JP2007065662A - リソグラフィ装置、及びfpdのための複合辞書圧縮方法を利用したデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】リソグラフィ装置は、放射ビーム変調用の個々に制御可能な素子アレイと、変調されたビームにより基板上に形成される要求照射パターンの圧縮表現を蓄積する圧縮パターン・メモリと、圧縮表現を少なくとも部分的に解凍する辞書解凍器とを含む。辞書解凍器は、外部辞書メモリと、圧縮表現内に含まれる外部辞書メモリへの照会データに対応するパターン・データの各部分を外部辞書メモリから取り出すことにより、圧縮表現の少なくとも一部を少なくとも部分的に解凍する第1の辞書デコーダと内部辞書メモリを有する第2の辞書デコーダとを含み、第2の辞書デコーダは圧縮表現内に含まれる内部辞書メモリへの照会データに対応するパターン・データの各部分を内部辞書メモリから取り出すことにより、圧縮表現の少なくとも一部を少なくとも部分的に解凍する。
【選択図】図5
Description
本発明の様々な実施例を先に記載してきたが、これらの実施例はほんの一例として挙げたものであって、限定のためのものではないことを理解されたい。本発明の趣旨及び範囲から逸脱せずに、形式及び詳細において様々な変更を加えることができることは、当業者には明らかであろう。したがって、本発明の広さ及び範囲は、上述のどんな例示的実施例によっても限定されるべきではなく、添付の特許請求の範囲及びその同等物によってのみ定義されるべきである。
SO 放射ソース
BD ビーム送出系
IL 照明系
AD 調整装置
IN 積算器
CO 集光器
B 放射ビーム
BS ビーム・スプリッタ
PS 投影系
W 基板
IF 位置センサ
WT 基板テーブル
PW 位置決め装置
L1、L2、AL レンズ
AS 開口絞り
MLA マイクロ・レンズ・アレイ
ML マイクロ・レンズ
S 放射スポット
R、R1、R2 列
SE スポット露光部
SA 8つのアレイ
500 解凍装置
510 パターン・メモリ
512 データ・リンク
520 グローバル辞書デコーダ
522 グローバル辞書メモリ
524 データ・リンク
526 出力リンク(入力データ・ストリーム)
528 データ・リンク
530 復号化/計算部
532 出力ストリーム
534 制御可能なリンク
540 ローカル辞書メモリ
550 外部メモリ・ブロック
560 最終デコーダ(最終解凍段階)
562 データ・リンク
570 外部メモリ
580 解凍器
590 ローカル辞書デコーダ
Claims (32)
- 放射ビームを変調する、個々に制御可能な素子アレイと、
前記変調されたビームによって基板上に形成される要求照射パターンの圧縮表現を蓄積する圧縮パターン・メモリと、
前記圧縮表現を少なくとも部分的に解凍する辞書解凍器と
を含むリソグラフィ装置であって、
前記辞書解凍器が、
第1の辞書メモリと、
前記圧縮表現内に含まれる、前記第1の辞書メモリへの照会データに対応するパターン・データの各部分を前記第1の辞書メモリから取り出すことによって、前記圧縮表現の少なくとも一部を少なくとも部分的に解凍する第1の辞書デコーダと
を含むリソグラフィ装置。 - 前記第1の辞書メモリが、外部辞書メモリであるリソグラフィ装置であって、
内部辞書メモリを有し、前記圧縮表現内に含まれる、前記内部辞書メモリへの照会データに対応するパターン・データの各部分を前記内部辞書メモリから取り出すことによって、前記圧縮表現の少なくとも一部を少なくとも部分的に解凍する第2の辞書デコーダをさらに含む、請求項1に記載のリソグラフィ装置。 - 前記第2の辞書デコーダによって解凍されたデータのうち少なくとも一部を前記内部辞書メモリへ送る制御可能なリンクをさらに含み、前記制御可能なリンクが、復号化プロセスにおいて、前記圧縮データのうち後に前記第2の辞書デコーダによって取り出されるはずの形体に対応する部分のみを送る、請求項2に記載のリソグラフィ装置。
