JP2007067023A - ヘテロ接合バイポーラトランジスタ - Google Patents
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Abstract
【課題】 サブコレクタ層のドーピング濃度および厚みを殆ど変えることなく、サブコレクタ層のシート抵抗を下げ、コレクタ抵抗を低減し、オン抵抗が小さく且つ雑音の少ないヘテロ接合バイポーラトランジスタを提供することを目的とする。
【解決手段】 サブコレクタ層をヘテロ接合を利用した量子井戸構造とすることにより、サブコレクタ層中に移動度の高い2次元電子ガスを発生させ、コレクタ電流としてこの2次元電子ガスを用いることにより、サブコレクタ層のシート抵抗を低減させオン抵抗を低減することができる。また、コレクタ電流として、2次元電子ガスを用いることで熱雑音の発生が抑えられ、雑音特性に優れたヘテロ接合バイポーラトランジスタを提供することができる。
【選択図】 図1
【解決手段】 サブコレクタ層をヘテロ接合を利用した量子井戸構造とすることにより、サブコレクタ層中に移動度の高い2次元電子ガスを発生させ、コレクタ電流としてこの2次元電子ガスを用いることにより、サブコレクタ層のシート抵抗を低減させオン抵抗を低減することができる。また、コレクタ電流として、2次元電子ガスを用いることで熱雑音の発生が抑えられ、雑音特性に優れたヘテロ接合バイポーラトランジスタを提供することができる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、高出力化・高効率化された増幅器としてのヘテロ接合バイポーラトランジスタに関するものである。
近年、移動体無線通信システムは更なる高速・高容量化が求められている。こうした需要に伴い、ヘテロ接合バイポーラトランジスタをシステムの増幅器に用いる例が増えている。ヘテロ接合バイポーラトランジスタは、従来から用いられてきた電界効果トランジスタと比較して、電流駆動力が高く、微細化しやすい。また、表面のキャリアトラップの影響を受けにくいため、1/f雑音が少ないといった特徴も有している。そのため、高周波化に適した素子として注目されている。中でも、InGaPをエミッタ層に用いたInGaP/GaAs系ヘテロ接合バイポーラトランジスタは、GaAs基板上に形成でき、尚且つ、同じGaAs基板上に形成できるAlGaAs/GaAs系へテロ接合バイポーラトランジスタよりも高い電流ゲインを得ることができる。また、信頼性の面からも優れた特徴を有しており、普及が進んでいる(例えば、特許文献1参照)。
増幅器の高出力化・高効率化には、トランジスタのオン抵抗(電流が流れた時、すなわちオン時の抵抗)を低減させる必要がある。ヘテロ接合バイポーラトランジスタの場合、オン抵抗はエミッタ層の抵抗、ベース層の抵抗及びコレクタ層の抵抗の和となる。従って、ヘテロ接合バイポーラトランジスタでオン抵抗を低減するためには、各々の抵抗値を低減することが重要である。
以下、図3を用いて従来のInGaP/GaAs系ヘテロ接合バイポーラトランジスタの典型的な構造を説明する。
図3は従来のInGaP/GaAs系ヘテロ接合バイポーラトランジスタを例示する断面図である。
図3は従来のInGaP/GaAs系ヘテロ接合バイポーラトランジスタを例示する断面図である。
図3において、半絶縁性GaAs基板上301上にMOCVD(有機金属気相成長法)やMBE(分子線ビームエピタキシー法)などのヘテロエピタキシーによって、n+−GaAsサブコレクタ302、n−GaAsコレクタ303、p+−GaAsベース304、n−InGaPエミッタ305、n−GaAsエミッタ306、n+−GaAsエミッタ307、n−GaAsエミッタ308、n+−InGaAsグレーディング309、n+−InGaAsノンアロイオーミックキャップ310を成長し、対応する層上にそれぞれコレクタ電極321、ベース電極322、エミッタ電極323を形成した構成となっている。
特開平9−321058号公報
上記のヘテロ接合バイポーラトランジスタで、トランジスタとして能動的に動作する真性領域は、エミッタ層、ベース層、コレクタ層を含む図中破線で示す真性領域331の領域である。一方、エミッタ電極323から前記真性領域331までの領域、ベース電極322から前記真性領域331までの領域およびコレクタ電極321から真性領域331への領域は、寄生領域となってしまう。このうち、コレクタ電極321から真性領域331への寄生領域はn+−GaAsサブコレクタ302と呼ばれ、コレクタ電流をコレクタ電極321への引き出すための層として利用している。従来では、コレクタ層の抵抗を下げるために、このn+−GaAsサブコレクタ302に高濃度ドープを施したり、n+−GaAsサブコレクタ302の膜厚を厚くしたりする手法をとることが一般的となっている。
