JP2007044754A - 金属板接合方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】金属ナノ粒子,金属ナノ粒子が常温で凝集するのを抑制する有機分散材,加熱により有機分散材と反応する分散材捕捉材,および加熱により前記分散材と分散材捕捉材との反応物質を捕捉して揮散する揮発性有機成分の混合組成になるナノ金属ペーストを用いて金属板の間を面接合する際に、まず常温状態でナノ金属ペーストを一方の被接合金属板の接合面に均一厚さに塗布し、次のプレ加熱工程では塗布したナノ金属ペーストの表面と相手側の被接合金属板との間を離間させた状態で熱を加えてナノ金属ペーストの有機成分を揮散させ、このプレ加熱工程に続く加圧接合工程では、ナノ金属ペーストの塗布面に相手側の被接合金属板を重ねた上で金属板間に加圧力を加えてナノ金属粒子同士およびナノ金属粒子と被接合金属板とを融合/溶着させる。
【選択図】図1
Description
一方、最近になり金属ナノ粒子に関する研究が進み、半導体デバイスの製造技術分野でも金属ナノ粒子の量子サイズ効果による低温焼結現象および高い表面活性を利用した低温焼成形の導電性ペースト(以下、「ナノ金属ペースト」と称する)が開発,市販されており、このナノ金属ペーストを使って基板上に微細な回路パターンを形成する、あるいは従来のマイクロソルダリングに代えて電極間を接合するなどの応用技術が提唱されている(例えば、特許文献1,2、非特許文献1参照)。
そして、このナノ金属ペーストを用いて金属板(バルク金属)間を接合する従来の接合方法では、一方の金属板の接合面にナノ金属ペーストをスクリ−ン印刷法などにより均一厚さに塗布し、この上に相手側の金属板を重ね合わせた状態で外部から加熱,加圧力を加えて接合を行うようにしている。なお、加熱,加圧に伴う金属ナノ粒子,および金属ナノ粒子と被接合金属板との融合/溶着メカニズム,およびそのキュアー条件,接合強度,耐熱温度等の特性については、先記の特許文献1,2および非特許文献1に詳しく述べられている。
そこで、このような接合欠陥の発生原因について究明したところ、その発生要因が次の点にあることが明らかになった。すなわち、金属ナノ粒子の粒子間,および金属ナノ粒子と被接合金属板とを適正に融合/溶着(焼結)させるには、金属ナノ粒子を独立分散状態に保持している分散材と分散材捕捉材との反応に加えて、この反応物質を捕捉した揮発性物質を揮散させて接合面域から排除し、金属ナノ粒子を裸の状態にしてその表面活性を高めるようにすることが必要条件となる。
本発明は上記の点に鑑みなされたものであり、その目的はナノ金属ペーストを用いて被接合金属板の間を接合させる場合に、未接合部分を残すことなく接合面全域を適正に接合てきるように改良した金属板接合方法を提供することにある。
最初の工程では常温状態でナノ金属ペーストを一方の被接合金属板の接合面に均一厚さに塗布し、次のプレ加熱工程では塗布したナノ金属ペーストの表面と相手側の被接合金属板との間を離間させた状態で、外部より熱を加えてナノ金属ペーストの有機成分を揮散させ、このプレ加熱工程に続く加圧接合工程では、ナノ金属ペーストの塗布面に相手側の被接合金属板を重ねた上で金属板間に加圧力を加えてナノ金属粒子同士およびナノ金属粒子と被接合金属板とを融合/溶着させるようにし(請求項1)、またそのプレ加熱工程,加圧接合工程は具体的に次記のような態様で行うものとする。
(1)前記の加圧接合工程で、加圧力をゼロから最大圧力まで連続的,ないし段階的に増加させて金属ナノ粒子の融合/溶着を進行させるようにする(請求項2)。
