JP3856108B2 - 振動型ジャイロスコープ用振動子および振動型ジャイロスコープ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、振動型ジャイロスコープ用振動子および振動型ジャイロスコープに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
最近、振動型ジャイロスコープを自動車に搭載し、自動車の車体の方向の制御に使用することが検討されている。例えば自動車の車体回転速度フィードバック式の車両制御方法に用いる回転速度センサーに振動型ジャイロスコープを使用するときには、操舵輪の方向自身は、ハンドルの回転角度によって検出する。これと同時に、実際に車体が回転している回転速度を振動ジャイロスコープによって検出する。そして、操舵輪の方向と実際の車体の回転速度を比較して差を求め、この差に基づいて車輪トルク、操舵角に補正を加えることによって、安定した車体制御を実現する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
例えば車載用途の振動型ジャイロスコープにおいては、ジャイロスコープの使用温度範囲がきわめて広く、例えば、−40℃−+85℃の温度範囲において安定に動作することが要求される。そして、室温において、一対の屈曲振動片の共振周波数を一定値に調節していても、周囲温度が高温や低温に大きく変化したときには、共振周波数の変動やバラツキが大きくなることがある。この結果、いわゆるゼロ点温度ドリフトが発生することがある。
【0004】
本発明の課題は、振動型ジャイロスコープにおいて、水晶振動子からの回転角速度の検出値の温度ドリフトを低減することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明は、水晶からなる平板状の振動片を備える振動型ジャイロスコープ用の振動子であって、
前記振動片が、一対の主面、一方の側面および他方の側面を備えており、一方の側面が水晶のa軸に垂直であり、他方の側面が
【数3】
面であり、前記一方の側面に突起が形成されており、
前記
【数4】
面における稜線の高さが前記振動片の厚さの0.5%以上、2%以下であり、前記稜線と前記振動片の中心面との距離が、前記振動片の厚さの5%以下であることを特徴とする。
【0006】
また、本発明は、前記の振動子を備えていることを特徴とする、振動型ジャイロスコープに係るものである。
【0007】
本発明者は、水晶振動子を備える振動型ジャイロスコープの生産を検討していたが、その過程において、一部の振動子に大きなゼロ点温度ドリフトが発生し、不良品の割合増加の原因となることを発見した。本発明者はこの原因を検討し、次の発見に至った。
【0008】
図1に示すように、平板状の振動片1が、一対の主面1a、1bと、側面2、3とを備えているものとする。主面1aは+Z面であり、主面1bは−Z面であり、側面2は+X面であり、側面3は−Z面である。Aは、振動片1の中心面である。水晶は、3回回転対称のa軸と、a軸に垂直なc軸とを有している。ここで、+X面2がa軸に垂直であり、+Z面1aがc軸に垂直であるものとする。この場合には、−X面3は、結晶学的に四指数表現で言うところの
【数4】
面となる。
【0009】
ここで、水晶をエッチングすると、+X面2の中央部付近に、細長い突起24が残留することが知られている。この突起24の高さは、例えば25〜30μm程度であり、突起24の幅は100μm程度になることがある。こうした突起24は−X面3側には形成されない。従って、+X面2上の突起24が、振動型ジャイロスコープのゼロ点温度ドリフトの原因となると考えることは自然である。このため、本発明者は、突起24の形状を制御するために種々の検討を重ねたが、前述したゼロ点温度ドリフトに対しては大きな影響は見られなかった。
【0010】
そこで、本発明者は、−X面側の形状を観測した。この結果、−X面3側には、図2、図3に示すような細長い稜線5が形成されていることが分かった。この稜線5は、−X面3上を、中心面Aと略平行に細長く延びていた。また、稜線5の両側には、略平面状の傾斜面6A、6Bが、角7へと向かって延びていた。
【0011】