しかし、このように、サブコレクタがGaAsで形成される場合、5×1018(cm−3)程度以上にドーピングすると結晶性が劣化してしまい、かえって抵抗が増大したり、その他の特性に影響を及ぼしてしまうという課題があった。また、単にサブコレクタ層の膜厚を厚くしても、厚み方向の電界が発生し、コレクタ電流がサブコレクタ層全体に均一に流れず、厚みの増加では一定以上の効果が望めなかった。
本発明は、上記課題を解決するためのものであり、サブコレクタ層のドーピング濃度および厚みを殆ど変えることなく、サブコレクタ層のシート抵抗を下げ、コレクタ抵抗を低減し、オン抵抗が小さく且つ雑音の少ないヘテロ接合バイポーラトランジスタを提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明の請求項1記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタは、ヘテロ接合バイポーラトランジスタであって、電極に接するエピタキシャル層にヘテロ接合を利用した量子井戸構造を形成することを特徴とする。
請求項2記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタは、請求項1記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタにおいて、量子井戸が複数層積層されることを特徴とする。
請求項3記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタは、請求項1または請求項2のいずれかに記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタにおいて、前記のエピタキシャル層がコレクタ層であり、前記コレクタ層上にベース層およびエミッタ層が形成されることを特徴とする。
請求項3記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタは、請求項1または請求項2のいずれかに記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタにおいて、前記のエピタキシャル層がコレクタ層であり、前記コレクタ層上にベース層およびエミッタ層が形成されることを特徴とする。
請求項4記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタは、請求項1または請求項2のいずれかに記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタにおいて、前記のエピタキシャル層がエミッタ層であり、前記エミッタ層上にベース層およびコレクタ層が形成されることを特徴とする。
請求項5記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタは、請求項1または請求項2または請求項3または請求項4のいずれかに記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタにおいて、前記の量子井戸構造がGaAsとInGaAsのヘテロ接合からなることを特徴とする。
請求項6記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタは、請求項5記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタにおいて、前記InGaAsのIn組成が0.25以下であることを特徴とする。
請求項7記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタは、請求項1または請求項2または請求項3または請求項4または請求項5または請求項6のいずれかに記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタにおいて、不純物をドープした半導体層とノンドープド半導体層を積層することにより前記量子井戸を形成することを特徴とする。
請求項8記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタは、請求項7記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタにおいて、前記半導体層への不純物のドーピングをドーピングプロファイルがデルタ関数的に分布するようなデルタドーピングを施す事を特徴とする。
請求項9記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタは、請求項7または請求項8のいずれかに記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタにおいて、前記半導体層への不純物のドーピングが5×1018cm−3以下の濃度のドーピングであることを特徴とする。
