JP2007081423A

JP2007081423A - 配線板用シート材及びその製造方法、並びに多層板及びその製造方法

Info

Publication number: JP2007081423A
Application number: JP2006306922A
Authority: JP
Inventors: Daizo Baba; 大三馬場; Naohito Fukuya; 直仁福家; Tatsuo Hirabayashi; 辰雄平林
Original assignee: Matsushita Electric Works Ltd
Current assignee: Panasonic Electric Works Co Ltd
Priority date: 2001-10-26
Filing date: 2006-11-13
Publication date: 2007-03-29

Abstract

【課題】絶縁層内に電気部品を搭載することにより電気部品の搭載量を増大して配線板の小型化を可能とすることができると共に信頼性が高く、かつ煩雑な製造工程を経ずに配線板を作製することができる配線板用シート材の製造方法を提供する。
【解決手段】Ｂステージ状態の樹脂層４の一面又は両面に、表面に導体回路５が設けられると共にこの導体回路５に対して電気部品１０が実装された転写用基材６を導体回路５及び電気部品１０と樹脂層４とが対向するように積層すると共に導体回路５及び電気部品１０を樹脂層４に埋設する。転写用基材６を樹脂層４から剥離すると共に導体回路５を樹脂層４側に残存させて導体回路５を樹脂層４に転写して樹脂層４の外面と導体回路５の露出面とが面一になるように形成する。
【選択図】図１

Description

本発明は、配線板の製造のために用いられる配線板用シート材及びその製造方法、並びにこの配線板用シート材により製造される多層板及びその製造方法に関するものである。

近年、電子機器の高機能化、小型薄型化の要求に伴い、半導体の高集積化、配線距離の短縮化、プリント配線板の小型化が求められている。このようなプリント配線板には電気部品として、半導体装置や、ベアチップ、チップ状コンデンサ、チップ状インダクタ等のチップ状の電気部品が実装される。

しかし、このような電気部品はプリント配線板の外層の導体回路にのみ実装されるためにプリント配線板に対する電気部品の実装量には限界があり、またこの電気部品はプリント配線板の外面から突出するように設けられるから、プリント配線板の小型化の妨げにもなるものであった。また、電気部品の実装位置が配線板の最外層のみである場合には、配線設計の自由度が低くなってしまうものでもあった。

このような問題は、プリント配線板を多層化するほど顕在化するものである。すなわち、プリント配線板を多層化するほど、配線量が多くなるが、電気部品は外層のみに実装されるため、配線量に対する電気部品の実装量が少なくなり、このためプリント配線板の多層化による小型化は、搭載する電気部品量によって制限を受けてしまうものであった。

また、従来、特開平１１−１２６９７８号公報（特許文献１）に開示されているように、絶縁層に空隙を設けてこの空隙に半導体素子等を実装し、更に感光性樹脂からなる絶縁層と配線回路とを順次積層成形して多層の配線基板を作製するものも提案されている。これによれば、絶縁層内に電気部品を実装することが可能となって、電気部品の実装量の増加、配線板の小型化、配線自由度の向上がある程度なされるが、空隙の内面と電気部品との間に隙間が生じて空気が閉じこめられてしまい、熱による負荷を受けた場合に、空隙内の空気の熱膨張により絶縁層の割れや電気部品の破損、断線等の不良が発生してしまうおそれがあり、また電気部品の寸法や搭載量に応じて絶縁層に空隙を形成しなければならないために、製造工程が煩雑なものとなってしまう。また、多層板を作製する場合には絶縁層と導体回路とを順次積層成形しなければならないので、絶縁層の形成と導体回路形成とを繰り返し行うことが必要となって、多層板の製造に非常に煩雑な手間と時間を要するものであった。また絶縁層と導体回路とを一層ずつ形成するごとに、絶縁層の硬化成形等のための加熱が必要となり、このため形成される各層の導体回路はそれぞれ異なる熱履歴を有することとなって、各導体回路パターンの収縮率が異なるものとなり、その補正が必要となるものであった。また、導体回路パターン上に絶縁層を形成する際には、絶縁層の成形時に絶縁性樹脂が溶融した後に硬化することによって導体回路が絶縁層に埋め込まれることになるものだが、配線板が多層化するほど絶縁層への導体回路の埋設時に発生する凹凸が増幅して、絶縁層の形成時に導体回路の凹凸を吸収しきれなくなり、絶縁層に厚みが過剰に薄くなる箇所が形成されるなどして絶縁信頼性が低下するおそれがあった。

更に、このような従来工法ではパットオンビアやビアオンビア等の接続構造を形成することができず、導体回路の高密度化に限界があって基板面積の小型化に限界があり、信号経路の短縮ができないという問題もあった。

また絶縁層に部品が挿入される事により、この絶縁層におけるビアの長さが極端に長くなり、ビアの導通抵抗信頼性に大きな課題が発生している。

このように従来工法においては、部品を効率良く埋め込み、回路の凹凸を吸収し、更に部品を実装する際の接続信頼性や実装性を確保するにあたっての課題がいくつか存在する。
特開平１１−１２６９７８号公報

本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、絶縁層内に電気部品を搭載することにより電気部品の搭載量を増大して配線板の小型化を可能とすることができると共に信頼性が高く、かつ煩雑な製造工程を経ずに配線板を作製することができる配線板用シート材及びその製造方法、並びにこのような配線板用シート材にて作製され、絶縁層内に電気部品を搭載することにより電気部品の搭載量を増大して配線板の小型化を可能とすることができると共に信頼性を向上し、更に一括成形にて多層化を行うことにより複数の各層における成形時の熱履歴の相違を解消すると共に製造工程を簡素化することができ、併せて導体回路の微細化・高密度化による小型化と、信頼性の向上とを達成することができる多層板及びその製造方法を提供することを目的とするものである。

請求項１に係る配線板用シート材の製造方法は、Ｂステージ状態の樹脂層４の一面又は両面に、表面に導体回路５が設けられると共にこの導体回路５に対して電気部品１０が実装された転写用基材６を導体回路５及び電気部品１０と樹脂層４とが対向するように積層すると共に導体回路５及び電気部品１０を樹脂層４に埋設し、転写用基材６を樹脂層４から剥離すると共に導体回路５を樹脂層４側に残存させて導体回路５を樹脂層４に転写して樹脂層４の外面と導体回路５の露出面とが面一になるように形成することを特徴とするものである。

また請求項２の発明は、請求項１において、転写用基材６の表面に導体回路５を設けると共に電気部品１０を実装するにあたり、転写用基材６としてステンレス基材を用い、転写用基材６の表面にレジスト形成後、めっき処理を施すことにより導体回路５を設け、電気部品１０を実装し、電気部品１０の実装面側にアンダーフィルを充填することを特徴とするものである。

また請求項３の発明は、請求項１又は２において、転写用基材６の表面に導体回路５を設けると共に電気部品１０を実装するにあたり、転写用基材６上に電気部品１０として抵抗素子及びコンデンサ素子の少なくともいずれかを印刷成形することにより電気部品１０を実装することを特徴とするものである。

また請求項４の発明は、請求項１乃至３のいずれかにおいて、樹脂層４の一面のみに転写用基材６を用いて導体回路５を転写して樹脂層４の外面と導体回路５の露出面とが面一になるように形成すると共に、樹脂層４の他面に金属箔９を積層一体化することを特徴とするものである。

また請求項５の発明は、請求項１又は２において、樹脂層４の一面のみに転写用基材６を用いて導体回路５を転写して樹脂層４の外面と導体回路５の露出面とが面一になるように形成すると共に、樹脂層４の他面に樹脂付金属箔１７を積層一体化することを特徴とするものである。

また請求項６の発明は、請求項４又は５において、一面に導体回路５が転写されると共に他面に金属箔９が積層一体化された樹脂層４の一面又は両面に保護フィルム１２を積層し、樹脂層４、導体回路５及び保護フィルム１２を貫通する貫通孔３を形成し、保護フィルム１２の外面側から導電性ペースト８を塗布することにより貫通孔３内に導電性ペースト８を充填した後に、樹脂層４から保護フィルム１２を剥離して貫通孔３から導電性ペースト８が外方に突出するように形成することを特徴とするものである。

また請求項７の発明は、請求項１乃至３のいずれかにおいて、両面に導体回路５が転写された後の樹脂層４の一面又は両面に保護フィルム１２を積層し、樹脂層４、導体回路５及び保護フィルム１２を貫通する貫通孔３を形成し、保護フィルム１２の外面側から導電性ペースト８を塗布することにより貫通孔３内に導電性ペースト８を充填した後に、樹脂層４から保護フィルム１２を剥離して貫通孔３から導電性ペースト８が外方に突出するように形成することを特徴とするものである。

また請求項８の発明は、請求項１乃至３のいずれかにおいて、片面に導体回路５が転写された後の樹脂層４の一面に保護フィルム１２を積層し、樹脂層４、導体回路５及び保護フィルム１２を貫通する貫通孔３を形成し、保護フィルム１２の外面側から導電性ペースト８を塗布することにより貫通孔３内に導電性ペースト８を充填した後に、樹脂層４から保護フィルム１２を剥離して貫通孔３から導電性ペースト８が外方に突出するように形成することを特徴とするものである。

また請求項９の発明は、請求項８に記載の方法により得られる配線板用シート材１の導体回路５が形成された面とは反対側の面に、金属箔９を積層一体化することを特徴とする特徴とするものである。

また請求項１０の発明は、請求項８に記載の方法により得られる配線板用シート材１の導体回路５が形成された面とは反対側の面に、表面に導体回路５が設けられた転写用基材６を導体回路５と樹脂層４とが対向するように積層し、導体回路５を樹脂層４に埋設し、転写用基材６を樹脂層４から剥離すると共に導体回路５を樹脂層４側に残存させて導体回路５を樹脂層４に転写して樹脂層４の外面と導体回路５の露出面とが面一になるように形成することを特徴とするものである。

また請求項１１の発明は、請求項１乃至５のいずれかにおいて、一面又は両面に導体回路５が転写された後の樹脂層４の一面又は両面に保護フィルム１２を積層し、樹脂層４、導体回路５及び保護フィルム１２を貫通する貫通孔３を形成し、貫通孔３内面にホールめっき１８を施し、保護フィルム１２の外面側から導電性ペースト８を塗布することにより貫通孔３内に導電性ペースト８を充填した後、樹脂層４から保護フィルム１２を剥離して貫通孔３から導電性ペースト８が外方に突出するように形成することを特徴とするものである。

また請求項１２の発明は、請求項１１において、ホールめっき１８を無電解めっき処理のみにて形成することを特徴とするものである。

また請求項１３の発明は、請求項１乃至５のいずれかにおいて、一面又は両面に導体回路５が転写された後の樹脂層４の一面又は両面に保護フィルム１２を積層し、樹脂層４、導体回路５及び保護フィルム１２を貫通する貫通孔３を形成し、貫通孔３内面にホールめっき１８を施し、保護フィルム１２の外面側から樹脂ペースト２０を塗布することにより貫通孔３内に樹脂ペースト２０を充填した後、樹脂層４から保護フィルム１２を剥離することを特徴とするものである。

また請求項１４の発明は、請求項１乃至１３のいずれかにおいて、導体回路５としてグランド層５ａを形成すると共にこのグランド層５ａを網目状に形成することを特徴とするものである。

また請求項１５の発明は、請求項１乃至１４のいずれかにおいて、転写用基材６として、厚み５０〜２００μｍであり、且つ導体回路５が形成される面の表面粗度Ｒａが２μｍ以下となるように表面粗化処理が施されたステンレス基材を用いることを特徴とするものである。

また請求項１６の発明は、請求項１乃至１５のいずれかにおいて、樹脂層４を、シリカ、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、酸化チタン、ホウ酸アルミニウム及び酸化マグネシウムから選ばれる少なくとも一種の無機フィラーを含有すると共にこの無機フィラーの最大粒径が１０μｍ以下である樹脂組成物にて形成して成ることを特徴とするものである。

また請求項１７の発明は、請求項１乃至１６のいずれかにおいて、樹脂層４を、無機フィラーの含有量が７０〜９５重量％であり、かつカップリング剤及び分散剤のうちの少なくとも一方が含有された樹脂組成物にて形成することを特徴とするものである。

また請求項１８の発明は、請求項１乃至１７のいずれかにおいて、樹脂層４を、不織布に樹脂組成物を含浸乾燥することにより得られる樹脂シート４ａにて形成することを特徴とするものである。

また請求項１９の発明は、請求項１乃至１８のいずれかにおいて、成形後の樹脂層４をＢステージ状態に維持することを特徴とするものである。

請求項２０に係る配線板用シート材は、請求項１乃至１９のいずれかに記載の方法により製造して成ることを特徴とするものである。

請求項２１に係る多層板の製造方法は、請求項２０に記載の複数の配線板用シート材１を一体に積層成形することを特徴とするものである。

請求項２２に係る多層板の製造方法は、請求項２０に記載の少なくとも一枚の配線板用シート材１とＢ及び／又はＣステージ状態の樹脂層４を有すると共に内部に電気部品１０が埋設されない少なくとも一枚のシート材１３とを一体に積層成形することを特徴とするものである。

また請求項２３の発明は、請求項２２において、請求項２０に記載の少なくとも一枚の配線板用シート材１とＢステージ状態の樹脂層４を有すると共に内部に電気部品１０が埋設されない少なくとも一枚のシート材１３とを積層して配置し、この状態で一括成形することを特徴とするものである。

また請求項２４の発明は、請求項２２において、請求項２０に記載の少なくとも一枚の配線板用シート材１とＢ及び／又はＣステージ状態の樹脂層４を有すると共に内部に電気部品１０が埋設されない少なくとも一枚のシート材１３とを用い、ビルドアップ工法により多層化とビアホール形成を行うことを特徴とするものである。

また請求項２５の発明は、請求項２２乃至２４のいずれかにおいて、シート材１３の樹脂層４を、不織布に樹脂組成物を含浸乾燥することにより形成することを特徴とするものである。

また請求項２６の発明は、請求項２１乃至２５のいずれかにおいて、最外層に金属箔９が配置されると共に内層に配置される導体回路５が全て配線板用シート材１の樹脂層４、あるいはシート材１３の樹脂層４に転写用基材６にて転写されたものとなるようにして積層一体化した後、最外層の金属箔９にエッチング処理を施すことにより導体回路５を形成することを特徴とするものである。

また請求項２７の発明は、請求項２２乃至２６のいずれかにおいて、両面に導体回路５が形成された配線板用シート材１の両面に、少なくとも一枚のシート材１３を配置すると共に最外層に金属箔９を配置して積層一体化した後、硬化後の積層体を貫通する貫通孔１９を形成すると共に貫通孔１９内にホールめっき１８を形成し、次いで最外層の金属箔９にエッチング処理を施すことにより導体回路５を形成することを特徴とするものである。

また請求項２８の発明は、請求項２２乃至２５のいずれかにおいて、両面に導体回路５が形成された配線板用シート材１の一面又は両面に、導電性ペースト８が充填された貫通孔３を有する少なくとも一枚のシート材１３を配置すると共に、更にその外層に、表面に導体回路５が設けられた転写用基材６を導体回路５とシート材１３とが対向するように配置して積層一体化した後、転写用基材６を剥離し、次いで積層体の両面に保護フィルム１２を積層した状態で硬化後の積層体を貫通する貫通孔１９を形成し、貫通孔１９内にホールめっき１８を施すと共に導電性ペースト８を充填させてから保護フィルム１２を剥離することを特徴とするものである。

また請求項２９の発明は、請求項２２乃至２５、並びに請求項２８のいずれかにおいて、両面に導体回路５が形成された配線板用シート材１の一面又は両面に、導電性ペースト８が充填された貫通孔３を有し且つ表面に導体回路５が形成された少なくとも一枚のシート材１３を配置して積層一体化し、次いで両面に保護フィルム１２を積層した状態で硬化後の積層体を貫通する貫通孔１９を形成し、貫通孔１９内にホールめっき１８を施すと共に導電性ペースト８を充填させてから保護フィルム１２を剥離することを特徴とするものである。

また請求項３０の発明は、請求項１１乃至１３のいずれかに記載の工程を経て得られた配線板用シート材１の一面又は両面に、導電性ペースト８が充填された貫通孔３を有する少なくとも一枚のシート材１３を配置すると共に、更にその外層に、表面に導体回路５が設けられた転写用基材６を導体回路５とシート材１３とが対向するように配置して積層一体化した後、転写用基材６を剥離することを特徴とするものである。

また請求項３１の発明は、請求項１１乃至１３のいずれかに記載の工程を経て得られた配線板用シート材１の一面又は両面に、導電性ペースト８が充填された貫通孔３を有し且つ表面に導体回路５が形成された少なくとも一枚のシート材１３を配置して積層一体化することを特徴とするものである。

また請求項３２の発明は、請求項１１乃至１３のいずれかに記載の工程を経て得られた配線板用シート材１の一面又は両面に、導電性ペースト８が充填された貫通孔３を有する少なくとも一枚のシート材１３を配置すると共に、更にその外層に金属箔９を配置して積層一体化した後、最外層の金属箔９にエッチング処理を施して導体回路５を形成することを特徴とするものである。

また請求項３３の発明は、請求項１１乃至１３のいずれかに記載の工程を経て得られた配線板用シート材１の一面又は両面に、導電性ペースト８が充填された貫通孔３を有し且つ一面に金属箔９が一体に積層された少なくとも一枚のシート材１３を、最外層に金属箔９が配されるように配置して積層一体化した後、最外層の金属箔９にエッチング処理を施して導体回路５を形成することを特徴とするものである。

また請求項３４の発明は、請求項１３に記載の工程を経て得られた配線板用シート材１と、導電性ペースト８が充填された貫通孔３を有する少なくとも一枚のシート材１３と用い、導電性ペースト８が充填された貫通孔３を有するシート材１３においては、貫通孔３内にホールめっきを形成しないことを特徴とするものである。

また請求項３５の発明は、請求項４又は５に記載の工程を経て得られる配線板用シート材１の、導体回路５が形成された面に、導電性ペースト８が充填された貫通孔３を有する少なくとも一枚のシート材１３を配置すると共に、更にその外層に金属箔９を配置して積層一体化した後、積層体を貫通する貫通孔１９を形成し、貫通孔１９の内面にホールめっき１８を施すと共に外層の金属箔９にエッチング処理を施して導体回路５を形成することを特徴とするものである。

また請求項３６の発明は、請求項２２乃至２５のいずれかにおいて、積層一体化後の積層体を貫通する貫通孔１９を形成し、貫通孔１９内面にホールめっき１８を施した後、この貫通孔１９内に導電性ペースト８を充填することを特徴とするものである。

また請求項３７の発明は、請求項２８又は３０において、転写用基材６が樹脂フィルムであることを特徴とするものである。

請求項３８に係る多層板は、請求項２１乃至３７のいずれかに記載の方法により製造して成ることを特徴とするものである。

上記のように請求項１に係る配線板用シート材の製造方法は、Ｂステージ状態の樹脂層の一面又は両面に、表面に導体回路が設けられると共にこの導体回路に対して電気部品が実装された転写用基材を導体回路及び電気部品と樹脂層とが対向するように積層すると共に導体回路及び電気部品を樹脂層に埋設し、転写用基材を樹脂層から剥離すると共に導体回路を樹脂層側に残存させて導体回路を樹脂層に転写して樹脂層の外面と導体回路の露出面とが面一になるように形成するため、表面が平坦に形成され、また樹脂層内に電気部品を配置すると共に、このとき樹脂層の流動によって電気部品の周囲に空隙が発生しないようにして電気部品を配置することができ、このため樹脂層を硬化成形して絶縁層を形成すると、絶縁層内に電気部品が設けられた配線板を得ることができるものであり、配線板における部品実装量を増大させることができると共に配線板からの電気部品の突出を抑制して小型化を図ることができ、更に電気部品の実装可能位置が拡大することから、配線設計の自由度も増大することができるものであり、また電気部品がその周囲に空隙が存在することなく絶縁層内に配置されることから、電気部品の周囲に空気が残存するようなことがなくなり、熱による負荷を受けた場合にも空気の熱膨張による絶縁層の割れや電気部品の破損、断線等の不良の発生を抑制することができ、また電気部品の実装量や実装位置に係わらず、樹脂層を溶融軟化させることにより流動させて任意の位置に電気部品を配することができ、煩雑な工程を経ることなく樹脂層あるいは樹脂層を硬化させた絶縁層の内部の任意の箇所に電気部品を設けることができるものである。さらに、部品を埋め込んだ多層板の表面にも他の部品を実装することができる。

また請求項２の発明は、請求項１において、転写用基材の表面に導体回路を設けると共に電気部品を実装するにあたり、転写用基材としてステンレス基材を用い、転写用基材の表面にレジスト形成後、めっき処理を施すことにより導体回路を設け、電気部品を実装し、電気部品の実装面側にアンダーフィルを充填するため、部品面積の大きな、例えばＩＣ等の能動部品、容量が大きく面積の大きなＬＣＲ部品等を固着して安定して実装することができ、接続信頼性を向上させる効果がある。また、再加熱時の半田の再溶融には、半田の流出を抑制することができる。

また請求項３の発明は、請求項１又は２において、転写用基材の表面に導体回路を設けると共に電気部品を実装するにあたり、転写用基材上に電気部品として抵抗素子及びコンデンサ素子の少なくともいずれかを印刷成形することにより電気部品を実装するため、電気部品として非常に薄い素子を形成することが可能になり薄型化を実現できる。また、電気部品を半田実装することがないので、プリント配線板加工の既存設備での加工が可能となる。さらに、印刷成形された電気部品に対してレーザによるトリミング等により容量値や抵抗値の調整を行う際に、電気部品を転写用基材上に実装した状態でレーザ加工を施すことができ、下地の破損や配線板シート材本体に対する熱による悪影響等を考慮せずに加工を行うことができるものである。

また請求項４の発明は、請求項１乃至３のいずれかにおいて、樹脂層の一面のみに転写用基材を用いて導体回路を転写して樹脂層の外面と導体回路の露出面とが面一になるように形成すると共に、樹脂層の他面に金属箔を積層一体化するため、この金属箔を多層板形成時に最外層に配置することにより、一般的なエッチング工法により回路形成をすることができる。また、表層部に実装される部品の引張り強度についても粗化処理された銅箔等を使用することにより、容易に信頼性を確保することができる。

また請求項５の発明は、請求項１又は２において、樹脂層の一面のみに転写用基材を用いて導体回路を転写して樹脂層の外面と導体回路の露出面とが面一になるように形成すると共に、樹脂層の他面に樹脂付金属箔を積層一体化するため、金属箔と樹脂層の密着性を向上することができるとともに、成形前の樹脂付金属箔の樹脂の硬化を進めておくことにより、その後の成形においても、該樹脂は流動することなく、厚みを確保することができるので精密な厚み間隔を確保することができるものである。また電気部品を埋設した樹脂層を有する配線板用シート材同士を積層して多層化する場合、配線板用シート材の金属箔を層間のアース層として形成し、層間に隣接する電気部品間の相互作用の発生を防止して、電気部品が所定の規格値の性能を発揮させるようにすることができるものである。また特に積層前の樹脂付金属箔の樹脂層の硬化をある程度進行させておくと、樹脂層の流動を抑制し、電気部品と金属箔との間の寸法を確保することが容易となり、上記の配線板用シート材同士の積層成形時には、電気部品と金属箔からなるアース層との間の距離を確保することができ、層間に隣接する電気部品間の相互作用の発生を更に確実に防止することができるものである。

また請求項６の発明は、請求項４又は５において、一面に導体回路が転写されると共に他面に金属箔が積層一体化された樹脂層の一面又は両面に保護フィルムを積層し、樹脂層、導体回路及び保護フィルムを貫通する貫通孔を形成し、保護フィルムの外面側から導電性ペーストを塗布することにより貫通孔内に導電性ペーストを充填した後に、樹脂層から保護フィルムを剥離して貫通孔から導電性ペーストが外方に突出するように形成するため、導体回路間の導通をとるビアホールを任意の位置に形成することができるものである。

また請求項７の発明は、請求項１乃至３のいずれかにおいて、両面に導体回路が転写された後の樹脂層の一面又は両面に保護フィルムを積層し、樹脂層、導体回路及び保護フィルムを貫通する貫通孔を形成し、保護フィルムの外面側から導電性ペーストを塗布することにより貫通孔内に導電性ペーストを充填した後に、樹脂層から保護フィルムを剥離して貫通孔から導電性ペーストが外方に突出するように形成するため、導体回路間の導通をとるビアホールを任意の位置に形成することができるものである。

また請求項８の発明は、請求項１乃至３のいずれかにおいて、片面に導体回路が転写された後の樹脂層の一面に保護フィルムを積層し、樹脂層、導体回路及び保護フィルムを貫通する貫通孔を形成し、保護フィルムの外面側から導電性ペーストを塗布することにより貫通孔内に導電性ペーストを充填した後に、樹脂層から保護フィルムを剥離して貫通孔から導電性ペーストが外方に突出するように形成するため、ビアホールを任意の位置に形成することができるものである。

また請求項９の発明は、請求項８に記載の方法により得られる配線板用シート材の導体回路が形成された面とは反対側の面に、金属箔を積層一体化するため、両面に金属箔と導体回路を形成すると共に、金属箔と導体回路の間の導通をとるビアホールを任意の位置に形成することができるものである。

また請求項１０の発明は、請求項８に記載の方法により得られる配線板用シート材の導体回路が形成された面とは反対側の面に、表面に導体回路が設けられた転写用基材を導体回路と樹脂層とが対向するように積層し、導体回路を樹脂層に埋設し、転写用基材を樹脂層から剥離すると共に導体回路を樹脂層側に残存させて導体回路を樹脂層に転写して樹脂層の外面と導体回路の露出面とが面一になるように形成するため、両面に導体回路を形成すると共に、導体回路間の導通をとるビアホールを任意の位置に形成することができるものである。

また請求項１１の発明は、請求項１乃至５のいずれかにおいて、一面又は両面に導体回路が転写された後の樹脂層の一面又は両面に保護フィルムを積層し、樹脂層、導体回路及び保護フィルムを貫通する貫通孔を形成し、貫通孔内面にホールめっきを施し、保護フィルムの外面側から導電性ペーストを塗布することにより貫通孔内に導電性ペーストを充填した後、樹脂層から保護フィルムを剥離して貫通孔から導電性ペーストが外方に突出するように形成するため、電気部品が埋設されることにより樹脂層の厚みが厚くなって、この樹脂層に形成されるビアホールの経路が長くなっても、ホールめっきと導電性ペーストとによってビアホールに高い導通安定性を付与することができるものである。

また請求項１２の発明は、請求項１１において、ホールめっきを無電解めっき処理のみにて形成するため、ホールめっきが過度に厚膜化することを防止し、保護フィルムの剥離の際にホールめっきが引き剥がされるようなことがないようにして、ビアホールに更に高い導通安定性を付与することができるものである。

