JP2007064826A - 慣性センサ素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】 精度良く角速度を検出する。
【解決手段】 圧電材料から、この圧電材料の結晶軸(X軸,Y軸,Z軸)のX軸の+X側を正面とするYZ平面内で、Y軸方向を基準に、前記X軸を回転軸にして、反時計廻りを+方向としたときに、−9度〜−20度で回転させたカットアングルで切り出された圧電板体から形成されてなることを特徴とすることにより、慣性センサ素子を励振振動させる際に、Z軸方向成分の歪を著しく小さくすることができ、誤検出を防止して、精度の良い角速度の検出を行う。
【選択図】 図1
【解決手段】 圧電材料から、この圧電材料の結晶軸(X軸,Y軸,Z軸)のX軸の+X側を正面とするYZ平面内で、Y軸方向を基準に、前記X軸を回転軸にして、反時計廻りを+方向としたときに、−9度〜−20度で回転させたカットアングルで切り出された圧電板体から形成されてなることを特徴とすることにより、慣性センサ素子を励振振動させる際に、Z軸方向成分の歪を著しく小さくすることができ、誤検出を防止して、精度の良い角速度の検出を行う。
【選択図】 図1
Description
本発明は、移動体の姿勢制御や位置検出、カメラの手振れ補正などに用いる慣性センサ素子に関する。
従来から慣性センサ素子には様々な種類があるが、各種装置に組み込むために薄く小型にし、かつ軽量にするという要求を満たすものとして、例えば、振動型の角速度センサがある。
この振動型の慣性センサは、四角柱を振動させて回転に伴って働くコリオリの力を検出するものである。
また、従来から、慣性センサ素子には、H型構造、音叉型構造、音片構造、三脚音叉構造などが採用されている。
この振動型の慣性センサは、四角柱を振動させて回転に伴って働くコリオリの力を検出するものである。
また、従来から、慣性センサ素子には、H型構造、音叉型構造、音片構造、三脚音叉構造などが採用されている。
ここで、H型構造の慣性センサ素子を例に説明すると、H型構造の慣性センサ素子は、基部と、断面が短形形状であって、基部から平行に延出する4本の腕部とから構成されている。また、基部を境に一方の腕部、つまり、基部より上部の腕部には当該腕部を屈曲振動させるために電圧を印加する励振電極が備えられ、基部を境に他方の腕部、つまり、基部よりも下部の腕部には基部より上側の腕部が振動するとともにY軸廻りの角速度が加わることにより生じるコリオリの力によって発生した電荷を検出する検出電極が備えられている。
この電荷を検出電極によって検出することにより、角速度の大きさと向きを知ることができる。
この電荷を検出電極によって検出することにより、角速度の大きさと向きを知ることができる。
また、慣性センサ素子が水晶で構成されている場合を例に説明すると、従来の慣性センサ素子を形成している水晶ウェハは、Z板水晶ウェハ(Z軸に垂直に切り出されたウェハ)を用いている。このように形成した慣性センサ素子を励振させるために、電気軸(X軸)方向に平行な方向の電界(E1)を励振電極を介して外部より印加し、機械軸(Y軸)方向に平行な歪(S2)を得ることによって、XY平面内で屈曲振動をする(例えば、特許文献1参照)。
また、水晶を用いた慣性センサ素子を外形形成するためには、酸性フッ化アンモニウム、フッ化水素酸の水溶液を用いてエッチングをおこなうが、エッチングの異方性により、エッチング残さが生じる。
特開2004−301734号公報
従来の慣性センサ素子は逆圧電効果で励振振動をさせる。
ここで、圧電基本式のe形式を示す。
[T]=[cE][S]−[e]t[E] ・・・(1)
(cE:弾性スチフネス定数、S:歪、e:圧電応力定数、E:電界)
この(1)式に示す圧電基本式のe形式より、励振振動させる際には、外力として歪は加えないので圧電基本式のe形式は、(2)式となる。
[T]=−[e]t[E] ・・・(2)
このとき、電界成分は電気軸(X軸)方向に平行な方向であるので、E2(Y軸方向)=E3(Z軸方向)=0となる。[E]はE1(X軸方向)成分のみである。[e]に水晶の圧電応力定数を代入し、上記の圧電基本式を計算すると、励振振動の成分以外に、すべり応力T4が生じる。応力を歪に変換した場合も同様に、すべり歪S4(X軸方向からZ軸)が生じる。このため、励振振動をさせると、Z軸方向成分を含んで振動し、これが、振動漏れの原因となる。
なお、歪は、工学的表記法で、S1、S2、S3、S4、S5、S6の要素からなる行列式で現される。
ここで、圧電基本式のe形式を示す。
[T]=[cE][S]−[e]t[E] ・・・(1)
(cE:弾性スチフネス定数、S:歪、e:圧電応力定数、E:電界)