(2)ナノ金属ペーストを塗布した被接合金属板,および相手側の被接合金属板を対面させて加圧接合治具の下側加圧板,上側加圧板にそれぞれセットし、プレ加熱工程では被接合金属板に塗布したナノ金属ペーストの表面と相手側の被接合金属板との間に隙間を残した状態でナノ金属ペーストの有機成分を蒸散させるように加熱し、続く加圧接合工程では上側加圧板を下降して被接合金属板を重ね合わせ、この状態で外部から加圧板に加圧力を加えてナノ金属粒子を融合/溶着させる(請求項3)。
(3)前項(2)の金属板接合方法に用いる加圧接合用治具を、固定の下側加圧板と、下側加圧板の上方に対峙して上下可動に案内支持した上側加圧板と、上側加圧板を下側押圧板に向けて付勢する押圧バネと、常温では上側加圧板を上昇位置に拘束保持し、所定のプレ加熱温度に達したところで前記拘束を解除して上側加熱板をバネ付勢により下降させる熱動式ストッパ手段とから構成する(請求項4)。
(4)前項(3)の熱動式ストッパ手段として、下側加圧板と上側加圧板に結合した高さ調整ボルトの先端との間に、ナノ金属ペーストの有機成分が揮散する加熱温度で軟化,融解する温度特性の溶融スペーサを介挿する(請求項5)。
(5)前項(4)の溶融スペーサとして、油脂系ワックス,熱可塑性樹脂,はんだ等のように所定の加熱温度で溶融する材質を用いる(請求項6)。
これにより、続く加圧接合工程で被接合金属板間に加圧力を加えることより、被接合金属板の接合面全域で金属ナノ粒子の融合/溶着が有機成分に阻害されることなく進行し、接合面域に未接合部分を残すことなく被接合金属板の間を適正に接合できる。
まず、図1は本発明によるナノ金属ペーストを用いた金属板間の接合工程を表す図で、その接合工程はナノ金属ペーストの塗布工程(#1)と、プレ加熱工程(#2)と加圧接合工程(#3)とに分けて行うようにしている。ここで、ナノ金属ペースト塗布工程#1では、二枚の被接合金属板のうち、一方の金属板の接合面にナノ金属ペーストをスクリーン印刷法などにより均一厚さに塗布するものとし、ここでは図5に示した銅ベース1と絶縁基板2との接合を例に、図2(a)に示した銅ベース1の上面にナノ金属ペースト7(例えば、非特許文献1に開示されているナノ金属ペースト(例えば、商品名:ナノペースト),ハリマ化成(株))を厚さ10〜500μmの範囲で均一厚さに塗布する。
なお、この加圧接合工程では、上側加圧板9に加圧手段として例えば加圧アクチュエータを装備して加圧力Fを加えるようにし、その加圧力Fは先述のようにゼロから所定の最大加圧力まで連続的,ないしは段階的に増加させて接合を行うことができる。
次に、加熱炉に搬入して前記のプレ加熱工程,およびこれに続く加圧接合工程を連続的に行うようにした半導体モジュールの量産態勢に対応したモジュール組立用接合治具の実施例を図4に示す。なお、図4は銅ベース1の上に絶縁基板2,および半導体チップ3を順に接合した組立体に対して、その上に接続リード4を接合する図3に対応した状態を表している。
また、上記の治具をプレ加熱工程(上側加圧板9を図3に示した上昇位置に保持)の状態から加圧接合工程(上側加圧板9を下降して加圧力を加える)に移行させる熱動式ストッパ手段として、上側加圧板9に螺合した高さ調整ボルト14、該高さ調整ボルト14の先端に対向して下側加圧板8の上面に形成した凹状の窪み8a、および窪み8aの中にセットして上側加圧板9を上昇位置に支える溶融スペーサ15を備えている。ここで、溶融スペーサ15は油脂系ワックス,熱可塑性樹脂,はんだ等のように常温では固相を呈し、炉内温度が上昇して所定のプレ加熱温度になると軟化,溶融する材質のものを使用する。