また請求項１３の発明は、請求項１乃至５のいずれかにおいて、一面又は両面に導体回路が転写された後の樹脂層の一面又は両面に保護フィルムを積層し、樹脂層、導体回路及び保護フィルムを貫通する貫通孔を形成し、貫通孔内面にホールめっきを施し、保護フィルムの外面側から樹脂ペーストを塗布することにより貫通孔内に樹脂ペーストを充填した後、樹脂層から保護フィルムを剥離するため、電気部品が埋設されることにより樹脂層の厚みが厚くなって、この樹脂層に形成されるビアホールの経路が長くなっても、ホールめっきによってビアホールに高い導通安定性を付与することができるものである。

また請求項１４の発明は、請求項１乃至１３のいずれかにおいて、導体回路としてグランド層を形成すると共にこのグランド層を網目状に形成するため、配線板用シート材の作製時に、転写用基材と導体回路の熱膨張率が相違していても、熱による負荷を受けた際の熱応力が緩和されて、転写用基材から導体回路が不用意に剥離することを防止することができるものである。

また請求項１５の発明は、請求項１乃至１４のいずれかにおいて、転写用基材として、厚み５０〜２００μｍであり、且つ導体回路が形成される面の表面粗度Ｒａが２μｍ以下となるように表面粗化処理が施されたステンレス基材を用いるため、配線板用シート材の作製時に、導体回路を転写する際、転写用基材を撓らせながら樹脂層から容易に剥離することができるものであり、更に表面粗化処理によって転写用基材と導体回路との密着力を調整して、転写用基材から導体回路が不用意に剥離しないようにすることができると共に、導体回路の転写時には転写用基材を樹脂層から剥離する際には転写用基材から導体回路を剥離させて導体回路を樹脂層側に確実に残存させることができるものである。

また請求項１６の発明は、請求項１乃至１５のいずれかにおいて、樹脂層を、シリカ、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、酸化チタン、ホウ酸アルミニウム及び酸化マグネシウムから選ばれる少なくとも一種の無機フィラーを含有すると共にこの無機フィラーの最大粒径が１０μｍ以下である樹脂組成物にて形成するため、これらの無機フィラーは熱伝導性、誘電率、粒度分布、色調の自由度が高いことから、所望の機能を選択的に発揮させる場合に適宜粒度設計を行って、容易に高充填化を行うことができ、樹脂層、あるいはこの樹脂層から形成される絶縁層の熱膨張率を低減して、内蔵部品や導体回路を構成する材料との熱膨張率の差を小さくし、多層板の作製時や作製された多層板が熱負荷を受けて加熱された場合などにおける、反り等の変形の発生を防止することができるものである。

また請求項１７の発明は、請求項１乃至１６のいずれかにおいて、樹脂層を、無機フィラーの含有量が７０〜９５重量％であり、かつカップリング剤及び分散剤のうちの少なくとも一方が含有された樹脂組成物にて形成するため、無機フィラーを高充填すると共にその分散性を向上して、樹脂層、あるいはこの樹脂層から形成される絶縁層の熱膨張率を低減し、内蔵部品や導体回路を構成する材料との熱膨張率の差を小さくして、多層板の作製時や作製された多層板が熱負荷を受けて加熱された場合などにおける、反り等の変形の発生を防止することができるものである。

また請求項１８の発明は、請求項１乃至１７のいずれかにおいて、樹脂層を、不織布に樹脂組成物を含浸乾燥することにより得られる樹脂シートにて形成するため、非常に厚みの厚い樹脂シートを形成することができるとともに含浸乾燥時に両面から溶剤が揮発するため乾燥効率が高くコスト的にも有利である。また、不織布を使用した樹脂シートは剛性（こし）が有り、大面積のシートを取り扱う場合に強靭性があり取り扱いに有利である。さらに、不織布であるために、積層成形時に部品等の凹凸に追随して容易に樹脂が流動し、特に段差の大きい凹凸を吸収させる場合には効果的である。

また請求項１９の発明は、請求項１乃至１８のいずれかにおいて、成形後の樹脂層をＢステージ状態に維持するため、多層板の製造に好適に用いられるものであり、このとき複数の配線板用シート材、あるいは少なくとも一枚のシート材と少なくとも一枚の、Ｂステージ状態の樹脂層に導体回路又は金属箔が設けられた少なくとも一枚の他のシート材とを一括して積層成形して、多層板を得ることができる。このとき、表面が平坦であり、かつＢステージ状態の樹脂層からなるシート状の部材を積層していることから、成形過程において導体回路が形成されている箇所における絶縁層の変形が生じず、絶縁層における絶縁信頼性が高いものであり、また複数のシート状の部材を一括して積層成形することから、成形工程の簡略化が可能であって成形に煩雑な手間や時間がかからないようになり、且つ成形時に各層の導体回路に熱履歴の相違が生じなくなり、熱履歴の相違による導体回路の収縮率に基づく補正が不要となるものである。また、絶縁層に対して任意の箇所に導体回路を形成することができて配線設計の自由度が高く、更にビアホールを形成した配線板用シート材や他のシート材を用いるとビアホールを任意の位置に形成することができ、ビアオンビア構造やパッドオンビア構造を容易に形成することができ、回路の微細化・高密度化が容易なものとなって配線板の小型化、薄型化を達成することができ、また信号経路の短縮化もできるものである。

請求項２０に係る配線板用シート材は、請求項１乃至１９のいずれかに記載の方法により製造するため、表面が平坦に形成され、また樹脂層内に電気部品を配置すると共に、このとき樹脂層の流動によって電気部品の周囲に空隙が発生しないようにして電気部品を配置することができ、このため樹脂層を硬化成形して絶縁層を形成すると、絶縁層内に電気部品が設けられた配線板を得ることができるものであり、配線板における部品実装量を増大させることができると共に配線板からの電気部品の突出を抑制して小型化を図ることができ、更に電気部品の実装可能位置が拡大することから、配線設計の自由度も増大することができるものであり、また電気部品がその周囲に空隙が存在することなく絶縁層内に配置されることから、電気部品の周囲に空気が残存するようなことがなくなり、熱による負荷を受けた場合にも空気の熱膨張による絶縁層の割れや電気部品の破損、断線等の不良の発生を抑制することができ、また電気部品の実装量や実装位置に係わらず、樹脂層を溶融軟化させることにより流動させて任意の位置に電気部品を配することができ、煩雑な工程を経ることなく樹脂層あるいは樹脂層を硬化させた絶縁層の内部の任意の箇所に電気部品を設けることができるものである。さらに、部品を埋め込んだ多層板の表面にも他の部品を実装することができる。

請求項２１に係る多層板の製造方法は、請求項２０に記載の複数の配線板用シート材を一体に積層成形するため、絶縁層内に電気部品が設けられた多層板を得ることができるものであり、多層板における部品実装量を増大させることができると共に多層板からの電気部品の突出を抑制して小型化を図ることができ、更に電気部品の実装可能位置が拡大することから、配線設計の自由度も増大することができるものであり、また電気部品がその周囲に空隙が存在することなく絶縁層内に配置されることから、電気部品の周囲に空気が残存するようなことがなくなり、熱による負荷を受けた場合にも空気の熱膨張による絶縁層の割れや電気部品の破損、断線等の不良の発生を抑制することができ、また電気部品の実装量や実装位置に係わらず任意の位置に電気部品を配することができ、煩雑な工程を経ることなく絶縁層の内部の任意の箇所に電気部品を設けることができるものである。さらに、部品を埋め込んだ多層板の表面にも他の部品を実装することができるものである。また表面が平坦なシート状の部材を積層していることから、成形過程において導体回路が形成されている箇所における絶縁層の変形が生じず、絶縁層における絶縁信頼性が高いものである。また得られた多層板は高度なＬＣＲ機能内蔵の多層の配線板として形成することができるものであり、ＲＦモジュールやブルートゥースモジュール等の小型高周波モジュール等のマイクロエレクトロニクス分野において活用されることが期待できるものである。

請求項２２に係る多層板の製造方法は、請求項２０に記載の少なくとも一枚の配線板用シート材とＢ及び／又はＣステージ状態の樹脂層を有すると共に内部に電気部品が埋設されない少なくとも一枚のシート材とを一体に積層成形するため、絶縁層内に電気部品が設けられた多層板を得ることができるものであり、多層板における部品実装量を増大させることができると共に多層板からの電気部品の突出を抑制して小型化を図ることができ、更に電気部品の実装可能位置が拡大することから、配線設計の自由度も増大することができるものであり、また電気部品がその周囲に空隙が存在することなく絶縁層内に配置されることから、電気部品の周囲に空気が残存するようなことがなくなり、熱による負荷を受けた場合にも空気の熱膨張による絶縁層の割れや電気部品の破損、断線等の不良の発生を抑制することができ、また電気部品の実装量や実装位置に係わらず任意の位置に電気部品を配することができ、煩雑な工程を経ることなく絶縁層の内部の任意の箇所に電気部品を設けることができるものである。さらに、部品を埋め込んだ多層板の表面にも他の部品を実装することができるものである。また表面が平坦なシート状の部材を積層していることから、成形過程において導体回路が形成されている箇所における絶縁層の変形が生じず、絶縁層における絶縁信頼性が高いものである。また得られた多層板は高度なＬＣＲ機能内蔵の多層の配線板として形成することができるものであり、ＲＦモジュールやブルートゥースモジュール等の小型高周波モジュール等のマイクロエレクトロニクス分野において活用されることが期待できるものである。

また請求項２３の発明は、請求項２２において、請求項２０に記載の少なくとも一枚の配線板用シート材とＢステージ状態の樹脂層を有すると共に内部に電気部品が埋設されない少なくとも一枚のシート材とを積層して配置し、この状態で一括成形するため、複数のシート状の部材を一括して積層成形することから、成形工程の簡略化が可能であって成形に煩雑な手間や時間がかからないようになり、且つ成形時に各層の導体回路に熱履歴の相違が生じなくなり、熱履歴の相違による導体回路の収縮率に基づく補正が不要となるものである。

また請求項２４の発明は、請求項２２において、請求項２０に記載の少なくとも一枚の配線板用シート材とＢ及び／又はＣステージ状態の樹脂層を有すると共に内部に電気部品が埋設されない少なくとも一枚のシート材とを用い、ビルドアップ工法により多層化とビアホール形成を行うため、コア部となるシート材料に種々の種類のものを用いることにより、一般的なビルドアップ工法を使用して積層成形し、レーザー加工、めっき等によりビア形成し、接続信頼性の高い多層板を作製することが可能である。例えば、コア部として電気部品が内蔵された配線板用シート材を用いれば、それをコア材として使用し、ビルドアップ工法により、容易に部品内蔵基板を作成することができる。

また請求項２５の発明は、請求項２２乃至２４のいずれかにおいて、シート材の樹脂層を、不織布に樹脂組成物を含浸乾燥することにより形成するため、非常に厚みの厚い樹脂シートを形成することができるとともに含浸乾燥時に両面から溶剤が揮発するため乾燥効率が高くコスト的にも有利である。また、不織布を使用した樹脂シートは剛性（こし）が有り、大面積のシートを取り扱う場合に強靭性があり取り扱いに有利である。さらに、不織布であるために、積層成形時に部品等の凹凸に追随して樹脂が容易に流動し、特に段差の大きい凹凸を吸収させる場合には効果的である。更に、多層化した時の強度を、不織布を混入させることにより向上させることが容易で、ＦＲ−４等のようにガラスクロスを使用した多層板の強度に近い強度を確保すること可能であり、大面積の基板の加工にも効果的である。さらに、不織布としてウイスカー状の繊維を使用する場合には低熱膨張率化にも効果的である。

また請求項２６の発明は、請求項２１乃至２５のいずれかにおいて、最外層に金属箔が配置されると共に内層に配置される導体回路が全て配線板用シート材の樹脂層、あるいはシート材の樹脂層に転写用基材にて転写されたものとなるようにして積層一体化した後、最外層の金属箔にエッチング処理を施すことにより導体回路を形成するため、最外層に形成される導体回路のピール強度が向上、ランド強度が増し、この外層の導体回路に部品を実装する際の保持能力を向上することができるものである。

また請求項２７の発明は、請求項２２乃至２６のいずれかにおいて、両面に導体回路が形成された配線板用シート材の両面に、少なくとも一枚のシート材を積層すると共に最外層に金属箔を配置して積層一体化した後、硬化後の積層体を貫通する貫通孔を形成すると共に貫通孔内にホールめっきを形成し、次いで最外層の金属箔にエッチング処理を施すことにより導体回路を形成するため、積層成形後に更に多層板全体を貫通するスルーホールを形成することができて配線設計の自由度を更に向上することができ、且つホールめっきによりスルーホールの高い導通安定性を確保することができるものであり、また最外層に形成される導体回路のピール強度が向上、ランド強度が増し、この外層の導体回路に部品を実装する際の保持能力を向上することができるものである。

また請求項２８の発明は、請求項２２乃至２５のいずれかにおいて、両面に導体回路が形成された配線板用シート材の一面又は両面に、導電性ペーストが充填された貫通孔を有する少なくとも一枚のシート材を配置すると共に、更にその外層に、表面に導体回路が設けられた転写用基材を導体回路とシート材とが対向するように配置して積層一体化した後、転写用基材を剥離し、次いで積層体の両面に保護フィルムを積層した状態で硬化後の積層体を貫通する貫通孔を形成し、貫通孔内にホールめっきを施すと共に導電性ペーストを充填させてから保護フィルムを剥離するため、両側の最外層にそれぞれ絶縁層に埋設されると共にその表面に露出する導体回路が設けられると共に、内層にも転写用基材による転写により形成された導体回路が設けられ、また各層間を導通するビアホールを形成することができるものである。また、ビアホールが形成された絶縁層に対して任意の箇所に導体回路を形成することができて配線設計の自由度が高く、ビアオンビア構造やパッドオンビア構造を容易に形成することができ、回路の微細化・高密度化が容易なものとなって配線板の小型化、薄型化を達成することができ、また信号経路の短縮化もできるものである。また積層成形後に更に多層板全体を貫通するスルーホールを形成することができて配線設計の自由度が更に向上しているものである。またこのスルーホールは、ホールめっきと導電性ペーストとによって導電性が確保されていることから、導通信頼性が高いものである。

また請求項２９の発明は、請求項２２乃至２５、並びに請求項２８のいずれかにおいて、両面に導体回路が形成された配線板用シート材の一面又は両面に、導電性ペーストが充填された貫通孔を有し且つ表面に導体回路が形成された少なくとも一枚のシート材を配置して積層一体化し、次いで両面に保護フィルムを積層した状態で硬化後の積層体を貫通する貫通孔を形成し、貫通孔内にホールめっきを施すと共に導電性ペーストを充填させてから保護フィルムを剥離するため、両側の最外層にそれぞれ絶縁層に埋設されると共にその表面に露出する導体回路が設けられると共に、内層にも転写用基材による転写により形成された導体回路が設けられ、また各層間を導通するビアホールを形成することができるものである。また、ビアホールが形成された絶縁層に対して任意の箇所に導体回路を形成することができて配線設計の自由度が高く、ビアオンビア構造やパッドオンビア構造を容易に形成することができ、回路の微細化・高密度化が容易なものとなって配線板の小型化、薄型化を達成することができ、また信号経路の短縮化もできるものである。また積層成形後に更に多層板全体を貫通するスルーホールを形成することができて配線設計の自由度が更に向上しているものである。またこのスルーホールは、ホールめっきと導電性ペーストとによって導電性が確保されていることから、導通信頼性が高いものである。

また請求項３０の発明は、請求項１１乃至１３のいずれかに記載の工程を経て得られた配線板用シート材の一面又は両面に、導電性ペーストが充填された貫通孔を有する少なくとも一枚のシート材を配置すると共に、更にその外層に、表面に導体回路が設けられた転写用基材を導体回路とシート材とが対向するように配置して積層一体化した後、転写用基材を剥離するため、両側の最外層にそれぞれ絶縁層に埋設されると共にその表面に露出する導体回路が設けられると共に、内層にも転写用基材による転写により形成された導体回路が設けられ、また各層間を導通するビアホールが形成されるものである。また特に電気部品が埋設された絶縁層においては、ビアホールの導通がホールめっきにより確保されて、優れた導通安定性を有するものである。また、ビアホールが形成された絶縁層に対して任意の箇所に導体回路を形成することができて配線設計の自由度が高く、ビアオンビア構造やパッドオンビア構造を容易に形成することができ、回路の微細化・高密度化が容易なものとなって配線板の小型化、薄型化を達成することができ、また信号経路の短縮化もできるものである。

また請求項３１の発明は、請求項１１乃至１３のいずれかに記載の工程を経て得られた配線板用シート材の一面又は両面に、導電性ペーストが充填された貫通孔を有し且つ表面に導体回路が形成された少なくとも一枚のシート材を配置して積層一体化するため、両側の最外層にそれぞれ絶縁層に埋設されると共にその表面に露出する導体回路が設けられると共に、内層にも転写用基材による転写により形成された導体回路が設けられ、また各層間を導通するビアホールが形成されるものである。また特に電気部品が埋設された絶縁層においては、ビアホールの導通がホールめっきにより確保されて、優れた導通安定性を有するものである。また、ビアホールが形成された絶縁層に対して任意の箇所に導体回路を形成することができて配線設計の自由度が高く、ビアオンビア構造やパッドオンビア構造を容易に形成することができ、回路の微細化・高密度化が容易なものとなって配線板の小型化、薄型化を達成することができ、また信号経路の短縮化もできるものである。

また請求項３２の発明は、請求項１１乃至１３のいずれかに記載の工程を経て得られた配線板用シート材の一面又は両面に、導電性ペーストが充填された貫通孔を有する少なくとも一枚のシート材を配置すると共に、更にその外層に金属箔を配置して積層一体化した後、最外層の金属箔にエッチング処理を施して導体回路を形成するため、最外層に金属箔のエッチング処理により形成された導体回路が設けられると共に、内層には転写用基材による転写により形成された導体回路が設けられ、また各層間を導通するビアホールが形成されるものである。また、ビアホールが形成された絶縁層に対して任意の箇所に導体回路を形成することができて配線設計の自由度が高く、ビアオンビア構造やパッドオンビア構造を容易に形成することができ、回路の微細化・高密度化が容易なものとなって配線板の小型化、薄型化を達成することができ、また信号経路の短縮化もできるものである。また外層の導体回路を、絶縁層の形成後における、金属箔のエッチング処理により形成したことから、この外層の導体回路のピール強度が向上、ランド強度が増し、この外層の導体回路に部品を実装する際の保持能力が向上するものである。

また請求項３３の発明は、請求項１１乃至１３のいずれかに記載の工程を経て得られた配線板用シート材の一面又は両面に、導電性ペーストが充填された貫通孔を有し且つ一面に金属箔が一体に積層された少なくとも一枚のシート材を、最外層に金属箔が配されるように配置して積層一体化した後、最外層の金属箔にエッチング処理を施して導体回路を形成するため、最外層に金属箔のエッチング処理により形成された導体回路が設けられると共に、内層には転写用基材による転写により形成された導体回路が設けられ、また各層間を導通するビアホールが形成されるものである。また、ビアホールが形成された絶縁層に対して任意の箇所に導体回路を形成することができて配線設計の自由度が高く、ビアオンビア構造やパッドオンビア構造を容易に形成することができ、回路の微細化・高密度化が容易なものとなって配線板の小型化、薄型化を達成することができ、また信号経路の短縮化もできるものである。また外層の導体回路を、絶縁層の形成後における、金属箔のエッチング処理により形成したことから、この外層の導体回路のピール強度が向上、ランド強度が増し、この外層の導体回路に部品を実装する際の保持能力が向上するものである。

また請求項３４の発明は、請求項１３に記載の工程を経て得られた配線板用シート材と、導電性ペーストが充填された貫通孔を有する少なくとも一枚のシート材と用い、導電性ペーストが充填された貫通孔を有するシート材においては、貫通孔内にホールめっきを形成しないため、絶縁層に電気部品が埋設されることにより電気部品の厚み分だけ絶縁層の厚みが厚くなってビアホールの経路が長くなる箇所においては、このビアホールの導通をホールめっきにて確保することにより、ビアホールの導通信頼性を確保することができ、また電気部品が埋設されず、絶縁層を薄膜に形成してビアホールの経路を短くする箇所においては、導電性ペーストのみにてビアホールの導通信頼性を確保することができるものである。

また請求項３５の発明は、請求項４又は５に記載の工程を経て得られる配線板用シート材の、導体回路が形成された面に、導電性ペーストが充填された貫通孔を有する少なくとも一枚のシート材を配置すると共に、更にその外層に金属箔を配置して積層一体化した後、積層体を貫通する貫通孔を形成し、貫通孔の内面にホールめっきを施すと共に外層の金属箔にエッチング処理を施して導体回路を形成するため、両側の最外層にそれぞれ金属箔のエッチング処理により形成された導体回路が設けられると共に、内層には転写用基材による転写により形成された導体回路が設けられ、また各層間を導通するビアホールが形成されるものである。また、ビアホールが形成された絶縁層に対して任意の箇所に導体回路を形成することができて配線設計の自由度が高く、ビアオンビア構造やパッドオンビア構造を容易に形成することができ、回路の微細化・高密度化が容易なものとなって配線板の小型化、薄型化を達成することができ、また信号経路の短縮化もできるものである。また外層の導体回路を、樹脂層の硬化による絶縁層の形成後における、金属箔のエッチング処理により形成したことから、この外層の導体回路のピール強度が向上、ランド強度が増し、この外層の導体回路に部品を実装する際の保持能力が向上するものである。また積層成形後に更に多層板全体を貫通するスルーホールを形成することができて配線設計の自由度が更に向上しているものであり、且つホールめっきによりスルーホールの高い導通安定性を確保することができるものである。

また請求項３６の発明は、請求項２２乃至２５のいずれかにおいて、積層一体化後の積層体を貫通する貫通孔を形成し、貫通孔内面にホールめっきを施した後、この貫通孔内に導電性ペーストを充填するため、積層成形後に更に多層板全体を貫通するスルーホールを形成することができて配線設計の自由度が更に向上しているものであり、且つホールめっきと導電性ペーストの併用によりスルーホールの高い導通安定性を確保することができるものである。

また請求項３７の発明は、請求項２８又は３０において、転写用基材として樹脂フィルムを用いるものであり、多層板の成形時には転写用基材には電気部品は実装されないため、過度の耐熱性は必要とされず、このため転写用基材を樹脂フィルムにて形成することができるものである。

請求項３８に係る多層板は、請求項２１乃至３７のいずれかに記載の方法により製造するため、絶縁層内に電気部品が設けられた多層板を得ることができるものであり、多層板における部品実装量を増大させることができると共に多層板からの電気部品の突出を抑制して小型化を図ることができ、更に電気部品の実装可能位置が拡大することから、配線設計の自由度も増大することができるものであり、また電気部品がその周囲に空隙が存在することなく絶縁層内に配置されることから、電気部品の周囲に空気が残存するようなことがなくなり、熱による負荷を受けた場合にも空気の熱膨張による絶縁層の割れや電気部品の破損、断線等の不良の発生を抑制することができ、また電気部品の実装量や実装位置に係わらず任意の位置に電気部品を配することができ、煩雑な工程を経ることなく絶縁層の内部の任意の箇所に電気部品を設けることができるものである。さらに、部品を埋め込んだ多層板の表面にも他の部品を実装することができるものである。また表面が平坦なシート状の部材を積層していることから、成形過程において導体回路が形成されている箇所における絶縁層の変形が生じず、絶縁層における絶縁信頼性が高いものである。また得られた多層板は高度なＬＣＲ機能内蔵の多層の配線板として形成することができるものであり、ＲＦモジュールやブルートゥースモジュール等の小型高周波モジュール等のマイクロエレクトロニクス分野において活用されることが期待できるものである。

以下、本発明の実施の形態を説明する。

配線板用シート材１は、Ｂステージ状態の樹脂層４に、転写用基材６に設けられた導体回路５を転写すると共にこの導体回路５に実装された電気部品１０を樹脂層４内に埋設することにより作製される。

図１２（ａ）に、転写用基材６の一面に導体回路５を設けた様子を示す。導体回路５を転写用基材６に形成する方法は特に限定されず、転写用基材６に銅箔等の金属箔を貼着した後にエッチング処理を施して導体回路５を形成することもできるが、特に導体回路５の形成を電解銅めっきなどによるパターンめっきにより行うと、微細な導体回路５を容易に形成することができ、また両面が平滑な導体回路５を容易に形成することができて、最終的に得られる配線板の高周波損失を低減し、高周波信頼性を向上することができる。この導体回路５は、厚み５〜３５μｍに形成することが好ましい。

めっき処理による導体回路５の形成時は、例えば転写用基材６の表面にめっきレジストを形成後、めっき処理を施すことにより転写用基材６に導体回路５を設けた後、めっきレジストを剥離することにより行われる。

めっきレジストの形成は、感光性のドライフィルムやレジストインク等を用いた一般的な手法により行うことができる。まためっき処理による導体回路５の形成は、銅、ニッケル、金等からなるめっき被膜を一般的な手法により形成して行うことができる。

このように導体回路５をめっき処理により形成する場合には、後述する導体回路５の転写時における樹脂層４や絶縁層１６と導体回路５との密着性を向上するために、高周波特性を損なわない程度に表面処理を施すことが好ましい。このような表面処理としては、例えば黒化処理、アルマイト処理等による粗面化処理を挙げることができる。

このように転写用基材６に設けられた導体回路５には、図１２（ｂ）に示すように、その所定位置に電気部品１０を実装する。この電気部品１０としては、チップ状抵抗体、チップ状コンデンサ、チップ状インダクタ等のような受動部品を実装することができるものであり、このときチップ状部品は半田１４にて導体回路５に接続して実装することができる。また電気部品１０としては、シリコンベアチップ等の半導体ベアチップのような能動部品を実装することもでき、この場合は、半導体ベアチップを半田ボール等により導体回路５に接続し、アンダーフィルを充填硬化して実装することができる。アンダーフィルとしては、一般的に用いられるエポキシ樹脂組成物等からなるものを用いることができる。

尚、電気部品１０の実装は半田１４によるものには限られず、導電性ペーストを用いて実装することもできるが、半田１４による接続の方が実装信頼性が高い。

また、電気部品１０を実装するにあたり、導体回路５が形成された転写用基材６上の所定箇所に、電気部品１０として抵抗素子及びコンデンサ素子の少なくともいずれかを印刷成形することもできる。例えば抵抗素子（印刷抵抗）を印刷成形する場合には、熱硬化性樹脂中に金属粉を混入するなどしたペースト状の抵抗材料を印刷した後、加熱することにより、高容量の素子を形成することができる。またコンデンサ素子を印刷成形する場合には熱硬化性樹脂中に高誘電率フィラーとして、チタン酸バリウム等を混入するなどしたペースト状の誘電材料を印刷した後、加熱することにより高容量の素子を形成することができる。特に、ペーストの樹脂分を焼成して揮散させることによりセラミック状にして、より高い誘電素子を形成することができる。

このように電気部品１０を印刷成形する場合には、非常に薄い素子を形成することが可能になり薄型化を実現できる。また、電気部品１０を半田実装することがないので、プリント配線板加工の既存設備での加工が可能となる。