以上により、サブコレクタ層のドーピング濃度および厚みを殆ど変えることなく、サブコレクタ層のシート抵抗を下げ、コレクタ抵抗を低減することにより、オン抵抗が小さく且つ雑音の少ないヘテロ接合バイポーラトランジスタを提供することができる。
本発明のヘテロ接合バイポーラトランジスタは、サブコレクタ層をヘテロ接合を利用した量子井戸構造とすることにより、サブコレクタ層中に移動度の高い2次元電子ガスを発生させ、コレクタ電流としてこの2次元電子ガスを用いることにより、サブコレクタ層のシート抵抗を低減させオン抵抗を低減することができる。また、コレクタ電流として、2次元電子ガスを用いることで熱雑音の発生が抑えられ、雑音特性に優れたヘテロ接合バイポーラトランジスタを提供することができる。
以下に本発明の実施の形態に関して、図面を参照しながら説明する。
図1は本発明に関するInGaP/GaAs系ヘテロ接合バイポーラトランジスタの構造を示す断面図である。
図1は本発明に関するInGaP/GaAs系ヘテロ接合バイポーラトランジスタの構造を示す断面図である。
図1において、ヘテロ接合バイポーラトランジスタは、半絶縁性GaAs基板上101上にMOCVD(有機金属気相成長法)やMBE(分子線ビームエピタキシー法)などのヘテロエピタキシーによって形成される。半絶縁性GaAs基板上101上にn+−GaAs(膜厚:100Å、キャリア濃度:5×1018cm−3)を成長させ、その上にアンドープi−In0.2Ga0.8As(膜厚:100Å)と前記In0.2Ga0.8Asとn+−GaAsのヘテロ接合からなる量子井戸を30周期形成し、マルチレイヤー102を形成する。その上にn+−GaAs(膜厚:100Å、キャリア濃度:5×1018cm−3)103を成長さる。マルチレイヤー102およびn+−GaAs103はマルチレイヤーサブコレクタ(膜厚:6100Å)131として機能する。その上にはn−GaAsコレクタ104(膜厚:6000Å、キャリア濃度:5×1016cm−3)、p+−GaAsベース(膜厚:1300Å、キャリア濃度:4×1019cm−3)105、n−InGaPエミッタ(膜厚:300Å、キャリア濃度:3×1017cm−3)106、n−GaAsエミッタ(膜厚:500Å、キャリア濃度:3×1018cm−3)107、n+−GaAsエミッタ(膜厚:2000Å、キャリア濃度:3×1016cm−3)108、n−GaAsエミッタ(膜厚:500Å、キャリア濃度:5×1018cm−3)109が形成してある。更に、n+−In0.5Ga0.5Asエミッタ(膜厚:500Å、キャリア濃度:2×1019cm−3)であるn+−InGaAsグレーディング110、n+−In0.5Ga0.5Asエミッタ(膜厚:500Å、キャリア濃度:4×1019cm−3)であるn+−InGaAsノンアロイオーミックキャップ111、を成長させ化合物半導体基板が構成されている。トランジスタとして動作するように、エッチングや電極形成工程を経て、それぞれコレクタ電極121、ベース電極122、エミッタ電極123を形成して、ヘテロ接合バイポーラトランジスタを構成している。
図2は本発明のヘテロ接合バイポーラトランジスタにおけるノンバイアス時のポテンシャル計算結果を示した図である。図2(a)は図1のA−A’断面の全体の計算結果を示しており、図2(b)は特にマルチレイヤーサブコレクタ131からn−GaAsコレクタ104部分の計算結果を拡大表示したものである。
図2(b)からわかるように、マルチレイヤーサブコレクタ131はキャリア供給層となるn+−GaAsと量子井戸となるi−InGaAsのヘテロ接合からなる変調ドープとなっており、前記マルチレイヤー102中のi−In0.2Ga0.8Asは、同マルチレイヤーのドープしたn+−GaAsから電子の供給を受けて、2次元電子ガスとして作用し、図2(b)紙面上下方向にコレクタ電流が流れるようなチャネルとして作用する。また、同マルチレイヤー102を構成するn+−GaAsおよび、マルチレイヤーサブコレクタ131端部のn+−GaAs103は、ドナー化して電子が出払っているため空間電荷領域となっており、図2(b)の紙面上下方向の電流には殆ど寄与しない。そのためi−In0.2Ga0.8Asとn+−GaAs界面に形成される2次元電子ガスのみで、サブコレクタ層を流れる電流が構成されている。i−In0.2Ga0.8Asの2次元電子ガスはGaAsに比べて電子移動度が高いため、サブコレクタ層をGaAsのみで形成した場合より図2(b)紙面上下方向に関するコレクタ抵抗が小さくなる。そのため、オン抵抗の直列抵抗成分となるコレクタ抵抗が低減される結果、ヘテロ接合バイポーラトランジスタのオン抵抗が低下するように作用する。また、サブコレクタ電流が2次元電子ガスで構成されるので、2次元電子ガスを形成する電子は高移動度のため散乱が少なく、散乱が原因と考えられている熱雑音の少ないヘテロ接合バイポーラトランジスタが実現できる。