次に、前記の組立状態で接合治具を加熱炉に搬入してプレ加熱を行う。ここで、炉内での加熱によりナノ金属ペースト7の有機成分が反応,揮散する状態になると、炉内温度を感知して前記溶融スペーサ15が軟化,溶融し始める。これにより、皿バネ12の加圧力Fを受けた高さ調整ボルト14の先端が溶融スペーサ15の中に没入して上側加圧板9が下降し、これに伴い接続リード4の接合面がナノ金属ペースト7の上に重なってその接合面間に加圧力Fが作用するようになる。その結果、先記のように金属ナノ粒子の融合/溶着により接続リード4が絶縁基板2の銅体パターン,半導体チップ3の上面電極に金属接合されることになる。
2 絶縁基板
3 半導体チップ
4 接続リード
5 外部リード
7 ナノ金属ペースト
8 接合治具の下側加圧板
9 接合治具の上側加圧板
12 接合治具の加圧用皿ばね
14 高さ調整ボルト
15 溶融スペーサ
Claims (6)
- 金属ナノ粒子,金属ナノ粒子が常温で凝集するのを抑制する有機分散材,加熱により有機分散材と反応する分散材捕捉材,および加熱により前記分散材と分散材捕捉材との反応物質を捕捉して揮散する揮発性有機成分の混合組成になるナノ金属ペーストを用いて金属板の間を面接合する金属板接合方法であって、
常温で前記ナノ金属ペーストを一方の被接合金属板の接合面に均一厚さに塗布する工程と、塗布したナノ金属ペーストの表面と相手側の被接合金属板との間を離間させた状態で、熱を加えてナノ金属ペーストの有機成分を揮散させるプレ加熱工程と、プレ加熱工程に引き続き被接合金属板を重ねた上で金属板間に加圧力を加えてナノ金属粒子同士およびナノ金属粒子と被接合金属板とを融合/溶着させる加圧接合工程からなることを特徴とする金属板接合方法。 - 請求項1記載の金属板接合方法において、加圧接合工程では、加圧力をゼロから最大圧力まで連続的,ないし段階的に増加させることを特徴とする金属板接合方法。
- 請求項1または2記載の金属板接合方法において、ナノ金属ペーストを塗布した被接合金属板,および相手側の被接合金属板を対面させて加圧接合治具の下側加圧板,上側加圧板にそれぞれセットし、プレ加熱工程では被接合金属板に塗布したナノ金属ペーストの表面と相手側の被接合金属板との間に隙間を残した状態でナノ金属ペーストの有機成分を蒸散させるように加熱し、続く加圧接合工程では上側加圧板を下降して被接合金属板を重ね合わせ、この状態で外部から加圧板に加圧力を加えてナノ金属粒子を融合/溶着させることを特徴とする金属板接合方法。
- 請求項3記載の金属板接合方法に用いる加圧接合用治具が、固定の下側加圧板と、下側加圧板の上方に対峙して上下可動に案内支持した上側加圧板と、上側加圧板を下側押圧板に向けて付勢する押圧バネと、常温では上側加圧板を上昇位置に拘束保持し、所定のプレ加熱温度に達したところで前記拘束を解除して上側加熱板をバネ付勢により下降させる熱動式ストッパ手段とからなることを特徴とする加圧接合用治具。
- 請求項4記載の加圧接合用治具において、熱動式ストッパ手段として、下側加圧板と上側加圧板に結合した高さ調整ボルトの先端との間に、ナノ金属ペーストの有機成分が揮散する加熱温度で軟化,融解する温度特性のスペーサを介挿したことを特徴とする加圧接合用治具。
- 請求項5記載の加圧接合用治具において、スペーサが、油脂系ワックス,熱可塑性樹脂,はんだ等の材質であることを特徴とする加圧接合用治具。
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