ただし、基準平面Bからの稜線5の高さは例えば3μm程度と非常に低い。このため、反対側の+X面2側の突起24とは異なり、稜線5側の基準面Bからの隆起はきわめて小さく、このためにゼロ点温度ドリフトに顕著な影響を与えるものとは考えていなかった。ところが、ゼロ点温度ドリフトが生じた振動子について、−X面3側の稜線5の位置を検討したみたところ、図2(a)、図7(a)に示すように稜線の位置が偏っていることを発見した。また、ゼロ点温度ドリフトが小さい振動子について、−X面3側の稜線5の位置を検討したみたところ、図7(b)および図8に示すように、稜線の位置が中心面Aの近くに位置することを見いだした。
【0012】
これは、僅かな変形に過ぎない稜線5の位置が、はるかに隆起体積の大きい+X面2側の突起24に比べて、ゼロ点温度ドリフトに対して多大な影響を有していることを示しており、意外であった。そして、この知見に基づいて、稜線5の位置が中心面Aの近傍に位置するようにエッチングを行うことによって、振動子のゼロ点温度ドリフトを低減できる。
【0013】
具体的には、図2(a)、(b)において、側面3における稜線5の高さhを振動片の厚さDの2%以下である。本発明は、こうしたレベルの、振動片の厚さDに比べてきわめて小さい高さの稜線5が、振動片の側面3に形成されるような場合を対象とする。
【0014】
この上で、稜線5(稜線5が存在する平面C)と振動片1の中心面Aとの距離dを、振動片の厚さDの5%以下とする。これによって、前述した振動型ジャイロスコープのゼロ点温度ドリフトを著しく低減し、振動子ごとのゼロ点温度ドリフトのバラツキを抑制することに成功した。
【0015】
本発明においては、側面3における稜線5の高さhを振動片の厚さDの2%以下とすることが特に好ましい。
また、稜線5の高さhは特に限定されないが、本発明の効果を奏する上では6μm以下が好ましい。また、稜線5の高さの下限は特にないが、一般には振動片の厚さDの0.5%以上であり、あるいは、1μm以上である。
【0016】
また、稜線5と振動片1の中心面Aとの距離dを、振動片の厚さDの5%以下とすることが、本発明の効果を奏する上で更に好ましい。また、距離dは特に限定されないが、本発明の効果を奏する上では50μm以下が好ましい。
更に、振動片の厚さDも特に限定されないが、振動子の取り扱い強度の観点からは100μm以上とすることが好ましい。また、振動片の励振効率を高くするという観点からは、Dを300μm以下とすることが好ましい。
【0017】
【発明の実施の形態】
本発明の振動子は、水晶からなる平板状の振動片を備えている。ここで、振動片の動作モードは限定されないが、屈曲振動モードであることが特に好ましい。また、振動片が平板状であるとは、幾何学的に厳密な意味ではなく、製造上の誤差は許容される。また、本発明の振動子において、この振動片以外の部分は平板状でなくともよい。ただし、好適な実施形態においては、振動子の全体が平板状である。
【0018】
好適な実施形態においては、振動片が細長く形成されており、かつ前記の側面3が振動片の長手方向に向かって延びている。特に好適な実施形態においては、この振動片が屈曲振動する振動片である。この場合には、前記の稜線が屈曲振動の方向と略垂直方向に延びることになるが、このような場合にゼロ点温度ドリフトが特に発生しやすいので、本発明が効果的である。
【0019】
本発明の稜線の生成の原因は特に限定されない。しかし、好適な実施形態においては、振動片がエッチングによって形成されており、このエッチングの過程において稜線が生成する。
【0020】
このエッチャントは限定されないが、以下のものが好ましい。
エッチャントは、ふっ酸を含有していることが好ましく、ふっ酸水溶液か、あるいはふっ酸とフッ化アンモニウムとを任意の割合で混合した水溶液が好ましい。エッチャントの濃度は、40重量%以下が好ましく、エッチャントの温度は、40〜80℃が好ましい。
【0021】
振動片に本発明の稜線形状を形成するためには、例えば以下の方法による。
金とクロムの2層からなるマスクがウエハ両面に所定の形状に形成された水晶z板のウエハを、ふっ酸とフッ化アンモニウム混合水溶液によりウェットエッチングする。
【0022】
本発明の振動型ジャイロスコープは、前述の振動子を備えている。この振動型ジャイロスコープは、更に駆動手段、検出手段を備えている。駆動手段、検出手段は、一般には振動子上に形成される電極の形態をしている。
【0023】
好適な実施形態においては、本発明の振動型ジャイロスコープは、振動片が設けられる平面Aに対して略垂直な回転軸の回りの回転角速度を測定するものである。特に好ましくは、振動片が、平面Aに沿って屈曲振動する。図4、図5は、この実施形態に係る振動子を示すものである。