この(1)式に示す圧電基本式のe形式より、励振振動させる際には、外力として歪は加えないので圧電基本式のe形式は、(2)式となる。
[T]=−[e]t[E] ・・・(2)
このとき、電界成分は電気軸(X軸)方向に平行な方向であるので、E2(Y軸方向)=E3(Z軸方向)=0となる。[E]はE1(X軸方向)成分のみである。[e]に水晶の圧電応力定数を代入し、上記の圧電基本式を計算すると、励振振動の成分以外に、すべり応力T4が生じる。応力を歪に変換した場合も同様に、すべり歪S4(X軸方向からZ軸)が生じる。このため、励振振動をさせると、Z軸方向成分を含んで振動し、これが、振動漏れの原因となる。
なお、歪は、工学的表記法で、S1、S2、S3、S4、S5、S6の要素からなる行列式で現される。
また、慣性センサ素子の外形形成を酸性フッ化アンモニウム、フッ化水素酸の水溶液を用いてエッチングをおこなうと、エッチングの異方性によって、Y軸またはZ軸に対して非対称にエッチング残さが生じるため、励振振動も振動モードがアンバランスなものとなったり、励振モードと検出モードとが結合しやすくなったりし、角速度が印加されていないときであっても、検出信号が出力される(0点出力が発生する)。そのため、機械的に腕部の一部を切削することで、振動バランスを調整する必要があった。
そこで、本発明は、前記した問題を解決し、精度の良い角速度の検出ができる慣性センサ素子を提供することを課題とする。
前記課題を解決するため、本発明は、慣性センサ素子であって、圧電材料から、この圧電材料の結晶軸(X軸,Y軸,Z軸)のX軸の+X側を正面とするYZ平面内で、Y軸方向を基準に、前記X軸を回転軸にして、反時計廻りを+方向としたときに、−9度〜−20度で回転させたカットアングルで切り出された圧電板体から形成されてなることを特徴とする。
このような慣性センサ素子によれば、慣性センサ素子を励振振動させる際に、Z軸方向成分の歪を著しく小さくすることができる。そのため、誤検出を防止して、精度の良い角速度の検出ができる。
次に、本発明を実施するための最良の形態(以下、「実施形態」という。)について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。
なお、本発明の慣性センサ素子が水晶からなる場合について説明する。また、各説明において、上下左右という場合は、紙面に対して奥側を「上」、手前側を「下」とし、これに対し、右手側を「右」、左手側を「左」として説明する。
なお、本発明の慣性センサ素子が水晶からなる場合について説明する。また、各説明において、上下左右という場合は、紙面に対して奥側を「上」、手前側を「下」とし、これに対し、右手側を「右」、左手側を「左」として説明する。
図1は本発明に係る慣性センサ素子の一例を示す図である。図2は圧電板体のカットアングルの一例を示す図である。図3は本発明に係る慣性センサ素子の電極構成の一例を示す図であり、(a)は励振電極の構成の一例を示した図であり、(b)は検出電極の構成の一例を示した図である。図4は本発明に係る慣性センサ素子に生じる所定の瞬間における電界の一例を示す図であり、(a)は励振用腕部に生じる所定の瞬間における電界の一例を示す図であり、(b)は検出用腕部に生じる所定の瞬間における電界の一例を示す図である。
図1に示すように、本発明の実施形態に係る慣性センサ素子100は、基部110と、この基部から上方に延出する一対の腕部120,130と、基部110の下方に延出する一対の腕部140,150と、腕部140,150の間であって基部110から延出する支持棒160と、支持棒160の端部に設けられる支持部170とで形成されている。
本発明の実施形態に係る慣性センサ素子100が形成される水晶ウェハ(圧電板体)は、図2に示すように、Z板水晶(圧電材料)の結晶軸(X軸,Y軸,Z軸)のX軸の+X側を正面とするYZ平面内で、Y軸方向を基準に、前記X軸を回転軸にして、反時計廻りを+方向としたときに、−9度〜−20度で回転させたカットアングルで切り出されてなる。なお、本実施形態では、−9度で回転させたカットアングルの水晶ウェハPについて説明する。
この慣性センサ素子100の基部110の長手方向はX軸方向と平行となり、腕部120,130,140,150はY´軸(Y軸方向をX軸廻りに−9度回転した軸)に平行であり、慣性センサ素子の厚み方向は、Z´軸(Z軸方向をX軸廻りに−9度回転した軸)と平行となる。
このように構成した慣性センサ素子100は、前記水晶ウェハPを、フッ化水素酸、酸性フッ化アンモニウムの水溶液でエッチングして外形を形成する。しかし、エッチングで慣性センサ素子100の外形を形成すると、エッチングの異方性によって、エッチング残さが当該慣性センサ素子100のY軸方向、Z軸方向に対して左右対称に生じる。