以上のように、サブコレクタ層を、不純物をドープした半導体層、例えばn+−GaAsと、ノンドープの半導体層、例えばi−InGaAsを複数回繰り返し積層したマルチレイヤーの量子井戸構造とすることにより、電極から空間電荷層を挟んだ量子井戸に発生する2次元電子ガスが電極への電流伝播の過半を担うこととなるため、従来のサブコレクタ層に比べて高移動度の伝導層とできるため、サブコレクタ層のシート抵抗を低減させオン抵抗を低減することができる。また、サブコレクタ電流が2次元電子ガスで構成されるので、電子は散乱の影響を受けにくくなり熱雑音の発生が抑えられ、優れた雑音特性を実現することができる。
なお、図1の実施例はInGaP/GaAs系ヘテロ接合バイポーラトランジスタに関する実施例であって、本発明の意味するところは、他の材料で構成されたヘテロ接合バイポーラトランジスタのサブコレクタ層に2次元電子ガスを挿入する量子井戸構造を用いてもよい。よって、サブコレクタ、コレクタ、ベース、エミッタ層は実施以外の材料であってもよい。また、量子井戸による2次元電子ガス層となる層は、本実施例の場合30層となっているがこの限りではない。本実施例で示したi−In0.2Ga0.8AsのIn組成は0.2としたがそれ以外の組成でもよい。ただし、実施例にある通り、膜厚はIn組成に対して臨界膜厚を越えない膜厚とする。なおIn組成が0.2の場合は100Å〜150Åが望ましい。量子井戸を形成する不純物をドープした半導体層は、本実施例の場合、キャリア濃度が5×1018cm−3 になるよう一様ドープしたn+−GaAsとして例示したが、n+−GaAsのドーピングプロファイルはデルタ関数的に分布するようなデルタドーピングであってもよい。
また、本実施例はエミッタ層がコレクタ層より上に形成されたエミッタアップのヘテロ接合バイポーラトランジスタで説明したが、電極に接するエピタキシャル層に量子井戸を形成すれば良く、コレクタ層がエミッタ層より上に形成されたコレクタアップのヘテロ接合バイポーラトランジスタであってもよい。この場合はエミッタの一部に2次元電子ガスが挿入された構造となる。
本発明のヘテロ接合バイポーラトランジスタは、サブコレクタ層のドーピング濃度および厚みを殆ど変えることなく、サブコレクタ層のシート抵抗を下げ、コレクタ抵抗を低減することにより、オン抵抗を小さくし、且つ雑音を少なくすることができ、高出力化・高効率化された増幅器としてのヘテロ接合バイポーラトランジスタ等に有用である。
101 半絶縁性GaAs基板
102 マルチレイヤー
103 n+−GaAs
104 n−GaAsコレクタ
105 p+−GaAsベース
106 n−InGaPエミッタ
107 n−GaAsエミッタ
108 n+−GaAsエミッタ
109 n−GaAsエミッタ
110 n+−InGaAsグレーディング
111 n+−InGaAsノンアロイオーミックキャップ
121 コレクタ電極
122 ベース電極
123 エミッタ電極
131 マルチレイヤーサブコレクタ
301 半絶縁性GaAs基板
302 n+GaAsサブコレクタ
303 n−GaAsコレクタ
304 p+−GaAsベース
305 n−InGaPエミッタ
306 n−GaAsエミッタ
307 n+−GaAsエミッタ
308 n−GaAsエミッタ
309 n+−InGaAsグレーディング
310 n+−InGaAsノンアロイオーミックキャップ
321 コレクタ電極
322 ベース電極
323 エミッタ電極
331 真性領域
102 マルチレイヤー
103 n+−GaAs
104 n−GaAsコレクタ
105 p+−GaAsベース
106 n−InGaPエミッタ
107 n−GaAsエミッタ
108 n+−GaAsエミッタ
109 n−GaAsエミッタ
110 n+−InGaAsグレーディング
111 n+−InGaAsノンアロイオーミックキャップ
121 コレクタ電極
122 ベース電極
123 エミッタ電極
131 マルチレイヤーサブコレクタ
301 半絶縁性GaAs基板
302 n+GaAsサブコレクタ
303 n−GaAsコレクタ
304 p+−GaAsベース
305 n−InGaPエミッタ
306 n−GaAsエミッタ
307 n+−GaAsエミッタ
308 n−GaAsエミッタ
309 n+−InGaAsグレーディング
310 n+−InGaAsノンアロイオーミックキャップ
321 コレクタ電極
322 ベース電極
323 エミッタ電極
331 真性領域
Claims (9)
- ヘテロ接合バイポーラトランジスタであって、
