JP2007051367A - サセプタの粗面化による静電荷の削減 - Google Patents
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- C23C16/458—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for supporting substrates in the reaction chamber
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Abstract
【解決手段】基板サポートは、絶縁性コーティング210によってカバーされた基板サポート表面を有する導電性本体202を含んでいる。該基板サポート表面の中央の該コーティングの少なくとも一部は約200〜約2000マイクロインチの表面仕上げ部を有する。別の実施形態では、基板サポートは、該本体202の該部分の表面仕上げ部が約200〜約2000マイクロインチの基板をサポートするように適合されている陽極化アルミニウム本体210を含んでいる。一実施形態では、基板サポートアセンブリ200は、基板サポート表面を有する導電性本体202と、該導電性本体をサポートするように適合された基板サポート構造体とを含んでおり、該導電性本体は絶縁性コーティング210によってカバーされている。
【選択図】 図2
Description
[0001]本発明の実施形態は一般に、半導体処理に利用される基板サポートおよびこの製造方法を提供する。
[0036]一実施形態では、基板サポートアセンブリ138は一般に、基板140をサポートする本体124の少なくとも一部の上で絶縁性コーティング180によってカバーされている導電性本体124を含んでいる。絶縁性コーティング180は約200〜約2000マイクロインチの表面仕上げ部を有しており、基板サポートアセンブリ138の高価なエイジングやプラズマ処置なしで堆積の均一性を改良すると思われる。表面仕上げ部は、平均表面粗さ(Ra)や相加平均(AA)によって特徴付けられる。絶縁性コーティング180はまた本体124の他の部分をカバーしてもよい。より粗い表面はガラス基板厚のばらつきの効果を相殺して、より均一なキャパシタンスを基板全体に提供することによって、プラズマおよび堆積均一性を高めることができ、また堆積膜における薄いスポットの形成を実質的に排除することができると思われる。
[0066]図7および図7Aは、コーティングされておらず、かつ混乱を回避するために、以後、基板サポートアセンブリ700として分類される基板サポートアセンブリ138の別の実施形態の部分的断面図である。サポートアセンブリ700は、はだかまたは未コーティング本体702を含む。本体702は、1つ以上の結合部材、あるいは加熱素子132をこの中に埋め込んでいるユニタリ鋳造本体から構成されてもよい。一実施形態では、本体702は、例えばアルミニウム(Al)、チタン(Ti)またはステンレス鋼などの金属から作られる。
[0072]上記論じられた本発明の種々の態様は一般に、基板サポートアセンブリの種々の特性や特徴(例えば要素138、200、700)を改良することによって大面積基板上の基板プロセス結果を改良することができる種々の実施形態について検討されている。大面積基板上の所望かつ反復可能なプロセス結果を達成するために、一般に、基板と基板サポート間の接触が相対的に均一かつ反復可能であることを保証する必要がある。接触が相対的に均一かつ反復可能であることを保証するために、基板サポート表面は一般に、所望かつ反復可能な形状に形成され、かつこのままにされることが必要である。図9および図10を参照すると、基板構造体910のサイズおよび処理中に普通達成される温度(例えば、通常150℃〜460℃)によって、構造体サポート(例えば要素910)を基板サポート902に提供して、これが、基板サポート902が形成される材料の重力および軟化によって偏向することを防止することがしばしば必要とされることがある。この問題は普通、これらの温度でのアルミニウム材料の性質ゆえに、アルミニウムから作られた基板サポート902を使用する場合に生じる。高温処理中の偏向に抵抗するように適合された基板サポート902に対して本質的なサポート構造体の例示的設計は同一出願人による米国特許第6,554,907号に更に説明されており、これは、特許請求された本発明と矛盾しない限りその全体を参照として本明細書に組み込まれている。高温処理中の偏向に抵抗するように適合された基板サポート902に対して本質的なサポート構造体の例示的設計は、2005年6月2日に出願された同一出願人による米国特許出願第11/143,506号[AMAT9182]に更に説明されており、これは2004年7月12日に出願された米国仮特許出願第60/587,173号の利点を特許請求するものであり、特許請求された本発明と矛盾しない限りその全体を参照として本明細書に組み込まれている。
Claims (25)
- 大面積基板をサポートするように適合された基板サポートであって、
基板サポート表面を有する導電性本体と、
前記本体上に配置された絶縁性コーティングと、
約200〜約2000マイクロインチの表面仕上げ部を有する前記基板サポート表面の中央に配置された前記コーティングの少なくとも一部と、
を備える、基板サポート。 - 前記導電性本体が、少なくともアルミニウム本体から部分的に製造されており、前記コーティングは陽極化層である、請求項1に記載の基板サポート。
- 前記陽極化コーティングは、約0.3〜約2.16ミルの厚さを有する、請求項2に記載の基板サポート。