また、印刷成形された電気部品１０に対しては、レーザによるトリミング等により容量値や抵抗値の調整が行われるが、この場合、ＦＲ−４タイプ等の配線板上に直接印刷成形する場合、熱による基板の破損や、熱収縮、熱劣化等による基板の信頼性低下などの、悪影響が生じるおそれがある。これに対して、電気部品１０を転写用基材６上に印刷成形すると、電気部品１０を転写用基材６上に実装した状態でレーザ加工を施すことができ、下地の破損や配線板用シート材１本体に対する熱による悪影響等を考慮せずに加工を行うことができるものである。

上記の導体回路５は、転写用基材６と導体回路５との間の密着強度（剥離強度）が好ましくは０．０９８〜１．９６ｍＮ／ｃｍ（１０〜２００ｇｆ／ｃｍ）、更に好ましくは０．２９４〜０．８８２ｍＮ／ｃｍ（３０〜９０ｇｆ／ｃｍ）となるように形成するものであり、このようにすると、転写用基材６と導体回路５との間に充分に密着性が得られると共に、樹脂層４や絶縁層１６に導体回路５を転写する際における、導体回路５からの転写用基材６の剥離性が高められる。また、半田１４を用いた接続を行う場合、転写用基材６の耐熱性が高く、かつ半田１４による接続時に加熱を受けた場合に転写用基材６から導体回路５が剥離することが防止されて、半田１４による実装が容易に行え、電気部品１０と導体回路５との間に高い接続信頼性を得ることができる。この密着強度が小さすぎると、導体回路５と転写用基材６との間の密着性が不充分となり、またこの密着強度が大きすぎると転写用基材６から樹脂層４に導体回路５を転写する際に導体回路５と転写用基材６とを完全に剥離することができなくなるおそれがある。

上記の転写用基材６としては、金属基材を用いることが好ましく、特にステンレス基材を用いると、ステンレスは銅などの金属からなる導体回路５や、樹脂層４との密着性が低いことから、導体回路５の転写時における樹脂層４及び導体回路５からの剥離性が高くなり、導体回路５を樹脂層４に容易に転写することができる。ステンレス基材としては、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３０１が好ましいが、特にＳＵＳ３０１がめっき密着性の点から優れている。

ステンレス基材を用いる場合には、厚みは５０〜２００μｍであることが好ましく、特に１００μｍ程度であると取扱性が良好である。すなわち、厚み５０〜２００μｍ、特に厚み１００μｍのステンレス基材を用いている場合には、転写用基材６は高い靱性を有すると共に適度な撓りやすさを有し、後述するように導体回路５の転写にあたって転写用基材６を樹脂層４から剥離させる際に、転写用基材６を撓らせながら、樹脂層４が湾曲することなく、転写用基材６を容易に剥離することができて、取扱性が良好なものである。また、このようにステンレス基材を用いると、転写用基材６の靱性が高くなって、電気部品１０を多数実装する場合でも取扱性が良好となり、例えば電気部品１０を導体回路５に多数実装する場合のリフロー炉への搬入、取り出し等の作業が容易に行える。また、導体回路５の形成や電気部品１０の実装時に表面が汚れた場合でも、導体回路５形成後や、あるいは電気部品１０の実装後に、脱脂等により容易に洗浄ができて、樹脂層４に汚れが転写されないようにして信頼性の低下を防ぐことができる。

このようなステンレス基材を用いる場合には、めっき処理などによる転写用基材６への導体回路５の形成時における転写用基材６と導体回路５との密着性をある程度確保して、半田リフロー加熱時等に転写用基材６から導体回路５が不用意に剥離しないようにすると共に、導体回路５の転写時に転写用基材６を樹脂層４から剥離する際には転写用基材６から導体回路５を剥離させて導体回路５を樹脂層４側に確実に残存させるために、転写用基材６に対して、導体回路５が形成される面に、硝酸とフッ酸との混酸や、あるいは塩化第二鉄溶液等のエッチング液によりソフトエッチング処理を施すなどの化学研磨による粗化処理を施して転写用基材６と導体回路５との間の密着強度を調整することが好ましく、このような処理により、好ましくは転写用基材６の表面粗度Ｒａを２μｍ以下、特に好ましくは表面粗度Ｒａを０．１〜０．５μｍに形成するものである。

また、給電用又は接地用の導体回路５を形成する場合には、転写用基材６に対して導体回路５を面状に形成しても良いが、より好ましくは導体回路５を網目状に形成するものであり、このようにすると、ステンレス基材等からなる転写用基材６と銅等からなる導体回路５の熱膨張率が相違していても、熱による負荷を受けた際の熱応力が緩和されて、転写用基材６から導体回路５が不用意に剥離することを防止することができる。

図１３は、転写用基材６に、網目状のグランド層５ａを設けた様子を示すものであり、図示の例では、導体回路５として、網目状のグランド層５ａと、通常の回路５ｂとが併設されている。

一方、樹脂層４を形成するための樹脂組成物は、樹脂成分と無機フィラーとを含有するものであり、樹脂成分としては熱硬化性樹脂を含有すると共に、必要に応じて硬化剤、硬化促進剤、表面処理剤等が配合される。また粘度調整のために溶剤を配合することもできる。

熱硬化性樹脂としては、特に限定はしないが、既知のエポキシ樹脂、フェノール樹脂、シアネート樹脂等が挙げられるものであり、これらのうち一種又は二種以上を用いることができる。また、難燃性を付与するためには、熱硬化性樹脂とは別に添加型の難燃剤を加えても良いが、特に熱硬化性樹脂の一部又は全部として臭素化されたものや、リン変性されたものを用いると、充分な耐熱性や機械的強度を維持しつつ、難燃性の向上が図れる。

硬化剤や硬化促進剤を配合する場合は、特に制限されるものではなく、使用する熱硬化性樹脂に応じた適宜のものが、適当量配合される。例えば熱硬化性樹脂としてエポキシ樹脂を配合する場合には、硬化剤としてフェノールノボラック樹脂やジシアンジアミド等のような公知のエポキシ樹脂の硬化剤を配合することができ、また硬化促進剤として２−エチル−４−メチルイミダゾールやトリフェニルホスフィン等のような公知の硬化促進剤を配合することができる。

また表面処理剤としては、シラン系カップリング剤、チタネート系カップリング剤等の適宜のカップリング剤や、りん酸エステル系分散剤、エーテルアミン系分散剤等の適宜の分散剤等を配合することができる。

また溶剤は低沸点のものを使用することが好ましく、この場合、樹脂組成物中に混合する混合溶剤として使用することにより、樹脂組成物から形成される乾燥後の樹脂層４の表面形状が良好となる。このような溶剤としては、特にメチルエチルケトン、アセトン等を使用することが好ましい。高沸点溶剤を用いる場合には、乾燥時に充分揮発せず残留する可能性が高く、樹脂層４を硬化して形成される絶縁層１６の電気絶縁性や機械的強度の低下の原因となるおそれがある。

無機フィラーは樹脂組成物中に高充填することにより、樹脂組成物にて形成される樹脂層４、及びこの樹脂層４を硬化成形して得られる絶縁層１６の熱膨張率を低減し、配線板の成形時における導体回路５を構成する金属や電気部品１０との熱膨張係数の整合性を向上することができる。このとき無機充填剤の配合量は、好ましくは組成物中の溶剤を除く全量に対して８０〜９５質量％とするものであり、このようにすれば、絶縁層１６の熱膨張係数が２０ｐｐｍ／℃以下となって良好な低熱膨張性を有し、導体回路５を構成する金属や電気部品１０との熱膨張係数の整合性が一層良好となって、熱による負荷を受けた際に、絶縁層１６と導体回路５との剥離や、電気部品１０の破損、断線等の不良の発生を防止することができる。

無機フィラーとしては、酸化アルミニウム（Ａｌ_２Ｏ_３）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、窒化ホウ素（ＢＮ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、シリカ（ＳｉＯ_２）、酸化チタン（ＴｉＯ_２）、ホウ酸アルミニウム（９Ａｌ_２Ｏ_３・２Ｂ_２Ｏ_３）等を用いることができ、これらのものを一種単独で、あるいは二種以上を組み合わせて用いることができる。これらの無機フィラーは熱伝導性、誘電率、粒度分布、色調の自由度が高いことから、所望の機能を選択的に発揮させる場合に適宜粒度設計を行って、容易に高充填化を行うことができ、特に無機フィラーとして最大粒径が１０μｍ以下のものを用いると、貫通孔３の形成のためのレーザー加工、ドリル加工時の孔形状や磨耗を良好に保つことができる。また、樹脂シートを５０μｍ以下の薄膜とする場合にも良好な外観を得ることができる。

また、組成物中における無機フィラーの分散性を向上させるために、エポキシシラン系カップリング剤、チタネート系カップリング剤等の適宜のカップリング剤や、りん酸エステル系分散剤、エーテルアミン系分散剤等の適宜の分散剤等を添加することが好ましい。

また、流動性を調整したり、樹脂層４やその硬化物である絶縁層１６の割れ防止のために、フェノキシ樹脂等の熱可塑性樹脂を配合することもできる。

熱硬化性樹脂組成物は、上記のような各成分を混練機を用いてスラリー化し、最適な粘度に調整することによって得ることができる。

樹脂層４を形成するためのキャリア基材７としては、ＰＥＴフィルム等の合成樹脂フィルムを用いることができ、また金属箔を用いることもできる。金属箔を用いる場合には、キャリア基材７を樹脂層４から剥離する際の剥離性を向上するために、樹脂層４が形成される面を鏡面状に形成することが好ましい。このような金属箔としては、レーザ加工時に貫通孔３を形成可能な材質が選択され、圧延銅箔、電解銅箔、アルミニウム箔、金属合金箔、金属クラッド箔等を用いることが好ましい。

このキャリア基材７の一面に、樹脂層４の形成用の樹脂シート４ａを形成する。樹脂シート４ａを形成するにあたっては、まず図１４（ａ）に示すように、キャリア基材７の一面に上記の樹脂組成物を塗布し、加熱乾燥することにより半硬化状態（Ｂステージ状態）として、キャリア基材７の一面に樹脂シート４ａを形成する。このときの加熱乾燥条件は、樹脂組成物の組成にもよるが、１３０〜１７０℃で２〜１０分間加熱することが好ましい。また、樹脂シート４ａの厚みは５０〜３００μｍに形成することが好ましい。

そして図１４（ｂ）に示すように、形成された樹脂シート４ａから、キャリア基材７を剥離する。

また、樹脂シート４ａとしては、不織布にスラリー状の樹脂組成物を含浸乾燥させることにより形成したものを用いることもできる。不織布としては、適宜のガラス不織布、有機繊維不織布等を用いることができる。

上記のような樹脂シート４ａと、表面に転写用の導体回路５が形成されると共にこの導体回路５に電気部品１０が実装された転写用基材６とを用い、樹脂シート４ａから形成される樹脂層４に、導体回路５を転写用基材６から転写することにより、両面に導体回路５が形成されると共にこの導体回路５に実装された電気部品１０が樹脂層４に埋設された配線板用シート材１が得られる。

図１に配線板用シート材１の製造工程の一例を示す。ここでは、まず、図１（ａ）に示すように、導体回路５の形成がなされると共にこの導体回路５に電気部品１０が実装された転写用基材６を、導体回路５を形成した面が対向しあうように配置すると共に、その間に樹脂シート４ａを配置して、積層する。樹脂シート４ａは、電気部品１０の導体回路５からの突出寸法に応じて、一枚又は複数枚配される。この状態で、加熱加圧成形を行うことにより一体化する。

この成形過程においては、まず樹脂シート４ａが溶融軟化する。このとき複数の樹脂シート４ａが積層されている場合には、これらの樹脂シート４ａが一体化し、またこの溶融軟化した樹脂シート４ａが流動することにより、転写用基材６に形成された導体回路５及び導体回路５に実装された電気部品１０が、樹脂シート４ａから形成される樹脂層４中に埋設される。このとき電気部品１０の下面にアンダーフィルを充填していない場合には溶融軟化した樹脂層４が充分に流動して、電気部品１０と転写用基材６の間にも充分に樹脂が充填されるような条件で行うものであり、また成形時の圧力は、溶融軟化時の樹脂層４の流動性に応じて設定する必要があるが、例えばこの溶融軟化時の流動性が高い場合には、真空ラミネータにより容易に成形可能であり、また溶融軟化時の流動性が小さい場合には、２．９４ＭＰａ（３０ｋｇｆ／ｃｍ^２）程度まで加圧して成形することができる。また、電気部品１０が樹脂層４中に埋設させるためには、樹脂シート４ａが溶融軟化した時点から徐々に昇圧することが好ましい。また、この加熱加圧成形は、減圧下又は真空下において行うことが好ましく、この場合は内部にボイドが混入しにくくなり、信頼性が向上する。

次いで、図１（ｃ）に示すように、転写用基材６を樹脂層４から剥離すると共に、導体回路５を樹脂層４に残存させるものであり、これにより配線板用シート材１（配線板用シート材１ａ）が得られる。この配線板用シート材１ａは、樹脂層４の両側の表層に、導体回路５が樹脂層４の表面に露出するように埋設されて形成されており、樹脂層４の外面と導体回路５の露出面とが面一となって、表面が凹凸なく平坦に形成される。また、樹脂層４内には、両面の導体回路５にそれぞれ接続される電気部品１０が埋設されている。

転写用基材６の剥離は、転写用基材６を撓らせながら樹脂層４の端部から引き剥がすことにより行うことができる。この剥離後の転写用基材６は、酸洗浄等による洗浄後に、再び導体回路５を形成して、配線板用シート材１の作製に利用できる。

上記の加熱加圧成形を、樹脂層４の硬化反応が進行する条件で行うと、両面に導体回路５が設けられると共に、樹脂層４が硬化して形成される絶縁層１６内に各導体回路５に電気的に接続された電気部品１０が埋設された配線板（両面板）を得ることができる。このときの加熱温度は、樹脂層４を構成する樹脂組成物の組成にもよるが、１６０〜１８０℃の条件で行うことが好ましい。

また、上記の加熱加圧成形を、樹脂層４がＢステージ状態に維持される条件で行えば、得られる配線板用シート材１ａを、後述するように多層板１１の作製に利用することができる。このときの成形条件は、樹脂層４を構成する樹脂組成物の組成にもよるが、１００〜１４０℃の温度で２〜１０分間程度、加熱することが好ましい。また、配線板用シート材１ａを多層板成形時のコア材として用いる場合には、樹脂層４がＣステージ状態となるように形成した場合でも、多層板１１の作製に利用することができる。

図２は、配線板用シート材１の製造工程の他例を示すものであり、樹脂シート４ａと、表面に転写用の導体回路５が形成されると共に電気部品１０が実装された転写用基材６と、表面に転写用の導体回路５が形成されると共に電気部品１０が実装されていない転写用基材６とを用いて、樹脂シート４ａから形成される樹脂層４に、導体回路５を転写用基材６から転写することにより、両面に導体回路５が形成されると共に片面の導体回路５に実装された電気部品１０が樹脂層４に埋設された配線板用シート材１（配線板用シート材１ｇ）を形成している。

ここでは、まず、図２（ａ）に示すように、導体回路５が形成されると共に電気部品１０が実装された転写用基材６と、導体回路５が形成されると共に電気部品１０が実装されていない転写用基材６とを、導体回路５を形成した面が対向しあうように配置すると共に、その間に樹脂シート４ａを配置して、積層する。樹脂シート４ａは、電気部品１０の寸法に応じて、一枚又は複数枚配される。この状態で、加熱加圧成形を行うことにより一体化する。この加熱加圧成形は既述の場合と同様の条件で行うことができる。

この成形過程においては、樹脂シート４ａが溶融軟化する。このとき複数の樹脂シート４ａが積層されている場合には、これらの樹脂シート４ａが一体化し、またこの溶融軟化した樹脂シート４ａが流動することにより、転写用基材６に形成された導体回路５及び導体回路５に実装された電気部品１０が、樹脂シート４ａから形成される樹脂層４中に埋設される。

次いで、図２（ｃ）に示すように、転写用基材６を樹脂層４から剥離すると共に、導体回路５を樹脂層４に残存させるものであり、これにより配線板用シート材１（配線板用シート材１ｇ）が得られる。この配線板用シート材１ｇは、樹脂層４の両側の表層に、導体回路５が樹脂層４の表面に露出するように埋設されて形成されている。また樹脂層４の外面と導体回路５の露出面とが面一となって、表面が凹凸なく平坦に形成される。また、樹脂層４内には、片面の導体回路５に接続された電気部品１０が埋設されている。転写用基材６の剥離は、転写用基材６を撓らせながら樹脂層４の端部から引き剥がすことにより行うことができる。

上記の加熱加圧成形を、樹脂層４の硬化反応が進行する条件で行うと、片面に導体回路５が設けられると共に、樹脂層４が硬化して形成される絶縁層１６内に導体回路５に電気的に接続された電気部品１０が埋設された配線板（両面板）を得ることができる。このときの加熱温度は、既述の場合と同様の条件とすることができる。

また、上記の加熱加圧成形を、樹脂層４がＢステージ状態に維持される条件で行えば、得られる配線板用シート材１ｇを、後述するように多層板１１の作製に利用することができる。このときの成形条件は、既述の場合と同様の条件とすることができる。また、配線板用シート材１ｇを多層板成形時のコア材として用いる場合には、樹脂層４がＣステージ状態となるように形成した場合でも、多層板１１の作製に利用することができる。

また、図１（ｃ）、図２（ｃ）に示すように、樹脂層４から転写用基材６を剥離した後に、更に導電性材料２が充填された貫通孔３を形成して、配線板用シート材１（配線板用シート材１ｂ）を得ることもできる。この工程の一例を図３に示す。

ここでは、図１（ｃ）に示すものにおいて、まず図３（ａ）のように、導体回路５が転写された樹脂層４の一面に、保護フィルム１２を積層して配置する。保護フィルム１２としては、ＰＥＴフィルム等の合成樹脂フィルムを用いることができ、また金属箔を用いることもできる。金属箔を用いる場合には、保護フィルム１２を樹脂層４から剥離する際の剥離性を向上するために、樹脂層４が形成される面を鏡面状に形成することが好ましい。このような金属箔としては、レーザ加工時に貫通孔３が形成可能な材質が選択され、圧延銅箔、電解銅箔、アルミニウム箔、金属合金箔、金属クラッド箔等を用いることが好ましく、その表面に接着剤が塗布されているものが好ましい。

次いで、図３（ｂ）に示すように、レーザ加工により樹脂層４の所定のビアホールの形成位置に貫通孔３の形成がなされる。この貫通孔３は、樹脂層４、保護フィルム１２、及び樹脂層４の両面の導体回路５の所定箇所を貫通するように形成される。このときレーザ光を保護フィルム１２側から照射することにより、樹脂層４や導体回路５に直接レーザ光が照射されないようにして、レーザ光による保護フィルム１２と樹脂層４の層間の剥離を防止することができる。

貫通孔３の形成後は、図３（ｃ）に示すように、保護フィルム１２の外面側から貫通孔３内に導電性材料２を充填する。この導電性材料２としては、導電性ペースト８を用いることができ、例えば銀粉や銅粉等の導電性粉体を熱硬化性樹脂組成物中に混合したものが用いられる。導電性ペースト８の充填にあたっては、保護フィルム１２の外面に導電性ペースト８を塗布することによって、貫通孔３の開口から貫通孔３内に導電性ペースト８が充填されるようにする。このとき保護フィルム１２によって樹脂層４の外面には導電性ペースト８が付着されないように保護されるものであり、次いで導電性ペースト８の充填後に、図３（ｄ）に示すように外面に導電性ペースト８が付着した保護フィルム１２を樹脂層４側から剥離することにより、貫通孔３内に導電性ペースト８が充填されると共に樹脂層４及び導体回路５の外面には導電性ペースト８が付着されていない状態となる。また保護フィルム１２の貫通孔３に充填されていた導電性ペースト８が残存することから、保護フィルム１２が貼着されていた側の面では樹脂層４の貫通孔３から導電性ペースト８が外方に突出するように形成される。

ここで、電気部品１０が実装された導体回路５を樹脂層４に転写した後に、導電性材料２が充填された貫通孔３を形成するのは、電気部品１０が実装された導体回路５を樹脂層４に転写する際には電気部品１０が樹脂層４に埋設されるのに伴って樹脂層４が流動し、このとき貫通孔３が形成されている場合には貫通孔３の形状が大きく変形するおそれがあるためであり、このようなビアホール形成用の貫通孔３の変形を防止するために、樹脂層４に電気部品１０が埋設された後に貫通孔３を形成するようにしたものである。

このように形成される配線板用シート材１ｂは、樹脂層４の両側の表層に、導体回路５が樹脂層４の表面に露出するように埋設されて形成されており、また樹脂層４内には、両面の導体回路５にそれぞれ接続される電気部品１０が埋設されている。更に樹脂層４と導体回路５を貫通すると共に導電性ペースト８が充填された貫通孔３が形成されている。この配線板用シート材１ｂの表面は、樹脂層４の外面と導体回路５の露出面とが面一となって、導電性ペースト８が突出していることを除けば凹凸なく平坦に形成される。

このようにして得られる配線板用シート材１ｂは、単独で配線板の製造に供することができる。この場合は、前述の樹脂層４に対して電気部品１０が実装された導体回路５を転写する際の加熱加圧成形を、樹脂層４の硬化反応が進行する条件、あるいはこの硬化反応が進行しない条件のいずれで行っていても良く、そして得られた配線板用シート材１ｂに対して更に加熱加圧成形を行うことにより、樹脂層４がＢステージ状態のままであればこれを硬化すると共に、導電性ペースト８を硬化して、両面に導体回路５が設けられると共に、樹脂層４が硬化して形成される絶縁層１６内に各導体回路５に電気的に接続された電気部品１０が実装され、更に両面の導体回路５が貫通孔３内の導電性ペースト８が硬化することにより形成されるビアホールにて接続された、配線板（両面板）を得ることができる。この成形過程において、導電性ペースト８の突出部分が加圧により貫通孔３内に押し込まれて密に充填され、これによりビアホールによる接続信頼性が向上する。

また、前述の樹脂層４に対して電気部品１０が実装された導体回路５を転写する際の加熱加圧成形を、樹脂層４及び導電性ペースト８がＢステージ状態に維持される条件で行っていれば、得られる配線板用シート材１ｂを、後述するように多層板１１の作製に利用することができる。この場合、上記の導電性ペースト８の突出は、後述するように多層板１１におけるビアホール１５の導電性の向上に寄与することとなる。また、配線板用シート材１ｂを多層板成形時のコア材として用いる場合には、樹脂層４がＣステージ状態となるように形成した場合でも、多層板１１の作製に利用することができる。

図４は、配線板用シート材１の製造工程の他例を示すものであり、樹脂シート４ａと、表面に転写用の導体回路５が形成された転写用基材６とを用いて、樹脂シート４ａから形成される樹脂層４に、導体回路５を転写用基材６から転写することにより、片面に導体回路５が形成されると共にこの導体回路５に実装された電気部品１０が樹脂層４に埋設された配線板用シート材１（配線板用シート材１ｃ）を形成している。

ここでは、まず、図４（ａ）に示すように、導体回路５の形成がなされると共にこの導体回路５に電気部品１０が実装された転写用基材６に対して、その導体回路５が形成されている面側に樹脂シート４ａを配置して、積層する。樹脂シート４ａは、電気部品１０の寸法に応じて、一枚又は複数枚配される。この状態で、加熱加圧成形を行うことにより一体化する。この加熱加圧成形は既述の場合と同様の条件で行うことができる。

次いで、図４（ｃ）に示すように、転写用基材６を樹脂層４から剥離すると共に、導体回路５を樹脂層４に残存させるものであり、これにより配線板用シート材１ｃが得られる。この配線板用シート材１ｃは、樹脂層４の片側の表層に、導体回路５が樹脂層４の表面に露出するように埋設されて形成されている。また樹脂層４の外面と導体回路５の露出面とが面一となって、表面が凹凸なく平坦に形成される。また、樹脂層４内には、片面の導体回路５に接続された電気部品１０が埋設されている。転写用基材６の剥離は、転写用基材６を撓らせながら樹脂層４の端部から引き剥がすことにより行うことができる。

上記の加熱加圧成形を、樹脂層４の硬化反応が進行する条件で行うと、片面に導体回路５が設けられると共に、樹脂層４が硬化して形成される絶縁層１６内に導体回路５に電気的に接続された電気部品１０が埋設された配線板（片面板）を得ることができる。このときの加熱温度は、既述の場合と同様の条件とすることができる。

また、上記の加熱加圧成形を、樹脂層４がＢステージ状態に維持される条件で行えば、得られる配線板用シート材１を、後述するように多層板１１の作製に利用することができる。このときの成形条件は、既述の場合と同様の条件とすることができる。また、配線板用シート材１を多層板成形時のコア材として用いる場合には、樹脂層４がＣステージ状態となるように形成した場合でも、多層板１１の作製に利用することができる。

また、図４（ｃ）に示すような、樹脂層４に電気部品１０が実装された導体回路５を転写したものに対して、更に導電性材料２が充填された貫通孔３を形成して、配線板用シート材１（配線板用シート材１ｄ）を得ることもできる。この工程の一例を図５に示す。

ここでは、まず図５（ａ）のように、導体回路５が転写された樹脂層４の、導体回路５が形成されていない側の一面に、保護フィルム１２を積層して配置する。保護フィルム１２としては、既述のものと同様のものが用いられる。

次いで、図５（ｂ）に示すように、レーザ加工により樹脂層４の所定のビアホール形成位置に貫通孔３の形成がなされる。この貫通孔３は、樹脂層４、保護フィルム１２、及び樹脂層４の片面の導体回路５の所定箇所を貫通するように形成される。このときレーザ光を保護フィルム１２側から照射することにより、レーザ光により樹脂層４から保護フィルム１２が剥離するのを防止することができる。

貫通孔３の形成後は、図５（ｃ）に示すように、保護フィルム１２の外面側から貫通孔３内に導電性材料２を充填する。この導電性材料２としては、導電性ペースト８を用いることができ、例えば銀粉や銅粉等の導電性粉体を熱硬化性樹脂組成物中に混合したものが用いられる。導電性ペースト８の充填は、保護フィルム１２の外面に導電性ペースト８を塗布することによって、貫通孔３の開口から貫通孔３内に導電性ペースト８が充填されるようにする。このときキャリア基材７によって樹脂層４の外面には導電性ペースト８が付着されないように保護されるものであり、次いで導電性ペースト８の充填後に、図５（ｄ）に示すように外面に導電性ペースト８が付着した保護フィルム１２を樹脂層４側から剥離することにより、貫通孔３内に導電性ペースト８が充填されると共に樹脂層４及び導体回路５の外面には導電性ペースト８が付着されていない状態となる。また保護フィルム１２の貫通孔３に充填されていた導電性ペースト８が残存することから、保護フィルム１２が貼着されていた側の面（導体回路５が形成されていない側の面）では樹脂層４の貫通孔３から導電性ペースト８が外方に突出するように形成される。

このようにして得られる配線板用シート材１ｄは、樹脂層４の片側の表層に、導体回路５が樹脂層４の表面に露出するように埋設され、また樹脂層４内には、片面の導体回路５に接続された電気部品１０が埋設されており、更に樹脂層４と片面の導体回路５とを貫通すると共に導電性ペースト８が充填された貫通孔３が形成されている。この配線板用シート材１ｄの表面は、樹脂層４の外面と導体回路５の露出面とが面一となって、導電性ペースト８が突出していることを除けば凹凸なく平坦に形成される。

