JP2007055240A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007055240A5 JP2007055240A5 JP2006171254A JP2006171254A JP2007055240A5 JP 2007055240 A5 JP2007055240 A5 JP 2007055240A5 JP 2006171254 A JP2006171254 A JP 2006171254A JP 2006171254 A JP2006171254 A JP 2006171254A JP 2007055240 A5 JP2007055240 A5 JP 2007055240A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- resin
- manufacturing
- forming
- head according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 13
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 12
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims 9
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims 9
- 229920002614 Polyether block amide Polymers 0.000 claims 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 claims 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims 1
- 238000004382 potting Methods 0.000 claims 1
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006171254A JP4881081B2 (ja) | 2005-07-25 | 2006-06-21 | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
| US11/481,796 US7300596B2 (en) | 2005-07-25 | 2006-07-07 | Method of manufacturing liquid discharge head |
| KR1020060068933A KR100816568B1 (ko) | 2005-07-25 | 2006-07-24 | 액체 토출 헤드 제조 방법 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005214812 | 2005-07-25 | ||
| JP2005214812 | 2005-07-25 | ||
| JP2006171254A JP4881081B2 (ja) | 2005-07-25 | 2006-06-21 | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2007055240A JP2007055240A (ja) | 2007-03-08 |
| JP2007055240A5 true JP2007055240A5 (enExample) | 2009-10-22 |
| JP4881081B2 JP4881081B2 (ja) | 2012-02-22 |
Family
ID=37678108
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006171254A Expired - Fee Related JP4881081B2 (ja) | 2005-07-25 | 2006-06-21 | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7300596B2 (enExample) |
| JP (1) | JP4881081B2 (enExample) |
| KR (1) | KR100816568B1 (enExample) |
Families Citing this family (38)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006137030A (ja) * | 2004-11-10 | 2006-06-01 | Canon Inc | 液体吐出記録ヘッド及びその製造方法 |
| JP4667028B2 (ja) * | 2004-12-09 | 2011-04-06 | キヤノン株式会社 | 構造体の形成方法及びインクジェット記録ヘッドの製造方法 |
| US7523553B2 (en) | 2006-02-02 | 2009-04-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing ink jet recording head |
| US8037603B2 (en) * | 2006-04-27 | 2011-10-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet head and producing method therefor |
| US8267503B2 (en) * | 2006-10-16 | 2012-09-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet recording head and manufacturing method therefor |
| JP2008179039A (ja) * | 2007-01-24 | 2008-08-07 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
| US8084361B2 (en) * | 2007-05-30 | 2011-12-27 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Semiconductor fabrication method suitable for MEMS |
| JP4979641B2 (ja) * | 2007-06-20 | 2012-07-18 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
| JP5031493B2 (ja) * | 2007-09-06 | 2012-09-19 | キヤノン株式会社 | インクジェットヘッド用基板の製造方法 |
| JP5031492B2 (ja) * | 2007-09-06 | 2012-09-19 | キヤノン株式会社 | インクジェットヘッド基板の製造方法 |
| KR20090030111A (ko) * | 2007-09-19 | 2009-03-24 | 삼성전자주식회사 | 잉크젯 프린터 헤드의 제조 방법 및 상기 방법에 의하여제조된 잉크젯 프린터 헤드 |
| JP2009119650A (ja) * | 2007-11-13 | 2009-06-04 | Canon Inc | インクジェットヘッドの製造方法 |
| US20090136875A1 (en) * | 2007-11-15 | 2009-05-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Manufacturing method of liquid ejection head |
| US7881594B2 (en) * | 2007-12-27 | 2011-02-01 | Stmicroeletronics, Inc. | Heating system and method for microfluidic and micromechanical applications |
| JP5511191B2 (ja) * | 2008-01-28 | 2014-06-04 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法および構造体の形成方法 |
| JP5063390B2 (ja) * | 2008-01-30 | 2012-10-31 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
| JP2009208393A (ja) * | 2008-03-05 | 2009-09-17 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッド |
| JP2009220286A (ja) * | 2008-03-13 | 2009-10-01 | Canon Inc | 液体吐出記録ヘッド及その製造方法 |
| KR20090117010A (ko) * | 2008-05-08 | 2009-11-12 | 삼성전자주식회사 | 잉크젯 프린터 헤드의 제조 방법 및 상기 방법에 의하여제조된 잉크젯 프린터 헤드 |
| JP2010052149A (ja) * | 2008-08-26 | 2010-03-11 | Canon Inc | 記録ヘッドの製造方法 |
| US8241540B2 (en) * | 2008-10-29 | 2012-08-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing liquid discharge head |
| US8286350B2 (en) * | 2009-02-25 | 2012-10-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing a liquid discharge head |
| JP5111544B2 (ja) * | 2009-04-02 | 2013-01-09 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
