JP2007062237A - 液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法、記録液カートリッジ、画像形成装置 - Google Patents

液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法、記録液カートリッジ、画像形成装置 Download PDF

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Abstract

【課題】 ノズル板と流路ユニットの接合による接着剤のはみ出し、ノズル孔への接着剤の流入等の防止、強固な接合強度の維持、長尺ヘッドへの対応を満たすことができない。
【解決手段】 ノズル板1にはノズル孔11のみを有し、更に流路形成部材2のノズル板1との接合面には空孔部13が形成され、かつ、すべての空孔部13の開口面積の合計が流路形成部材2のノズル板1側表面積の30%〜70%の範囲内とし、接着剤のはみ出しを抑えつつ、ノズル板1と流路形成部材2との十分な接合強度を確保する。
【選択図】 図1

Description

本発明は液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法、記録液カートリッジ、画像形成装置に関する。
プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ、プリンタ/ファックス/複写機複合機等の各種画像形成装置としては、記録液(例えばインク)の液滴を吐出する1又は複数の液体吐出ヘッドで構成した記録ヘッドを用いて、被記録媒体(以下「用紙」というが、材質を紙に限定するものではなく、また、記録媒体、記録紙、転写材などとも称される。)に画像を形成(記録、印刷、印字、印写も同義で使用する。)するインクジェット記録装置が知られている。
このような液体吐出ヘッドとしては、ノズル孔が形成されるノズル板と液流路および液室が形成される流路形成部材と、エネルギー発生素子が形成されるアクチュエータユニットとを接合して構成される積層型のヘッドが広く知られている。
ところが、このような液体吐出ヘッドにおいては、高画質化に伴うノズル孔及び液室の小型化、高密度化によって、各部材の接合時に発生する位置ずれ、あるいは接着剤のはみ出し、あるいはノズル孔への接着剤の流入等によって、液滴吐出安定性が阻害され、画像品質の確保ができなくなる不具合が生じている。
そこで、特許文献1には、流路ユニットとノズル板あるいはアクチュエータユニットとの接合精度に対して、位置決めピンを用いその位置決めピンの構成を改良することで接合精度を獲得することが記載されている。
特開2004−174827号公報
特許文献2には、ノズル板と流路ユニット接合時の接着剤のはみ出し、あるいはインク孔へ接着剤の流入を防止するために、流路ユニットの接合面に空溝を形成することによって、接合時に押圧された接着剤が空溝に入り込み、接着剤のはみ出しあるいはノズル孔への流入を防止することが記載されている。
特開2001−162802号公報
特許文献3には、ノズル板と流路ユニットあるいはアクチュエータユニットとを接着剤によって接合するときに、ノズル板にスクリーン印刷法によって接着剤をドット状に塗布し、気泡や副生成物を排出させるための逃がし通路を形成することで、接着不良を防止することが記載されている。
特開2003−211676号公報
特許文献4には、流路板の溝以外の部分に接着剤の逃げ溝を形成して、はみ出した接着剤を逃げ溝に逃がすようにすることが記載されている。
特開平5−330067号公報
特許文献5には、少なくとも2つの薄層部材を接着層を介して接合した薄層接合部材であって、接合された2つの薄層部材の少なくとも一方の薄層部材の接合面側は偏肉があり、接着層の厚みが偏肉に沿って変化している構成とすることが記載されている。
特開2001−225468号公報
ところが、最近では、インクジェット記録装置における高画質化を目的とした微細化が著しく、ノズル孔及び液室の小型化の要求から、これらのユニット接合(ノズル板と流路形成部材の接合)に高い精度が必要となってきている。しかも、インクジェット記録装置の高速化を目的としたヘッドの長尺化が急速に進展しており、接合精度の向上を図りつつ長尺ヘッドを形成できるようにしなければならないという課題が生じている。
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、ノズル板と流路形成部材の接合における接着剤のはみ出し、ノズル孔への接着剤の流入等を防止するとともに、強固な接合強度を実現することで長尺ヘッドにも対応することができる液体吐出ヘッド、その製造方法、その液体吐出ヘッドを備えた記録液カートリッジ、画像形成装置を提供することを目的とする。
