルス信号Gの周期が計測できるようになったならば、図11に示すように1回前の回転パルス信号Gの周期T1を12分割し、その12分割した時間を通電パターンの切替時間として設定する。それ以降も、回転パルス信号Gの立ち上がりタイミングが検出されるたびに、通電パターン(2')への置き換えを行う。なお、上述した説明では、始動時から図10に示す通電パターンを用いて回転駆動したが、立ち上がりタイミング検出の際に用いた図9の通電パターンを用いるようにしても良い。この場合には、パターン記憶部79に記憶される通電パターンは図9に示すパターンの一つである。
図11に示す通電パターンでの駆動制御に移行した後に、位相角度θが算出できる程度に回転速度が上昇したならば、第1の例の場合と同じように位相角度θを算出し、回転パルス信号Gを遅延処理した正しい回転位置信号Sを求め、その回転位置信号Sを用いてモータロータ62を同期駆動する。
上述した実施の形態では、回転パルス信号Gの立ち上がりタイミングを検出して通電パターンを予め記憶し、回転駆動時に回転パルス信号Gの立ち上がりを検出するたびに通電パターンの置き換えを行うようにした。しかし、回転パルス信号Gの立ち上がりではなく、オンからオフへの変化である信号の立ち下がりタイミングを検出して通電パターンを記憶し、立ち下がりを検出するたびに通電パターンの置き換えるようにしても良い。さらに、立ち上がりと立ち下がりの両方で通電パターンの置き換えを行うようにしても良い。
上述したように、回転パルス信号Gの立ち上がりタイミングと通電パターンとの関係を求める際には、モータロータ62が磁界と釣り合って停止するようにゆっくりと通電パターンを切り替え、回転パルス信号Gの立ち上がりタイミングにおける通電パターンを検出するようにした。このような立ち上がり時の通電パターンの検出およびパターン記憶部79への記憶は、モータ制御部7がモータ回転始動前に自動的に行っても良いし、また、出荷段階で測定してパターン記憶部79に記憶しておくようにしても良い。回転パルス信号Gの立ち上がりタイミングと通電パターンとの関係はいったん検出すればその後変化しないので、モータ制御部7で自動的に検出・記憶させる場合や、始動前に既にパターン記憶部79に通電パターンが記憶されているときには検出動作を省略するようにするのが好ましい。
また、本実施の形態では2極モータを例に説明したが、他の極数のモータに対しても同様に本発明を適用することができる。なお、位相差記憶部76に予め記憶される位相角度θの求め方としては、例えば、角度ずれを実際に測定しても良いし、ロータ4を外的駆動力(例えば、手で回転させても良い)により回転させ、そのときに各相に誘起される逆起電圧を利用して求めても良い。得られた位相角度θは、出荷前に予め位相差記憶部76に記憶させておく。
なお、上述した実施の形態では、ターボ分子ポンプに搭載されたDCブラシレスモータ装置を例に説明したが、本発明によるDCブラシレスモータ装置は、ターボ分子ポンプに限らずドラッグ真空ポンプ等の回転真空ポンプのポンプロータ駆動装置として用いることができる。
以上説明した実施の形態と特許請求の範囲の要素との対応において、センサターゲット46および回転位置センサ47は信号生成手段を、位相角度θは位相差情報を、回転周波数fは回転速度情報を、信号遅延部73および遅延時間演算部75は信号演算手段を、モータ駆動波形生成回路72は通電パターン生成手段を、モータ制御部7はモータ始動制御手段を、位相差測定部78は位相差演算手段をそれぞれ構成する。なお、以上の説明はあくまでも一例であり、発明を解釈する際、上記実施の形態の記載事項と特許請求の範囲の記載事項の対応関係に何ら限定も拘束もされない。
