JP2007080555A - プラズマ処理装置 - Google Patents
プラズマ処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007080555A JP2007080555A JP2005263409A JP2005263409A JP2007080555A JP 2007080555 A JP2007080555 A JP 2007080555A JP 2005263409 A JP2005263409 A JP 2005263409A JP 2005263409 A JP2005263409 A JP 2005263409A JP 2007080555 A JP2007080555 A JP 2007080555A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- plasma processing
- processing apparatus
- outer edge
- plasma
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32532—Electrodes
- H01J37/32541—Shape
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32532—Electrodes
- H01J37/32568—Relative arrangement or disposition of electrodes; moving means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32623—Mechanical discharge control means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Dicing (AREA)
Abstract
【解決手段】半導体ウェハ5を対象としてプラズマ処理を行うプラズマ処理装置において、真空チャンバ2の主体となるチャンバ容器40の底部40cに電極部材46が装着された下部電極3を配置し、下部電極3の上方に外縁部51aよりも内側の下面側に下方に突出した突出面を備えた上部電極4を昇降自在に配設する。上部電極4を下部電極3に対して下降させて、外縁部51aをチャンバ容器40の側壁部40aにおける中間高さHLに設けられた環状の密封面40dに当接させ、下部電極3と上部電極4との間に密閉された処理空間2aを形成する。これにより、上部電極4の上方は常圧空間2bとなり、異常放電の発生を防止して安定したプラズマ処理を効率よく行うことができる。
【選択図】図2
Description
面に当接させ、下部電極と上部電極との間に密閉された処理空間を形成する構成を採用することにより、上部電極の上方での異常放電の発生を防止することができ、安定したプラズマ処理を効率よく行うことができる。
望ましい。
部を円形に切削除去することにより形成された筒状容器であり、外周部には環状に連なった側壁部40aが設けられている。
た中央空間45b、外周空間45cと連通して設けられている。吸着部材45の上面には、後述するように、誘電体であるアルミナを溶射した誘電膜が形成されており、この誘電膜は、貫通孔45aが吸着部材45の上面に開口した孔部45d(図13参照)のエッジを覆う形状となっている。
によって隔てられている。
3の下面は搬送口40fの上端部よりも下方に位置する。これにより、処理空間2aにおけるシャワープレート52と吸着部材45との間の高さ寸法H2、すなわち電極間隙間を、半導体ウェハ5を対象としたフッ素系ガスによるプラズマ処理を効率よく行うのに適した挟隙間に設定することが可能となっている。
動させて開閉するヒンジ機構を構成している。上部プレート6を開放する際には、把持ロッド56を把持して上方に持ち上げ、図10に示すように、上部プレート6を上部電極4とともに、ヒンジ軸59廻りに回動させる。
面にアルミナを溶射することにより、貫通孔45aが吸着部材45の上面に開口した孔部45dのエッジを覆う形状の溶射膜65を形成する溶射工程と、溶射膜65が形成された吸着部材45の表面を機械研磨する表面研磨工程とを含む形態となっている。
2 真空チャンバ
2a 処理空間
3 下部電極
4 上部電極
5 半導体ウェハ
6 上部プレート
7 昇降駆動部
9 扉部材
11 真空ポンプ
13 プロセスガス供給部
17 高周波電源
40 チャンバー容器
40a 側壁部
40d 密封面
40f 搬送口
44 冷却プレート
45 吸着部材
45a 貫通孔
46 電極部材
50 保持部材
51 中間プレート
51a 外縁部
59 ヒンジ軸
65 溶射膜
Claims (5)
- 板状のワークを対象としてプラズマ処理を行うプラズマ処理装置であって、
環状に連なった側壁部が設けられた筒状容器を主体とし前記側壁部に開口されたワーク出し入れ用の搬送口と前記側壁部において前記搬送口よりも高い位置に形成された環状の密封面とを有する真空チャンバと、前記搬送口を密閉する開閉自在な扉と、前記真空チャンバの前記側壁部に包囲された底部に配置されて上面に前記ワークが載置される下部電極と、前記密封面に当接可能な環状の外縁部を有するとともに前記外縁部よりも内側の下面側にこの外縁部の下面よりも下方に突出した突出面を備えた上部電極と、前記外縁部を前記密封面に当接させることにより前記下部電極と前記上部電極との間に密閉された処理空間を形成する昇降機構と、前記処理空間内においてプラズマを発生させるプラズマ発生手段とを備えたことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記搬送口の上端部からこの搬送口の直上に位置する前記密封面までの寸法よりも、前記突出面が前記外縁部の下面から下方に突出する突出寸法が大きくなっており、前記外縁部を前記密封面に当接させた状態において前記突出面が前記搬送口の上端よりも下方に位置することを特徴とする請求項1記載のプラズマ処理装置。
- 前記密封面は前記側壁部の上端面よりも下方に位置する中間高さに形成され、さらに前記上部電極を昇降自在に保持した支持機構を前記側壁部の上端面に配置したことを特徴とする請求項2記載のプラズマ処理装置。
- 前記昇降機構は、前記支持機構に装着されていることを特徴とする請求項3記載のプラズマ処理装置。
- 前記支持機構は、ヒンジ機構によって水平軸廻りに回動自在に装着されていることを特徴とする請求項4記載のプラズマ処理装置。
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005263409A JP4674512B2 (ja) | 2005-09-12 | 2005-09-12 | プラズマ処理装置 |
PCT/JP2006/318229 WO2007032420A1 (en) | 2005-09-12 | 2006-09-07 | Plasma processing apparatus |
US11/815,714 US20090008035A1 (en) | 2005-09-12 | 2006-09-07 | Plasma processing apparatus |
CNB2006800045557A CN100533652C (zh) | 2005-09-12 | 2006-09-07 | 等离子体处理设备 |
EP06810135A EP1925016B1 (en) | 2005-09-12 | 2006-09-07 | Plasma processing apparatus |
KR1020077017337A KR20080043732A (ko) | 2005-09-12 | 2006-09-07 | 플라즈마 처리 장치 |
DE602006015333T DE602006015333D1 (de) | 2005-09-12 | 2006-09-07 | Plasmaverarbeitungsvorrichtung |
TW095133707A TW200715403A (en) | 2005-09-12 | 2006-09-12 | Plasma processing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005263409A JP4674512B2 (ja) | 2005-09-12 | 2005-09-12 | プラズマ処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007080555A true JP2007080555A (ja) | 2007-03-29 |
JP4674512B2 JP4674512B2 (ja) | 2011-04-20 |
Family
ID=37561186