ここで、電気部品１０が実装された導体回路５を樹脂層４に転写した後に、導電性材料２が充填された貫通孔３を形成するのは、電気部品１０が実装された導体回路５を樹脂層４に転写する際には電気部品１０が樹脂層４に埋設されるのに伴って樹脂層４が流動し、このとき貫通孔３が形成されている場合には貫通孔３の形状が大きく変形するおそれがあるためであり、このようなビアホール１５の形成用の貫通孔３の変形を防止するために、樹脂層４に電気部品１０が埋設された後に貫通孔３を形成するようにしたものである。

ここで、上記の加熱加圧成形を、樹脂層４がＢステージ状態に維持される条件で行うと、この配線板用シート材１ｄを、後述するように多層板１１の作製に利用することができる。このときの成形条件は、既述の場合と同様の条件とすることができる。また、配線板用シート材１ｄを多層板成形時のコア材として用いる場合には、樹脂層４がＣステージ状態となるように形成した場合でも、多層板１１の作製に利用することができる。

また、図５（ｄ）に示すような、樹脂層４に電気部品１０が実装された導体回路５を転写したものに対して、導体回路５が形成されていない面に金属箔９を積層して、配線板用シート材１（配線板用シート材１ｅ）を得ることもできる。この工程の一例を図６に示す。

ここでは、まず図６（ａ）のように、導体回路５が形成されていない側の樹脂層４の一面に、金属箔９を積層して配置する。金属箔９としては、適宜のものが用いられ、例えば銅箔を用いることができる。その厚みは１０〜１５０μｍのものが好ましい。またこの金属箔９の樹脂層４が形成される面は、樹脂層４との密着性を向上するために粗面とすることが好ましい。例えば金属箔９として電解銅箔を用いる場合には、電解銅箔にもともと形成されている粗面に樹脂層４を形成することができる。また金属箔９に対して表面処理を施すこともでき、この表面処理としては、例えば黒化処理、アルマイト処理等による粗面化処理を挙げることができる。この状態で、加熱加圧成形を行うことにより、図６（ｂ）に示すように積層一体化する。

この成形過程においては、金属箔９が貫通孔３内に充填された導電性ペースト８と電気的に接続される。また導電性ペースト８は、加圧によって貫通孔３から突出した部分が貫通孔３内に押し込まれて貫通孔３内に密に充填され、これにより貫通孔３内の導電性ペースト８の導電性が向上する。

このようにして得られる配線板用シート材１ｅは、樹脂層４の一面側の表層に、導体回路５が樹脂層４の表面に露出するように埋設され、他面には金属箔９が積層されており、また樹脂層４内には、片側の導体回路５に接続される電気部品１０が埋設されている。また樹脂層４の外面と導体回路５の露出面は面一となって、配線板用シート材１ｅの表面は凹凸なく平坦に形成される。更に樹脂層４と導体回路５を貫通すると共に金属箔９に接続され、導電性ペースト８が充填された貫通孔３が形成されている。

上記の金属箔９の積層成形時の加熱加圧成形を、樹脂層４及び導電性ペースト８の硬化反応が進行する条件で行うと、一面に金属箔９が、他面に導体回路５が設けられると共に、樹脂層４が硬化して形成される絶縁層１６内に導体回路５に電気的に接続された電気部品１０が埋設され、更に導電性ペースト８が硬化して形成される導電層が充填された貫通孔３からなるビアホールによって導体回路５と金属箔９とが接続された配線板を得ることができる。この成形条件は、既述の場合と同様の条件とすることができる。またこの配線板の金属箔９にエッチング処理を施すなどして回路形成を施すこともできる。

また、上記の金属箔９の積層成形時の加熱加圧成形を、樹脂層４及び導電性ペースト８がＢステージ状態に維持される条件で行えば、得られる配線板用シート材１を、後述するように多層板１１の作製に利用することができる。この成形条件は、既述の場合と同様の条件とすることができる。また、配線板用シート材１を多層板成形時のコア材として用いる場合には、樹脂層４がＣステージ状態となるように形成した場合でも、多層板１１の作製に利用することができる。

また、図５（ｄ）に示すような、樹脂層４に電気部品１０が実装された導体回路５を転写したものに対して、導体回路５が形成されていない面に更に導体回路５を転写により形成して、配線板用シート材１（配線板用シート材１ｆ）を得ることもできる。この工程の一例を図７に示す。

ここでは、まず図７（ａ）に示すように、まず樹脂層４の導体回路５が形成されていない側の面に、導体回路５の形成がなされた転写用基材６を、貫通孔３と導体回路５とを位置合わせした状態で、導体回路５を形成した面が樹脂層４と対向するように積層配置する。導体回路５の形成がなされた転写用基材６は、既述のようにして形成されたものが用いられる。

この状態で、加熱加圧成形を行うことにより積層一体化するものであり、このとき貫通孔３の開口位置に導体回路５の所定箇所が配置されるように、導体回路５と貫通孔３とが位置合わせされる。

この成形過程においては、転写用基材６に設けられた導体回路５が貫通孔３内に充填された導電性ペースト８と電気的に接続される。また導電性ペースト８は、加圧によって貫通孔３から突出した部分が貫通孔３内に押し込まれて貫通孔３内に密に充填され、これにより貫通孔３内の導電性ペースト８の導電性が向上する。

次いで、図７（ｂ）に示すように、転写用基材６を樹脂層４から剥離すると共に、導体回路５を樹脂層４に残存させるものであり、これにより、配線板用シート材１ｆが得られる。

このようにして得られる配線板用シート材１ｆは、樹脂層４の両側の表層に、導体回路５が樹脂層４の表面に露出するように埋設されて形成されており、また樹脂層４内には、片側の導体回路５に接続される電気部品１０が埋設されている。更に樹脂層４と一面側の導体回路５を貫通すると共に他面側の導体回路５に接続された、導電性ペースト８が充填された貫通孔３が形成されている。この配線板用シート材１ｆは、樹脂層４の外面と導体回路５の露出面とが面一となって、表面が凹凸なく平坦に形成される。

上記の導体回路５の転写による成形時の加熱加圧成形を、樹脂層４及び導電性ペースト８の硬化反応が進行する条件で行うと、両面に導体回路５が設けられると共に、樹脂層４が硬化して形成される絶縁層１６内に片側の導体回路５に電気的に接続された電気部品１０が埋設され、更に導電性ペースト８が硬化して形成される導電層が充填された貫通孔３からなるビアホールによって導体回路５間が接続された配線板を得ることができる。この成形条件は、既述の場合と同様の条件とすることができる。

図８は、配線板用シート材１の製造工程の他例を示すものであり、樹脂シート４ａと、表面に転写用の導体回路５が形成されると共に電気部品１０が実装された転写用基材６と、銅箔等の金属箔９とを用いて、樹脂シート４ａから形成される樹脂層４に、導体回路５を転写用基材６から転写することにより、一面に導体回路５が形成されると共にこの一面の導体回路５に実装された電気部品１０が樹脂層４に埋設され、且つ他面に金属箔９が一体に積層成形された配線板用シート材１（配線板用シート材１ｈ）を形成している。

金属箔９としては、適宜のものが用いられ、例えば銅箔を用いることができる。その厚みは１０〜１５０μｍのものが好ましい。またこの金属箔９の樹脂層４が形成される面は、樹脂層４との密着性を向上するために粗面とすることが好ましい。例えば金属箔９として電解銅箔を用いる場合には、電解銅箔にもともと形成されている粗面に樹脂層４を形成することができる。また金属箔９に対して表面処理を施すこともでき、この表面処理としては、例えば黒化処理、アルマイト処理等による粗面化処理を挙げることができる。

ここでは、まず、図８（ａ）に示すように、導体回路５が形成されると共に電気部品１０が実装された転写用基材６と、金属箔９とを、転写用基材６の導体回路５を形成した面と金属箔９（の粗面）が対向しあうように配置すると共に、その間に樹脂シート４ａを配置して、積層する。樹脂シート４ａは、電気部品１０の寸法に応じて、一枚又は複数枚配される。この状態で、加熱加圧成形を行うことにより一体化する。この加熱加圧成形は既述の場合と同様の条件で行うことができる。

次いで、図８（ｃ）に示すように、転写用基材６を樹脂層４から剥離すると共に、導体回路５を樹脂層４に残存させるものであり、これにより配線板用シート材１ｈが得られる。この配線板用シート材１ｈは、樹脂層４の一面の表層に、導体回路５が樹脂層４の表面に露出するように埋設されて形成され、また他面の表面には全面に金属箔９が一体に形成されている。また樹脂層４の外面と導体回路５の露出面とが面一となって、表面が凹凸なく平坦に形成される。また、樹脂層４内には、片面の導体回路５に接続された電気部品１０が埋設されている。転写用基材６の剥離は、転写用基材６を撓らせながら樹脂層４の端部から引き剥がすことにより行うことができる。

上記の加熱加圧成形を、樹脂層４の硬化反応が進行する条件で行うと、一面に導体回路５が設けられると共に他面の全面に金属箔９が形成され、樹脂層４が硬化して形成される絶縁層１６内に導体回路５に電気的に接続された電気部品１０が埋設された配線板を得ることができる。このときの加熱温度は、既述の場合と同様の条件とすることができる。

また、上記の加熱加圧成形を、樹脂層４がＢステージ状態に維持される条件で行えば、得られる配線板用シート材１ｈを、後述するように多層板１１の作製に利用することができる。このときの成形条件は、既述の場合と同様の条件とすることができる。また、配線板用シート材１ｈを多層板成形時のコア材として用いる場合には、樹脂層４がＣステージ状態となるように形成した場合でも、多層板１１の作製に利用することができる。

図９は、配線板用シート材１の製造工程の他例を示すものであり、樹脂シート４ａと、表面に転写用の導体回路５が形成されると共に電気部品１０が実装された転写用基材６と、樹脂付金属箔１７とを用いて、樹脂シート４ａから形成される樹脂層４に、導体回路５を転写用基材６から転写することにより、一面に導体回路５が形成されると共にこの一面の導体回路５に実装された電気部品１０が樹脂層４に埋設され、且つ他面に金属箔９が一体に積層成形された配線板用シート材１（配線板用シート材１ｉ）を形成している。

樹脂付金属箔１７を構成する金属箔９としては、適宜のものが用いられ、例えば銅箔を用いることができる。その厚みは１０〜１５０μｍのものが好ましい。またこの金属箔９の樹脂層４が形成される面は、樹脂層４との密着性を向上するために粗面とすることが好ましい。例えば金属箔９として電解銅箔を用いる場合には、電解銅箔にもともと形成されている粗面に樹脂層４を形成することができる。また金属箔９に対して表面処理を施すこともでき、この表面処理としては、例えば黒化処理、アルマイト処理等による粗面化処理を挙げることができる。

また樹脂付金属箔１７を構成する樹脂層４ｂは、既述の樹脂層４を形成するための樹脂組成物と同様の樹脂組成物を用いて形成することができ、例えばこのような樹脂組成物を金属箔９の片面（粗面）に塗布し、乾燥してＢステージ化することにより樹脂層４ｂを形成し、樹脂付金属箔１７を得ることができる。

ここでは、まず、図９（ａ）に示すように、導体回路５が形成されると共に電気部品１０が実装された転写用基材６と、樹脂付金属箔１７とを、転写用基材６の導体回路５を形成した面と樹脂付金属箔１７の樹脂層４ｂが対向しあうように配置すると共に、その間に一又は複数枚の樹脂シート４ａを配置して、積層する。樹脂シート４ａは、電気部品１０の寸法に応じて、一枚又は複数枚配される。この状態で、加熱加圧成形を行うことにより一体化する。この加熱加圧成形は既述の場合と同様の条件で行うことができる。

この成形過程においては、樹脂シート４ａ及び樹脂付金属箔１７の樹脂層４ｂが溶融軟化して一体化し、樹脂層４が形成される。このとき複数の樹脂シート４ａが積層されている場合には、これらの樹脂シート４ａが一体化し、またこの溶融軟化した樹脂シート４ａが流動することにより、転写用基材６に形成された導体回路５及び導体回路５に実装された電気部品１０が、樹脂シート４ａから形成される樹脂層４中に埋設される。

次いで、図９（ｃ）に示すように、転写用基材６を樹脂層４から剥離すると共に、導体回路５を樹脂層４に残存させるものであり、これにより配線板用シート材１ｉが得られる。この配線板用シート材１ｉは、樹脂層４の一面の表層に、導体回路５が樹脂層４の表面に露出するように埋設されて形成され、また他面の表面には全面に金属箔９が一体に形成されている。また樹脂層４の外面と導体回路５の露出面とが面一となって、表面が凹凸なく平坦に形成される。また、樹脂層４内には、片面の導体回路５に接続された電気部品１０が埋設されている。転写用基材６の剥離は、転写用基材６を撓らせながら樹脂層４の端部から引き剥がすことにより行うことができる。

このように形成された配線板用シート材１ｈ，１ｉでは、電気部品１０を埋設した樹脂層４を有する配線板用シート材１同士を積層して多層化する場合、配線板用シート材１ｈ，１ｉの金属箔９を層間のアース層として形成し、層間に隣接する電気部品１０間の相互作用の発生を防止して、電気部品１０が所定の規格値の性能を発揮させるようにすることができる。また特に配線板用シート材１ｉでは、積層成形過程において、積層前の樹脂付金属箔１７の樹脂層４ｂの硬化をある程度進行させておくと、樹脂層４ｂの流動を抑制し、電気部品１０と金属箔９との間の寸法を確保することが容易となり、上記の配線板用シート材１同士の積層成形時には、電気部品１０と金属箔９からなるアース層との間の距離を確保することができ、層間に隣接する電気部品１０間の相互作用の発生を更に確実に防止することができるものである。樹脂付金属箔１７の樹脂層４ｂの硬化をある程度進行させるためには、例えばこの樹脂層４ｂを、あらかじめ、１６０℃で５分間程度予備乾燥させるものである。

また、図８（ｃ）又は図９（ｃ）に示すような配線板用シート材１に対して、更に導電性材料２が充填された貫通孔３を形成して、配線板用シート材１（配線板用シート材１ｊ）を得ることもできる。この工程の一例を図１０に示す。

ここでは、まず図１０（ａ）のように、一面に導体回路５が転写されると共に他面に金属箔９が形成された樹脂層４の、導体回路５が転写された一面に、保護フィルム１２を積層して配置する。保護フィルム１２としては、既述のものと同様のものが用いられる。

次いで、図１０（ｂ）に示すように、レーザ加工により樹脂層４の所定のビアホール形成位置に貫通孔３の形成がなされる。この貫通孔３は、樹脂層４、保護フィルム１２、及び樹脂層４の片面の導体回路５の所定箇所を貫通すると共に、金属箔９は貫通しないように形成される。このときレーザ光を保護フィルム１２側から照射することにより、金属箔９を貫通しないようにすると共に、レーザ光により樹脂層４から保護フィルム１２が剥離するのを防止することができる。

貫通孔３の形成後は、図１０（ｃ）に示すように、保護フィルム１２の外面側から貫通孔３内に導電性材料２を充填する。この導電性材料２としては、既述のような導電性ペースト８を用いることができる。導電性ペースト８の充填は、保護フィルム１２の外面に導電性ペースト８を塗布することによって、貫通孔３の開口から貫通孔３内に導電性ペースト８が充填されるようにする。このとき保護フィルム１２によって樹脂層４の外面には導電性ペースト８が付着されないように保護されるものであり、次いで導電性ペースト８の充填後に、図１０（ｄ）に示すように外面に導電性ペースト８が付着した保護フィルム１２を樹脂層４側から剥離することにより、貫通孔３内に導電性ペースト８が充填されると共に樹脂層４及び導体回路５の外面には導電性ペースト８が付着されていない状態となる。また保護フィルム１２の貫通孔３に充填されていた導電性ペースト８が残存することから、保護フィルム１２が貼着されていた側の面（導体回路５が形成されている側の面）では樹脂層４の貫通孔３から導電性ペースト８が外方に突出するように形成される。

このようにして得られる配線板用シート材１ｊは、樹脂層４の一面の表層に、導体回路５が樹脂層４の表面に露出するように埋設されて形成され、また他面の表面には全面に金属箔９が一体に形成されている。また樹脂層４の外面と導体回路５の露出面とが面一となって、表面が凹凸なく平坦に形成される。また、樹脂層４内には、片面の導体回路５に接続された電気部品１０が埋設されている。更に樹脂層４と片面の導体回路５とを貫通すると共に金属箔９を貫通しない貫通孔３が形成され、この貫通孔３には導電性ペースト８が充填されている。この配線板用シート材１ｊの導体回路５が形成された面は、樹脂層４の外面と導体回路５の露出面とが面一となって、導電性ペースト８が突出していることを除けば凹凸なく平坦に形成される。

ここで、上記の加熱加圧成形を、樹脂層４がＢステージ状態に維持される条件で行うと、この配線板用シート材１ｊを、後述するように多層板１１の作製に利用することができる。このときの成形条件は、既述の場合と同様の条件とすることができる。また、配線板用シート材１ｊを多層板成形時のコア材として用いる場合には、樹脂層４がＣステージ状態となるように形成した場合でも、多層板１１の作製に利用することができる。

また、貫通孔３が形成されていない配線板用シート材１に対して、更に導電性材料２が充填されると共にホールめっき１８が形成された貫通孔３を設けて、配線板用シート材１（配線板用シート材１ｋ）を得ることもできる。この工程の一例を図１１に示す。

図示の例では、図１（ｃ）に示すような配線板用シート材１ａに対して導電性材料２が充填されると共にホールめっき１８が形成された貫通孔３を設けているものであるが、このような形態に限られず、図２（ｃ）、図４（ｃ）、図８（ｃ）、図９（ｃ）等のように、本発明に係る配線板用シート材１のうち、貫通孔３が形成されていないものに対して、同様の手法により、導電性材料２が充填されると共にホールめっき１８が形成された貫通孔３を設けることができる。

ここでは、まず図１１（ａ）のように、樹脂層４の導体回路５が転写された一面又は両面（図示では両面）に、保護フィルム１２を積層して配置する。保護フィルム１２としては、既述のものと同様のものが用いられる。

次いで、図１１（ｂ）に示すように、レーザ加工により樹脂層４の所定のビアホール形成位置に貫通孔３の形成がなされる。この貫通孔３は、樹脂層４、保護フィルム１２、及び樹脂層４の両面の導体回路５の所定箇所を貫通するように形成される。このときレーザ光を保護フィルム１２側から照射することによりレーザ光により樹脂層４から保護フィルム１２が剥離するのを防止することができる。

貫通孔３の形成後は、保護フィルム１２が貼着した状態で貫通孔３の内面にホールめっき１８を形成した後、保護フィルム１２の外面側から貫通孔３内に導電性材料２を充填する。この導電性材料２としては、既述のような導電性ペースト８を用いることができる。導電性ペースト８の充填は、保護フィルム１２の外面に導電性ペースト８を塗布することによって、貫通孔３の開口から貫通孔３内に導電性ペースト８が充填されるようにする。このとき保護フィルム１２によって樹脂層４の外面には導電性ペースト８が付着されないように保護される。

次いで導電性ペースト８の充填後に、図１１（ｃ）に示すように外面に導電性ペースト８が付着した保護フィルム１２を樹脂層４側から剥離することにより、貫通孔３内にホールめっき１８が形成されると共に導電性ペースト８が充填され、且つ樹脂層４及び導体回路５の外面には導電性ペースト８が付着されていない状態となる。また保護フィルム１２の貫通孔３に充填されていた導電性ペースト８が残存することから、保護フィルム１２が貼着されていた側の面（導体回路５が形成されている側の面）では樹脂層４の貫通孔３から導電性ペースト８が外方に突出するように形成される。

このようにして得られる配線板用シート材１ｋは、樹脂層４の両面の表層に、導体回路５が樹脂層４の表面に露出するように埋設されて形成され、片面又は両面の導体回路５に、樹脂層４に埋設された電気部品１０が実装されている。また樹脂層４の外面と導体回路５の露出面とが面一となって、表面が凹凸なく平坦に形成される。更に樹脂層４と導体回路５とを貫通する貫通孔３が形成され、この貫通孔３にはホールめっき１８が形成されると共に導電性ペースト８が充填されている。特に部品を内蔵した樹脂層４は厚みが厚く導電性ペースト８のみでは導通信頼性が不十分となる場合があるが、ホールめっき１８を設けることにより厚みの厚い樹脂層４の場合でも優れた導通信頼性が得られる。この配線板用シート材１ｋの導体回路５が形成された面は、樹脂層４の外面と導体回路５の露出面とが面一となって、導電性ペースト８が突出していることを除けば凹凸なく平坦に形成される。

上記のホールめっき１８としては、銅めっき等を形成することができ、また無電解めっき処理及び電解めっき処理を適宜組み合わせて形成することができる。特にホールめっき１８を無電解めっき処理のみにて形成すると、ホールめっき１８の厚膜化を抑制し、保護フィルム１２を樹脂層４側から剥離する際に保護フィルム１２に形成されためっき膜と共にホールめっき１８が剥ぎ取られることを防止して導通信頼性を向上することができる。このときホールめっき１８が無電解めっき処理のみにて薄膜に形成されていても、貫通孔３に導電性ペースト８が充填されていることから、ホールめっき１８と導電性ペースト８とによって優れた導通信頼性が確保される。

また、上記のような保護フィルム１２の剥離の際のホールめっき１８の剥ぎ取りのおそれがない場合には、無電解めっき処理の後、電解めっき処理を施すことによってホールめっき１８を形成して、ホールめっき１８における導通信頼性を向上することもできる。このように無電解めっき処理及び電解めっき処理によりホールめっき１８を厚膜化する場合には、図１１に示される実施形態において、上記の導電性ペースト８に代えて、銀粉や銅粉等の導電性粉体が含有されない熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂ペースト２０を用いて、ホールめっき１８のみにてビアの導通信頼性を確保することができる。

ここで、上記の加熱加圧成形を、樹脂層４がＢステージ状態に維持される条件で行うと、この配線板用シート材１ｋを、後述するように多層板１１の作製に利用することができる。このときの成形条件は、既述の場合と同様の条件とすることができる。また、配線板用シート材１ｋを多層板成形時のコア材として用いる場合には、樹脂層４がＣステージ状態となるように形成した場合でも、多層板１１の作製に利用することができる。

上記のような各配線板用シート材１は、樹脂層４に対して導体回路５を転写により形成すると共に、導体回路５に実装されている電気部品１０を樹脂層４の溶融軟化に伴う樹脂層４の流動によって樹脂層４内の内部に埋設して配置したものであるから、樹脂層４内に電気部品１０を配置すると共に、このとき樹脂層４の流動によって電気部品１０の周囲に空隙が発生しないようにして電気部品１０を配置することができる。このため、樹脂層４を硬化成形して絶縁層１６を形成すると、絶縁層１６内に電気部品１０が設けられた配線板を得ることができるものであり、配線板における部品実装量を増大させることができると共に配線板からの電気部品１０の突出を抑制して小型化を図ることができ、更に電気部品１０の実装可能位置が拡大することから、配線設計の自由度も増大する。また電気部品１０がその周囲に空隙が存在することなく絶縁層１６内に配置されることから、電気部品１０の周囲に空気が残存するようなことがなくなり、熱による負荷を受けた場合にも空気の熱膨張による絶縁層１６の割れや電気部品１０の破損、断線等の不良の発生を抑制することができる。また電気部品１０の実装量や実装位置に係わらず、樹脂層４を溶融軟化させることにより流動させて任意の位置に電気部品１０を配することができ、煩雑な工程を経ることなく樹脂層４あるいは樹脂層４を硬化させた絶縁層１６の内部の任意の箇所に電気部品１０を設けることができるものである。

また、配線板を得るにあたっては、上記のような各配線板用シート材１は、樹脂層４をＢステージ状態に維持したままで成形し、複数の配線板用シート材１を積層した状態で各樹脂層４を硬化させることにより一括成形して、多層板１１を得ることができる。また、樹脂層４をＣステージ状態とした配線板用シート材１をコア材とし、これに樹脂層４をＢステージ状態に維持した他の配線板用シート材１を積層して、各樹脂層４を硬化させることにより、多層板１１を得ることもできる。また樹脂層４をＣステージ状態とした配線板用シート材１に対して、樹脂層４をＢステージ状態に維持した配線板用シート材１の積層、樹脂層４の硬化並びに必要に応じて導体回路５及びビアの形成を行うことを繰り返すことにより多層化するビルドアップ工法によっても、多層板１１を得ることができる。

また、上記のような配線板用シート材１と、樹脂層４を有すると共にこの樹脂層４内に電気部品１０が埋設されていないシート材１３とを用いて、多層板１１を得ることもできる。この場合、一枚又は複数枚の配線板用シート材１と、Ｂステージ状態の樹脂層４を有する一枚又は複数枚の他のシート材１３とを積層して配置し、この状態で各樹脂層４を硬化させることにより一括成形して、多層板１１を得ることもできる。また、樹脂層４をＣステージ状態とした配線板用シート材１又は他のシート材１３をコア材とし、これに樹脂層４をＢステージ状態に維持した他の配線板用シート材１や、樹脂層４をＢステージ状態に維持した他のシート材１３を積層して、各樹脂層４を硬化させることにより、多層板１１を得ることもできる。また樹脂層４をＣステージ状態とした配線板用シート材１又はシート材１３に対して、樹脂層４をＢステージ状態に維持した配線板用シート材１又はシート材１３の積層、樹脂層４の硬化並びに必要に応じて導体回路５やビアの形成を行うことを繰り返すことにより多層化するビルドアップ工法によっても、多層板１１を得ることができる。

シート材１３としては、多層板１１を製造する際に使用される公知の樹脂付き金属箔、プリプレグ、樹脂シート、アンクラッド板等を使用することができるが、その他に、回路形成された樹脂シートや、ビア形成された樹脂シートを使用することができる。

特に、シート材１３として樹脂層４に導体回路５や金属箔９、導電性材料２が充填された貫通孔３等が設けられたものを用いると、シート材１３にて絶縁層と導体回路５、ビアホール等の形成が行える。このようなシート材１３について説明する。

図１５はシート材１３の製造に用いられる樹脂層４の成形工程を示すものであり、まず図１５（ａ）に示すように、キャリア基材７の一面に上記の樹脂組成物を塗布し、加熱乾燥することにより半硬化状態（Ｂステージ状態）として、キャリア基材７の一面に樹脂層４を形成する。

樹脂組成物としては、既述のものと同様のものが用いられる。またキャリア基材７としては、ＰＥＴフィルム等の合成樹脂フィルムを用いることができ、また金属箔を用いることもできる。金属箔を用いる場合には、キャリア基材７を樹脂層４から剥離する際の剥離性を向上するために、樹脂層４が形成される面を鏡面状に形成することが好ましい。このような金属箔としては、レーザ加工時に貫通孔３を形成可能な材質が選択され、圧延銅箔、電解銅箔、アルミニウム箔、金属合金箔、金属クラッド箔等を用いることが好ましい。