なお、図3(a)、(b)に示すように、一対の腕部120,腕部130と腕部140,150は各種電極が形成される。ここで、腕部120,130を励振用腕部、腕部140,150を検出用腕部として説明する。
図3(a)に示すように、腕部120には、Z´軸方向に対向させて同極の励振電極121A,121Bが設けられ、X軸方向に対向させて同極の励振電極121C,121Dが設けられている。また、励振電極121A,121Bは、励振電極121C,121Dと異極となっている。
また、腕部130には、Z´軸方向に対向させて同極の励振電極131A,131Bが設けられ、X軸方向に対向させて同極の励振電極131C,131Dが設けられている。また、励振電極131A,131Bは、励振電極131C,131Dと異極となっている。
なお、励振電極121A,121Bと励振電極131C,131Dとは同極で、端子P01に接続され、励振電極121C,121Dと励振電極131A,131Bとは同極で端子P02に接続される。
図3(b)に示すように、腕部140には、支持棒160と向かい合う側の側面に検出電極141A,141BがZ´軸方向に並んで設けられ、これに対向する側面に検出電極141C,141DがZ´軸方向に並んで設けられている。検出電極141A,141Dは同極であり、検出電極141B,141Cは同極であって、検出電極141A,141Dは検出電極141B,141Cとは異極となる。
腕部150には、支持棒160に向かい合う側の側面に検出電極151A,151BがZ´軸方向に並んで設けられ、これに対向する側面に検出電極151C,151DがZ´軸方向に並んで設けられている。検出電極151A,151Dは同極であり、検出電極151B,151Cは同極であって、検出電極151A,151Dは検出電極151B,151Cとは異極となる。
検出電極141A,141Dと検出電極151A,151Dとは同極で、端子P03に接続され、検出電極141B,141Cと検出電極151B,151Cとは同極で端子P04に接続される。
このような電極形成において、端子P01,P02(図3(a)参照)により励振用腕部120,130に対して励振信号を印加すると、図4(a)に示すように、腕部120,130には電気軸方向に電界Eが生じる。
この電界Eは、腕部120において、励振電極121Aから励振電極121C及び励振電極121Dへ向かうように生じ、励振電極121Bから励振電極121C及び励振電極121Dへ向かうように生じる。同様に、励振電極131Cから励振電極131A及び励振電極131Bへ向かうように生じ、励振電極131Dから励振電極131A及び励振電極131Bへ向かうように生じる。このとき、腕部120(130)のY´軸方向に境とする中央部に対して、X軸方向に逆向きの2つのX成分の電界E1が生じる。ここで、腕部120のX成分の電界E1の向きと腕部130のX成分の電界E1の向きとが逆になっている。
したがって、励振信号によって、励振用腕部120,130に生じる電界E1の向きが交互に変るようになっている。
この電界Eは、腕部120において、励振電極121Aから励振電極121C及び励振電極121Dへ向かうように生じ、励振電極121Bから励振電極121C及び励振電極121Dへ向かうように生じる。同様に、励振電極131Cから励振電極131A及び励振電極131Bへ向かうように生じ、励振電極131Dから励振電極131A及び励振電極131Bへ向かうように生じる。このとき、腕部120(130)のY´軸方向に境とする中央部に対して、X軸方向に逆向きの2つのX成分の電界E1が生じる。ここで、腕部120のX成分の電界E1の向きと腕部130のX成分の電界E1の向きとが逆になっている。
したがって、励振信号によって、励振用腕部120,130に生じる電界E1の向きが交互に変るようになっている。
このように電界E1が発生することによって、歪S´2が発生する。これによって、励振用腕部120,130は屈曲振動をする。電界E1によるZ軸方向成分の歪S´3,S´4,S´5は極めて小さくなるので、Z軸方向の変位、ねじれは小さく、XY´平面内に平行に励振振動をおこなう。
つまり、慣性センサ素子100を形成する水晶ウェハPのカットアングルを、結晶軸(X軸,Y軸,Z軸)のX軸の+X側を正面とするYZ平面内で、Y軸方向を基準に、前記X軸を回転軸にして、反時計廻りを+方向としたときに、−9度で回転させた状態とすると、電界E1によってZ軸方向に生じる歪S´3,S´4,S´5の和は最小となる。
