JP4406772B2 - 板状部材表面傷修復装置 - Google Patents
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Description
R 半径
K 弧状端部
O 中心軸線
L 直交軸線
M 傷
2 保持部材
3 平面運動機構
4 棒状砥石
5 砥石回転機構
6 圧接機構
7 砥石揺動機構
22 傷位置検出部
23 制御部
Claims (3)
- 板状部材を保持する保持部材と、該保持部材を該板状部材の表面方向に平面運動させる平面運動機構と、該板状部材の表面に接触可能な弧状端部をもつ棒状砥石と、該棒状砥石をその中心軸線廻りに回転させる砥石回転機構と、該棒状砥石の弧状端部を板状部材の表面に圧接可能な圧接機構と、上記棒状砥石を該中心軸線上に直交する直交軸線廻りに揺動動作させる砥石揺動機構とを具備してなることを特徴とする板状部材表面傷修復装置。
- 上記板状部材の表面の傷の位置を検出する傷位置検出部と、該傷位置検出部からの傷位置信号により上記平面運動機構を平面運動させる制御部を設けてなることを特徴とする請求項1記載の板状部材表面傷修復装置。
- 上記棒状砥石はセリウム系研磨材からなることを特徴とする請求項1又は2記載の板状部材表面傷修復装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005114993A JP4406772B2 (ja) | 2005-04-01 | 2005-04-12 | 板状部材表面傷修復装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005106561 | 2005-04-01 | ||
JP2005114993A JP4406772B2 (ja) | 2005-04-01 | 2005-04-12 | 板状部材表面傷修復装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006305636A JP2006305636A (ja) | 2006-11-09 |
JP4406772B2 true JP4406772B2 (ja) | 2010-02-03 |
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ID=37473124
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005114993A Expired - Fee Related JP4406772B2 (ja) | 2005-04-01 | 2005-04-12 | 板状部材表面傷修復装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4406772B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022065837A (ja) * | 2020-10-16 | 2022-04-28 | 株式会社サンシン | 凸球面研磨方法及びその装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100829004B1 (ko) | 2007-01-11 | 2008-05-14 | 주식회사 코윈디에스티 | 박막 증착용 챔버의 고정 및 조정 구조 |
KR101067373B1 (ko) * | 2008-09-05 | 2011-09-23 | 참엔지니어링(주) | 평판표시패널용 연마장치와 그 구동방법 및 이를 구비하는 리페어 시스템 |
JP5402391B2 (ja) * | 2009-01-27 | 2014-01-29 | 信越化学工業株式会社 | 半導体用合成石英ガラス基板の加工方法 |
KR101800012B1 (ko) * | 2009-09-17 | 2017-11-21 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 유리판 국소 연마 장치, 유리판 국소 연마 방법, 유리 제품의 제조 장치 및 유리 제품의 제조 방법 |
JP5605554B2 (ja) * | 2009-09-17 | 2014-10-15 | 旭硝子株式会社 | ガラス板局所研磨装置、ガラス板局所研磨方法、ガラス製品の製造装置、及びガラス製品の製造方法 |
JP2018134710A (ja) * | 2017-02-22 | 2018-08-30 | 株式会社荏原製作所 | 基板の研磨装置および研磨方法 |
CN110788977A (zh) * | 2019-10-31 | 2020-02-14 | 安徽青花坊瓷业股份有限公司 | 一种制造高精度瓷器的机械设备 |
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2005
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2022065837A (ja) * | 2020-10-16 | 2022-04-28 | 株式会社サンシン | 凸球面研磨方法及びその装置 |
JP7299203B2 (ja) | 2020-10-16 | 2023-06-27 | 株式会社サンシン | 凸球面研磨方法及びその装置 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006305636A (ja) | 2006-11-09 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080303 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090326 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090422 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090929 |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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