電極に接するエピタキシャル層にヘテロ接合を利用した量子井戸構造を形成することを特徴とするヘテロ接合バイポーラトランジスタ。 - 量子井戸が複数層積層されることを特徴とする請求項1記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタ。
- 前記のエピタキシャル層がコレクタ層であり、前記コレクタ層上にベース層およびエミッタ層が形成されることを特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタ。
- 前記のエピタキシャル層がエミッタ層であり、前記エミッタ層上にベース層およびコレクタ層が形成されることを特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタ。
- 前記の量子井戸構造がGaAsとInGaAsのヘテロ接合からなることを特徴とする請求項1または請求項2または請求項3または請求項4のいずれかに記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタ。
- 前記InGaAsのIn組成が0.25以下であることを特徴とする請求項5記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタ。
- 不純物をドープした半導体層とノンドープド半導体層を積層することにより前記量子井戸を形成することを特徴とする請求項1または請求項2または請求項3または請求項4または請求項5または請求項6のいずれかに記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタ。
- 前記半導体層への不純物のドーピングをドーピングプロファイルがデルタ関数的に分布するようなデルタドーピングを施す事を特徴とする請求項7記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタ。
- 前記半導体層への不純物のドーピングが5×1018cm−3以下の濃度のドーピングであることを特徴とする請求項7または請求項8のいずれかに記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタ。
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---|---|---|---|
JP2005248514A JP2007067023A (ja) | 2005-08-30 | 2005-08-30 | ヘテロ接合バイポーラトランジスタ |
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Publications (1)
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JP2005248514A Withdrawn JP2007067023A (ja) | 2005-08-30 | 2005-08-30 | ヘテロ接合バイポーラトランジスタ |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008123965A1 (en) * | 2007-04-02 | 2008-10-16 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Method for controlling operation of light emitting transistors and laser transistors |
-
2005
- 2005-08-30 JP JP2005248514A patent/JP2007067023A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008123965A1 (en) * | 2007-04-02 | 2008-10-16 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Method for controlling operation of light emitting transistors and laser transistors |
US7711015B2 (en) | 2007-04-02 | 2010-05-04 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Method for controlling operation of light emitting transistors and laser transistors |
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