図5に示すように、前記圧電基本式を用いてE1によって生じる歪の向きと大きさとX軸廻りのカットアングルとの関係を示した。これより、カットアングルが0度のときはS´3は0であるが、S´4が大きい。カットアングルをマイナス方向に回転させていくと、S´3は大きくなるが、S´4は小さくなり、カットアングル−9度付近でS´3、S´4は0に近づいていることがわかる。S´5はカットアングルを変化させても0であるため影響は無い。
図6に示すように、本実施形態における慣性センサ素子の励振用腕部120,130のZ軸方向の振動とカットアングルとの関係を示した。これより、Z軸方向の振動が0となるのは、−20度付近であることがわかる。
これは、実施形態における慣性センサ素子はエッチングの異方性によって、非対称にエッチング残さが生じているため振動バランスが変化し、カットアングルの最適値にズレが生じているからである。
具体的には、エッチングの異方性によってエッチング残さを生じると、振動バランスが変化するため、カットアングルの最適値はずれる。エッチング残さを考慮した場合、上記の方向に−20度回転させたとき、Z軸方向の歪は最小となる。しかし、エッチング残さの大きさはエッチャントの配合、温度、エッチング時間に依存するため、エッチング残さの大きさが小さくなれば、カットアングルの最適値のずれ量も小さくなる。
つまり、エッチング残さの大きさに振動バランスのズレ量は依存し、エッチング残さが小さくなればカットアングルの最適値は−20度から−9度に近づいていく。
つまり、エッチング残さの大きさに振動バランスのズレ量は依存し、エッチング残さが小さくなればカットアングルの最適値は−20度から−9度に近づいていく。
本実施形態における慣性センサ素子100はXY´平面内で励振振動をするため、検出用腕部150,160に回転が印加されていない状態だと、これら検出用腕部150,160へZ軸方向の振動が伝播されない。このため、検出用腕部150,160は振動はおこらず、検出端子P03,P04(図3(b)参照)には検出信号として入力される漏れ信号は検出されない。
このように励振している状態で、Y´軸廻りを回転軸とする回転運動を加えるとZ´軸方向にコリオリの力が加わり、腕部120,130,140,150はZ軸方向に歪を生じる。各検出電極と接続している端子P03,P04に回転の大きさに応じた電荷が発生(図4(b)参照)し、角速度の大きさを求めることができる。また、検出される電荷の極性と励振信号との位相を比較することで、角速度の方向も検知することが可能となる。
実施形態に係る慣性センサ素子は、励振時のZ軸方向の変位が著しく小さいので、回転が加わっていない状態であっても漏れ信号を検出することがないため、精度良く角速度の検出ができる。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は前記実施形態には限定されない。例えば、本実施形態では、圧電素子を水晶として説明したがこれに限定されるものではなく、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム等の圧電効果のある材質を適宜用いることができる。
100 慣性センサ素子
110 基部
120,130 腕部(励振用腕部)
140,150 腕部(検出用腕部)
160 支持棒
170 支持部
P 水晶ウェハ(圧電板体)
110 基部
120,130 腕部(励振用腕部)
140,150 腕部(検出用腕部)
160 支持棒
170 支持部
P 水晶ウェハ(圧電板体)
Claims (1)
- 圧電材料から、この圧電材料の結晶軸(X軸,Y軸,Z軸)のX軸の+X側を正面とするYZ平面内で、Y軸方向を基準に、前記X軸を回転軸にして、反時計廻りを+方向としたときに、−9度〜−20度で回転させたカットアングルで切り出された圧電板体から形成されてなることを特徴とする慣性センサ素子。
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---|---|---|---|
JP2005252100A JP2007064826A (ja) | 2005-08-31 | 2005-08-31 | 慣性センサ素子 |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007064826A true JP2007064826A (ja) | 2007-03-15 |
Family
ID=37927191
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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2005
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