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005263409A Expired - Fee Related JP4674512B2 (ja) | 2005-09-12 | 2005-09-12 | プラズマ処理装置 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20090008035A1 (ja) |
EP (1) | EP1925016B1 (ja) |
JP (1) | JP4674512B2 (ja) |
KR (1) | KR20080043732A (ja) |
CN (1) | CN100533652C (ja) |
DE (1) | DE602006015333D1 (ja) |
TW (1) | TW200715403A (ja) |
WO (1) | WO2007032420A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015088687A (ja) * | 2013-11-01 | 2015-05-07 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
CN111725111A (zh) * | 2020-06-24 | 2020-09-29 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 半导体工艺设备的反应腔室及半导体工艺设备 |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ITBO20070306A1 (it) * | 2007-04-26 | 2008-10-27 | Tecnotessile Societa Naz Di Ricerca ... | Elettrodo e relativo apparato per la generazione di plasma a pressione atmosferica. |
KR101624123B1 (ko) * | 2008-10-31 | 2016-05-25 | 램 리써치 코포레이션 | 플라즈마 프로세싱 챔버의 하부 전극 어셈블리 |
JP5262878B2 (ja) * | 2009-03-17 | 2013-08-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 載置台構造及びプラズマ成膜装置 |
JP5643528B2 (ja) * | 2009-03-30 | 2014-12-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
US8562742B2 (en) * | 2010-04-30 | 2013-10-22 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for radial delivery of gas to a chamber and methods of use thereof |
US8826857B2 (en) * | 2011-11-21 | 2014-09-09 | Lam Research Corporation | Plasma processing assemblies including hinge assemblies |
EP3129230B1 (en) | 2014-04-11 | 2018-02-28 | OCE-Technologies B.V. | Inkjet printer comprising a plasma generation device, plasma generation device for the same, and relative methods |
TWI641016B (zh) * | 2016-06-28 | 2018-11-11 | 周業投資股份有限公司 | Upper electrode device |
US10851457B2 (en) * | 2017-08-31 | 2020-12-01 | Lam Research Corporation | PECVD deposition system for deposition on selective side of the substrate |
US20220136107A1 (en) * | 2019-01-31 | 2022-05-05 | Lam Research Corporation | Showerhead with configurable gas outlets |
KR20230037057A (ko) * | 2019-08-16 | 2023-03-15 | 램 리써치 코포레이션 | 웨이퍼 내에서 차동 보우를 보상하기 위한 공간적으로 튜닝 가능한 증착 |
WO2021190808A1 (en) * | 2020-03-24 | 2021-09-30 | Evatec Ag | Vacuum recipient apparatus with at least one treatment station |
US11521834B2 (en) * | 2020-08-26 | 2022-12-06 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing systems and methods for chemical processing a substrate |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000208483A (ja) * | 1999-01-08 | 2000-07-28 | Mitsubishi Electric Corp | ウェハ処理装置及びウェハ処理方法 |
WO2001088971A1 (fr) * | 2000-05-17 | 2001-11-22 | Tokyo Electron Limited | Dispositif de traitement et procede d'entretien du dispositif, mecanisme et procede de montage d'une piece du dispositif de traitement, et mecanisme de verrouillage et procede de blocage du mecanisme de verrouillage |
JP2004165674A (ja) * | 2000-01-26 | 2004-06-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ワークのプラズマ処理装置およびワークのプラズマ処理方法 |
JP2005057244A (ja) * | 2003-07-23 | 2005-03-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマ処理装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4209357A (en) * | 1979-05-18 | 1980-06-24 | Tegal Corporation | Plasma reactor apparatus |
US5823416A (en) * | 1995-07-28 | 1998-10-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Apparatus and method for surface treatment, and apparatus and method for wire bonding using the surface treatment apparatus |
JPH11140648A (ja) * | 1997-11-07 | 1999-05-25 | Tokyo Electron Ltd | プロセスチャンバ装置及び処理装置 |
JP5165825B2 (ja) * | 2000-01-10 | 2013-03-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 分割された電極集合体並びにプラズマ処理方法。 |
MY120869A (en) * | 2000-01-26 | 2005-11-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Plasma treatment apparatus and method |
JP3969081B2 (ja) * | 2001-12-14 | 2007-08-29 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