- 前記基板サポート表面は、約300〜約1000マイクロインチの表面仕上げ部を有する、請求項1に記載の基板サポート。
- 前記基板サポート表面は、ビードブラスト処理されている、請求項4に記載の基板サポート。
- 前記基板サポート表面上に配置された前記コーティングは更に、
前記基板サポート表面の中央の前記コーティングの前記一部に外接し、かつ約200マイクロインチ未満の表面仕上げ部を有するストリップを備える、請求項1に記載の基板サポート。 - 前記基板サポート表面は更に、
約300〜約1000マイクロインチの表面仕上げ部を有する中央領域と、
前記中央領域に外接し、かつ約300マイクロインチ未満の表面仕上げ部を有する周縁領域と、
を備える、請求項1に記載の基板サポート。 - 前記基板サポート表面の表面積は、少なくとも2,000cm2である、請求項1に記載の基板サポート。
- 大面積基板をサポートするように適合された基板サポートであって、
基板サポート表面を有する本体と、
処理中に前記本体を構造的にサポートするように適合された1つ以上のサポートを有する基板サポート構造体と、
約200〜約2000マイクロインチの表面仕上げ部への堆積後に処置された前記基板サポート表面上に配置された絶縁性コーティングと、
を備える、基板サポート。 - 前記本体はアルミニウムであり、前記コーティングは陽極化層である、請求項9に記載の基板サポート。
- 前記基板サポート表面は、ビードブラスト、研削ブラスト、グラインド、エンボス加工、サンディング、テクスチャリング、エッチング、フライス加工、旋盤カッティング、ローレット切りまたはフレームカッティングのうちの少なくとも1つによって処置される、請求項9に記載の基板サポート。
- 前記基板サポート表面は、約125〜約375ミクロンの平均直径を有する酸化アルミニウム媒体によってブラスト処理される、請求項9に記載の基板サポート。
- 大面積基板をサポートするように適合された基板サポート表面を有する導電性本体を提供するステップと、
前記基板サポート表面をコーティングするステップであって、前記コーティングは約330〜約1000マイクロインチの表面粗さを有するステップと、を備えるプロセスによって製造された基板サポート。 - 前記コーティングは、アルミニウムを含有する前記導電性本体上で実行された陽極化コーティングである、請求項13に記載の基板サポート。
- 導電性本体アセンブリを提供する前記ステップは更に、
1つ以上のサポートを有する基板サポート構造体を提供する工程と、
前記1つ以上のサポート上に前記導電性本体を位置決めする工程と、
を備える、請求項13に記載の基板サポート。 - 約300〜約2000マイクロインチの表面仕上げ部を前記本体上にもたらすために、コーティング前に前記基板サポート表面を処置するステップを更に備える、請求項13に記載の基板サポート。
- 前記基板サポート表面を処置する前記ステップは更に、ビードブラスト、研削ブラスト、グラインド、エンボス加工、サンディング、テクスチャリング、エッチング、フライス加工、旋盤カッティング、ローレット切りおよびフレームカッティングから成る群から選択された少なくとも1つの処置を実行するステップを備える、請求項16に記載の基板サポート。
- 前記基板サポート表面を処置する前記ステップは更に、
前記基板サポート表面をビードブラスト処理するステップであって、ビードブラスト処理が、約125〜約375ミクロンの平均直径を有するビーズを前記基板サポートに衝突させることを含んでいるステップを備える、請求項16に記載の基板サポート。 - 加熱素子を前記導電性本体にカプセル化するステップであって、前記導電性本体はアルミニウムを含有するステップを更に備える、請求項13に記載の基板サポート。
- 前記基板サポート表面に対向する前記導電性本体に加熱素子を結合させるステップを更に備える、請求項13に記載の基板サポート。
- 約300〜約2000マイクロインチの表面仕上げ部を得るために、大面積基板をサポートするように適合されたアルミニウム基板サポート表面を処置するステップと、
約0.3〜約2.16ミルの厚さに前記基板サポート表面を陽極化するステップであって、前記基板サポート表面の少なくとも前記中央部分に配置された前記陽極化コーティングの前記表面仕上げ部は、約300〜約2000マイクロインチの表面仕上げ部を有するステップと、
を備えるプロセスによって製造された基板サポート。 - 大面積基板をサポートするように適合された基板サポートであって、
基板サポート表面を有する導電性本体であって、前記基板サポート表面は、はだかアルミニウムであり、かつ約140〜約2000マイクロインチの表面仕上げ部を有する導電性本体を備える、基板サポート。 - 大面積基板をサポートするように適合された基板サポートであって、
約80〜約1000マイクロインチの表面仕上げ部に処置された基板サポート表面を有するはだかアルミニウム本体と、
処理中に前記アルミニウム本体を構造的にサポートするように適合された1つ以上のサポートを有する基板サポート構造体と、
を備える、基板サポート。 - 前記基板サポート表面は、ビードブラスト、研削ブラスト、グラインド、エンボス加工、サンディング、テクスチャリング、エッチング、フライス加工、旋盤カッティング、ローレット切りおよびフレームカッティングから選択されたプロセスによって処置される、請求項23に記載の基板サポート。
- 前記基板サポート表面は、約125〜約375ミクロンの平均直径を有する酸化アルミニウム媒体によってブラスト処理される、請求項23に記載の基板サポート。
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