このときの加熱乾燥条件は、樹脂シート４ａの形成の場合と同様の条件とすることができる。また、樹脂層４の厚みは５０〜３００μｍに形成することが好ましい。

このように形成された樹脂層４は、キャリア基材７に支持された状態のままで、ＹＡＧレーザや炭酸ガスレーザ等のレーザ光の照射によるレーザ加工を施すことにより、図１５（ｂ）に示すように所定のビアホール１５の形成位置に貫通孔３の形成がなされる。この貫通孔３は、樹脂層４とキャリア基材７とを同時に貫通するように形成されるものであり、このときレーザ光をキャリア基材７側から照射すると、樹脂層４とキャリア基材７の層間剥離を防止することができる。

貫通孔３の形成後は、図１５（ｃ）に示すようにキャリア基材７の外面側から貫通孔３内に導電性材料２を充填する。この導電性材料２としては、既述のような導電性ペースト８を用いることができる。導電性ペースト８の充填は、キャリア基材７の外面に導電性ペースト８を塗布することによって、貫通孔３の開口から貫通孔３内に導電性ペースト８が充填されるようにする。このときキャリア基材７によって樹脂層４の外面には導電性ペースト８が付着されないように保護されるものであり、次いで導電性ペースト８の充填後に、図１５（ｄ）に示すように外面に導電性ペースト８が付着したキャリア基材７を樹脂層４から剥離することにより、樹脂層４は貫通孔３内に導電性ペースト８が充填されると共に外面には導電性ペースト８が付着されていない状態となる。またキャリア基材７の貫通孔３に充填されていた導電性ペースト８が残存することから、キャリア基材７が貼着されていた側の面では樹脂層４の貫通孔３から導電性ペースト８が外方に突出するように形成される。

これにより、導電性材料２が充填された貫通孔３を有するシート材１３（シート材１３ｆ）が得られる。

また、樹脂層４としては、不織布にスラリー状の樹脂組成物を含浸乾燥させることにより形成したものを用いることもできる。不織布としては、適宜のガラス不織布、有機繊維不織布等を用いることができる。このように形成される樹脂層４を用いる場合には、図１５において、樹脂層４の一面にキャリア基材７に代えて保護フィルム１２を貼着し、それ以外は上記と同様にして、導電性材料２が充填された貫通孔３を有するシート材１３（シート材１３ｆ）が得られる。

このシート材１３ｆにおける、導電性材料２が充填された貫通孔３は、多層板製造時に樹脂層４の両面の導体回路５を導通するビア（ビアホール）として形成される。ここで、シート材１３ｆの樹脂層４は、Ｂステージ状態であるため、多層板製造時の積層成形の際に圧縮されやすく、このため導電性材料２（導電性ペースト８）が貫通孔３内にて密充填されると共に両面の導体回路５との電気的接続が十分に確保されることとなり、良好な導通信頼性を維持できる。

上記のようなシート材１３は、樹脂層４がＢステージ状態に形成されるが、このシート材１３を多層板１１の製造時のコア材として用いる場合などには、樹脂層４をＣステージ状態に形成しても良い。

このシート材１３には樹脂層４内に電気部品１０が埋設されず、樹脂層４の厚みを薄く形成することができるため、ビアが形成される貫通孔３にはホールめっき１８を施さずに、導電性ペースト８のみで層間の導通を確保することができる。ここで、貫通孔３の内面には、導電性材料２（導電性ペースト８）の充填に先だって、ホールめっき１８を形成することもできる。

また、特に樹脂層４をＣステージ状態に形成する場合においては、更なる導通信頼性を確保するために、図１５（ｂ）のように貫通孔３を形成した後に、貫通孔３の内面にホールめっき１８を施し、次いで図１５（ｃ）に示すように貫通孔３内に導電性材料２（導電性ペースト８）を充填するようにして、図１５（ｄ）に示すようなシート材１３ｆを得ることもできる。

また、上記のような、導電性材料２が充填された貫通孔３を有するシート材１３ｆと、表面に転写用の導体回路５が形成された転写用基材６とを用いて、導体回路５を転写用基材６からシート材１３ｆの樹脂層４に転写することにより、片面に導体回路５が形成されたシート材１３（片面回路付きシート材１３ａ）が得られる。

図１６に片面回路付きシート材１３ａの製造工程の一例を示す。ここでは、まず図１６（ａ）（ｂ）に示すように、導電性材料２が充填された貫通孔３を有する樹脂層４からなるシート材１３ｆの一面に、導体回路５の形成がなされた転写用基材６を、貫通孔３と導体回路５とを位置合わせした状態で、導体回路５を形成した面が樹脂層４と対向するように積層配置して加熱加圧成形を行うことにより一体化する。このとき貫通孔３の開口位置に導体回路５の所定箇所が配置されるように、導体回路５と貫通孔３とが位置合わせされる。

導体回路５の形成がなされた転写用基材６は、既述のようにして形成されたものが用いられる。このとき転写用基材６としては、配線板用シート材１の製造に用いるものと同様にステンレス材等の金属材にて形成しても良いが、転写用基材６を樹脂フィルムにて形成することもできる。すなわち、配線板用シート材１の製造時に、特に転写用基材６に転写用の導体回路５を形成すると共に電気部品１０を実装する場合には、電気部品１０の実装時における半田付け加工等により転写用基材６が高温となり、また電気部品１０を樹脂層４に埋設する際には樹脂層４を十分に溶融軟化するために高温をかけなければならない場合があり、このため転写用基材６には高い耐熱性が必要とされるが、シート材１３の成形時には転写用基材６には電気部品１０は実装されないため、配線板用シート材１の製造時ほどの耐熱性は必要とされず、このため転写用基材６を樹脂フィルムにて形成することができるものである。この場合、樹脂フィルムとしては、例えば、既知のＰＥＴフィルム、フッ素系フィルム等で、加熱やＵＶ光等により導体回路５との剥離ができる接着剤を有する樹脂フィルムを用いることができる。

この加熱加圧成形は、成形後の樹脂層４がＢステージ状態に維持される条件又は樹脂層４がＣステージ状態に形成される条件で行うものであり、また好ましくは貫通孔３に充填された導電性ペースト８がＢステージ状態に維持される条件とする。

この成形過程においては、樹脂層４が溶融軟化することにより流動して、転写用基材６に形成された導体回路５が樹脂層４中に埋設される。また、このとき導体回路５の所定箇所が貫通孔３の形成位置において樹脂層４中に埋設されることにより、貫通孔３内に充填された導電性ペースト８と電気的に接続される。また導電性ペースト８は、加圧によって貫通孔３から突出した部分が貫通孔３内に押し込まれると共に、貫通孔３の配置位置において導体回路５の所定箇所が樹脂層４に埋設されることにより更に押し込まれ、貫通孔３内に更に密に充填され、これにより導電性ペースト８にて形成される貫通孔３内の導電層の導電性が向上し、多層板１１の製造時のビアホールによる導体回路５間の接続信頼性が向上する。

上記の片面回路付きシート材１３ａの加熱加圧成形は、減圧下又は真空下において行うことが好ましく、この場合は内部にボイドが混入しにくくなり、信頼性が向上する。またこの加熱加圧成形を成形後の樹脂層４及び貫通孔３内の導電性ペースト８がＢステージ状態に維持されるように、樹脂層４及び導電性ペースト８の硬化反応が進行しない条件で行う場合には、この条件は樹脂層４を構成する樹脂組成物の組成及び導電性ペースト８の組成にもよるが、１００〜１４０℃の温度で１０分間程度、加熱することが好ましい。また成形時の圧力は、溶融軟化時の樹脂層４の流動性に応じて設定する必要があるが、例えばこの溶融軟化時の流動性が高い場合には、真空ラミネータにより容易に成形可能であり、また溶融軟化時の流動性が小さい場合には、２．９４ＭＰａ（３０ｋｇｆ／ｃｍ^２）程度まで加圧して成形することができる。

次いで、図１６（ｃ）に示すように、転写用基材６を樹脂層４から剥離すると共に、導体回路５を樹脂層４に残存させるものであり、これにより片面回路付きシート材１３ａが得られる。この片面回路付きシート材１３ａは、導電性材料２が充填された貫通孔３を有するＢステージ状態又はＣステージ状態の樹脂層４の片側の表層に、導体回路５が樹脂層４の表面に露出するように埋設されて形成されており、樹脂層４の外面と導体回路５の露出面が面一となって、表面が凹凸なく平坦に形成される。

転写用基材６の剥離は、転写用基材６を撓らせながら樹脂層４の端部から引き剥がすことにより行うことができる。このとき、厚み５０〜２００μｍ、特に厚み１００μｍのステンレス基材を用いている場合には、転写用基材６は高い靱性を有すると共に適度な撓りやすさを有し、転写用基材６を撓らせながら、樹脂層４が湾曲することなく、転写用基材６を容易に剥離することができて、取扱性が良好なものである。この剥離後の転写用基材６は、脱脂等による洗浄後に、再び導体回路５を形成して、片面回路付きシート材１３ａの作製に利用できる。

また、上記のような、導電性材料２が充填された貫通孔３を有する樹脂層４からなるシート材１３ｆと、表面に転写用の導体回路５が形成された転写用基材６とを用いて、導体回路５を転写用基材６から樹脂層４に転写することにより、両面に導体回路５が形成されたシート材１３（両面回路付きシート材１３ｂ）を得ることもできる。

両面回路付きシート材１３ｂの製造工程の一例を図１７に示す。ここでは、まず図１７（ａ）（ｂ）に示すように、導電性材料２が充填された貫通孔３を有する樹脂層４からなるシート材１３ｆの両面に、上記のような導体回路５の形成がなされた転写用基材６を、貫通孔３と導体回路５とを位置合わせした状態で、導体回路５を形成した面が樹脂層４と対向するようにそれぞれ積層配置して、上記の片面回路付きシート材１３ａの製造時と同様の条件にて加熱加圧成形を行うことにより一体化するものであり、このとき貫通孔３の開口位置に導体回路５の所定箇所が配置されるように、導体回路５と貫通孔３とが位置合わせされる。この加熱加圧成形は、成形後の樹脂層４がＢステージ状態に維持される条件又は樹脂層４がＣステージ状態に形成される条件で行うものであり、また好ましくは貫通孔３内の導電性ペースト８がＢステージ状態に維持される条件で行う。

この成形過程においては、樹脂層４が溶融軟化することにより流動して、転写用基材６に形成された導体回路５が樹脂層４中に埋設される。また、このとき導体回路５の所定箇所が貫通孔３の形成位置において樹脂層４中に埋設されることにより、貫通孔３内に充填された導電性ペースト８と電気的に接続される。また導電性ペースト８は、加圧によって貫通孔３から突出した部分が貫通孔３内に押し込まれると共に、貫通孔３の配置位置において、貫通孔３の両側から導体回路５の所定箇所が樹脂層４に埋設されることにより更に押し込まれて貫通孔３内に更に密に充填され、これにより導電性ペースト８にて形成される貫通孔３内の導電層の導電性が向上し、多層板１１の製造時のビアホールによる導体回路５間の接続信頼性が向上する。

次いで、図１７（ｃ）に示すように、転写用基材６を樹脂層４から剥離すると共に、導体回路５を樹脂層４に残存させるものであり、これにより、両面回路付きシート材１３ｂが得られる。この両面回路付きシート材１３ｂは、導電性材料２が充填された貫通孔３を有するＢステージ状態又はＣステージ状態の樹脂層４の両側の表層に、導体回路５が樹脂層４の表面に露出するように埋設されて形成されており、樹脂層４の外面と導体回路５の露出面とが面一となって、表面が凹凸なく平坦に形成される。

図１８に示すシート材１３（金属箔付きシート材１３ｃ）の製造工程では、上記のような、導電性材料２が充填された貫通孔３を有する樹脂層４からなるシート材１３ｆと、金属箔９とを用いて、樹脂層４の片面に金属箔９が設けられた金属箔付きシート材１３ｃを得るものである。

ここでは、導電性材料２が充填された貫通孔３を有する樹脂層４からなるシート材１３ｆの片面に金属箔９を、樹脂層４と対向するように積層配置して、上記の場合と同様の条件にて加熱加圧成形を行うことにより一体化する。この加熱加圧成形は、成形後の樹脂層４がＢステージ状態に維持される条件又は樹脂層４がＣステージ状態に形成される条件で行うものであり、また好ましくは貫通孔３内の導電性ペースト８もＢステージ状態に維持される条件で行う。

金属箔９としては、既述のものと同様のものを用いることができる。またこの金属箔９の樹脂層４が形成される面は、樹脂層４との密着性を向上するために粗面とすることが好ましい。例えば金属箔９として電解銅箔を用いる場合には、電解銅箔にもともと形成されている粗面に樹脂層４を形成することができる。また金属箔９に対して表面処理を施すこともでき、この表面処理としては、例えば黒化処理、アルマイト処理等による粗面化処理を挙げることができる。

この成形過程においては、金属箔９が貫通孔３内に充填された導電性ペースト８と電気的に接続される。また導電性ペースト８は、加圧によって貫通孔３から突出した部分が貫通孔３内に押し込まれて貫通孔３内に密に充填され、これにより導電性ペースト８にて形成される貫通孔３内の導電層の導電性が向上し、多層板１１の製造時のビアホール１５による導体回路５間の接続信頼性が向上する。

図１９にシート材１３の製造工程の更に他例を示す。このシート材１３（金属箔・回路付きシート材１３ｄ）は、金属箔９の一面にＢステージ状態又はＣステージ状態の樹脂層４を形成し、この樹脂層４に更に導体回路５を転写して形成される。

ここでは、まず金属箔９の表面にＢステージ状態の樹脂層４を形成する。この樹脂層４は、既述のものと同様の樹脂組成物を金属箔９に塗布し、加熱乾燥することにより形成される。

金属箔９としては、既述のものと同様のものを用いることができ、また樹脂層４が形成される面は、樹脂層４との密着性を向上するために粗面とすることが好ましい。例えば金属箔９として電解銅箔を用いる場合には、電解銅箔にもともと形成されている粗面に樹脂層４を形成することができる。また金属箔９に対して表面処理を施すこともでき、この表面処理としては、例えば黒化処理、アルマイト処理等による粗面化処理を挙げることができる。また、この金属箔９は、厚み１０〜１５０μｍのものを使用することが好ましい。また樹脂層４の厚みは５０〜３００μｍとすることが好ましい。

次に、既述のような表面に転写用の導体回路５が形成された転写用基材６を用いて、導体回路５を転写用基材６から樹脂層４に転写する。このとき、図１９（ａ）（ｂ）に示すように、樹脂層４の一面（金属箔９が設けられていない側の面）に、導体回路５が形成された転写用基材６を、導体回路５を形成した面が樹脂層４と対向するようにそれぞれ積層配置して、加熱加圧成形を行うことにより一体化する。この加熱加圧成形は、成形後の樹脂層４がＢステージ状態に維持される条件又は樹脂層４がＣステージ状態に形成される条件で行う。

この成形過程においては、樹脂層４が溶融軟化することにより流動して、転写用基材６に形成された導体回路５が樹脂層４中に埋設される。

次いで、図１９（ｃ）に示すように、転写用基材６を樹脂層４から剥離すると共に、導体回路５を樹脂層４に残存させるものであり、これにより、金属箔・回路付きシート材１３ｄが得られる。この金属箔・回路付きシート材１３ｄは、Ｂステージ状態又はＣステージ状態の樹脂層４の表層に、導体回路５が樹脂層４の表面に露出するように埋設されて形成されており、樹脂層４の外面と導体回路５の露出面とが面一となって、その表面は凹凸なく平坦に形成される。

図２０，２１に示すシート材１３（金属箔・回路付きシート材１３ｅ）の製造工程では、まず、上記の場合と同様にして金属箔９の表面に樹脂層４を形成した後、導体回路５を形成する前に、図２０（ｂ）に示すように、金属箔９が配置されている面とは反対側の面において、樹脂層４の表面に保護フィルム１２を配置する。保護フィルム１２としては既述のものと同様のものを用いることができる。

次いで、図２０（ｃ）に示すように、レーザ加工により樹脂層４の所定のビアホール１５の形成位置に貫通孔３の形成がなされる。この貫通孔３は、樹脂層４と保護フィルム１２とを同時に貫通するように形成されるものであり、このときレーザ光を保護フィルム１２側から照射することにより、樹脂層４と保護フィルム１２の層間剥離を防止することができる。またレーザ光は金属箔９には開口が形成されない条件で照射される。

貫通孔３の形成後は、図２０（ｄ）に示すように、保護フィルム１２の外面側から貫通孔３内に導電性材料２を充填する。導電性材料２の充填に先だって、貫通孔３の内面にホールめっきを形成しても良い。この導電性材料２としては、上記の場合と同様の導電性ペースト８を用いることができる。導電性ペースト８の充填は、保護フィルム１２の外面に導電性ペースト８を塗布することによって、貫通孔３の開口から貫通孔３内に導電性ペースト８が充填されるようにする。このとき保護フィルム１２によって樹脂層４の外面には導電性ペースト８が付着されないように保護される。

次いで、導電性ペースト８の充填後に、図２０（ｅ）に示すように、外面に導電性ペースト８が付着した保護フィルム１２を樹脂層４から剥離することにより、樹脂層４は貫通孔３内に導電性ペースト８が充填されると共に外面には導電性ペースト８が付着されていない状態となる。また保護フィルム１２の貫通孔３に充填されていた導電性ペースト８が残存することから、保護フィルム１２が貼着されていた側の面では樹脂層４の貫通孔３から導電性ペースト８が外方に突出するように形成される。

次いで、図２１に示すように、既述のような表面に転写用の導体回路５が形成された転写用基材６を用いて、導体回路５を転写用基材６から樹脂層４に転写する。このとき、図２１（ａ）（ｂ）に示すように、導電性材料２が充填された貫通孔３を有する樹脂層４の一面（金属箔９が設けられていない側の面）に、上記のような導体回路５の形成がなされた転写用基材６を、貫通孔３と導体回路５とを位置合わせした状態で、導体回路５を形成した面が樹脂層４と対向するようにそれぞれ積層配置して、上記の場合と同様の条件にて加熱加圧成形を行うことにより一体化するものであり、このとき貫通孔３の開口位置に導体回路５の所定箇所が配置されるように、導体回路５と貫通孔３とが位置合わせされる。この加熱加圧成形は、成形後の樹脂層４がＢステージ状態に維持される条件又は樹脂層４がＣステージ状態に形成される条件で行うものであり、また好ましくは貫通孔３内の導電性ペースト８がＢステージ状態に維持される条件で行う。

この成形過程においては、樹脂層４が溶融軟化することにより流動して、転写用基材６に形成された導体回路５が樹脂層４中に埋設される。また、このとき導体回路５の所定箇所が貫通孔３の形成位置において樹脂層４中に埋設されることにより、貫通孔３内に充填された導電性ペースト８と電気的に接続される。また導電性ペースト８は、加圧によって貫通孔３から突出した部分が貫通孔３内に押し込まれると共に、貫通孔３の配置位置において導体回路５の所定箇所が樹脂層４に埋設されることにより更に押し込まれて貫通孔３内に更に密に充填され、これにより導電性ペースト８にて形成される貫通孔３内の導電層の導電性が向上し、多層板１１の製造時のビアホール１５による導体回路５間の接続信頼性が向上する。

次いで、図２１（ｃ）に示すように、転写用基材６を樹脂層４から剥離すると共に、導体回路５を樹脂層４に残存させるものであり、これにより、金属箔・回路付きシート材１３ｅが得られる。この金属箔・回路付きシート材１３ｅは、導電性材料２が充填された貫通孔３を有するＢステージ状態又はＣステージ状態の樹脂層４の表層に、導体回路５が樹脂層４の表面に露出するように埋設されて形成されており、樹脂層４の外面と導体回路５の露出面とが面一となって、その表面が凹凸なく平坦に形成される。

上記のような配線板用シート材１及びシート材１３を用いた多層板１１の具体的な製造工程を以下に示すが、本発明における多層板１１は以下のような工程にて作製されるものに限られず、複数の配線板用シート材１、あるいは少なくとも一枚の配線板用シート材１と上記の他のシート材１３を適宜組み合わせて、これらを積層一体化することにより、多様な構成の多層板１１を得ることができる。このとき、配線板用シート材１や他のシート材１３を、導体回路５又は金属箔９が形成されている面と、金属箔９又は導体回路５が形成されている面、貫通孔３の開口が形成されている面、あるいは金属箔９及び導体回路５が共に形成されていない面とを対向させて、積層することができる。

図２２に示す例では、図５に示す工程にて得られる配線板用シート材１ｄと、図６に示す工程にて得られる配線板用シート材１ｅと、図１８に示す工程にて得られる金属箔付きシート材１３ｃとを一枚ずつ用い、これらを積層一体化するものである。

図示の例では、まず配線板用シート材１ｅの導体回路５が形成されている面と、配線板用シート材１ｄの導体回路５が形成されていない面とを対向させると共に、配線板用シート材１ｄの導体回路５が形成されている面と金属箔付きシート材１３ｃの金属箔９が設けられていない面とを対向させた状態で、これらを積層配置する。このとき各対向面においては、貫通孔３の開口位置に、導体回路５の所定箇所が配置されるように位置合わせされる。

この状態で、加熱加圧成形を行うことにより、配線板用シート材１ｄ，１ｅ及び金属箔付きシート材１３ｃが一括して積層成形される。

この成形過程においては、Ｂステージ状態の樹脂層４が溶融した後硬化することにより、配線板用シート材１ｅ，１ｄ間及び配線板用シート材１ｄと金属箔付きシート材１３ｃとの間の界面が接合して積層一体化されると共に、各樹脂層４の硬化物にて絶縁層１６が形成される。また導電性ペースト８を充填した貫通孔３では、導電性ペースト８が硬化されて導体層が形成され、これにより導体回路５間、あるいは金属箔９と導体回路５間を導通するビアホール１５が形成される。このときシート材１ｅの貫通孔３内に充填された導電性ペースト８は既に述べたように予め導体回路５と金属箔９との間を接続しており、この状態で導電性ペースト８が硬化して導体層が形成されて、ビアホール１５が形成される。またシート材１ｅ，１ｄ間の界面においては、上記の一体成形時にシート材１ｅの導体回路５の所定箇所がシート材１ｄの貫通孔３に充填された導電性ペースト８と接続されることによりこの導電性ペースト８が導体回路５間を接続し、この状態で導電性ペースト８が硬化して導体層が形成されて、ビアホール１５が形成される。更に、シート材１ｄと金属箔付きシート材１３ｃの間の界面においては、上記の一体成形時にシート材１ｄの導体回路５の所定箇所が金属箔付きシート材１３ｃの貫通孔３に充填された導電性ペースト８と接続されることによりこの導電性ペースト８が導体回路５と金属箔９との間を接続し、この状態で導電性ペースト８が硬化して導体層が形成されて、ビアホール１５が形成される。

このとき、配線板用シート材１ｅ及び金属箔付きシート材１３ｃでは、既述のように貫通孔３内には予め導電性ペースト８が密に充填されているため、導電性が高く接続信頼性の高いビアホール１５が形成される。また、配線板用シート材１ｄにおいては、導電性ペースト８は貫通孔３の開口から突出しており、この導電性ペースト８の突出部分は、上記の一括成形時に加圧により貫通孔３内に押し込まれて密に充填されて、これにより導電性が高く接続信頼性の高いビアホール１５が形成される。

この加熱加圧成形は、Ｂステージ状態の樹脂層４及び導電性ペースト８の硬化反応が進行する条件で行われるものであり、その条件は樹脂層４を構成する樹脂組成物の組成にもよるが、加熱温度１６０〜１８５℃、加圧力０．３〜５ＭＰａの条件で６０〜９０分間成形を行うことが好ましい。このようにして得られる多層板１１は、図２２（ｂ）に示すように、両側の最外層にそれぞれ金属箔９が設けられると共に内層には二層の導体回路５が設けられ、また各層間を導通するビアホール１５が形成される。また三層の絶縁層１６のうちの二層の内部には電気部品１０が配されている。

また更に外面の金属箔９に対してエッチング処理を施すなどして、両側の外層にそれぞれ導体回路５を形成して、図２２（ｃ）に示すように四層の導体回路５を有する多層板１１を得ることもできる。

図２３に示す例では、図７に示す工程にて得られる配線板用シート材１ｆと、図１６に示す工程にて得られる片面回路付きシート材１３ａと、図１８に示す工程にて得られる金属箔付きシート材１３ｃとを一枚ずつ用い、これらを積層一体化するものである。

図示の例では、まず金属箔付きシート材１３ｃの金属箔９が形成されていない面と、配線板用シート材１ｆの一面（電気部品１０が実装されていない導体回路５が形成されている面）とを対向させると共に、配線板用シート材１ｆの他面（電気部品１０が実装されている導体回路５が形成されている面）と、片面回路付きシート材１３ａの導体回路５が形成されていない面とを対向させた状態で、これらを積層配置する。このとき各対向面においては、貫通孔３の開口位置に、導体回路５の所定箇所が配置されるように位置合わせされる。

この状態で、加熱加圧成形を行うことにより、配線板用シート材１ｆ、片面回路付きシート材１３ａ及び金属箔付きシート材１３ｃが一括して積層成形される。

この成形過程においては、Ｂステージ状態の樹脂層４が溶融した後硬化することにより、金属箔付きシート材１３ｃと配線板用シート材１ｆとの間及び配線板用シート材１ｆと片面回路付きシート材１３ａとの間の界面が接合して積層一体化されると共に、各樹脂層４の硬化物にて絶縁層１６が形成される。また導電性ペースト８を充填した貫通孔３では、導電性ペースト８が硬化されて導体層が形成され、これにより導体回路５間、あるいは金属箔９と導体回路５間を導通するビアホール１５が形成される。このときシート材１ｆの貫通孔３内に充填された導電性ペースト８は既に述べたように予め導体回路５間を接続しており、この状態で導電性ペースト８が硬化して導体層が形成されて、ビアホール１５が形成される。また配線板用シート材１ｆと金属箔付きシート材１３ｃの間の界面においては、上記の一体成形時に配線板用シート材１ｆの導体回路５の所定箇所が金属箔付きシート材１３ｃの貫通孔３に充填された導電性ペースト８と接続されることによりこの導電性ペースト８が導体回路５間を接続し、この状態で導電性ペースト８が硬化して導体層が形成されて、ビアホール１５が形成される。更に、配線板用シート材１ｆと片面回路付きシート材１３ａの間の界面においては、上記の一体成形時に配線板用シート材１ｆの導体回路５の所定箇所が片面回路付きシート材１３ａの貫通孔３に充填された導電性ペースト８と接続されることによりこの導電性ペースト８が導体回路５と金属箔９との間を接続し、この状態で導電性ペースト８が硬化して導体層が形成されて、ビアホール１５が形成される。

またこのとき、配線板用シート材１ｆ、片面回路付きシート材１３ａ及び金属箔付きシート材１３ｃでは、既述のように貫通孔３内には予め導電性ペースト８が密に充填されているため、導電性が高く接続信頼性の高いビアホール１５が形成される。