上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、ノズル板にはノズル孔のみを有し、更に流路形成部材のノズル板との接合面には空孔部が形成され、かつ、すべての空孔部の開口面積の合計が流路形成部材の接合側表面積の30%〜70%の範囲内である構成とした。
ここで、ノズル板が樹脂材料で形成されていることが好ましい。
本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法は、本発明に係る液体吐出ヘッドを製造する製造方法において、空孔部が形成された流路形成部材の接合面にノズル板を接合した後、ノズル板にノズル孔を形成する構成とした。
ここで、流路形成部材の接合面に転写法で接着剤を形成することが好ましい。
本発明に係る記録液カートリッジは、液滴を吐出する本発明に係る液体吐出ヘッドとこの液体吐出ヘッドに記録液を供給する記録液タンクを一体化したものである。
本発明に係る画像形成装置は、本発明に係る液体吐出ヘッド又は本発明に係る記録液カートリッジを備えたものである。
本発明に係る液体吐出ヘッドによれば、ノズル板にはノズル孔のみを有し、更に流路形成部材のノズル板との接合面には空孔部が形成され、かつ、この空孔部の開口面積の合計が接合面の30%〜70%の範囲内である構成としたので、ノズル板と流路形成部材の接合による接着剤のはみ出し、ノズル孔への接着剤の流入等を防止できるとともに、強固な接合強度を実現することができ、長尺ヘッドにも対応することができる。
本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法によれば、本発明に係る液体吐出ヘッドを製造する製造方法において、前記空孔部が形成された流路形成部材の接合面に前記ノズル板を接合した後、前記ノズル板に前記ノズル孔を形成する構成としたので、接合時にノズル孔が形成されていないことによって位置決めが不要になるとともに大型ヘッドに対しても位置ずれ等の影響のない接合が実現できる。
本発明に係る記録液カートリッジ、本発明に係る画像形成装置によれば、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、信頼性が向上する。
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。本発明に係る液体吐出ヘッドの一例について図1ないし図4を参照して説明する。なお、図1は同ヘッドの分解斜視説明図、図2は同ヘッドの液室短手方向に沿う断面説明図である。
この液体吐出ヘッドは、ノズル板1と、流路形成部材2と、振動板3と、アクチュエータ基板4とを積層して構成している。
ノズル板1は、ポリイミド樹脂などの樹脂材料により形成し、例えば26μm径のノズル孔11を150dpiピッチで形成している。流路形成部材2は、ノズル板1との接合面側にノズル孔11に連通した連通孔12と空孔部13を形成し、接合面と反対側には連通孔12に連通する液室14を形成している。この流路形成部材2は、例えば単結晶シリコン基板を用いて、連通孔12、空孔部13及び液室14などを公知のアルカリ系水溶液によるウェットエッチングによって形成する。
振動板3には液室14に対応し、かつ液室14の一つの壁面を形成するダイヤフラム状のNi基材が用いられている。アクチュエータ基板4には液室14及びダイヤフラム部15に対応した圧電素子16を配置している。
このように構成した液体吐出ヘッドにおいては、図示しない外部の駆動回路からアクチュエータ基板4上の圧電素子16に対して駆動信号を印加することによって、圧電素子16が電気機械変換作用によって収縮し、圧電素子16に対応した振動板3のダイヤフラム部15が変位する。この振動板3の変位によって流路形成部材2の液室14内のインクが加圧され、液室14に連通した連通孔12を経て、ノズル板1に形成されたノズル孔11よりインク滴が吐出する。
次に、この液体吐出ヘッドにおけるノズル板1と流路形成部材2との接合工程及びノズル孔形成工程について図3を参照して説明する。
ここでは、ノズル孔が形成されていないノズル板1(ここでは、25μm厚のポリイミドフィルムを用いた。)と流路形成部材2とを接着剤20により接合し、接合した後、ノズル板1にノズル孔11を形成している。
つまり、先ず、図3(a)に示すように、流路形成部材2のノズル板1との接合面に、転写法で接着剤20と塗布する。このように転写法で接着剤20を塗布することによって、接着剤20の塗布量が安定するとともに、連通孔12あるいは空孔部13内への接着剤20の入り込みが防止でき、安定した接合が実現できる。なお、接着剤20は熱硬化型のエポキシ系接着剤を用いている。