- 前記制御可能なリンクが、前記内部辞書メモリへ送るための前記解凍データのうち一部を、前記第2の辞書デコーダに解凍のために入力されるデータ内のマーカに基づいて選択し、前記マーカが、後の復号化プロセスにおいて、前記第2の辞書デコーダによってどのデータ列が取り出されるかを示す、請求項3に記載のリソグラフィ装置。
- 前記第1及び第2の辞書デコーダが、少なくとも1つのフィールド・プログラマブル・ゲート・アレイを使用して実施され、
前記内部辞書メモリが、前記少なくとも1つのフィールド・プログラマブル・ゲート・アレイと一体であるメモリ内で実施され、
前記外部辞書メモリが、少なくとも1つのフィールド・プログラマブル・ゲート・アレイとは別に形成され、通信インターフェースを介して接続されるメモリ内で実施される、請求項2に記載のリソグラフィ装置。 - 前記要求照射パターンが、2つのグループの反復パターン形体を含み、
前記辞書解凍器が、
前記外部辞書メモリが、前記グループのうち第1のグループに対応するパターン・データを蓄積し、
前記内部辞書メモリが、前記グループのうち第2のグループに対応するパターン・データを蓄積するように構成され、前記第1のグループ内の前記反復パターン形体が、前記第2のグループ内の前記反復パターン形体より大きい、請求項2に記載のリソグラフィ装置。 - 前記外部辞書メモリが、シンクロナスDRAMを使用して実施される、請求項2に記載のリソグラフィ装置。
- 前記内部辞書メモリが、スタティックRAMを使用して実施される、請求項2に記載のリソグラフィ装置。
- 前記辞書メモリのうち少なくとも1つの内容が、前記辞書解凍器によって処理されている前記要求パターンの領域に従って変化する、請求項2に記載のリソグラフィ装置。
- 前記辞書メモリのうち少なくとも1つが、前記辞書デコーダのうち少なくとも1つからの出力の後続部分を蓄積することによって、徐々に更新される、請求項9に記載のリソグラフィ装置。
- 前記第1の辞書デコーダからの出力が、前記第2の辞書デコーダの入力を形成し、前記内部辞書メモリが、前記第2の辞書デコーダからの出力の後続部分を蓄積することによって、徐々に更新される、請求項9に記載のリソグラフィ装置。
- 前記辞書メモリのうち少なくとも1つが、外部メモリ装置からデータをインポートすることによって、徐々に更新される、請求項9に記載のリソグラフィ装置。
- 前記辞書メモリのうち少なくとも1つの内容が、前記要求パターンの一部分に関するデータを含み、前記一部分が、最後に処理された前記要求パターンの領域に対応する、請求項9に記載のリソグラフィ装置。
- 前記要求パターンの前記一部分が、前記要求照射パターンよりも小さい、ほぼ所定サイズのウインドウによって区切られ、前記ウインドウが、最後に処理されたパターン領域のみを含むように、解凍中に移動される、請求項13に記載のリソグラフィ装置。
- 前記辞書解凍器が、部分的に圧縮されたデータを、ラン・レングス符号化データ、ハフマン符号化データ、デルタ符号化データ、及び辞書ベース符号化データの形のうち少なくとも1つの形で出力し、
前記リソグラフィ装置が、前記部分的に圧縮されたデータを少なくとも部分的に復号化するようにそれぞれが構成された、ラン・レングス・デコーダ、ハフマン・デコーダ、デルタ・デコーダ、及び辞書ベースデコーダのうち少なくとも1つをさらに含む、請求項1に記載のリソグラフィ装置。 - 前記要求照射パターンが、2つのグループの反復パターン形体を含み、
前記第1の辞書デコーダが、前記グループのうち第1のグループに対応する前記圧縮表現の一部を少なくとも部分的に解凍し、前記リソグラフィ装置がさらに、
