JP2007075920A - 非球面研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ワーク40を保持して回転させるワークスピンドル12を備えたワーク保持部と、ポリシャー50を保持して回転させるポリシャースピンドル22を備えたポリシャー保持部が、保持したワーク40およびポリシャー50が対向した状態で配置され、上記ワーク40の研磨すべき非球面の点と上記ポリシャー50の接触角を一定に保つように、ワーク保持部が非球面の斜度に応じて揺動する非球面研磨機において、上記ワークスピンドル12またはワーク保持部を上記ワークスピンドル12の軸方向と平行に進退動させるスライド機構を設けた。
【選択図】 図1
Description
11 ワークスピンドルモータ部
12 ワークスピンドル
13 ワークチャック
14 スライドテーブル
14a マイクロメータハンドル
15 スライドガイド
16 ワーク揺動テーブル
17 ワークモータ部
20 ポリシャーユニット
21 ポリシャースピンドルモータ部
22 ポリシャースピンドル
23 ポリシャースライドテーブル
24 スライドガイド
25 ポリシャー台
30 基台
40 ワーク
41 非球面
50 ポリシャー
Claims (6)
- ワークを保持して回転させるワークスピンドルを備えたワーク保持部と、ポリシャーを保持して回転させるポリシャースピンドルを備えたポリシャー保持部が、保持したワークおよびポリシャーが対向した状態で配置され、上記ワークの研磨すべき非球面の点と上記ポリシャーの接触角を一定に保つように、ワーク保持部が非球面の斜度に応じて揺動する非球面研磨装置であって、
上記ワークスピンドルまたはワーク保持部を上記ワークスピンドルの軸方向と平行に進退動させるスライド機構を設けたこと、を特徴とする非球面研磨装置。 - 請求項1記載の非球面研磨装置において、上記ワーク保持部は、上記ワークスピンドルの軸と直交する揺動軸を中心として揺動自在に支持され、上記スライド機構は、この揺動軸と上記ワーク保持部との間に設けられ、上記揺動軸に対して上記ワークスピンドルを直線的に進退動させる非球面研磨装置。
- 請求項2記載の非球面研磨装置において、上記スライド機構は、上記ワークの研磨すべき非球面が上記揺動軸の揺動軸心の延長上または近傍に位置するように上記ワーク保持部をスライド可能に形成されている非球面研磨装置。
- 請求項2または3記載の非球面研磨装置において、上記スライド機構は、マイクロメータによって微調整可能な非球面研磨装置。
- 請求項2乃至4のいずれか一項記載の非球面研磨装置において、ポリシャースピンドル、またはポリシャー保持部は、上記ポリシャースピンドルの軸方向に直線移動自在に支持され、かつ上記ワークスピンドル方向に常時移動付勢されている非球面研磨装置。
- 請求項5記載の非球面研磨装置において、上記ポリシャースピンドルまたはポリシャー保持部は、上記ポリシャースピンドルの軸および上記揺動軸心と直交する方向に平行移動自在に支持されている非球面研磨装置。
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JP2005264100A JP2007075920A (ja) | 2005-09-12 | 2005-09-12 | 非球面研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2005264100A JP2007075920A (ja) | 2005-09-12 | 2005-09-12 | 非球面研磨装置 |
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JP2007075920A true JP2007075920A (ja) | 2007-03-29 |
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ID=37936718
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JP2005264100A Withdrawn JP2007075920A (ja) | 2005-09-12 | 2005-09-12 | 非球面研磨装置 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010125590A (ja) * | 2008-12-01 | 2010-06-10 | Olympus Corp | 研削方法および研削装置 |
JP2013141736A (ja) * | 2012-01-12 | 2013-07-22 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 球面研削装置及び研削加工方法 |
WO2018003765A1 (ja) * | 2016-06-29 | 2018-01-04 | 川崎重工業株式会社 | 研磨装置 |
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2005
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JP2018001311A (ja) * | 2016-06-29 | 2018-01-11 | 川崎重工業株式会社 | 研磨装置 |
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