次いで、図3(b)に示すように、流路形成部材2にノズル板1を接合する。このとき、はみ出した接着剤20の一部20aは流路形成部材2の空孔部13内にはみ出し、また、他の一部20bは連通孔12内にはみ出する。
ここで、流路形成部材2の空孔部13は上述したように流路形成部材2とノズル板1とを接着剤20で接合するときの余剰接着剤の逃げしろとなる。この空孔部106の開口面積が接合面全体に対して多くなるほど(図4の例は図1の例よりも空孔部13を増やしたものである。)、接着剤の逃げに対しては有効であるが、反面、流路形成部材2とノズル板1との接着面積が減ることから接合強度の低下を招くことになる。
実験によると、流路形成部材2の接合面側の全表面積に対するすべての空孔部106の開口面積の割合(開口面積率)とノズル板1と流路形成部材2の接合強度との関係の測定結果は図5に示すようなものであった。また、開口面積とノズル孔11側への接着剤のはみ出しの関係は図6に示すようなものであった。
これらの実験結果に基づくと、開口面積率が70%以上になると適正な接合強度(50g/cm以上)が得られなくなることが分かる。また、開口面積率が30%以下である場合には接着剤20の逃げしろが充分でなく、ノズル孔11、連通孔12側に接着剤20が流入し、インクの吐出不良が生じる。本実施形態においては空孔部13の開口面積率を60%とする液室形成部材2を用いている。
図3に戻って、ノズル板1と流路形成部材2とを接合した部材に対し、図3(c)に示すように、照明光学系によるレーザービーム23を、ノズル孔径に対応する開口22aを形成したアパーチャ22を介して流路形成部材2側から照射し、ノズル板1にノズル孔11を穿孔する。つまり、ノズル孔11はエキシマレーザーによるアブレーション加工によって形成している。このようにエキシマレーザー加工でノズル孔11を形成する場合、ノズル板1は樹脂材料であることが好ましい。
このとき、流路形成部材2の連通孔12内にはみ出していた接着剤20のはみ出し部分20bはエキシマレーザーによって除去されるので、ノズル孔11内に接着剤が付着することはない。
つまり、図7に示すように、予めノズル孔11を形成したノズル板1と流路形成部材2とを接着剤20で接合すると、接合時の接着剤20がノズル孔11内あるいは連通孔12内へはみ出し又は流入した場合に、ノズル孔11あるいは連通孔12内に異物25として残存し、液滴の吐出不良の要因となる。これに対して、接合後にノズル孔11を形成することで、少なくともノズル孔11内への接着剤の流入を防止でき、ノズル詰まりを防止でき、安定した滴吐出特性が得られる。
このように、この液体吐出ヘッドにおいては、ノズル板にはノズル孔のみを有し、更に流路形成部材のノズル板との接合面には空孔部が形成され、かつ、すべての空孔部の開口面積の合計が前記流路形成部材の接合側表面積の30%〜70%の範囲内である構成としたので、ノズル板と流路ユニットの接合による接着剤のはみ出し、ノズル孔への接着剤の流入等を防止できるとともに、強固な接合強度を実現することができ、ライン型ヘッドなどの長尺ヘッドにも対応することができる。
次に、本発明に係る記録液カートリッジについて図8を参照して説明する。
この記録液カートリッジ80は、ノズル81等を有する本発明に係る液体吐出ヘッド82と、この液体吐出ヘッド82に対して液体(記録液)を供給する液体(記録液)タンク83とを一体化したものである。
このように液体タンク一体型のヘッドの場合、ヘッドの性能はただちに記録液カートリッジ全体の性能につながるので、前記の流路形成部材を有する液体吐出ヘッドを使用することにより、低コストで高画質、高速記録に対応できる記録液カートリッジを得ることができる。
次に、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えた本発明に係る画像形成装置の一例について9及び図10を参照して説明する。なお、図9は同画像形成装置の全体構成を説明する側面説明図、図10は同装置の要部平面説明図である。
この画像形成装置は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材であるガイドロッド101とガイドレール102とでキャリッジ103を主走査方向に摺動自在に保持し、主走査モータ104で駆動プーリ106Aと従動プーリ106B間に架け渡したタイミングベルト105を介して図8で矢示方向(主走査方向)に移動走査する。
このキャリッジ103には、例えば、ブラック(K)、シアン(C)、マゼンタ(M)、イエロー(Y)の各色の記録液の液滴(インク滴)を吐出する独立した4個の本発明に係る液体吐出ヘッド107k、107c、107m、107yで構成した記録ヘッド107を主走査方向に沿う方向に配置し、液滴吐出方向を下方に向けて装着している。なお、ここでは独立した液体吐出ヘッドを用いているが、各色の記録液の液滴を吐出する複数のノズル列を有する1又は複数のヘッドを用いる構成とすることもできる。また、色の数及び配列順序はこれに限るものではない。