| US8012773B2 (en) * | 2009-06-11 | 2011-09-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing liquid discharge head |
| JP5393423B2 (ja) * | 2009-12-10 | 2014-01-22 | キヤノン株式会社 | インク吐出ヘッド及びその製造方法 |
| JP5578859B2 (ja) * | 2010-01-14 | 2014-08-27 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
| JP5693068B2 (ja) | 2010-07-14 | 2015-04-01 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド及びその製造方法 |
| JP5627399B2 (ja) * | 2010-11-05 | 2014-11-19 | キヤノン株式会社 | 保護層付き基板の製造方法および基板加工方法 |
| JP5791368B2 (ja) | 2011-05-20 | 2015-10-07 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
| JP6039259B2 (ja) | 2011-07-25 | 2016-12-07 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド、およびその製造方法 |
| JP2013059904A (ja) | 2011-09-13 | 2013-04-04 | Canon Inc | 液体記録ヘッド及びにその製造方法 |
| KR101908758B1 (ko) | 2011-09-28 | 2018-10-16 | 휴렛-팩커드 디벨롭먼트 컴퍼니, 엘.피. | 유체 토출 장치에서 슬롯으로부터 슬롯으로의 순환 |
| JP2014028471A (ja) | 2012-07-31 | 2014-02-13 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド及びその製造方法 |
| JP6202869B2 (ja) | 2013-04-17 | 2017-09-27 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド |
| JP6223006B2 (ja) | 2013-06-12 | 2017-11-01 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドチップ及びその製造方法 |
| KR102379015B1 (ko) * | 2014-05-30 | 2022-03-29 | 세메스 주식회사 | 토출 헤드 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
| WO2017078716A1 (en) | 2015-11-05 | 2017-05-11 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Three-dimensional features formed in molded panel |
| JP7551296B2 (ja) * | 2020-01-10 | 2024-09-17 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS591267A (ja) * | 1982-06-29 | 1984-01-06 | Canon Inc | インクジエツト記録ヘツドの製造方法 |
| JP3143307B2 (ja) * | 1993-02-03 | 2001-03-07 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
| JP3459703B2 (ja) * | 1995-06-20 | 2003-10-27 | キヤノン株式会社 | インクジェットヘッドの製造方法、およびインクジェットヘッド |
| JP3343875B2 (ja) * | 1995-06-30 | 2002-11-11 | キヤノン株式会社 | インクジェットヘッドの製造方法 |
| ES2232047T3 (es) * | 1998-06-03 | 2005-05-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Cabezal para chorros de tinta, sustrato para cabezal para chorros de tinta y metodo para la fabricacion del cabezal. |
| JP3679668B2 (ja) * | 1999-12-20 | 2005-08-03 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
| JP4385680B2 (ja) * | 2003-08-07 | 2009-12-16 | ソニー株式会社 | 液体吐出ヘッドの製造方法、液体吐出ヘッド及び液体吐出装置 |
| ES2295637T3 (es) * | 2003-09-17 | 2008-04-16 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Pluralidad de capas de barrera. |
| KR100538230B1 (ko) * | 2003-09-27 | 2005-12-21 | 삼성전자주식회사 | 모놀리틱 잉크젯 프린트헤드의 제조방법 |
| JP4455282B2 (ja) * | 2003-11-28 | 2010-04-21 | キヤノン株式会社 | インクジェットヘッドの製造方法、インクジェットヘッドおよびインクジェットカートリッジ |
| KR20050069456A (ko) | 2003-12-31 | 2005-07-05 | 삼성전자주식회사 | 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법 |
| KR100517515B1 (ko) | 2004-01-20 | 2005-09-28 | 삼성전자주식회사 | 모놀리틱 잉크젯 프린트헤드의 제조방법 |
-
2006
- 2006-06-21 JP JP2006171254A patent/JP4881081B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-07-07 US US11/481,796 patent/US7300596B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-07-24 KR KR1020060068933A patent/KR100816568B1/ko not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2007055240A5 (enExample) | ||
| US9174453B1 (en) | Microfluidic refill cartridge having a vent hole and a nozzle plate on same side | |
| JP4881081B2 (ja) | 液体吐出ヘッドの製造方法 | |
| JP2007230234A5 (enExample) | ||
| JP2004228085A5 (enExample) | ||
| WO2008148154A8 (en) | Electrical heater with particular application to humidification and fluid warming | |
| TW200604023A (en) | Liquid discharge head manufacturing method, and liquid discharge head obtained using this method | |
| JP2012020470A5 (enExample) | ||
| US9861720B2 (en) | Microfluidic delivery system and method | |
| CN102026508A (zh) | 壳体及其制造方法 | |
| WO2011011139A3 (en) | Method and materials for reverse patterning | |
| JP2008173970A5 (enExample) | ||
| JP2011102001A5 (enExample) | ||
| TW201202057A (en) | Decoration device and method for fabricating decoration device | |
| JP2006509652A5 (enExample) | ||
| JP5418818B2 (ja) | 非晶性樹脂からなるマニホールド | |
| TWI268367B (en) | Patterned member and production method thereof | |
| JP2008508850A5 (enExample) | ||
| JP2005231116A5 (enExample) | ||
| JP2011108948A5 (enExample) | ||
| WO2006031603A3 (en) | Process for making a micro-fluid ejection head structure | |
| TW200603270A (en) | Method to form a film | |
| JP2006062302A5 (enExample) | ||
| JP2007137055A5 (enExample) | ||
| JP2005064326A5 (enExample) |