この加熱加圧成形は、Ｂステージ状態の樹脂層４及び導電性ペースト８の硬化反応が進行する条件で行われるものであり、その条件は既述の場合と同様とすることができる。

このようにして得られる多層板１１は、図２３（ｂ）に示すように、一方の最外層に金属箔９が、他方の最外層に導体回路５がそれぞれ設けられると共に、内層には二層の導体回路５が設けられ、また各層間を導通するビアホール１５が形成される。また三層の絶縁層１６のうちの一層の内部には電気部品１０が配されている。

また更に外面の金属箔９に対してエッチング処理を施すなどして、両側の外層にそれぞれ導体回路５を形成して、図２３（ｃ）に示すように四層の導体回路５を有する多層板１１を得ることもできる。

図２４に示す例では、図５に示す工程にて得られる二枚の配線板用シート材１ｄと、図７に示す工程にて得られる一枚の配線板用シート材１ｆとを積層一体化するものである。

図示の例では、まず一方の配線板用シート材１ｄと、配線板用シート材１ｆとを、配線板用シート材１ｄの導体回路５が形成されていない面と、配線板用シート材１ｆの一面（電気部品１０が実装されていない導体回路５が形成されている側の面）とを対向させると共に、配線板用シート材１ｆと他方の配線板用シート材１ｄとを、配線板用シート材１ｆの他面（電気部品１０が実装されている導体回路５が形成されている側の面）と、配線板用シート材１ｄの導体回路５が形成されていない側の面とを対向させた状態で、これらを積層配置する。このとき各対向面においては、貫通孔３の開口位置に、導体回路５の所定箇所が配置されるように位置合わせされる。

この状態で、加熱加圧成形を行うことにより、二枚の配線板用シート材１ｄと一枚の配線板用シート材１ｆとが一括して積層成形される。

この成形過程においては、Ｂステージ状態の樹脂層４が溶融した後硬化することにより、一方の配線板用シート材１ｄと配線板用シート材１ｆとの間及び配線板用シート材１ｆと他方の配線板用シート材１ｄとの間の界面が接合して積層一体化されると共に、各樹脂層４の硬化物にて絶縁層１６が形成される。また導電性ペースト８を充填した貫通孔３では、導電性ペースト８が硬化されて導体層が形成され、これにより導体回路５間を導通するビアホール１５が形成される。このとき配線板用シート材１ｆの貫通孔３内に充填された導電性ペースト８は既に述べたように予め導体回路５間を接続しており、この状態で導電性ペースト８が硬化して導体層が形成されて、ビアホール１５が形成される。また配線板用シート材１ｆと各配線板用シート材１ｄとのそれぞれの界面においては、上記の一体成形時に配線板用シート材１ｆの導体回路５の所定箇所が各配線板用シート材１ｄの貫通孔３に充填された導電性ペースト８と接続されることによりこの導電性ペースト８が導体回路５間を接続し、この状態で導電性ペースト８が硬化して導体層が形成されて、ビアホール１５が形成される。

またこのとき、配線板用シート材１ｆでは、既述のように貫通孔３内には予め導電性ペースト８が密に充填されているため、導電性が高く接続信頼性の高いビアホール１５が形成される。また、配線板用シート材１ｄにおいては、導電性ペースト８は貫通孔３の開口から突出しており、この導電性ペースト８の突出部分は、上記の一括成形時に加圧により貫通孔３内に押し込まれて密に充填されて、これにより導電性が高く接続信頼性の高いビアホール１５が形成される。

このようにして得られる多層板１１は、図２４（ｂ）に示すように、両側の最外層にそれぞれ導体回路５が設けられると共に内層にも二層の導体回路５が設けられ、また各層間を導通するビアホール１５が形成される。また三層の絶縁層１６には全て内部に電気部品１０が配されている。

図２５に示す例では、図３に示す工程にて得られる配線板用シート材１ｂと、図５に示す工程にて得られる配線板用シート材１ｄと、図１６に示す工程にて得られる片面回路付きシート材１３ａとをそれぞれ一枚ずつ用い、これらを積層一体化するものである。

図示の例では、まず配線板用シート材１ｄと、配線板用シート材１ｂとを、配線板用シート材１ｄの導体回路５が形成されていない面と、配線板用シート材１ｂの一面（貫通孔３から導電性ペースト８が突出している面）とを対向させると共に、配線板用シート材１ｂと片面回路付きシート材１３ａとを、配線板用シート材１ｂの他面（貫通孔３から導電性ペースト８が突出していない面）が片面回路付きシート材１３ａの導体回路５が形成されていない側の面とを対向させた状態で、これらを積層配置する。このとき各対向面においては、貫通孔３の開口位置に、導体回路５の所定箇所が配置されるように位置合わせされる。

この状態で、加熱加圧成形を行うことにより、配線板用シート材１ｄ、配線板用シート材１ｂ及び片面回路付きシート材１３ａが一括して積層成形される。

この成形過程においては、Ｂステージ状態の樹脂層４が溶融した後硬化することにより、配線板用シート材１ｄと配線板用シート材１ｂとの間及び配線板用シート材１ｂと片面回路付きシート材１３ａとの間の界面が接合して積層一体化されると共に、各樹脂層４の硬化物にて絶縁層１６が形成される。また導電性ペースト８を充填した貫通孔３では、導電性ペースト８が硬化されて導体層が形成され、これにより導体回路５間を導通するビアホール１５が形成される。このとき配線板用シート材１ｂの貫通孔３内に充填された導電性ペースト８は既に述べたように予め導体回路５間を接続しており、この状態で導電性ペースト８が硬化して導体層が形成されて、ビアホール１５が形成される。また配線板用シート材１ｄと配線板用シート材１ｂとの界面においては、上記の一体成形時に配線板用シート材１ｂの導体回路５の所定箇所が配線板用シート材１ｄの貫通孔３に充填された導電性ペースト８と接続されることによりこの導電性ペースト８が導体回路５間を接続し、この状態で導電性ペースト８が硬化して導体層が形成されて、ビアホール１５が形成される。更に、配線板用シート材１ｂと片面回路付きシート材１３ａとの界面においては、上記の一体成形時に配線板用シート材１ｂの導体回路５の所定箇所が片面回路付きシート材１３ａの貫通孔３に充填された導電性ペースト８と接続されることによりこの導電性ペースト８が導体回路５間を接続し、この状態で導電性ペースト８が硬化して導体層が形成されて、ビアホール１５が形成される。

またこのとき、片面回路付きシート材１３ａでは、既述のように貫通孔３内には予め導電性ペースト８が密に充填されているため、導電性が高く接続信頼性の高いビアホール１５が形成される。また、配線板用シート材１ｂ及び配線板用シート材１ｄにおいては、導電性ペースト８は貫通孔３の開口から突出しており、この導電性ペースト８の突出部分は、上記の一括成形時に加圧により貫通孔３内に押し込まれて密に充填されて、これにより導電性が高く接続信頼性の高いビアホール１５が形成される。

このようにして得られる多層板１１は、図２５（ｂ）に示すように、両側の最外層にそれぞれ導体回路５が設けられると共に内層にも二層の導体回路５が設けられ、また各層間を導通するビアホール１５が形成される。また三層の絶縁層１６のうちの二層の内部には電気部品１０が配されている。

図２６に示す例では、図７に示す工程にて得られる一枚の配線板用シート材１ｆと、図１６に示す工程にて得られる二枚の片面回路付きシート材１３ａとを積層一体化するものである。

図示の例では、まず一方の片面回路付きシート材１３ａと配線板用シート材１ｆとを、片面回路付きシート材１３ａの導体回路５が形成されていない面と、配線板用シート材１ｆの一面（電気部品１０が実装されていない導体回路５が形成されている側の面）とを対向させると共に、配線板用シート材１ｆと他方の片面回路付きシート材１３ａとを、片面回路付きシート材１ｆの他面（電気部品１０が実装されている導体回路５が形成されている面）と片面回路付きシート材１３ａの導体回路５が形成されていない面とを対向させた状態で、これらを積層配置する。このとき各対向面においては、貫通孔３の開口位置に、導体回路５の所定箇所が配置されるように位置合わせされる。

この状態で、加熱加圧成形を行うことにより、二枚の片面回路付きシート材１３ａと一枚の配線板用シート材１ｆとが一括して積層成形される。

この成形過程においては、Ｂステージ状態の樹脂層４が溶融した後硬化することにより、一方の片面回路付きシート材１３ａと配線板用シート材１ｆとの間及び配線板用シート材１ｆと他方の片面回路付きシート材１３ａとの間の界面が接合して積層一体化されると共に、各樹脂層４の硬化物にて絶縁層１６が形成される。また導電性ペースト８を充填した貫通孔３では、導電性ペースト８が硬化されて導体層が形成され、これにより導体回路５間を導通するビアホール１５が形成される。このとき配線板用シート材１ｆの貫通孔３内に充填された導電性ペースト８は既に述べたように予め導体回路５間を接続しており、この状態で導電性ペースト８が硬化して導体層が形成されて、ビアホール１５が形成される。また各片面回路付きシート材１３ａと配線板用シート材１ｆとの界面においては、上記の一体成形時に配線板用シート材１ｆの導体回路５の所定箇所が各片面回路付きシート材１３ａの貫通孔３に充填された導電性ペースト８と接続されることによりこの導電性ペースト８が導体回路５間を接続し、この状態で導電性ペースト８が硬化して導体層が形成され、ビアホール１５が形成される。

またこのとき、配線板用シート材１ｆ及び各片面回路付きシート材１３ａでは、既述のように貫通孔３内には予め導電性ペースト８が密に充填されているため、導電性が高く接続信頼性の高いビアホール１５が形成される。

このようにして得られる多層板１１は、図２６（ｂ）に示すように、両側の最外層にそれぞれ導体回路５が設けられると共に内層にも二層の導体回路５が設けられ、また各層間を導通するビアホール１５が形成される。また三層の絶縁層１６のうちの一層の内部には電気部品１０が配されている。

上記のようにして多層板１１を作製すると、表面が平坦であり、かつＢステージ状態の樹脂層４からなるシート状の部材を積層していることから、成形過程において導体回路５が形成されている箇所における絶縁層１６の変形が生じず、絶縁層１６における絶縁信頼性が高いものである。しかも複数のシート状の部材を一括して積層成形することから、成形工程の簡略化が可能であって成形に煩雑な手間や時間がかからないようになり、且つ成形時に各層の導体回路５に熱履歴の相違が生じなくなり、熱履歴の相違による導体回路５の収縮率に基づく補正が不要となる。

また、ビアホール１５が形成された絶縁層１６に対して任意の箇所に導体回路５を形成することができて配線設計の自由度が高く、ビアオンビア構造やパッドオンビア構造を容易に形成することができ、回路の微細化・高密度化が容易なものとなって配線板の小型化、薄型化を達成することができ、また信号経路の短縮化もできるものである。

また、両面に導体回路５が形成された配線板用シート材１と、シート材１３と、金属箔９とを用い、配線板用シート材１の両面に少なくとも一枚のシート材１３を積層すると共に最外層に金属箔９を配置して積層一体化した後、硬化後の積層体を貫通する貫通孔１９を形成すると共に貫通孔１９内にホールめっき１８を形成し、次いで最外層の金属箔９の表面にエッチング処理を施すことにより導体回路５を形成することにより、多層板１１を製造することもできる。その一例を図２７に示す。

図２７に示す例では、図１に示す工程にて得られる配線板用シート材１ａを１枚と、図１５に示す工程にて得られるシート材１３ｆを二枚と、金属箔９を二枚用い、これらを積層一体化するものである。

金属箔９としては銅箔等の適宜のものが用いられ、例えば図６に示す配線板用シート材１ｅを製造する場合と同様のものを用いることができる。

図示の例では、まず配線板用シート材１ａの両側に、シート材１３ｆを、配線板用シート材１ａの導体回路５が形成された面と、シート材１３ｆの一面（貫通孔３から導電性ペースト８が突出している面）とを対向させるように配置すると共に、各シート材１３ｆの外側にそれぞれ金属箔９を、シート材１３ｆの他面（貫通孔３から導電性ペースト８が突出していない面）と金属箔９の粗面とが対向するようにして、これらを積層配置する。このとき配線板用シート材１ａとシート材１３ｆとの各対向面においては、貫通孔３の開口位置に、導体回路５の所定箇所が配置されるように位置合わせされる。

この状態で、加熱加圧成形を行うことにより、配線板用シート材１ａ、シート材１３ｆ及び金属箔９が一括して積層成形される。

この成形過程においては、Ｂステージ状態の樹脂層４が溶融した後硬化することにより、配線板用シート材１ａとシート材１３ｆとの間及びシート材１３ｆと金属箔９との間の界面が接合して積層一体化されると共に、各樹脂層４の硬化物にて絶縁層１６が形成される。また導電性ペースト８を充填した貫通孔３では、導電性ペースト８が硬化されて導体層が形成され、これにより導体回路５間を導通するビアホール１５が形成される。また配線板用シート材１ａとシート材１３ｆとの界面においては、上記の一体成形時に配線板用シート材１ａの導体回路５の所定箇所がシート材１３ｆの貫通孔３に充填された導電性ペースト８と接続されると共に、シート材１３ｆと金属箔９との界面においては金属箔９がシート材１３ｆの貫通孔３に充填された導電性ペースト８と接続されることにより、導体回路５と金属箔９の間を接続し、この状態で導電性ペースト８が硬化して導体層が形成されて、ビアホール１５が形成される。

次いで、得られた積層体の所定箇所に、レーザ加工等により、その積層方向に貫通する貫通孔１９を形成する。この貫通孔１９は、各樹脂層４（絶縁層１６）と金属箔９とを貫通するように形成され、また必要に応じて内層の導体回路５（配線板用シート材１ａに転写された導体回路５）の所定箇所を貫通するように形成される。

次に、形成された貫通孔１９の内面に無電解めっき処理を施すと共に必要に応じて電解めっき処理を施して、銅めっき等のホールめっき１８を形成した後、最外層の金属箔９にエッチング処理を施して、最外層に導体回路５を形成する（図２７（ｃ））。

このようにして得られる多層板１１は、図２７（ｃ）に示すように、両側の最外層にそれぞれ金属箔９のエッチング処理による導体回路５が設けられると共に、内層にも転写用基材６による転写により形成された二層の導体回路５が設けられ、また各層間を導通するビアホール１５が形成される。また三層の絶縁層１６のうちの一層の内部には電気部品１０が配されている。

また外層の導体回路５を、樹脂層４の硬化による絶縁層１６の形成後における、金属箔９のエッチング処理により形成したことから、この外層の導体回路５のピール強度が向上、ランド強度が増し、この外層の導体回路５に部品を実装する際の保持能力が向上する。

また積層成形後に更に多層板１１全体を貫通するスルーホールを形成することができて配線設計の自由度が更に向上しているものである。

このような積層成形後の、多層板１１全体を貫通するスルーホールの形成は、本実施形態におけるものには限られず、多層板１１を製造する全ての配線板用シート材１及びシート材１３の組み合わせにおいて、このようなスルーホールの形成を行うことができるものである。

また、積層一体化後の積層体を貫通する貫通孔１９を形成し、貫通孔１９内面にホールめっき１８を施した後、この貫通孔１９内に導電性ペースト８を充填することにより、多層板１１全体を貫通するスルーホールを形成することもできる。この場合、例えば両面に導体回路５が形成された配線板用シート材１と、導電性ペースト８が充填された貫通孔３を有するシート材１３と、表面に導体回路５が設けられた転写用基材６とを用い、少なくとも一枚のシート材１３を、配線板用シート材１の一面又は両面に積層すると共に、更にその外層に、転写用基材６を導体回路５とシート材１３とが対向するように積層して積層一体化した後、転写用基材６を剥離し、次いで積層体の両面に保護フィルム１２を積層した状態で硬化後の積層体を貫通する貫通孔１９を形成し、貫通孔１９内にホールめっき１８を施すと共に導電性ペースト８を充填させてから保護フィルム１２を剥離することにより、多層板１１を得ることもできる。その一例を図２８に示す。

図２８に示す例では、両面に導体回路５が形成された配線板用シート材１（図示の例では図１に示す工程にて得られる配線板用シート材１ａ）と、図１５に示す工程にて得られるシート材１３ｆと、表面に導体回路５が形成された転写用基材６を用い、これらを積層一体化するものである。

導体回路５の形成がなされた転写用基材６は、既述のようにして形成されたものが用いられる。このとき転写用基材６としては、配線板用シート材１の製造に用いるものと同様にステンレス材等の金属材にて形成しても良いが、転写用基材６を樹脂フィルムにて形成することもできる。すなわち、配線板用シート材１の製造時に、特に転写用基材６に転写用の導体回路５を形成すると共に電気部品１０を実装する場合には、電気部品１０の実装時における半田付け加工等により転写用基材６が高温となり、また電気部品１０を樹脂層４に埋設する際には樹脂層４を十分に溶融軟化するために高温をかけなければならない場合があり、このため転写用基材６には高い耐熱性が必要とされるが、この多層板１１の成形時には転写用基材６には電気部品１０は実装されないため、配線板用シート材１の製造時ほどの耐熱性は必要とされず、このため転写用基材６を樹脂フィルムにて形成することができるものである。この場合、樹脂フィルムとしては、例えば既知のＰＥＴフィルム、フッ素系フィルム等で、加熱やＵＶ光等により導体回路５との剥離ができる接着剤を有する樹脂フィルムを用いることができる。

図示の例では、まず配線板用シート材１ａの片側又は両側（図示では片側）に、シート材１３ｆを、配線板用シート材１ａの導体回路５が形成された面と、シート材１３ｆの一面（貫通孔３から導電性ペースト８が突出している面）とを対向させるように配置すると共に、シート材１３ｆの外側に導体回路５の形成がなされた転写用基材６を、シート材１３ｆの他面（貫通孔３から導電性ペースト８が突出していない面）と転写用基材６に設けた導体回路５とが対向するようにして、これらを積層配置する。このとき配線板用シート材１ａとシート材１３ｆとの対向面においては、貫通孔３の開口位置に、導体回路５の所定箇所が配置されるように位置合わせすると共に、シート材１３ｆと転写用基材６に設けた導体回路９との対向面においても貫通孔３の開口位置に、導体回路５の所定箇所が配置されるように位置合わせされる。

この状態で、加熱加圧成形を行うことにより、配線板用シート材１ａ、シート材１３ｆ及び転写用基材６に設けた導体回路５が一括して積層成形される。

この成形過程においては、Ｂステージ状態の樹脂層４が溶融した後硬化することにより、配線板用シート材１ａとシート材１３ｆとの間及びシート材１３ｆと（転写用基材６に設けた）導体回路５との間の界面が接合して積層一体化されると共に、各樹脂層４の硬化物にて絶縁層１６が形成される。このとき、転写用基材６に設けた導体回路５は、シート材１３ｆの樹脂層４が溶融軟化することにより流動してこの樹脂層４中に埋設される。

また導電性ペースト８を充填した貫通孔３では、導電性ペースト８が硬化されて導体層が形成され、これにより導体回路５間を導通するビアホール１５が形成される。また配線板用シート材１ａとシート材１３ｆとの界面においては、上記の一体成形時に配線板用シート材１ａの導体回路５の所定箇所がシート材１３ｆの貫通孔３に充填された導電性ペースト８と接続されると共に、シート材１３ｆと（転写用基材６に設けた）導体回路５との界面においては導体回路５の所定箇所がシート材１３ｆの貫通孔３に充填された導電性ペースト８と接続されることにより、導体回路５間を接続し、この状態で導電性ペースト８が硬化して導体層が形成されて、ビアホール１５が形成される。また導電性ペースト８は、加圧によって貫通孔３から突出した部分が貫通孔３内に押し込まれると共に、貫通孔３の配置位置において導体回路５の所定箇所が樹脂層４に埋設されることにより更に押し込まれ、貫通孔３内に更に密に充填され、これによりビアホール１５の導電性が向上する。

次いで、得られた積層体から転写用基材６を剥離した後、両面に保護フィルム１２を積層して配置し、その状態で所定箇所に、レーザ加工等により、その積層方向に貫通する貫通孔１９を形成する。この貫通孔１９は、各樹脂層４（絶縁層１６）を貫通するように形成され、また必要に応じて配線板用シート材１ａに転写されていた導体回路５や、最外層に新たに転写した導体回路５の所定箇所を貫通するように形成される。

次に、形成された貫通孔１９の内面に無電解めっき処理を施すと共に必要に応じて電解めっき処理を施して、銅めっき等のホールめっき１８を形成した後、保護フィルム１２の外面に導電性ペースト８を塗布することによって、貫通孔１９の開口から貫通孔１９内に導電性ペースト８が充填されるようにする。

次に、両面の保護フィルム１２を剥離した後、必要に応じて加熱を施すことにより貫通孔１９内に導電性ペースト８を硬化させて、スルーホールを形成する。

このようにして得られる多層板１１は、図２８（ｃ）に示すように、両側の最外層にそれぞれ樹脂層４（絶縁層１６）に埋設されると共にその表面に露出する導体回路５が設けられると共に、内層にも転写用基材６による転写により形成された導体回路５が設けられ、また各層間を導通するビアホール１５が形成される。また一層の絶縁層１６の内部には電気部品１０が配されている。

また積層成形後に更に多層板１１全体を貫通するスルーホールを形成することができて配線設計の自由度が更に向上しているものである。また特にこのスルーホールは、ホールめっき１８と導電性ペースト８とによって導電性が確保されていることから、導通信頼性が高いものである。

このような積層成形後の、多層板１１全体を貫通するスルーホールの形成は、本実施形態におけるものには限られず、多層板１１を製造する全ての配線板用シート材１及びシート材１３の組み合わせにおいて、これを積層一体化した積層体の全体を貫通する貫通孔１９を形成し、貫通孔１９内面にホールめっき１８を施した後、この貫通孔１９内に導電性ペースト８を充填することで、多層板１１全体を貫通するスルーホールの形成を行うことができるものである。このとき多層板１１全体を貫通するスルーホールは経路が長くなるが、ホールめっき１８と導電性ペースト８の併用により優れた導通信頼性が確保できる。

また、図２８に示す実施形態において、導体回路５を設けた転写用基材６を用いないようにすると共にシート材１３ｆの代わりに、図１６に示すシート材１３ａを用いることもできる。また、配線板用シート材１の両面にシート材１３を積層する場合には、配線板用シート材１の一面にシート材１３ｆと導体回路５を設けた転写用基材６を積層し、配線板用シート材１の他面に図１６に示すシート材１３ａを積層することもできる。その一例を図２９に示す。

図２９に示す例では、両面に導体回路５が形成された配線板用シート材１（図示の例では図１に示す工程にて得られる配線板用シート材１ａ）と、図１５に示す工程にて得られるシート材１３ｆと、図１６に示す工程にて得られるシート材１３ａと、表面に導体回路５が形成された転写用基材６を用い、これらを積層一体化するものである。

図示の例では、まず配線板用シート材１ａの一面側に、シート材１３ｆを、配線板用シート材１ａの導体回路５が形成された面と、シート材１３ｆの一面（貫通孔３から導電性ペースト８が突出している面）とを対向させるように配置すると共に、シート材１３ｆの外側に導体回路５の形成がなされた転写用基材６を、シート材１３ｆの他面（貫通孔３から導電性ペースト８が突出していない面）と転写用基材６に設けた導体回路５とが対向するようにして、これらを積層配置する。このとき配線板用シート材１ａとシート材１３ｆとの対向面においては、貫通孔３の開口位置に、導体回路５の所定箇所が配置されるように位置合わせすると共に、シート材１３ｆと転写用基材６に設けた導体回路５との対向面においても貫通孔３の開口位置に、導体回路５の所定箇所が配置されるように位置合わせされる。

また、配線板用シート材１ａの他面側に、シート材１３ａを、配線板用シート材１ａの導体回路５が形成された面と、シート材１３ａの一面（貫通孔３から導電性ペースト８が突出している面）とを対向させるようにして、積層配置する。このとき配線板用シート材１ａとシート材１３ａとの対向面においては、貫通孔３の開口位置に、導体回路５の所定箇所が配置されるように位置合わせする。

この状態で、加熱加圧成形を行うことにより、配線板用シート材１ａ、シート材１３ａ、シート材１３ｆ及び転写用基材６に設けた導体回路５が一括して積層成形される。

この成形過程においては、Ｂステージ状態の樹脂層４が溶融した後硬化することにより、配線板用シート材１ａとシート材１３ｆとの間の界面、シート材１３ｆと（転写用基材６に設けた）導体回路５との間の界面、配線板用シート材１ａとシート材１３ａとの界面がそれぞれ接合して積層一体化されると共に、各樹脂層４の硬化物にて絶縁層１６が形成される。このとき、転写用基材６に設けた導体回路５は、シート材１３ｆの樹脂層４が溶融軟化することにより流動してこの樹脂層４中に埋設される。

また導電性ペースト８を充填した貫通孔３では、導電性ペースト８が硬化されて導体層が形成され、これにより導体回路５間を導通するビアホール１５が形成される。また配線板用シート材１ａとシート材１３ｆとの界面、並びに配線板用シート材１ａとシート材１３ａとの界面においては、上記の一体成形時に配線板用シート材１ａの導体回路５の所定箇所がシート材１３ｆ，１３ａの貫通孔３に充填された導電性ペースト８と接続されると共に、シート材１３ｆと（転写用基材６に設けた）導体回路５との界面においては導体回路５の所定箇所がシート材１３ｆの貫通孔３に充填された導電性ペースト８と接続されることにより、導体回路５間を接続し、この状態で導電性ペースト８が硬化して導体層が形成されて、ビアホール１５が形成される。また導電性ペースト８は、加圧によって貫通孔３から突出した部分が貫通孔３内に押し込まれると共に、特に配線板用シート材１ａとシート材１３ｆとの界面では貫通孔３の配置位置において導体回路５の所定箇所が樹脂層４に埋設されることにより更に押し込まれ、貫通孔３内に更に密に充填され、これによりビアホール１５の導電性が向上する。

次いで、得られた積層体から転写用基材６を剥離した後、両面に保護フィルム１２を積層して配置し、その状態で所定箇所に、レーザ加工等により、その積層方向に貫通する貫通孔１９を形成する、この貫通孔１９は、各樹脂層４（絶縁層１６）を貫通するように形成され、また必要に応じて配線板用シート材１ａやシート材１３ａに転写されていた導体回路５や、外層に新たに転写した導体回路５の所定箇所を貫通するように形成される。

このようにして得られる多層板１１は、図２９（ｃ）に示すように、両側の最外層にそれぞれ樹脂層４（絶縁層１６）に埋設されると共にその表面に露出する導体回路５が設けられると共に、内層にも転写用基材６による転写により形成された導体回路５が設けられ、また各層間を導通するビアホール１５が形成される。また一層の絶縁層１６の内部には電気部品１０が配されている。