記録ヘッド107を構成する本発明に係る液体吐出ヘッドとしては、加圧液室内のインクを加圧する圧力発生手段として圧電素子などの電気機械変換素子を用いてインク流路の壁面を形成する振動板を変形させてインク流路内容積を変化させてインク滴を吐出させるいわゆるピエゾ型のもの、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いて記録液の膜沸騰を利用するいわゆるサーマル型のもの、インク流路の壁面を形成する振動板と電極とを対向配置し、振動板と電極との間に発生させる静電力によって振動板を変形させることで、インク流路内容積を変化させてインク滴を吐出させる静電型のもの、温度変化による金属相変化を用いる形状記憶合金アクチュエータなどを使用できる。
キャリッジ103には、記録ヘッド107に各色のインクを供給するための各色のサブタンク108を搭載している。このサブタンク108にはインク供給チューブ109を介して図示しないメインタンク(インクカートリッジ)からインクが補充供給される。
一方、給紙カセット110などの用紙積載部(圧板)111上に積載した被記録媒体(用紙)112を給紙するための給紙部として、用紙積載部111から用紙112を1枚ずつ分離給送する半月コロ(給紙ローラ)113及び給紙ローラ113に対向し、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド114を備え、この分離パッド114は給紙ローラ113側に付勢されている。
そして、この給紙部から給紙された用紙112を記録ヘッド107の下方側で搬送するための搬送部として、用紙112を静電吸着して搬送するための搬送ベルト121と、給紙部からガイド115を介して送られる用紙112を搬送ベルト121との間で挟んで搬送するためのカウンタローラ122と、略鉛直上方に送られる用紙112を略90°方向転換させて搬送ベルト121上に倣わせるための搬送ガイド123と、押さえ部材124で搬送ベルト121側に付勢された先端加圧コロ125とを備えている。また、搬送ベルト121表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ126を備えている。
ここで、搬送ベルト121は、無端状ベルトであり、搬送ローラ127とテンションローラ128との間に掛け渡されて、副走査モータ131からタイミングベルト132及びタイミングローラ133を介して搬送ローラ127が回転されることで、図8のベルト搬送方向(副走査方向)に周回するように構成している。なお、搬送ベルト121の裏面側には記録ヘッド107による画像形成領域に対応してガイド部材129を配置している。
また、図10に示すように、搬送ローラ127の軸には、スリット円板134を取り付け、このスリット円板134のスリットを検知するセンサ135を設けて、これらのスリット円板134及びセンサ135によってエンコーダ136を構成している。
帯電ローラ126は、搬送ベルト121の表層に接触し、搬送ベルト121の回動に従動して回転するように配置され、加圧力として軸の両端に各2.5Nをかけている。
また、キャリッジ103の前方側には、図9に示すように、スリットを形成したエンコーダスケール142を設け、キャリッジ103の前面側にはエンコーダスケール142のスリットを検出する透過型フォトセンサからなるエンコーダセンサ143を設け、これらによって、キャリッジ103の主走査方向位置を検知するためのエンコーダ144を構成している。
さらに、記録ヘッド107で記録された用紙112を排紙するための排紙部として、搬送ベルト121から用紙112を分離するための分離部と、排紙ローラ152及び排紙コロ153と、排紙される用紙112をストックする排紙トレイ154とを備えている。
また、背部には両面給紙ユニット155が着脱自在に装着されている。この両面給紙ユニット155は搬送ベルト121の逆方向回転で戻される用紙112を取り込んで反転させて再度カウンタローラ122と搬送ベルト121との間に給紙する。
さらに、図10に示すように、キャリッジ103の走査方向の一方側の非印字領域には、記録ヘッド107のノズルの状態を維持し、回復するための維持回復機構156を配置している。
この維持回復機156は、記録ヘッド107の各ノズル面をキャピングするための各キャップ157と、ノズル面をワイピングするためのブレード部材であるワイパーブレード158と、増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行なうときの液滴を受ける空吐出受け159などを備えている。