本発明によるDCブラシレスモータ装置の一実施の形態を示す図である。 ポンプ本体1の詳細を示す断面図である。 センサターゲット46と回転位置センサ47との関係を示す図であり、(a)は回転位置センサ47をアキシャル方向に配設した場合を示し、(b)は回転位置センサ47をラジアル方向に配設した場合を示す。 DCブラシレスモータ装置の構成を示すブロック図である。 駆動電圧の通電パターンを説明する図である。 位相角度θの検出動作を説明する図であり、(a)は差分信号を、(b)は回転位置信号Sを、(c)は回転パルス信号Gを示す。 第1の例の通電パターンを示す図である。 通電パターン切替時間として、1回前の回転パルス信号Gの周期T1を6分割したものを用いる場合の通電パターンを示す図である。 第2の例における立ち上がり検出用の通電パターンを示す図である。 回転駆動用通電パターンを示す図である。 通電パターン切替時間として、1回前の回転パルス信号Gの周期T1を12分割したものを用いる場合の通電パターンを示す図である。
符号の説明
1:ポンプ本体 2:電源装置
4:ロータ 6:モータ
7:モータ制御部 46:センサターゲット
47:回転位置センサ 61:モータステータ
62 :モータロータ 70:回転パルス生成部
72:モータ駆動波形生成回路 73:信号遅延部
74:回転速度検出部 75:遅延時間演算部
76:位相差記憶部 77:差分演算部
78:位相差測定部 79:パターン記憶部

Claims (4)

  1. モータステータの各相印加電圧の組み合わせパターンである通電パターンをロータ回転位置に応じて複数形成し、モータロータを磁極位置と同期して回転駆動するDCブラシレスモータ装置において、
    前記モータロータの回転に同期した同期信号を発生する信号生成手段と、
    前記モータロータの磁極位置情報である回転位置信号と前記同期信号との位相差情報が予め記憶される位相差記憶手段と、
    前記同期信号に基づいて前記モータロータの回転速度情報を検出する回転速度検出手段と、
    前記モータロータの回転中に得られる前記同期信号を前記回転速度情報および前記位相差記憶手段に記憶されている位相差情報に基づいて補正することにより、前記回転位置信号を算出する信号演算手段と、
    前記信号演算手段で算出された回転位置信号に基づいて、前記複数の通電パターンを前記モータロータの回転に同期して生成する通電パターン生成手段と、
    前記同期信号が発生されるロータ回転位置に対応する通電パターンよりも1つ後に形成される通電パターンを記憶するパターン記憶手段と、
    (a)前記モータロータが停止状態から所定回転速度となるまでは前記モータロータの回転に非同期の前記複数の通電パターンを生成して回転駆動するとともに、前記同期信号が発生される毎に通電パターンを前記パターン記憶手段に記憶されている通電パターンに置き換えてから順に生成させ、(b)前記モータロータが所定回転速度となったならば、前記通電パターン生成手段により生成された通電パターンにより前記モータロータを同期回転駆動するモータ始動制御手段とを備えたことを特徴とするDCブラシレスモータ装置。
  2. 請求項1に記載のDCブラシレスモータ装置において、
    前記通電パターン生成手段は、前記複数の通電パターンの各パターン間に形成され、その前後の通電パターンを交互に複数配した中間状態通電パターンを、前記複数の通電パターンに加えてさらに生成し、
    前記パターン記憶手段は、前記同期信号が発生されるロータ回転位置に対応する通電パターンよりも2つ後に形成される通電パターンを記憶することを特徴とするDCブラシレスモータ装置。
  3. 請求項1または2に記載のDCブラシレスモータ装置において、
    モータステータの少なくとも一つの相の逆起電圧に基づいて前記位相差情報を算出する位相差演算手段を備え、前記位相差記憶手段は前記位相差演算手段により算出された位相差情報を記憶することを特徴とするDCブラシレスモータ装置。
  4. 請求項1〜3のいずれかに記載のDCブラシレスモータ装置を、ポンプロータの回転駆動手段として備えることを特徴とする回転真空ポンプ。
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