【0024】
振動子15は、平面Aに対して略垂直なZ軸を中心とする回転角速度を測定できるものである。振動子15の基部1Aは、振動子の重心GOを中心として、4回対称の正方形をしている。基部1Aの周縁部から、四方に向かって放射状に、二つの駆動振動系10A、10Bと2つの検出振動系12A、12Bとが突出しており、各振動系は互いに分離されている。
【0025】
駆動振動系10A、10Bは、それぞれ、基部1Aの周縁部から突出する細長い支持部20と、支持部20の先端側から支持部20に直交する方向に延びる屈曲振動片14A、14B、14C、14Dとを備えている。各屈曲振動片には、それぞれ、図4に示すように駆動電極17が設けられている。検出振動系12A、12Bは、細長い周方向屈曲振動片16A、16Bからなる。各屈曲振動片には、図4に示すように検出電極18が設けられている。
【0026】
駆動モードにおいては、各屈曲振動片14A、14B、14C、14Dが、支持部20の先端部分を中心として、図5に示すように、矢印AYのように屈曲振動する。検出モードにおいては、各支持部20が、その基部1Aへの付け根を中心として矢印CXのように周方向に屈曲振動する。これに対応して、各検出振動系の各屈曲振動片16A、16Bが、矢印BYのように屈曲振動する。各屈曲振動片16A、16Bに励起される各検出振動を測定することによって、垂直軸Zの周りの回転角速度を測定する。
【0027】
この実施形態においては、振動子の全体がX−Y平面(平面A)に沿って形成されている。そして、各屈曲振動片14A、14B、14C、14D、16A、16Bは、それぞれY軸方向に向かって延びており、それぞれ+X軸方向の側面2と、−X軸方向の側面3とを備えている。この側面3は、本発明による稜線形状を備えている。
【0028】
また、好適な実施形態においては、本発明の振動型ジャイロスコープは、振動片が設けられる平面Aに対して略平行な回転軸の回りの回転角速度を測定するものである。図6は、この実施形態に係る振動子4を示すものである。
【0029】
振動子4は、基部1Bと、一対の音叉型振動片9A、9Bからなる駆動振動系10Cと、一対の音叉型振動片11A、11Bからなる検出振動系12Cとを備えている。各屈曲振動片9A、9B、11A、11BはY軸方向に延びている。各駆動振動片9A、9Bを、矢印AXのようにXY面内でX軸の方向に振動させる。実装基板をY軸を中心として回転させると、検出振動片11A、11Bは矢印BZのように垂直軸Zの方向に振動する。この振動を検出することによって、Y軸を中心とする回転角速度を測定する。
【0030】
この実施形態においては、振動子の全体がX−Y平面(平面A)に沿って形成されている。そして、各屈曲振動片9A、9B、11A、11Bは、それぞれY軸方向に向かって延びており、それぞれ+X軸方向の側面2と、−X軸方向の側面3とを備えている。この側面3は、本発明による稜線形状を備えている。
【0031】
【実施例】
図4、図5に示す振動型ジャイロスコープを作製した。具体的には、厚さ0.3mmの水晶のZ板のウエハーに、スパッタ法によって、厚さ200オングストロームのクロム膜と、厚さ5000オングストロームの金膜とを形成した。ウエハーの両面にレジストをコーティングした。
【0032】
このウエハーを、ヨウ素とヨウ化カリウムとの水溶液に浸漬し、余分な金膜をエッチングによって除去し、更に硝酸セリウムアンモニウムと過塩素酸との水溶液にウエハーを浸漬し、余分なクロム膜をエッチングして除去した。温度80℃の重フッ化アンモニウムに20時間ウエハーを浸漬し、ウエハーをエッチングし、振動子15の外形を形成した。メタルマスクを使用して、厚さ2000オングストロームのアルミニウム膜を電極膜として形成した。
【0033】
得られた振動子15の基部1Aの寸法は6.0mm×6.0mmである。各駆動振動片14A〜14Dの寸法は、幅1.0mm×長さ6.0mmである。各駆動電極17の寸法は、幅0.6mm×長さ2.8mmである。各検出振動片16A、16Bの寸法は、幅1.0mm×長さ6.0mmである。各検出電極18の寸法は、幅0.6mm×長さ2.8mmである。
【0034】
振動子15の基部1Aの中央に0.75mm×0.75mmの正方形の支持孔を形成し、この支持孔に直径0.6mmの金属ピンを通し、金属ピンに対して振動子15をシリコーン樹脂接着剤によって接着した。