このように構成した画像形成装置においては、給紙部から用紙112が1枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙112はガイド115で案内され、搬送ベルト121とカウンタローラ122との間に挟まれて搬送され、更に先端を搬送ガイド123で案内されて先端加圧コロ125で搬送ベルト121に押し付けられ、略90°搬送方向を転換される。
このとき、図示しない制御回路によって高圧電源から帯電ローラ126に対してプラス出力とマイナス出力とが交互に繰り返すように、つまり交番する電圧が印加され、搬送ベルト121が交番する帯電電圧パターン、すなわち、周回方向である副走査方向に、プラスとマイナスが所定の幅で帯状に交互に帯電されたものとなる。このプラス、マイナス交互に帯電した搬送ベルト121上に用紙112が給送されると、用紙112が搬送ベルト121に静電力で吸着され、搬送ベルト121の周回移動によって用紙112が副走査方向に搬送される。
そこで、キャリッジ103を往路及び復路方向に移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド107を駆動することにより、停止している用紙112にインク滴を吐出して1行分を記録し、用紙112を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙112の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙112を排紙トレイ154に排紙する。
また、両面印刷の場合には、表面(最初に印刷する面)の記録が終了したときに、搬送ベルト121を逆回転させることで、記録済みの用紙112を両面給紙ユニット155内に送り込み、用紙112を反転させて(裏面が印刷面となる状態にして)再度カウンタローラ122と搬送ベルト121との間に給紙し、タイミング制御を行って、前述したと同様に搬送ベル121上に搬送して裏面に記録を行った後、排紙トレイ154に排紙する
また、印字(記録)待機中にはキャリッジ103は維持回復機構155側に移動されて、キャップ157で記録ヘッド107のノズル面がキャッピングされて、ノズルを湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、キャップ157で記録ヘッド107をキャッピングした状態でノズルから記録液を吸引し(「ノズル吸引」又は「ヘッド吸引」という。)し、増粘した記録液や気泡を排出する回復動作を行い、この回復動作によって記録ヘッド107のノズル面に付着したインクを清掃除去するためにワイパーブレード158でワイピングを行なう。また、記録開始前、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出する空吐出動作を行う。これによって、記録ヘッド107の安定した吐出性能を維持する。
このように、この画像形成装置は本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、高画質、高速記録を行なうことができる。
次に、本発明に係る画像形成装置の他の例について図11を参照して説明する。
この画像形成装置はフルライン型ヘッドを備えたものであり、簡単に説明すると、装置本体401の内部に画像形成部402及び用紙を搬送する静電搬送装置で構成される搬送機構403等を有し、装置本体401の一方側に多数枚の用紙405を積載可能な給紙トレイ404を備え、この給紙トレイ404から給紙される用紙405を取り込み、副走査搬送機構403によって用紙405を搬送しながら画像形成部402によって所要の画像を記録した後、装置本体401の他方側に装着された排紙トレイ406に用紙405を排紙する。
画像形成部402は、記録液を収容した記録液カートリッジと記録液の液滴を吐出する液体吐出ヘッドとを一体とし、用紙の幅方向(搬送方向と直交する方向)の長さ相当分のノズル列を有する本発明に係る記録液カートリッジで構成したライン型ヘッド410y、410m、410c、410kを備えたものである。これらのライン型ヘッド410y、410m、410c、410kは図示しないヘッドホルダに取り付けている。
ライン型ヘッド410y、410m、410c、410kは、用紙搬送方向上流側からそれぞれ例えば、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの順に各色の液滴を吐出する。なお、ライン型ヘッドとしては、各色の液滴を吐出する複数のノズル列を所定間隔で配置した1つのヘッドを用いることもできるし、ヘッドと記録液カートリッジを別体としたものを用いることもできる。