第2の辞書デコーダ及び第2の辞書メモリを含み、前記第2の辞書デコーダが、前記圧縮表現内に含まれる前記第2の辞書メモリへの照会データに対応するパターン・データの各部分を、前記第2の辞書メモリから取り出すことによって、前記グループのうち第2のグループに対応する前記圧縮表現の一部を少なくとも部分的に解凍し、前記第1のグループ内の前記反復パターン形体が、前記第2のグループ内の前記反復パターン形体よりも大きい、請求項1に記載のリソグラフィ装置。 - リソグラフィ装置の要求照射パターンを表すデータ・ストリームの圧縮方法であって、
2回以上生じるデータ列を特定するために、前記データ・ストリームを分析する段階と、
辞書デコーダによる後の解凍用に符号化するために、前記特定された反復データ列から1つのグループを選択する段階と、
前記グループ内の前記反復列のうち少なくとも1つを、前記辞書デコーダによる解凍中、前記反復列の未圧縮バージョンにそこからアクセス可能な辞書メモリ内位置への照会データで置き換えることによって、前記データ・ストリームの圧縮表現のうち少なくとも一部を形成する段階と
を含む方法。 - 第1の辞書デコーダによる後の解凍用に符号化するために、前記特定されたデータの反復列から第1のグループを選択する段階と、
第2の辞書デコーダによる後の解凍用に符号化するために、前記特定されたデータの反復列から第2のグループを選択する段階と、
前記第1のグループ内の前記反復列のうち少なくとも1つを、前記第1の辞書デコーダによる解凍中、前記反復列の未圧縮バージョンにそこからアクセス可能な外部辞書メモリ内位置への照会データで置き換えることによって、前記データ・ストリームの圧縮表現のうち少なくとも一部を形成する段階であって、前記外部辞書メモリが前記第1の辞書デコーダに対して外部である段階と、
前記第2のグループ内の前記反復列のうち少なくとも1つを、前記第2の辞書デコーダによる解凍中、前記反復列の未圧縮バージョンにそこからアクセス可能な内部辞書メモリ内位置への照会データで置き換えることによって、前記データ・ストリームの圧縮表現のうち少なくとも一部を形成する段階であって、前記内部辞書メモリが前記第2の辞書デコーダに対して内部である段階と
を含む、請求項17に記載の方法。 - 前記第1及び第2の辞書デコーダが、少なくとも1つのフィールド・プログラマブル・ゲート・アレイを使用して実施され、
前記内部辞書メモリが、前記少なくとも1つのフィールド・プログラマブル・ゲート・アレイと一体のメモリ内で実施され、
前記外部辞書メモリが、前記少なくとも1つのフィールド・プログラマブル・ゲート・アレイとは別に形成され、且つ通信インターフェースを介して接続されるメモリ内で実施される、
請求項18に記載の方法。 - 前記データ・ストリームが、ラン・レングス符号化法、ハフマン符号化法、及びデルタ符号化法のうち少なくとも1つの方法に従って符号化される前記要求照射パターンの表現を含む、請求項18に記載の方法。
- 前記第1の反復列グループが、前記第1のグループ内の反復列が発生する度に、前記反復列の未圧縮バージョンを構成するビット数と、前記データ・ストリームにおける同じ反復列の今回の発生と前回の発生との間に生じるビット数との総計が、所定基準値よりも高くなるように選択され、
前記第2の反復列グループが、前記第2のグループ内の反復列が発生する度に、前記反復列の未圧縮バージョンを構成するビット数と、前記データ・ストリームにおける同じ反復列の今回の発生と前回の発生との間に生じるビット数との総計が、所定閾値以下となるように選択される、
請求項18に記載の方法。 - 前記所定閾値が、前記内部辞書メモリの容量に従って決められる、請求項21に記載の方法。
- 復号化中、前記データ列が前記内部辞書メモリから、前記第2の辞書デコーダによってアクセスされるか否かを示すために、前記圧縮表現内の前記データ列にマーカを生成する段階をさらに含む、請求項18に記載の方法。
- 最初の圧縮を行うために前記データ・ストリームを予備処理する段階と、
2回以上生じるデータ列を特定するために前記予備処理されたデータ・ストリームを分析する段階と、
このような反復データ列が発生する度に、今回の発生と前回の発生との間に、前記予備処理されたデータ・ストリームにおいて介在データがどれくらい発生するかを計算する段階と、