また、図１１に示す工程を経て得られた配線板用シート材１と、図１５（ｃ）に示すようなシート材１３ｆと、導体回路５が設けられた転写用基材６とを用い、配線板用シート材１の片面又は両面に少なくとも一枚のシート材１３ｆを積層すると共に、更にその外層に転写用基材６をその導体回路５とシート材１３ｆとが対向するように積層して積層一体化した後、転写用基材６を剥離することにより、多層板１１を得ることもできる。またこのとき、導体回路５を設けた転写用基材６を用いないようにすると共にシート材１３ｆの代わりに、図１６に示すシート材１３ａを用い、シート材１３ａと配線板用シート材１と、シート材１３ａに設けられた導体回路５が外面側に配置されるように積層することもできる。また、配線板用シート材１の両面にシート材１３を積層する場合には、配線板用シート材１の一面にシート材１３ｆと導体回路５を設けた転写用基材６を積層し、配線板用シート材１の他面に図１６に示すシート材１３ａを積層することもできる。その一例を図３０に示す。

図３０に示す例では、図１１に示す工程にて得られる配線板用シート材１ｋと、図１５に示す工程にて得られるシート材１３ｆと、図１６に示す工程にて得られるシート材１３ａと、表面に導体回路５が形成された転写用基材６を用い、これらを積層一体化するものである。図示の例では、配線板用シート材１ｋとしては、両面の導体回路５のうち、片側の導体回路５のみに電気部品１０が実装されているものを用いているが、勿論両側の導体回路５にそれぞれ電気部品１０が実装されているものを用いても良い。

図示の例では、まず配線板用シート材１ｋの一面側に、シート材１３ｆを、配線板用シート材１ｋの導体回路５が形成された面と、シート材１３ｆの一面（貫通孔３から導電性ペースト８が突出している面）とを対向させるように配置すると共に、シート材１３ｆの外側に導体回路５の形成がなされた転写用基材６を、シート材１３ｆの他面（貫通孔３から導電性ペースト８が突出していない面）と転写用基材６に設けた導体回路５とが対向するようにして、これらを積層配置する。このとき配線板用シート材１ｋとシート材１３ｆとの対向面においては、貫通孔３の開口位置に、導体回路５の所定箇所が配置されるように位置合わせすると共に、シート材１３ｆと転写用基材６に設けた導体回路５との対向面においても貫通孔３の開口位置に、導体回路５の所定箇所が配置されるように位置合わせされる。

また、配線板用シート材１ｋの他面側に、シート材１３ａを、配線板用シート材１ｋの導体回路５が形成された面と、シート材１３ａの一面（貫通孔３から導電性ペースト８が突出している面）とを対向させるようにして、積層配置する。このとき配線板用シート材１ｋとシート材１３ａとの対向面においては、貫通孔３の開口位置に、導体回路５の所定箇所が配置されるように位置合わせする。

この状態で、加熱加圧成形を行うことにより、配線板用シート材１ｋ、シート材１３ａ、シート材１３ｆ及び転写用基材６に設けた導体回路５が一括して積層成形される。

この成形過程においては、Ｂステージ状態の樹脂層４が溶融した後硬化することにより、配線板用シート材１ｋとシート材１３ｆとの間の界面、シート材１３ｆと（転写用基材６に設けた）導体回路５との間の界面、配線板用シート材１ｋとシート材１３ａとの界面がそれぞれ接合して積層一体化されると共に、各樹脂層４の硬化物にて絶縁層１６が形成される。このとき、転写用基材６に設けた導体回路５は、シート材１３ｆの樹脂層４が溶融軟化することにより流動してこの樹脂層４中に埋設される。

またシート材１３ｆ，１３ａにおける導電性ペースト８を充填した貫通孔３では、導電性ペースト８が硬化されて導体層が形成され、これによりビアホール１５が形成される。また配線板用シート材１ｋとシート材１３ｆとの界面、並びに配線板用シート材１ｋとシート材１３ａとの界面においては、上記の一体成形時に配線板用シート材１ｋの導体回路５の所定箇所がシート材１３ｆ，１３ａの貫通孔３に充填された導電性ペースト８と接続されると共に、シート材１３ｆと（転写用基材６に設けた）導体回路５との界面においては導体回路５の所定箇所がシート材１３ｆの貫通孔３に充填された導電性ペースト８と接続されることにより、導体回路５間を接続し、この状態で導電性ペースト８が硬化して導体層が形成されて、ビアホール１５が形成される。またこの導電性ペースト８は、加圧によって貫通孔３から突出した部分が貫通孔３内に押し込まれると共に、特に配線板用シート材１ｋとシート材１３ｆとの界面では貫通孔３の配置位置において導体回路５の所定箇所が樹脂層４に埋設されることにより更に押し込まれ、貫通孔３内に更に密に充填され、これによりビアホール１５の導電性が向上する。

また、配線板用シート材１ｋにおける、内面にホールめっき１８が形成された貫通孔３に充填された導電性ペースト８又は樹脂ペースト２０は、加圧によって貫通孔３から突出した部分が貫通孔３内に押し込まれて貫通孔３内に更に密に充填されると共に硬化してビアホール１５が形成される。このビアホール１５では、樹脂ペースト２０が充填されている場合にはホールめっき１８にて、また導電性ペースト８が充填されている場合にはホールめっき１８と導電性ペースト８の硬化物によって、配線板用シート材１ｋの両側の導体回路５を導通接続する。

この加熱加圧成形は、Ｂステージ状態の樹脂層４及び導電性ペースト８（及び樹脂ペースト２０）の硬化反応が進行する条件で行われるものであり、その条件は既述の場合と同様とすることができる。

次いで、得られた積層体から転写用基材６を剥離することにより、多層板１１が得られる。

このようにして得られる多層板１１は、図３０（ｂ）に示すように、両側の最外層にそれぞれ樹脂層４（絶縁層１６）に埋設されると共にその表面に露出する導体回路５が設けられると共に、内層にも転写用基材６による転写により形成された導体回路５が設けられ、また各層間を導通するビアホール１５が形成される。また一層の絶縁層１６の内部には電気部品１０が配されている。また特に電気部品１０が埋設された絶縁層１６においては、ビアホール１５の導通がホールめっき１８により確保されて、優れた導通安定性を有する。

また、図３０に示す実施形態において、特に配線板用シート材１ｋとして、ホールめっき１８を有する貫通孔３に樹脂ペースト２０を充填したものを用い、この配線板用シート材１ｋに積層されるシート材１３ｆ，１３ａ等のような導電性ペースト８が充填された貫通孔３を有するシート材１３として、その貫通孔３内にホールめっき１８を形成せずに、導電性ペースト８のみで導通を確保するものを用いることができる。この場合、得られる多層板１１では、樹脂層４（絶縁層１６）に電気部品１０が埋設される場合においては、電気部品１０の厚み分だけ絶縁層１６の厚みが厚くなり、ビアホール１５の経路が長くなるが、このビアホール１５の導通をホールめっき１８にて確保することにより、ビアホール１５の導通信頼性を確保することができる。このときホールめっき１８としては、無電解めっき処理に続いて電解めっき処理を施すことにより厚膜に形成することが好ましい。また電気部品１０が埋設されない樹脂層４（絶縁層１６）では、絶縁層１６を薄膜に形成できてビアホール１５の経路を短くすることができ、このため導電性ペースト８のみにてビアホール１５の導通信頼性を確保することができるものである。

また、図１１に示す工程を経て得られた配線板用シート材１と、図１５（ｃ）に示すようなシート材１３ｆと、銅箔等の金属箔９とを用い、配線板用シート材１の片面又は両面に少なくとも一枚のシート材１３ｆを積層すると共に、更にその外層に金属箔９を積層して積層一体化した後、転写用基材６を剥離することにより、多層板１１を得ることもできる。またこのとき、金属箔９を用いないようにすると共にシート材１３ｆの代わりに、図１８（ｂ）に示すシート材１３ｃを用い、シート材１３ｃと配線板用シート材１とを、シート材１３ｃの金属箔９が外側に配置されるように積層することもできる。また、配線板用シート材１の両面にシート材１３を積層する場合には、配線板用シート材１の一面にシート材１３ｆと金属箔９を積層し、配線板用シート材１の他面に図１８（ｂ）に示すシート材１３ｃを積層することもできる。その一例を図３１に示す。

図３１に示す例では、図１１に示す工程にて得られる配線板用シート材１ｋと、図１５に示す工程にて得られるシート材１３ｆと、図１８に示す工程にて得られるシート材１３ｃと、金属箔９とを用い、これらを積層一体化するものである。

図示の例では、配線板用シート材１ｋとしては、両面の導体回路５に電気部品１０が実装されているものを用いているが、勿論片面の導体回路５にのみ電気部品１０が実装されているものを用いても良い。

図示の例では、まず配線板用シート材１ｋの一面側に、シート材１３ｆを、配線板用シート材１ｋの導体回路５が形成された面と、シート材１３ｆの一面（貫通孔３から導電性ペースト８が突出している面）とを対向させるように配置すると共に、シート材１３ｆの外側に金属箔９を、シート材１３ｆの他面（貫通孔３から導電性ペースト８が突出していない面）と金属箔９の一面（粗面）とが対向するようにして、これらを積層配置する。このとき配線板用シート材１ｋとシート材１３ｆとの対向面においては、貫通孔３の開口位置に、導体回路５の所定箇所が配置されるように位置合わせされる。

また、配線板用シート材１ｋの他面側に、シート材１３ｃを、配線板用シート材１ｋの導体回路５が形成された面と、シート材１３ｃの一面（金属箔９が設けられていない面）とを対向させるようにして、積層配置する。このとき配線板用シート材１ｋとシート材１３ｃとの対向面においては、貫通孔３の開口位置に、導体回路５の所定箇所が配置されるように位置合わせする。

この状態で、加熱加圧成形を行うことにより、配線板用シート材１ｋ、シート材１３ｃ、シート材１３ｆ及び金属箔９が一括して積層成形される。

この成形過程においては、Ｂステージ状態の樹脂層４が溶融した後硬化することにより、配線板用シート材１ｋとシート材１３ｆとの間の界面、シート材１３ｆと金属箔９との間の界面、配線板用シート材１ｋとシート材１３ｃとの界面がそれぞれ接合して積層一体化されると共に、各樹脂層４の硬化物にて絶縁層１６が形成される。

またシート材１３ｆ，１３ｃにおける導電性ペースト８を充填した貫通孔３では、導電性ペースト８が硬化されて導体層が形成され、これによりビアホール１５が形成される。また配線板用シート材１ｋとシート材１３ｆとの界面、並びに配線板用シート材１ｋとシート材１３ｃとの界面においては、上記の一体成形時に配線板用シート材１ｋの導体回路５の所定箇所がシート材１３ｆ，１３ｃの貫通孔３に充填された導電性ペースト８と接続されると共に、シート材１３ｆと金属箔９との界面においては金属箔９がシート材１３ｆの貫通孔３に充填された導電性ペースト８と接続されることにより、導体回路５と金属箔９の間を接続し、この状態で導電性ペースト８が硬化して導体層が形成されて、ビアホール１５が形成される。またこの導電性ペースト８は、特にシート材１３ｆに形成されたものは加圧によって貫通孔３から突出した部分が貫通孔３内に押し込まれて貫通孔３内に更に密に充填され、これによりビアホール１５の導電性が向上する。

次いで、得られた積層体の外層に設けられた金属箔９にエッチング処理を施すことにより、最外層の導体回路５を形成して、多層板１１が得られる。

このようにして得られる多層板１１は、図３１（ｃ）に示すように、両側の最外層にそれぞれ金属箔９のエッチング処理により形成された導体回路５が設けられると共に、内層には転写用基材６による転写により形成された導体回路５が設けられ、また各層間を導通するビアホール１５が形成される。また一層の絶縁層１６の内部には電気部品１０が配されている。また特に電気部品１０が埋設された絶縁層１６においては、ビアホール１５の導通がホールめっき１８により確保されて、優れた導通安定性を有する。

また外層の導体回路５を、樹脂層４の硬化による絶縁層１６の形成後における、金属箔９のエッチング処理により形成したことから、この外層の導体回路のピール強度が向上、ランド強度が増し、この外層の導体回路５に部品を実装する際の保持能力が向上する。

また、図３１に示す実施形態においても、図３０に示す場合と同様に、特に配線板用シート材１ｋとして、ホールめっき１８を有する貫通孔３に樹脂ペースト２０を充填したものを用い、この配線板用シート材１ｋに積層されるシート材１３ｆ，１３ｃ等のような導電性ペースト８が充填された貫通孔３を有するシート材１３として、その貫通孔３内にホールめっき１８を形成せずに、導電性ペースト８のみで導通を確保するものを用いることができる。この場合、得られる多層板１１では、樹脂層４（絶縁層１６）に電気部品１０が埋設される場合においては、電気部品１０の厚み分だけ絶縁層１６の厚みが厚くなり、ビアホール１５の経路が長くなるが、このビアホール１５の導通をホールめっき１８にて確保することにより、ビアホール１５の導通信頼性を確保することができる。このときホールめっき１８としては、無電解めっき処理に続いて電解めっき処理を施すことにより厚膜に形成することが好ましい。また電気部品１０が埋設されない樹脂層４（絶縁層１６）では、絶縁層１６を薄膜に形成できてビアホール１５の経路を短くすることができ、このため導電性ペースト８のみにてビアホール１５の導通信頼性を確保することができるものである。

また図３２に示す実施形態では、図８に示す工程又は図９に示す工程を経て得られた配線板用シート材１ｈ（又は１ｉ）と、図１５に示す工程を経て得られたシート材１３ｆと、金属箔９とを用い、配線板用シート材１ｈ（又は１ｉ）の導体回路５が形成された面に、少なくとも一枚のシート材１３を積層し、更にその外層に金属箔９を積層して積層一体化した後、積層体を貫通する貫通孔１９を形成し、貫通孔１９の内面にホールめっき１８を施すと共に両外層の金属箔９にエッチング処理を施して導体回路５を形成して、多層板１１を得るものである。

図示の例では、まず配線板用シート材１ｈ（又は１ｉ）の、導体回路５が形成された片面側にシート材１３ｆを、配線板用シート材１ｈ（又は１ｉ）の導体回路５が形成された面と、シート材１３ｆの一面（貫通孔３から導電性ペースト８が突出している面）とを対向させるように配置すると共に、シート材１３ｆの外側に金属箔９を、シート材１３ｆの他面（貫通孔３から導電性ペースト８が突出していない面）と金属箔９の一面（粗面）とが対向するようにして、これらを積層配置する。このとき配線板用シート材１ｈ（又は１ｉ）とシート材１３ｆとの対向面においては、貫通孔３の開口位置に、導体回路５の所定箇所が配置されるように位置合わせされる。

この状態で、加熱加圧成形を行うことにより、配線板用シート材１ｈ（又は１ｉ）、シート材１３ｆ及び金属箔９が一括して積層成形される。

この成形過程においては、Ｂステージ状態の樹脂層４が溶融した後硬化することにより、配線板用シート材１ｈ（又は１ｉ）とシート材１３ｆとの間の界面、シート材１３ｆと金属箔９との間の界面がそれぞれ接合して積層一体化されると共に、各樹脂層４の硬化物にて絶縁層１６が形成される。

またシート材１３ｆにおける導電性ペースト８を充填した貫通孔３では、導電性ペースト８が硬化されて導体層が形成され、これによりビアホール１５が形成される。また配線板用シート材１ｈ（又は１ｉ）とシート材１３ｆとの界面においては、上記の一体成形時に配線板用シート材１ｈの導体回路５の所定箇所がシート材１３ｆの貫通孔３に充填された導電性ペースト８と接続されると共に、シート材１３ｆと金属箔９との界面においては金属箔９がシート材１３ｆの貫通孔３に充填された導電性ペースト８と接続されることにより、導体回路５と金属箔９の間を接続し、この状態で導電性ペースト８が硬化して導体層が形成されて、ビアホール１５が形成される。またこの導電性ペースト８は、特にシート材１３ｆに形成されたものは加圧によって貫通孔３から突出した部分が貫通孔３内に押し込まれて貫通孔３内に更に密に充填され、これによりビアホール１５の導電性が向上する。

次いで、得られた積層体の所定箇所に、レーザ加工等により、その積層方向に貫通する貫通孔１９を形成する。この貫通孔１９は、各樹脂層４（絶縁層１６）と金属箔９とを貫通するように形成され、また必要に応じて内層の導体回路５（配線板用シート材１ｈ又は１ｉに転写された導体回路５）の所定箇所を貫通するように形成される。

次に、形成された貫通孔１９の内面に無電解めっき処理を施すと共に必要に応じて電解めっき処理を施して、銅めっき等のホールめっき１８を形成した後、最外層の金属箔９にエッチング処理を施して、最外層に導体回路５を形成する（図３２（ｃ））。

このようにして得られる多層板１１は、図３２（ｃ）に示すように、両側の最外層にそれぞれ金属箔９のエッチング処理により形成された導体回路５が設けられると共に、内層には転写用基材６による転写により形成された導体回路５が設けられ、また各層間を導通するビアホール１５が形成される。また一層の絶縁層１６の内部には電気部品１０が配されている。

図３３に示す実施形態は、ビルドアップ工法によって多層化を行う例を示すものである。ビルドアップ工法により多層化を行う場合は、コア材として、上記のような各種の配線板用シート材１、あるいは配線板用シート材１を用いて作製された多層板１１を用いることができる。図３３に示す例では、コア材として図１１に示す工程にて得られる配線板用シート材１ｋを用いている。

図示の例では、まず図３３（ａ）に示すように、コア材（配線板用シート材１ｋ）の片側又は両側（図示では両側）に、樹脂層４を有するシート材１３として樹脂付金属箔１７を、外面側に金属箔９が配置されるように積層し、加熱加圧成形により積層一体化する。

このとき、一体成形前のコア材は、その樹脂層４がＢステージ状態であってもよく、またＣステージ状態に形成されているものでもよい。また樹脂付金属箔１７は、銅箔等の金属箔９の一面にＢステージ状態の樹脂層４を形成したものであり、例えば図９に示す配線板用シート材１ｉの作製に用いたものと同様にして形成されるものを用いることができる。

この成形過程においては、Ｂステージ状態の樹脂層４が溶融した後硬化することにより、コア材である配線板用シート材１ｋとシート材１３（樹脂付金属箔１７）との間の界面が接合して積層一体化されると共に、各樹脂層４の硬化物にて絶縁層１６が形成される。

次に、最外層の金属箔９にレーザ光を照射するなどして、この金属箔９とその下層の樹脂層４のみを貫通する非貫通孔２１を形成する。この非貫通孔２１は、コア材である配線板用シート材１（１ｋ）に形成された導体回路５に対して所定の位置に形成し、また非貫通孔２１の底面ではこの配線板用シート材１（１ｋ）に形成された導体回路５の表面が露出するように形成する。

次に、非貫通孔２１の内面にホールめっき１８を形成する。ホールめっき１８としては銅めっき等を施すことができ、例えば無電解めっきを施した後、必要に応じて電解めっきを施すことにより形成することができる。

次に、外層の金属箔９にエッチング処理を施すなどして、導体回路５を形成する。このとき、ホールめっき１８が形成された非貫通孔２１は、導体回路５間を導通するビアホール１５として形成される。

これにより、図示の例では、図３３（ｂ）に示すように、四層の導体回路５と三層の絶縁層１６とを有する多層板１１が得られる。このとき、多層板１１は、電気部品１０が埋設された絶縁層１６では、層間の導通は、内面にホールめっき１８が形成されると共に導電性ペースト８又は樹脂ペースト２０が充填された貫通孔３からなるビアホール１５にて確保される。また電気部品１０が埋設されていない絶縁層１６では、層間の導通は、内面にホールめっき１８が形成された非貫通孔２１からなるビアホール１５にて確保される。

尚、この内面にホールめっき１８が形成された非貫通孔２１には、更に導電性ペースト８又は樹脂ペースト２０を充填させて硬化させても良い。

また、このように形成された多層板１１を、更に多層化することもできる。この場合、例えば図３３（ｃ）に示すように、多層板１１の片側又は両側（図示では両側）に、シート材１３として前記と同様の樹脂付金属箔１７を、外側に金属箔９が配されるように配置して積層し、加熱加圧成形などにて積層一体化する。

この成形過程においては、樹脂付金属箔１７のＢステージ状態の樹脂層４が溶融した後硬化することにより、多層板１１とシート材１３（樹脂付金属箔１７）との間の界面が接合して積層一体化されると共に、樹脂層４の硬化物にて絶縁層１６が形成される。またこのとき、内層のホールめっき１８が形成された非貫通孔２１からなるビアホール１５に導電性ペースト８や樹脂ペースト２０が充填されていない場合、この非貫通孔２１内に溶融した樹脂が流入し充填され、穴埋めがなされる。

次いで、前記の場合と同様に、非貫通孔２１の形成、ホールめっき１８の形成、並びに外層の導体回路５の形成を行って、図３３（ｄ）に示すように、更に多層化された多層板１１を得ることができる。

また、このような絶縁層１６と導体回路５の形成を繰り返し行うことにより、更に多層化された多層板１１を得ることもできる。

ビルドアップ工法による多層化は上記のようなものに限られず、絶縁層１６の積層形成を、樹脂ペーストの塗布硬化により行ったり、あるいは導体回路５の積層形成をめっき処理により行ったりすることもできる。またコア材に対して積層成形された絶縁層１６にビアホール１５を形成するにあたっては、上記のように非貫通孔２１の形成を行った後、ホールめっき１８を形成せずに導電性ペースト８を充填・硬化することによりビアホール１５を形成することもできる。また他にビルドアップ工法にて行われている種々の手法を採用することができる。

このようにして得られる多層板１１は、高度なＬＣＲ機能内蔵の多層の配線板として形成することができるものであり、ＲＦモジュールやブルートゥースモジュール等の小型高周波モジュール等のマイクロエレクトロニクス分野において活用されることが期待できる。

以下、本発明を実施例にて詳述する。

（実施例１）
表１に示す各成分を含有するスラリーをプラネタリーミキサーにて混練し、溶剤の配合量により粘度を３０００ｃＰに調整して樹脂組成物を得た。

この樹脂組成物を、圧延銅箔からなるキャリア基材７に塗布し、１４０℃で５分間加熱乾燥することにより、キャリア基材７の一面に厚み１００μｍのＢステージ状態の樹脂シート４ａを形成した。

一方、厚み１００μｍのＳＵＳ３０１からなるステンレス基材に対して、表面に塩化第二鉄溶液にてソフトエッチング処理を施して、その表面粗度Ｒａを０．３μｍとした転写用基材６を得た。この転写用基材６の表面にめっきレジストを形成し、電解銅めっき処理を施した後にめっきレジストを剥離して、厚み１５μｍの導体回路５を形成した。更にこの導体回路５に、電気部品１０としてチップ状抵抗とチップ状コンデンサとを、半田リフロー処理にて半田接続し、導体回路５に電気部品１０を実装した。半田リフロー処理は、最高温度２６０℃で１５秒間加熱することにより行った。

次いで、まず、転写用基材６に対して、その導体回路５が形成されている面側にキャリア基材７を除去した上記の樹脂シート４ａを６枚配置して積層し、真空中で加熱温度１３０℃、加圧力０．２９４ＭＰａで１０分間、加熱加圧成形を行った後、転写用基材６を導体回路５が樹脂層４に残存した状態で剥離した。

次いで、樹脂層４の、導体回路５が形成されていない側の一面にＰＥＴからなる厚み１００μｍの保護フィルム１２を積層して配置し、保護フィルム１２側からＹＡＧレーザを１５ＫＨｚ、１Ｗ、１５ショットの条件で照射することにより、樹脂層４、保護フィルム１２、及び樹脂層４の片面の導体回路５を貫通する内径３００μｍの貫通孔３を形成した。

次に、導電性ペースト８（タツタ電線株式会社製、品番「ＡＥ１２４４」）をヘラを用いて保護フィルム１２の外面に塗布すると共にこの導電性ペースト８を貫通孔３内に充填した後、樹脂層４から保護フィルム１２を剥離した。このようにして二枚の配線板用シート材１ｄを得た。

また、上記の配線板用シート材１ｄと同様に形成されたものに対して、導体回路５が形成されていない側の樹脂層４の表面に、導体回路５の形成がなされた転写用基材６を、貫通孔３と導体回路５とを位置合わせした状態で、導体回路５を形成した面が樹脂層４と対向するように積層配置した。導体回路５の形成がなされた転写用基材６は、上記の配線板用シート材１ｄの場合と同様に形成したものを用いた。

この状態で、真空中で加熱温度１３０℃、加圧力０．４９０ＭＰａで１０分間、加熱加圧成形を行った後、転写用基材６を導体回路５が樹脂層４に残存した状態で剥離し、配線板用シート材１ｆを得た。

そして、上記の配線板用シート材１ｄ，１ｆを、図２４に示すものと同様にして積層し、真空中で加熱温度１７５℃、加圧力２．９４ＭＰａで９０分間、加熱加圧成形して積層一体化し、多層板１１を得た。

（実施例２）
表１に示す各成分を含有するスラリーをプラネタリーミキサーにて混練し、溶剤の配合量により粘度を３０００ｃＰに調整して樹脂組成物を得た。

この樹脂組成物を、ポリエチレンテレフタレート製フィルムからなるキャリア基材７に塗布し、１３０℃で８分間加熱乾燥することにより、キャリア基材７の一面に厚み１００μｍのＢステージ状態の樹脂シート４ａを形成した。

一方、実施例１の場合と同様の転写用基材６の表面にめっきレジストを形成し、電解銅めっき処理を施した後にめっきレジストを剥離して、厚み１５μｍの導体回路５を形成した。更にこの導体回路５に、電気部品１０としてチップ状インダクタとシリコンベアチップとを、半田ボールを介して接続した。半田ボールによる接続時の加熱条件は２６０℃、２０秒間とした。また電気部品１０の実装後、シリコンベアチップの下にはアンダーフィルを充填し、１５０℃で１０分間予備乾燥させた。

次いで、まず、転写用基材６に対して、その導体回路５が形成されている面側にキャリア基材７を除去した上記の樹脂シート４ａを５枚配置して積層し、真空中で加熱温度１３０℃、加圧力０．２９４ＭＰａで１０分間、加熱加圧成形を行った後、転写用基材６を導体回路５が樹脂層４に残存した状態で剥離した。

次いで、実施例１の場合と同様にして、樹脂層４、保護フィルム１２、及び樹脂層４の片面の導体回路５を貫通する内径３００μｍの貫通孔３を形成した。

また、上記の配線板用シート材１ｄと同様に形成されたものに対して、導体回路５が形成されていない側の樹脂層４の表面に、厚み１８μｍの電解銅箔を積層配置し、この状態で、真空中で加熱温度１３０℃、加圧力０．４９０ＭＰａで１０分間、加熱加圧成形を行って、配線板用シート材１ｅを得た。

そして、上記の二枚の配線板用シート材１ｄと一枚の配線板用シート材１ｅを、配線板用シート材１ｅの導体回路５が形成されている面と、一方の配線板用シート材１ｄの導体回路５が形成されていない面とを対向させると共に、一方の配線板用シート材１ｄの導体回路５が形成されている面と他方の配線板用シート材１ｄの導体回路５が形成されている面とを対向させた状態で、積層配置し、真空中で加熱温度１７５℃、加圧力２．９４ＭＰａで９０分間、加熱加圧成形して積層一体化し、多層板１１を得た。

