JP2007143213A - Dcブラシレスモータ装置および回転真空ポンプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】モータステータ64のU相に発生する逆起電圧と中性点電圧との差分を差分演算部77で算出し、その差分信号に基づいて回転信号SBを算出する。また、モータロータ62と共に回転するセンサターゲット46を回転位置センサ47で検出することにより、回転信号SAを算出する。そして、回転信号SAに基づくロータ回転速度が、回転信号検出部70Bによる回転信号SBの取得が不能となる所定回転速度より低い場合には、回転信号SAに基づいてモータを駆動制御し、ロータ回転速度が所定回転速度以上の場合には、回転信号SBに基づいてモータを駆動制御する。
【選択図】図3
Description
請求項2の発明は、請求項1に記載のDCブラシレスモータ装置において、第1の回転位置情報に基づくロータ回転速度と、第2の回転位置情報に基づくロータ回転速度との差の大きさが所定値以上の場合に、第1および第2の回転位置検出手段の少なくとも一方が異常であると判定する判定手段を備えるようにしたものである。
請求項3の発明は、請求項2に記載のDCブラシレスモータ装置において、判定手段による異常判定時に、第2の回転位置情報に基づくロータ回転速度が所定回転速度より小さい場合に、ロータ回転を停止するようにしたものである。
請求項4の発明は、請求項1に記載のDCブラシレスモータ装置において、第1の回転位置情報に基づく制御時に、第1の回転位置検出手段による取得が不能となったならば、第2の回転位置情報に基づいてモータを駆動制御するようにした。
請求項5の発明による回転式真空ポンプは、請求項1〜4のいずれか一項に記載のDCブラシレスモータ装置を、ポンプロータの回転手段として備えることを特徴とする。
−第1の実施の形態−
図1は、本発明による回転真空ポンプの一実施の形態を示す図であり、DCブラシレスモータ装置が組み込まれた磁気軸受式ターボ分子ポンプの概略構成を示すブロック図である。ターボ分子ポンプは、ポンプ本体1と電源装置2とから構成されている。図1に示す例では、ポンプ本体1と電源装置2とをケーブルで接続するような構成としているが、ポンプ本体1と電源装置2とを一体で構成する場合もある。
図6は、駆動信号生成部73における駆動信号生成を説明する図である。図6において、(a)は回転信号切替部74から駆動信号生成部73に入力される回転信号S(回転信号SAまたはSB)を示したものである。駆動信号生成部73では、この回転信号Sからロータ回転周期T1を算出する。そして、次の周期(以下では2周期目と称する)の回転信号Sが回転信号切替部74から入力されたならば、その信号立ち上がりと同期して図6(b)に示すような駆動信号SU,SV,SWを生成する。
図7は、モータ駆動動作の一例を示すフローチャートである。図1の制御装置1に設けられたポンプスタートボタン(不図示)が操作されると、図7の処理が開始され、ステップS1が実行される。ステップS1では、非同期でモータロータ62を回転駆動する。回転始動時のようにモータロータ62が停止状態にある場合には回転周期が算出できないので、図6(b)に示すような駆動信号SU,SV,SWをモータロータ62の磁極位置と非同期で生成し、モータ回転を開始する。そして、駆動信号SU,SV,SWの周期を順次短くすることにより、モータロータ62の回転速度を上昇させる。
上述した第1の実施の形態では、回転位置センサ47により検出されるセンサターゲット46は、位相がモータロータ62に設けられた永久磁石の位相と一致しているとして説明した。しかしながら、組立誤差等によりそれらの位相が一致するとは限らず、ずれが生じることが多い。そこで、第2の実施の形態では、この位相ズレを補正を行う方法について説明する。
Δt=(1/f)・(θ/360) …(1)
θ=(T/T1)×360−30 …(2)
θ=T/T1×360 …(3)
Claims (5)
- モータステータの少なくとも一つの相に発生する逆起電圧に基づいて第1の回転位置情報を取得する第1の回転位置検出手段と、
モータロータと共に回転する検出対象を検出して第2の回転位置情報を取得する第2の回転位置検出手段と、
(a)前記第2の回転位置情報に基づくロータ回転速度が、前記第1の回転位置検出手段による前記第1の回転位置情報の取得が不能となる所定回転速度より低い場合には、前記第2の回転位置情報に基づいてモータを駆動制御し、(b)前記ロータ回転速度が前記所定回転速度以上の場合には、前記第1の回転位置情報に基づいてモータを駆動制御する制御手段とを備えたことを特徴とするDCブラシレスモータ装置。 - 請求項1に記載のDCブラシレスモータ装置において、
前記第1の回転位置情報に基づくロータ回転速度と、前記第2の回転位置情報に基づくロータ回転速度との差の大きさが所定値以上の場合に、前記第1および第2の回転位置検出手段の少なくとも一方が異常であると判定する判定手段を備えることを特徴とするDCブラシレスモータ装置。 - 請求項2に記載のDCブラシレスモータ装置において、
前記判定手段による異常判定時に、前記第2の回転位置情報に基づくロータ回転速度が前記所定回転速度より小さい場合には、前記制御手段はロータ回転を停止することを特徴とするDCブラシレスモータ装置。 - 請求項1に記載のDCブラシレスモータ装置において、
前記制御手段は、前記第1の回転位置情報に基づく制御時に、前記第1の回転位置検出手段による取得が不能となったならば、前記第2の回転位置情報に基づいてモータを駆動制御することを特徴とするDCブラシレスモータ装置。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載のDCブラシレスモータ装置を、ポンプロータの回転手段として備えることを特徴とする回転式真空ポンプ。
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JP2005329800A JP2007143213A (ja) | 2005-11-15 | 2005-11-15 | Dcブラシレスモータ装置および回転真空ポンプ |
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2005
- 2005-11-15 JP JP2005329800A patent/JP2007143213A/ja active Pending
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