前記介在データのサイズと前記データ列のサイズとの総計が所定閾値以下の反復データ列毎に、前記データ列を、前記ローカル辞書デコーダが前記データ・ストリームを復号化する間、前回の発生をそこで見つけることのできる、ローカル辞書デコーダの内部メモリ内位置への照会データで置き換える段階を含む、ローカル辞書符号化プロセスを実行する段階と、
グローバル辞書デコーダが前記データ・ストリームを復号化する間、少なくとも残りの反復列の一部を、前記反復列の表現をそこで見つけることのできる、前記グローバル辞書デコーダによって使用される、外部メモリ内位置への照会データで置き換える段階を含む、前記ローカル辞書符号化プロセスの出力をグローバル辞書符号化プロセスに送る段階と
を含む請求項17に記載の方法。 - 前記所定閾値が、前記内部メモリの容量に従って決められる、請求項24に記載の方法。
- 前記予備処理段階が、ラン・レングス符号化法、ハフマン符号化法、デルタ符号化法、及び辞書ベース符号化法のうち少なくとも1つの方法を使用して符号化する段階を含む、請求項24に記載の方法。
- 最初の圧縮を行うために前記データ・ストリームを予備処理する段階と、
ローカル辞書符号化プロセスを実行して、ローカル辞書デコーダによる復号化に適切な、ローカル辞書の符号化されたデータ・ストリームを提供する段階とを含み、
前記ローカル辞書デコーダが、内部ローカル辞書メモリにアクセスするように構成され、
前記ローカル辞書デコーダからの出力が、前記出力の最新の部分のみを蓄積する前記ローカル辞書メモリの入力を提供し、
前記ローカル辞書符号化プロセスが、
2回以上生じるデータ列を特定するために前記予備処理されたデータを分析する段階と、
このような反復列が発生する度に、復号化中、同じ列の前回の発生が、後の発生と遭遇した時点で遅れずに前記ローカル辞書メモリ内に全体が蓄積されるかどうかを計算し、蓄積される場合、復号化中、それぞれの発生を、前回の発生を利用可能な前記ローカル辞書メモリ内位置への照会データで置き換える段階と、
前記ローカル辞書の符号化されたデータ・ストリームを入力としてグローバル辞書の符号化プロセスに送る段階であって、前記グローバル辞書の符号化プロセスが、グローバル辞書デコーダによる復号化に適切な符号化されたグローバル辞書データ・ストリームを提供する段階とを含み、
前記グローバル辞書デコーダが、外部グローバル辞書メモリにアクセスするように構成され、
前記グローバル辞書の復号化プロセスが、
2回以上生ずるデータ列を特定するために、前記ローカル辞書符号化データを分析する段階と、
前記反復列の少なくともサブセットを、復号化中、前記列の表現をそこで利用可能な前記グローバル辞書メモリ内位置への照会データで置き換える段階と
を含む、請求項17に記載の方法。 - 前記予備処理段階が、ラン・レングス符号化法、ハフマン符号化法、デルタ符号化法、及び辞書ベース符号化法のうち少なくとも1つの方法を使用して符号化する段階を含む、請求項27に記載の方法。
- 前記ローカル辞書メモリが、前記ローカル辞書デコーダからの出力の一部を先入れ先出しベースで蓄積するように構成される、請求項27に記載の方法。
- 放射ビームを変調する個別に制御可能な素子アレイを提供する段階と、
前記変調されたビームによって基板上に形成される要求照射パターンの圧縮表現を蓄積する段階と、
前記圧縮表現内に含まれる前記辞書メモリへの照会データに対応するパターン・データの各部分を辞書メモリから取り出すことによって、前記圧縮表現のうち少なくとも一部を読み出し、且つ少なくとも部分的に解凍する段階と
を含むデバイス製造方法。 - 請求項30に記載の前記方法に従って製造される平板型表示装置。
- 請求項30に記載の前記方法に従って製造される集積回路デバイス。
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