【0035】
ここで、各振動子の側面3において、稜線の高さの振動片の厚さに対する比率と、稜線と振動片の中心面との距離の振動片の厚さに対する比率とを、表1に示すように制御した。これらの数値は、 測定用の光学顕微鏡によって測定した。
【0036】
得られた各振動子を利用した各振動型ジャイロスコープについて、検出信号の測定値の−40℃より+85℃の温度域におけるゼロ点信号の温度変動を測定した。この結果を表1に示す。
【0037】
【表1】
【0038】
また、表1の比較例8の振動子の振動片の側面3の写真を図7に示し、実施例4の振動子の振動片の側面3の写真を図8に示す(倍率200倍)。
【0039】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明の振動型ジャイロスコープによれば、水晶振動子からの回転角速度の検出値の温度ドリフトを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】振動片1の断面図である。
【図2】(a)、(b)は、それぞれ、振動片1の側面3付近の断面図である。
【図3】図2(b)の振動片1の側面3を正面から見た図である。
【図4】本発明の一実施形態に係る振動型ジャイロスコープを示す斜視図である。
【図5】図4の振動子15の平面図である。
【図6】振動子4の平面図である。
【図7】比較例 8 の振動片の側面の写真である。
【図8】実施例 4 の振動片の側面の写真である。
【符号の説明】
1 振動片 1a +Z面側の主面 1b −Z面側の主面 2 +X面側の側面 3 −X面側の側面 4、15 振動子 5 稜線 6A、6B 傾斜面 7 角 9A、9B、14A、14B、14C、14D 駆動用の屈曲振動片 10A、10B、10C 駆動振動系 11A、11B、16A、16B 検出用の屈曲振動片 12A、12B、12C 検出振動系 A 振動片1の中心面 B 側面3における基準平面 C 稜線5が位置する平面 D 振動片1の厚さ d 稜線5と振動片の中心面Cとの距離 h 稜線5の高さ
Claims (3)
- 前記振動片がエッチングによって形成されていることを特徴とする、請求項1記載の振動子。
- 請求項1または2記載の振動子を備えていることを特徴とする、振動型ジャイロスコープ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001348995A JP3856108B2 (ja) | 2001-11-14 | 2001-11-14 | 振動型ジャイロスコープ用振動子および振動型ジャイロスコープ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001348995A JP3856108B2 (ja) | 2001-11-14 | 2001-11-14 | 振動型ジャイロスコープ用振動子および振動型ジャイロスコープ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003148964A JP2003148964A (ja) | 2003-05-21 |
JP3856108B2 true JP3856108B2 (ja) | 2006-12-13 |
Family
ID=19161729
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001348995A Expired - Lifetime JP3856108B2 (ja) | 2001-11-14 | 2001-11-14 | 振動型ジャイロスコープ用振動子および振動型ジャイロスコープ |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP3856108B2 (ja) |
-
2001
- 2001-11-14 JP JP2001348995A patent/JP3856108B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003148964A (ja) | 2003-05-21 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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