（実施例３）
表１に示す各成分を含有するスラリーをプラネタリーミキサーにて混練し、溶剤の配合量により３０００ｃＰに調整して樹脂組成物を得た。

一方、実施例１の場合と同様の転写用基材６の表面にめっきレジストを形成し、電解銅めっき処理を施した後にめっきレジストを剥離して、厚み１２μｍの導体回路５を形成した。更にこの導体回路５に、実施例１と同様にして電気部品１０を実装した。

次いで、まず、転写用基材６に対して、その導体回路５が形成されている面側にキャリア基材７を除去した上記の樹脂シート４ａを８枚配置して積層し、真空中で加熱温度１３０℃、加圧力０．２９４ＭＰａで１０分間、加熱加圧成形を行った後、転写用基材６を導体回路５が樹脂層４に残存した状態で剥離した。

次に、導電性ペースト８（タツタ電線株式会社製、品番「ＡＥ１２４４」）をヘラを用いて保護フィルム１２の外面に塗布すると共にこの導電性ペースト８を貫通孔３内に充填した後、樹脂層４から保護フィルム１２を剥離した。このようにして、配線板用シート材１ｄを得た。

また上記と同様にして得られた二枚の転写用基材６を導体回路５が形成されている面を対向させると共にその間にキャリア基材７を除去した上記の樹脂シート４ａを６枚配置して積層し、真空中で加熱温度１３０℃、加圧力０．２９４ＭＰａで１０分間、加熱加圧成形を行った後、転写用基材６を導体回路５が樹脂層４に残存した状態で剥離した。次いで、その一面にＰＥＴからなる厚み７５μｍの保護フィルム１２を積層して配置し、実施例１と同様のレーザ照射条件により、樹脂層４、保護フィルム１２、及び樹脂層４の両面の導体回路５を貫通する内径３００μｍの貫通孔３を形成した。

次に、導電性ペースト８（タツタ電線株式会社製、品番「ＡＥ１２４４」）をヘラを用いて保護フィルム１２の外面に塗布すると共にこの導電性ペースト８を貫通孔３内に充填した後、樹脂層４から保護フィルム１２を剥離し、配線板用シート材１ｂを得た。

また、上記の樹脂組成物を、厚み１００μｍのポリエチレンテレフタレート製フィルムからなるキャリア基材７に塗布し、１３０℃で９分間加熱乾燥することにより、キャリア基材７の一面に厚み１００μｍのＢステージ状態の樹脂層４を形成した。

次いで、キャリア基材７側から炭酸ガスレーザを７．１ｍＪ、１００Ｈｚ、１ショット、パルス幅３５μｓの条件で照射することにより、キャリア基材７と樹脂層４を貫通する内径１００μｍの貫通孔３を形成した。

次に、導電性ペースト８（タツタ電線株式会社製、品番「ＡＥ１２４４」）をヘラを用いてキャリア基材７の外面に塗布すると共にこの導電性ペースト８を貫通孔３内に充填した後、樹脂層４からキャリア基材７を剥離した。

次いで、導体回路５の形成がなされた転写用基材６と上記の樹脂層４を、導体回路５と樹脂層４とが対向すると共に貫通孔３と導体回路５とを位置合わせして積層配置し、真空中で加熱温度１３０℃、加圧力２．９４ＭＰａで１０分間、加熱加圧成形を行った後、転写用基材６を導体回路５が樹脂層４に残存した状態で剥離し、片面回路付きシート材１３ａを得た。導体回路５の形成がなされた転写用基材６は、上記の配線板用シート材１ｄの場合と同様に形成したものを用いた。

そして、上記の配線板用シート材１ｄ，１ｂ及び片面回路付きシート材１３ａを、図２５に示すものと同様にして積層し、真空中で加熱温度１７５℃、加圧力２．９４ＭＰａで９０分間、加熱加圧成形して積層一体化し、多層板１１を得た。

（実施例４）
表１に示す各成分を含有するスラリーをプラネタリーミキサーにて混練し、溶剤の配合量により粘度を３０００ｃＰに調整して樹脂組成物を得た。

この樹脂組成物を、ポリエチレンテレフタレート製フィルムからなるキャリア基材７に塗布し、１５０℃で１０分間加熱乾燥することにより、キャリア基材７の一面に厚み１００μｍのＢステージ状態の樹脂シート４ａを形成した。

一方、厚み１００μｍのＳＵＳ３０４からなるステンレス基材に対して、表面に塩化第２鉄溶液でソフトエッチング処理を施して、その表面粗度Ｒａを０．２５μｍとした転写用基材６を得た。この転写用基材６の表面にめっきレジストを形成し、電解銅めっき処理を施した後にめっきレジストを剥離して、厚み１５μｍの導体回路５を形成した。更にこの転写用基材６に電気部品１０として、コンデンサペースト（チタン酸バリウム粉をエポキシ樹脂とメラミン樹脂との混合バインダーに混練分散した一液性ポリマー型誘電体ペースト、（株）アサヒ化学研究所製：ＣＸ−１６）及び抵抗ペースト（フェノール樹脂バインダーにカーボン粉が均一に分散されたカーボン抵抗ペースト、（株）アサヒ化学研究所製：ＴＵ−１００−８）を印刷塗布し、それぞれ、１５０℃、３０分、１７０℃、６０分で加熱乾燥することにより硬化させた。また、コンデンサ素子の電極として、銅ペースト（（株）アサヒ化学研究所製：ＬＳ−５０４Ｊ）を塗布して、１５０℃、３０分で加熱乾燥することにより硬化させて電極を形成した。

次いで、まず、二枚の転写用基材６をその導体回路５が形成されている面が対向するように配置すると共にその間にキャリア基材７を除去した上記の樹脂シート４ａを７枚配置して積層し、１７５℃、０．２９４ＭＰａで１５分間加熱硬化させた後、転写用基材６を導体回路５が樹脂層４に残存した状態で剥離した。

次いで、樹脂層４の両面にＰＥＴからなる厚み５０μｍの保護フィルム１２を積層して配置し、保護フィルム１２側からＹＡＧレーザを１５ＫＨｚ、１．８Ｗ、５０ショットの条件で照射することにより、樹脂層４、保護フィルム１２、及び樹脂層４の両側の導体回路５を貫通する内径３００μｍの貫通孔３を形成した。

この貫通孔３の内面に、無電解銅めっき処理を施して厚み０．２μｍのホールめっき１８を形成した後、導電性ペースト８（タツタ電線株式会社製、品番「ＡＥ１２４４」）をヘラを用いて保護フィルム１２の外面に塗布すると共にこの導電性ペースト８を貫通孔３内に充填し、８０℃で６０分間予備乾燥させた後、樹脂層４から保護フィルム１２を剥離した。このようにして配線板用シート材１ｋを得た。

次に、導電性ペースト８（タツタ電線株式会社製、品番「ＡＥ１２４４」）をヘラを用いてキャリア基材７の外面に塗布すると共にこの導電性ペースト８を貫通孔３内に充填した後、樹脂層４からキャリア基材７を剥離し、導電性ペースト８が充填された貫通孔３を有するシート材１３ｆを得た。

また、厚み１００μｍのＳＵＳ３０４で形成されたステンレス基材からなる転写用基材６の表面にめっきレジストを形成し、電解銅めっき処理を施した後にめっきレジストを剥離して、厚み１５μｍの導体回路５を形成し、導体回路５を設けた転写用基材６を得た。

そして配線板用シート材１ｋの両面にシート材１３ｆを、導電性ペースト８が突出した面が配線板用シート材１ｋと対向するように配置すると共に、その外層に導体回路５を設けた転写用基材６をその導体回路５がシート材１３ｆと対向するように配置して積層し、加熱温度１７５℃、加圧力２．９４ＭＰａで６０分間、加熱加圧成形して積層一体化し、多層板１１を得た。

（実施例５）
表１に示す各成分を含有するスラリーをプラネタリーミキサーにて混練し、溶剤の配合量により粘度を３０００ｃＰに調整して樹脂組成物を得た。

この樹脂組成物を、ガラス不織布（オリベスト社製：ＳＡＳシリーズ、坪量２５ｇ／ｃｍ^２、厚み２００μｍ）に含浸させ、１６０℃で５分間乾燥することにより、厚み２００μｍの樹脂シート４ａを作製した。

一方、厚み１００μｍのＳＵＳ３０４からなるステンレス基材に対して、表面に硝酸と弗酸の混合溶液にてソフトエッチングを施して、その表面粗度Ｒａを０．３μｍとした転写用基材６を得た。この転写用基材６の表面にめっきレジストでパターンを形成後、電解銅めっき処理による銅めっきを形成し、更にニッケルめっき、金めっきの順でめっき処理を施した後、レジストを剥離して、厚み１５μｍの導体回路５を形成した。更にこの導体回路５に、電気部品１０としてＩＣ（フリップチップ）とチップ状抵抗とチップ状コンデンサとを、半田リフロー処理にて半田接続し、導体回路５に電気部品１０を実装した。半田リフロー処理は、最高温度２６０℃で１５秒間加熱することにより行った。またＩＣには下面側にアンダーフィル（松下電工（株）社製：ＣＶ５１８３）を充填し、１５０℃で３０分加熱硬化させた。

また、厚み１８μｍの銅箔に対して、その粗面側に上記の樹脂組成物を塗布して、１３０℃、１０分の条件で乾燥させて、厚み５０μｍの樹脂層４ｂを有する樹脂付金属箔１７を得た。

次いで、まず、転写用基材６に対して、その導体回路５が形成されている面側に上記の樹脂シート４ａを３枚配置して積層すると共に、更にその外面側に樹脂付金属箔１７をその樹脂層４ｂが樹脂シート４ａと対向するように積層して配置し、真空中で加熱温度１７５℃、加圧力０．２９４ＭＰａで１５分間、加熱加圧成形を行った後、転写用基材６を導体回路５が樹脂層４に残存した状態で剥離した。これにより配線板用シート材１ｉを得た。

また、上記の樹脂組成物を、厚み１００μｍのＰＥＴフィルムからなるキャリア基材７に塗布し、１３０℃、５分加熱乾燥することにより厚み１００μｍのＢステージ状態の樹脂層４を形成した。

次いで、炭酸ガスレーザを７．１ｍＪ、１００Ｈｚ、１ショット、パルス幅３５μｓの条件で照射することにより、キャリア基材７と樹脂層４を貫通する内径１００μｍの貫通孔３を形成した。

また、金属箔９として、上記の配線板用シート材１ｉの作製に用いた銅箔と同様のものを用意した。

そして、配線板用シート材１ｉの導体回路５が形成された面側にシート材１３ｆを導電性ペースト８が突出した面が導体回路５と対向するように配置すると共に更にその外面側に金属箔９をその粗面がシート材１３ｆと対向するように積層配置し、加熱温度１７５℃で６０分間、加熱成形して積層一体化した。

次いで、得られた積層体にＹＡＧレーザを１５ＫＨｚ、１．８Ｗ、５０ショットの条件で照射することにより、積層体全体を貫通する貫通孔を形成した後、貫通孔の内面にデスミア処理を施し、無電解めっきと電解めっきにより厚み２０μｍのホールめっき１８を形成した。更に、両側の外層の金属箔９にエッチング処理を施して表層パターニングを行い、両側の外層の導体回路５を形成して、多層板１１を得た。

表中の各成分の詳細は次の通りである。
・クレゾールノボラック型エポキシ樹脂：住友化学工業株式会社製の品番「ＥＳＣＮ１９５ＸＬ４」
・多官能ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂：三井化学株式会社製の品番「ＶＧ３１０１」
・ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂：油化シェルエポキシ株式会社製の品番「エピコート８２８」
・ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂：東都化成工業株式会社製の品番「ＹＤＦ８１７０」
・フェノキシ樹脂：東都化成製の品番「ＹＰＰ５０」
・臭素化エポキシ樹脂：住友化学工業株式会社製の品番「ＥＳＢ４００Ｔ」
・フェノールノボラック樹脂：群栄化学製の品番「タマノール７５２」
・２Ｅ４ＭＺ：２−メチル−４−メチルイミダゾール・アルミナ：平均粒径１２μｍ、最大粒径５０μｍ・窒化アルミニウム：平均粒径２μｍ、最大粒径１５μｍ・窒化ホウ素：平均粒径１．５μｍ、最大粒径１０μｍ・シリカ：平均粒径２μｍ、最大粒径１０μｍ・エポキシシラン：日本ユニカー製の品番「Ａ−１８７」
・Ｍ２０８Ｆ：第一工業製薬株式会社製の品番「Ｍ２０８Ｆ」、化合物名ポリオキシアルキレンアルキルエーテルリン酸エステルモノエタノールアミン塩

（ａ）乃至（ｃ）は配線板用シート材の製造工程の一例を示す断面図である。（ａ）乃至（ｃ）は同上の他例を示す断面図である。（ａ）乃至（ｄ）は同上の他例を示す断面図である。（ａ）乃至（ｃ）は同上の更に他例を示す断面図である。（ａ）乃至（ｄ）は同上の更に他例を示す断面図である。（ａ）（ｂ）は同上の更に他例を示す断面図である。（ａ）（ｂ）は同上の更に他例を示す断面図である。（ａ）乃至（ｃ）は同上の更に他例を示す断面図である。（ａ）乃至（ｃ）は同上の更に他例を示す断面図である。（ａ）乃至（ｄ）は同上の更に他例を示す断面図である。（ａ）乃至（ｃ）は同上の更に他例を示す断面図である。（ａ）は転写用基材に導体回路を形成した様子を示す断面図、（ｂ）は更に導体回路に電気部品を実装した様子を示す断面図である。（ａ）転写用基材に導体回路を形成した様子を示す他例の平面図、（ｂ）は（ａ）の断面図である。（ａ）（ｂ）は樹脂シートの成形工程を示す断面図である。（ａ）乃至（ｄ）は、導電性材料が充填された貫通孔を有する樹脂層の成形工程を示す断面図である。（ａ）乃至（ｃ）は、シート材の製造工程の一例を示す断面図である。（ａ）乃至（ｃ）は、シート材の製造工程の他例を示す断面図である。（ａ）及び（ｂ）は、シート材の製造工程の更に他例を示す断面図である。（ａ）乃至（ｃ）は、シート材の製造工程の更に他例を示す断面図である。（ａ）乃至（ｅ）は、シート材の製造工程の更に他例を示す断面図である。（ａ）乃至（ｃ）は、図２０に示される工程に続く工程を示す断面図である。（ａ）乃至（ｃ）は多層板の製造工程の一例を示す断面図である。（ａ）乃至（ｃ）は同上の他例を示す断面図である。（ａ）（ｂ）は同上の更に他例を示す断面図である。（ａ）（ｂ）は同上の更に他例を示す断面図である。（ａ）（ｂ）は同上の更に他例を示す断面図である。（ａ）乃至（ｃ）は同上の更に他例を示す断面図である。（ａ）乃至（ｃ）は同上の更に他例を示す断面図である。（ａ）乃至（ｃ）は同上の更に他例を示す断面図である。（ａ）（ｂ）は同上の更に他例を示す断面図である。（ａ）乃至（ｃ）は同上の更に他例を示す断面図である。（ａ）乃至（ｃ）は同上の更に他例を示す断面図である。（ａ）乃至（ｄ）は同上の更に他例を示す断面図である。

符号の説明

１配線板用シート材
３貫通孔
４樹脂層
５導体回路
５ａグランド層
６転写用基材
７キャリア基材
８導電性ペースト
９金属箔
１０電気部品
１１多層板
１２保護フィルム
１３シート材
１７樹脂付金属箔
１８ホールめっき
１９貫通孔
２０樹脂ペースト

Claims

Ｂステージ状態の樹脂層の一面又は両面に、表面に導体回路が設けられると共にこの導体回路に対して電気部品が実装された転写用基材を導体回路及び電気部品と樹脂層とが対向するように積層すると共に導体回路及び電気部品を樹脂層に埋設し、転写用基材を樹脂層から剥離すると共に導体回路を樹脂層側に残存させて導体回路を樹脂層に転写して樹脂層の外面と導体回路の露出面とが面一になるように形成することを特徴とする配線板用シート材の製造方法。
転写用基材の表面に導体回路を設けると共に電気部品を実装するにあたり、転写用基材としてステンレス基材を用い、転写用基材の表面にレジスト形成後、めっき処理を施すことにより導体回路を設け、電気部品を実装し、電気部品の実装面側にアンダーフィルを充填することを特徴とする請求項１に記載の配線板用シート材の製造方法。
転写用基材の表面に導体回路を設けると共に電気部品を実装するにあたり、転写用基材上に電気部品として抵抗素子及びコンデンサ素子の少なくともいずれかを印刷成形することにより電気部品を実装することを特徴とする請求項１又は２に記載の配線板用シート材の製造方法。
樹脂層の一面のみに転写用基材を用いて導体回路を転写して樹脂層の外面と導体回路の露出面とが面一になるように形成すると共に、樹脂層の他面に金属箔を積層一体化することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の配線板用シート材の製造方法。
樹脂層の一面のみに転写用基材を用いて導体回路を転写して樹脂層の外面と導体回路の露出面とが面一になるように形成すると共に、樹脂層の他面に樹脂付金属箔を積層一体化することを特徴とする請求項１又は２に記載の配線板用シート材の製造方法。
一面に導体回路が転写されると共に他面に金属箔が積層一体化された樹脂層の一面又は両面に保護フィルムを積層し、樹脂層、導体回路及び保護フィルムを貫通する貫通孔を形成し、保護フィルムの外面側から導電性ペーストを塗布することにより貫通孔内に導電性ペーストを充填した後に、樹脂層から保護フィルムを剥離して貫通孔から導電性ペーストが外方に突出するように形成することを特徴とする請求項４又は５に記載の配線板用シート材の製造方法。
両面に導体回路が転写された後の樹脂層の一面又は両面に保護フィルムを積層し、樹脂層、導体回路及び保護フィルムを貫通する貫通孔を形成し、保護フィルムの外面側から導電性ペーストを塗布することにより貫通孔内に導電性ペーストを充填した後に、樹脂層から保護フィルムを剥離して貫通孔から導電性ペーストが外方に突出するように形成することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の配線板用シート材の製造方法。
片面に導体回路が転写された後の樹脂層の一面に保護フィルムを積層し、樹脂層、導体回路及び保護フィルムを貫通する貫通孔を形成し、保護フィルムの外面側から導電性ペーストを塗布することにより貫通孔内に導電性ペーストを充填した後に、樹脂層から保護フィルムを剥離して貫通孔から導電性ペーストが外方に突出するように形成することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の配線板用シート材の製造方法。
請求項８に記載の方法により得られる配線板用シート材の導体回路が形成された面とは反対側の面に、金属箔を積層一体化することを特徴とする特徴とする配線板用シート材の製造方法。
請求項８に記載の方法により得られる配線板用シート材の導体回路が形成された面とは反対側の面に、表面に導体回路が設けられた転写用基材を導体回路と樹脂層とが対向するように積層し、導体回路を樹脂層に埋設し、転写用基材を樹脂層から剥離すると共に導体回路を樹脂層側に残存させて導体回路を樹脂層に転写して樹脂層の外面と導体回路の露出面とが面一になるように形成することを特徴とする配線板用シート材の製造方法。
一面又は両面に導体回路が転写された後の樹脂層の一面又は両面に保護フィルムを積層し、樹脂層、導体回路及び保護フィルムを貫通する貫通孔を形成し、貫通孔内面にホールめっきを施し、保護フィルムの外面側から導電性ペーストを塗布することにより貫通孔内に導電性ペーストを充填した後、樹脂層から保護フィルムを剥離して貫通孔から導電性ペーストが外方に突出するように形成することを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の配線板用シート材の製造方法。
ホールめっきを無電解めっき処理のみにて形成することを特徴とする請求項１１に記載の配線板用シート材の製造方法。
一面又は両面に導体回路が転写された後の樹脂層の一面又は両面に保護フィルムを積層し、樹脂層、導体回路及び保護フィルムを貫通する貫通孔を形成し、貫通孔内面にホールめっきを施し、保護フィルムの外面側から樹脂ペーストを塗布することにより貫通孔内に樹脂ペーストを充填した後、樹脂層から保護フィルムを剥離することを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の配線板用シート材の製造方法。
導体回路としてグランド層を形成すると共にこのグランド層を網目状に形成することを特徴とする請求項１乃至１３のいずれかに記載の配線板用シート材の製造方法。
転写用基材として、厚み５０〜２００μｍであり、且つ導体回路が形成される面の表面粗度Ｒａが２μｍ以下となるように表面粗化処理が施されたステンレス基材を用いることを特徴とする請求項１乃至１４のいずれかに記載の配線板用シート材の製造方法。
樹脂層を、シリカ、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、酸化チタン、ホウ酸アルミニウム及び酸化マグネシウムから選ばれる少なくとも一種の無機フィラーを含有すると共にこの無機フィラーの最大粒径が１０μｍ以下である樹脂組成物にて形成して成ることを特徴とする請求項１乃至１５のいずれかに記載の配線板用シート材の製造方法。
樹脂層を、無機フィラーの含有量が７０〜９５重量％であり、かつカップリング剤及び分散剤のうちの少なくとも一方が含有された樹脂組成物にて形成することを特徴とする請求項１乃至１６のいずれかに記載の配線板用シート材の製造方法。
樹脂層を、不織布に樹脂組成物を含浸乾燥することにより得られる樹脂シートにて形成することを特徴とする請求項１乃至１７のいずれかに記載の配線板用シート材の製造方法。
成形後の樹脂層をＢステージ状態に維持することを特徴とする請求項１乃至１８のいずれかに記載の配線板用シート材の製造方法。
請求項１乃至１９のいずれかに記載の方法により製造して成ることを特徴とする配線板用シート材。
請求項２０に記載の複数の配線板用シート材を一体に積層成形することを特徴とする多層板の製造方法。
請求項２０に記載の少なくとも一枚の配線板用シート材とＢ及び／又はＣステージ状態の樹脂層を有すると共に内部に電気部品が埋設されない少なくとも一枚のシート材とを一体に積層成形することを特徴とする多層板の製造方法。
請求項２０に記載の少なくとも一枚の配線板用シート材と、Ｂステージ状態の樹脂層を有すると共に内部に電気部品が埋設されない少なくとも一枚のシート材とを積層して配置し、この状態で一括成形することを特徴とする請求項２２に記載の多層板の製造方法。
請求項２０に記載の少なくとも一枚の配線板用シート材とＢ及び／又はＣステージ状態の樹脂層を有すると共に内部に電気部品が埋設されない少なくとも一枚のシート材とを用い、ビルドアップ工法により多層化とビアホール形成を行うことを特徴とする請求項２２に記載の多層板の製造方法。
シート材の樹脂層を、不織布に樹脂組成物を含浸乾燥することにより形成することを特徴とする請求項２２乃至２４のいずれかに記載の多層板の製造方法。
最外層に金属箔が配置されると共に内層に配置される導体回路が全て配線板用シート材の樹脂層、あるいはシート材の樹脂層に転写用基材にて転写されたものとなるようにして積層一体化した後、最外層の金属箔にエッチング処理を施すことにより導体回路を形成することを特徴とする請求項２１乃至２５のいずれかに記載の多層板の製造方法。
両面に導体回路が形成された配線板用シート材の両面に、少なくとも一枚のシート材を積層すると共に最外層に金属箔を配置して積層一体化した後、硬化後の積層体を貫通する貫通孔を形成すると共に貫通孔内にホールめっきを形成し、次いで最外層の金属箔にエッチング処理を施すことにより導体回路を形成することを特徴とする請求項２２乃至２６のいずれかに記載の多層板の製造方法。
両面に導体回路が形成された配線板用シート材の一面又は両面に、導電性ペーストが充填された貫通孔を有する少なくとも一枚のシート材を配置すると共に、更にその外層に、表面に導体回路が設けられた転写用基材を導体回路とシート材とが対向するように配置して積層一体化した後、転写用基材を剥離し、次いで積層体の両面に保護フィルムを積層した状態で硬化後の積層体を貫通する貫通孔を形成し、貫通孔内にホールめっきを施すと共に導電性ペーストを充填させてから保護フィルムを剥離することを特徴とする請求項２２乃至２５のいずれかに記載の多層板の製造方法。
両面に導体回路が形成された配線板用シート材の一面又は両面に、導電性ペーストが充填された貫通孔を有し且つ表面に導体回路が形成された少なくとも一枚のシート材を配置して積層一体化し、次いで両面に保護フィルムを積層した状態で硬化後の積層体を貫通する貫通孔を形成し、貫通孔内にホールめっきを施すと共に導電性ペーストを充填させてから保護フィルムを剥離することを特徴とする請求項２２乃至２５、並びに請求項２８のいずれかに記載の多層板の製造方法。
請求項１１乃至１３のいずれかに記載の工程を経て得られた配線板用シート材の一面又は両面に、導電性ペーストが充填された貫通孔を有する少なくとも一枚のシート材を配置すると共に、更にその外層に、表面に導体回路が設けられた転写用基材を導体回路とシート材とが対向するように配置して積層一体化した後、転写用基材を剥離することを特徴とする多層板の製造方法。
請求項１１乃至１３のいずれかに記載の工程を経て得られた配線板用シート材の一面又は両面に、導電性ペーストが充填された貫通孔を有し且つ表面に導体回路が形成された少なくとも一枚のシート材を配置して積層一体化することを特徴とする多層板の製造方法。
請求項１１乃至１３のいずれかに記載の工程を経て得られた配線板用シート材の一面又は両面に、導電性ペーストが充填された貫通孔を有する少なくとも一枚のシート材を配置すると共に、更にその外層に金属箔を配置して積層一体化した後、最外層の金属箔にエッチング処理を施して導体回路を形成することを特徴とする多層板の製造方法。
請求項１１乃至１３のいずれかに記載の工程を経て得られた配線板用シート材の一面又は両面に、導電性ペーストが充填された貫通孔を有し且つ一面に金属箔が一体に積層された少なくとも一枚のシート材を、最外層に金属箔が配されるように配置して積層一体化した後、最外層の金属箔にエッチング処理を施して導体回路を形成することを特徴とする多層板の製造方法。
請求項１３に記載の工程を経て得られた配線板用シート材と、導電性ペーストが充填された貫通孔を有する少なくとも一枚のシート材と用い、導電性ペーストが充填された貫通孔を有するシート材においては、貫通孔内にホールめっきを形成しないことを特徴とする多層板の製造方法。
請求項４又は５に記載の工程を経て得られる配線板用シート材の、導体回路が形成された面に、導電性ペーストが充填された貫通孔を有する少なくとも一枚のシート材を配置すると共に、更にその外層に金属箔を配置して積層一体化した後、積層体を貫通する貫通孔を形成し、貫通孔の内面にホールめっきを施すと共に外層の金属箔にエッチング処理を施して導体回路を形成することを特徴とする多層板の製造方法。
積層一体化後の積層体を貫通する貫通孔を形成し、貫通孔内面にホールめっきを施した後、この貫通孔内に導電性ペーストを充填することを特徴とする請求項２２乃至３５のいずれかに記載の多層板の製造方法。
転写用基材が樹脂フィルムであることを特徴とする請求項２８又は３０に記載の多層板の製造方法。
請求項２１乃至３７のいずれかに記載の方法により製造して成ることを特徴とする多層板。