給紙トレイ404の用紙405は、給紙コロ421によって1枚ずつ分離され装置本体401内に給紙され、用紙供給ローラ422によって搬送機構403に送り込まれる。
この搬送機構403は、駆動ローラ423と従動ローラ424との間に掛け渡した搬送ベルト425と、この搬送ベルト425を帯電させるための帯電ローラ426と、搬送ベルト425を画像形成部2に対向する部分で案内するガイド部材(プラテンプレート)427と、搬送ベルト425に付着した記録液(インク)を除去するためのクリーニング手段である多孔質体などからなる記録液拭き取り部材(ここでは、クリーニングローラ)428と、用紙405を除電するための導電ゴムを主体とした除電ローラ429と、用紙405を搬送ベルト425側へ押える用紙押さえローラ430とを備えている。
また、搬送機構403の下流側には画像が記録された用紙405を排紙トレイ406に送り出すための排紙ローラ431を備えている。
このように構成した画像形成装置においても、搬送ベルト425を帯電させて用紙405を送り込むことによって、静電力で用紙405が搬送ベルト425に吸着されて、搬送ベルト425の周回移動によって搬送され、画像形成部402によって画像が形成されて、排紙トレイ406に排紙される。
そして、本発明に係る液体吐出ヘッド又は記録液カートリッジを備えることによって、高画質画像を高速で記録することができる。
なお、上記各実施形態では本発明に係る画像形成装置としてプリンタ構成で説明したが、これに限るものではなく、例えば、プリンタ/ファックス/コピア複合機などの画像形成装置に適用することができる。また、インク以外の液体である記録液や定着処理液などを用いる画像形成装置にも適用することができる。
本発明に係る液体吐出ヘッドの一例を示す分解斜視図である。 同ヘッドの液室短手方向に沿う断面説明図である。 同ヘッドの製造工程の説明に供する断面説明図である。 同ヘッドの流路形成部材の他の例を示す斜視説明図である。 流路形成部材の表面積に対する空孔部の開口面積の比率(開口面積率)と接合強度の関係の一例を示す説明図である。 開口面積率と接着剤のはみ出しの関係の一例を示す説明図である。 比較例の製造工程の説明に供する断面説明図である。 本発明に係る記録液カートリッジの一例を示す斜視説明図である。 本発明に係る画像形成装置の一例を示す全体構成図である。 同じく要部平面説明図である。 本発明に係る画像形成装置の一例を示す全体構成図である。
符号の説明
1…ノズル板
2…流路形成部材
3…振動板
4…アクチュエータ基板
11…ノズル孔
12…連通孔
13…空孔部
14…液室
15…ダイヤフラム部
16…圧電素子
20…接着剤
103…キャリッジ
107…記録ヘッド
407…ライン型ヘッド

Claims (6)

  1. 記録液の液滴を吐出するノズル孔が形成されたノズル板と、前記ノズル孔が連通する流路を形成する流路形成部材とを接合した液体吐出ヘッドにおいて、前記ノズル板には前記ノズル孔のみを有し、更に前記流路形成部材の前記ノズル板との接合面には空孔部が形成され、かつ、すべての空孔部の開口面積の合計が前記流路形成部材の接合側表面積の30%〜70%の範囲内であることを特徴とする液体吐出ヘッド。
  2. 請求項1に記載の液体吐出ヘッドにおいて、前記ノズル板が樹脂材料で形成されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
  3. 請求項1又は2に記載の液体吐出ヘッドを製造する製造方法において、前記空孔部が形成された流路形成部材の接合面に前記ノズル板を接合した後、前記ノズル板に前記ノズル孔を形成することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
  4. 請求項3に記載の液体吐出ヘッドの製造方法において、前記流路形成部材の接合面に接着剤を転写法で形成した後前記ノズル板と接合することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法
  5. 液滴を吐出する液体吐出ヘッドとこの液体吐出ヘッドに記録液を供給する記録液タンクを一体化した記録液カートリッジにおいて、前記液体吐出ヘッドが請求項1又は2に記載の液体吐出ヘッドであることを特徴とする記録液カートリッジ。
  6. 記録液の液滴を吐出させる液体吐出ヘッドを備えて被記録媒体に画像を形成する画像形成装置において、請求項1又は2に記載の液体吐出ヘッド又は請求項5に記載の記録液カートリッジを備えていることを特徴とする画像形成装置。
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