JP4186536B2 (ja) * | 2002-07-18 | 2008-11-26 | 松下電器産業株式会社 | プラズマ処理装置 |
JP4173389B2 (ja) * | 2003-03-19 | 2008-10-29 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
US20050066902A1 (en) * | 2003-09-26 | 2005-03-31 | Tokyo Electron Limited | Method and apparatus for plasma processing |
-
2005
- 2005-09-12 JP JP2005263409A patent/JP4674512B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-09-07 KR KR1020077017337A patent/KR20080043732A/ko not_active Application Discontinuation
- 2006-09-07 EP EP06810135A patent/EP1925016B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-09-07 WO PCT/JP2006/318229 patent/WO2007032420A1/en active Application Filing
- 2006-09-07 US US11/815,714 patent/US20090008035A1/en not_active Abandoned
- 2006-09-07 DE DE602006015333T patent/DE602006015333D1/de active Active
- 2006-09-07 CN CNB2006800045557A patent/CN100533652C/zh active Active
- 2006-09-12 TW TW095133707A patent/TW200715403A/zh unknown
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000208483A (ja) * | 1999-01-08 | 2000-07-28 | Mitsubishi Electric Corp | ウェハ処理装置及びウェハ処理方法 |
JP2004165674A (ja) * | 2000-01-26 | 2004-06-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ワークのプラズマ処理装置およびワークのプラズマ処理方法 |
WO2001088971A1 (fr) * | 2000-05-17 | 2001-11-22 | Tokyo Electron Limited | Dispositif de traitement et procede d'entretien du dispositif, mecanisme et procede de montage d'une piece du dispositif de traitement, et mecanisme de verrouillage et procede de blocage du mecanisme de verrouillage |
JP2005057244A (ja) * | 2003-07-23 | 2005-03-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマ処理装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015088687A (ja) * | 2013-11-01 | 2015-05-07 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
CN111725111A (zh) * | 2020-06-24 | 2020-09-29 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 半导体工艺设备的反应腔室及半导体工艺设备 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1925016A1 (en) | 2008-05-28 |
KR20080043732A (ko) | 2008-05-19 |
DE602006015333D1 (de) | 2010-08-19 |
JP4674512B2 (ja) | 2011-04-20 |
EP1925016B1 (en) | 2010-07-07 |
US20090008035A1 (en) | 2009-01-08 |
CN101116167A (zh) | 2008-01-30 |
TW200715403A (en) | 2007-04-16 |
WO2007032420A1 (en) | 2007-03-22 |
CN100533652C (zh) | 2009-08-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4674512B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP4508054B2 (ja) | 電極部材の製造方法 | |
KR100624273B1 (ko) | 플라즈마 처리 장치 | |
JP4355314B2 (ja) | 基板処理装置、及び該装置の蓋釣支装置 | |
JP4394073B2 (ja) | 処理ガス導入機構およびプラズマ処理装置 | |
JP2005057244A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2010183090A (ja) | プラズマ処理装置およびプラズマ処理装置用の電極部材 | |
JP2021180308A (ja) | 静電チャック、基板処理装置及び基板処理方法 | |
JP2013225703A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP7045635B2 (ja) | プラズマ処理装置及び方法 | |
KR20230002808A (ko) | 샤워헤드를 갖는 예비세정 챔버 상부 차폐부 | |
JP3356654B2 (ja) | 半導体ウエハ成膜装置 | |
JP4754465B2 (ja) | プラズマ処理装置およびそのクリーニング方法 | |
KR20070002252A (ko) | 플라즈마를 사용하는 기판 가공 장치 | |
KR100622201B1 (ko) | 액정 표시 장치용 기판을 위한 플라즈마 처리 장치 | |
TWI824368B (zh) | 上部電極單元及包含其的基板處理設備 | |
JP2022089007A (ja) | プラズマ処理方法 | |
JP2010123695A (ja) | ウェハ処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070627 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091126 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100420 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100616 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100824 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101025 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20101104 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101228 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110110 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140204 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140204 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |