JP2007041455A - 光学装置の像振れ補正装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 撮像装置全体の小型化・薄型化を可能にし、像振れ補正効果の高い像振れ補正装置を提供する。
【解決手段】 光学装置の像振れ補正装置は、レンズと撮像素子とを保持するレンズモジュール１０１と、レンズモジュール１０１を回動軸１７，２７により回動可能に支持する内枠１１及び外枠１２と、回動軸１７，２７のロータ１６，２６に駆動力を与えることでレンズモジュール１０１を内枠１１及び外枠１２に対して回動させるアクチュエータ１３，２３と、アクチュエータ１３，２３を回動軸１７，２７のロータ１６，２６に付勢する板ばね４１，５１とを備えている。
【選択図】 図４

Description

本発明は、撮像光学系の像振れを解決する像振れ補正装置に関する。

昨今、ムービおよびデジタルスチルカメラの高倍率ズーム時や暗所撮影時には、像振れによる撮影画像の乱れが問題となっている。
従来、カメラ撮影時の像振れを補正する手段として、以下のような技術が知られている。
例えば、特許文献１には、撮影レンズを保持するレンズ鏡筒と、撮影レンズの一部であり光軸に対して垂直面内に移動させることで像振れ補正を行う補正レンズと、レンズ鏡筒の振れ量を検出する第１及び第２の振れ検出手段とを備え、第１及び第２の振れ検出手段が検出したレンズ鏡筒の振れ量に応じて補正レンズを保持する保持枠を光軸と直交する２方向に駆動することにより、撮像素子に入射する光線の角度を変えて像振れ補正行う像振れ補正装置が記載されている。
さらに、特許文献２には、バリアングルプリズム式像振れ補正装置が記載されている。即ち、この像振れ補正装置は、２枚のガラス板を特殊フィルム製の蛇腹でつなぎ、内部に高屈折率を有する液体を充填させた可変頂角プリズムを撮像レンズ群の内部に配置し、２枚のガラス板を水平方向及び垂直方向にそれぞれ傾けることにより、撮像素子に入射する光線の角度を変えて像振れ補正を行う。
特開２０００−７５３３８号公報 特開平１１−１８３９５１号公報

昨今、ＣＣＤ等撮像素子の画素数は年々増加してきている。高画質化に伴って、撮像素子の画素数が少ない場合には気にならなかった少しの手触れによる撮影画像の乱れが目立つようになってきた。
一方、携帯電話やモバイル機器などの小型携帯機器においてカメラの搭載比率の増加は顕著であり、これらに搭載されるカメラにも像振れ補正機能が要望されている。
ムービやデジタルスチルカメラには上述したような像振れ補正装置が付加されたものが商品化されているが、この像振れ補正装置は構造が複雑で、機構的に大きく、小型化に不向きである。そして、この像振れ補正装置を更に小型化しようとすると、十分な像振れ補正効果が得られない。従って、従来の像振れ補正装置は、デジタルスチルカメラの更なる小型化の障害となり、また、携帯電話やモバイル機器などの小型携帯機器には実質的に搭載することができないという問題を有していた。
本発明は、従来の像振れ補正装置の上記の問題を解決し、撮像装置全体の小型化・薄型化を可能にする装置を提供することを目的とする。

請求項１に記載の光学装置の像振れ補正装置は、レンズと撮像素子とを保持するレンズモジュールと、レンズモジュールを回動軸により回動可能に支持する枠構造と、回動軸の被駆動部に駆動力を与えることでレンズモジュールを枠構造に対して回動させる駆動手段と、駆動手段を回動軸の被駆動部に付勢する付勢手段とを備えている。
この装置では、駆動手段は付勢手段によって回動軸の被駆動部に付勢された状態で回動軸に駆動力を与えて回動軸を回転させ、その結果レンズモジュールを枠構造に対して回動させる。駆動手段が回動軸に直接当接しているため、装置全体が小型化している。
請求項２に記載の光学装置の像振れ補正装置では、請求項１において、回動軸の被駆動部は軸本体より大径のロータである。
請求項３に記載の光学装置の像振れ補正装置では、請求項１において、回動軸の被駆動部は軸本体である。
請求項４に記載の光学装置の像振れ補正装置では、請求項１〜３のいずれかにおいて、駆動手段及び付勢手段は枠構造に取り付けられている。
この装置では、全体が小型化している。
請求項５に記載の光学装置の像振れ補正装置では、請求項４において、駆動手段及び付勢手段は枠構造の外側に取り付けられている。

この装置では、駆動手段と回動軸の接触部分で生じる摩耗粉が枠構造内に入りにくい。
請求項６に記載の光学装置の像振れ補正装置では、請求項４又は５において、駆動手段は回動軸の被駆動部に対して光軸と直角方向から当接するように配置されている。
この装置では、光軸方向に小型化、すなわち薄型化が実現される。
請求項７に記載の光学装置の像振れ補正装置では、請求項１〜６のいずれかにおいて、駆動手段は、圧電素子と回動軸側の作用部とからなるアクチュエータであり、作用部は、圧電素子の縦振動および屈曲振動により回動軸を駆動する。
請求項８に記載の光学装置の像振れ補正装置では、請求項１〜７のいずれかにおいて、回動軸の被駆動部の表面にはセラミックコーティングが施されている。
この装置では、回動軸の被駆動部が摩耗しにくい。
請求項９に記載の光学装置の像振れ補正装置では、請求項８において、セラミックコーティングの材質は、ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）、ＴｉＮ、ＴｉＡｌＮ、Ｓｉ₃Ｎ₄、Ａｌ₂Ｏ₃、ＳｉＣである。
この装置では、回動軸の被駆動部が摩耗しにくい。
請求項１０に記載の光学装置の像振れ補正装置では、請求項８又は９において、セラミックコーティングのビッカース硬度はＨｖ１０００〜３０００の範囲にある。

この装置では、回動軸の被駆動部が摩耗しにくい。
請求項１１に記載の光学装置の像振れ補正装置は、請求項１〜１０のいずれかにおいて、回動軸を枠構造に支持する軸受をさらに備えている。
この装置では、駆動手段は付勢手段からの付勢力によって回動軸に押し付けられ、回動軸は枠構造の支持部分に押し付けられるが、軸受によって両者の接触部分に大きな摩擦が生じにくい。したがって、回動軸はスムーズに回動する。

本発明によれば、撮像装置全体の小型化・薄型化を実現できる。

以下、図面を参照しながら、本発明の一実施形態として、像振れ補正装置を有するデジタルカメラについて説明する。
（実施の形態１）
図１は、本実施形態にかかるデジタルカメラの構成を示すブロック図である。本実施形態のデジタルカメラは、ＯＩＳ（ｏｐｔｉｃａｌ ｉｍａｇｅ ｓｔａｂｉｌｉｚｅｒ）モジュール１、画像処理回路２、液晶モニタ３、画像メモリ４、カードインターフェイス５、メモリカード６、ヨー側角速度センサ７、ピッチ側角速度センサ８、マイコン９、および、操作部１０を備える。
ＯＩＳモジュール１は、ＣＣＤイメージセンサ（後述）を備えている。画像処理回路２は、ＣＣＤイメージセンサで生成された画像データに対して、ＹＣ変換、解像度変換、圧縮変換等の画像処理を行う。液晶モニタ３は、画像処理回路２で処理された画像データを表示する。画像メモリ４は、画像処理回路２による画像処理の際にバッファメモリとして機能する。カードインターフェイス５は、メモリカード６を着脱可能である。メモリカード６は、カードインターフェイス５を介して、画像処理回路２で処理された画像データを記録し、また、画像処理回路２に対してメモリカード６内に格納している画像データを出力する。

ヨー側角速度センサ７およびピッチ側角速度センサ８は、デジタルカメラのヨー回転方向、ピッチ回転方向の角速度をそれぞれ測定するためのセンサであり、例えばジャイロセンサ等である。デジタルカメラのヨー回転方向はデジタルカメラの水平面内での回転方向であり、デジタルカメラのピッチ回転方向はデジタルカメラの鉛直面内での回転方向である。
マイコン９は、ＯＩＳモジュール１を含めたデジタルカメラ全体を制御する。マイコン９は、積分回路９０１，９０２を備える。積分回路９０１，９０２は、ヨー側角速度センサ７およびピッチ側角速度センサ８でそれぞれ測定された角速度データのＡＣ成分を積分する。これにより、マイコン９は、積分回路９０１，９０２の出力をデジタルカメラが移動した角度として認識する。この移動角度がデジタルカメラのぶれ量に相当する。そして、手ぶれ補正制御部９０３は、積分回路９０１，９０２の出力に基づいて、ＯＩＳモジュール１を制御する。
具体的には、デジタルカメラが移動した角度を打ち消すように、ＯＩＳモジュール１をその反対方向に回転させるように制御する。これにより、デジタルカメラがぶれていても、そのぶれを打ち消すようにＯＩＳモジュール１が回転するため、ＯＩＳモジュール１に入射される被写体からの光線がぶれるのを抑制できる。そのため、ＯＩＳモジュール１で撮像した画像にぶれが発生するのを低減できる。操作部１０は、ユーザからのデジタルカメラに対する指示を受け付けるインタフェースである。

次に、ＯＩＳモジュール１の構成について説明する。
図２は、ＯＩＳモジュール１の構成を示すブロック図である。ＯＩＳモジュール１は、レンズモジュール１０１と、これをピッチ方向に回転するピッチ方向駆動機構１０２と、レンズモジュール１０１を支持する内枠（後述）のピッチ方向の位置を検出するピッチ側位置センサ１０３と、レンズモジュール１０１をヨー方向に回転するヨー方向駆動機構１０４と、レンズモジュール１０１のヨー方向の位置を検出するヨー側位置センサ１０５と、ＯＩＳモジュール１の動作を制御する駆動制御部１０６とを備える。
レンズモジュール１０１は、ＣＣＤイメージセンサ１０１０と、シャッタユニット１０１１と、レンズホルダ１０１２と、フォトセンサ１０１３と、フォーカスモータ１０１４と、駆動力伝達機構１０１５とを備える。これらの構成がレンズモジュール１０１として一体化され、ピッチ方向およびヨー方向に回転可能である。
シャッタユニット１０１１は、メカシャッタを備え、駆動制御部１０６の制御の下でシャッタを開閉する。レンズホルダ１０１２は、レンズを保持する。シャッタユニット１０１１を介して入射された被写体の光学信号は、レンズホルダ１０１２に保持されたレンズにより、ＣＣＤイメージセンサ１０１０に集光される。ＣＣＤイメージセンサ１０１０は、レンズにより集光された被写体の光学信号を電気信号に変換し、画像データを生成する。フォーカスモータ１０１４は、駆動力伝達機構１０１５を介して、レンズホルダ１０１２を光軸方向に移動する。これにより、レンズホルダ１０１２が保持するレンズとＣＣＤイメージセンサ１０１０との距離を調節可能であり、ＣＣＤイメージセンサ１０１０に集光された光学信号のピントを合わせることができる。フォトセンサ１０１３は、レンズホルダ１０１２の光軸方向における位置が基準位置にあるか否かを検出し、駆動制御部１０６に通知する。

ピッチ方向駆動機構１０２は、レンズモジュール１０１を保持する保持機構と、レンズモジュール１０１をピッチ方向に回転させるべく前記保持機構を駆動するアクチュエータ等を備える。ヨー方向駆動機構１０４は、レンズモジュール１０１を保持する保持機構と、レンズモジュール１０１をヨー方向に回転させるべく前記保持機構を駆動するアクチュエータ等を備える。
駆動制御部１０６は、マイコン９からの制御信号を受けて、レンズモジュール１０１内のＣＣＤイメージセンサ１０１０以外の電子部品を制御し、それらの電子部品からのデータを受けてマイコン９に送信する。なお、駆動制御部１０６は、ＩＣチップとして実現可能であり、例えば、レンズモジュール１０１とマイコン９とを接続するフレキシブル基板（後述）の表面等、レンズモジュール１０１の外部に設けられることが好ましい。
尚、図２ではシャッタユニットおよびフォーカスモータを備えたデジタルカメラについて例示したが、例えばカメラ付携帯電話では必要としない場合があり、本実施形態ではシャッタユニットやフォーカスモータのない構成について説明する。
以下、図面を参照しながら、本発明の一実施形態としての像振れ補正装置について説明する。

図３はＯＩＳモジュール１を被写体側から見た外観斜視図である。図４はレンズモジュール１０１にある鏡筒カバー２１を取り外した時の外観斜視図である。図５はＯＩＳモジュール１の平面図である。図６は、ＯＩＳモジュール１を背面から見た外観斜視図である。レンズモジュールの背面にはＣＣＤイメージセンサ１０１０が取り付けられており、イメージセンサ１０１０からの電気出力信号はフレキシブル基板６１によって外部に出力される。
レンズモジュール１０１は、ピッチ回転方向に回転可能となるように内枠１１に保持されている。具体的には、内枠１１は、レンズモジュール１０１の外形よりも大きい開口部を有する枠構造であり、レンズモジュール１０１は、内枠１１の開口部内でピッチ回動軸回りに回動可能に軸支されている。内枠１１は、ヨー回動軸回りに回動可能になるように外枠１２に保持されている。外枠１２は、内枠１１よりも大きくて内枠１１の外側に配置されており、デジタルカメラの筐体に固定されている。内枠１１はピッチ方向駆動機構１０２の一部を構成し、外枠１２はヨー方向駆動機構１０４の一部を構成する。ＯＩＳモジュール１は、ヨー軸がカメラの垂直軸に一致し、ピッチ軸がカメラの水平軸に一致するように固定される。

ピッチ方向駆動機構１０２について説明する。図９及び図１０に示すように、レンズモジュール１０１をピッチ方向に回動させる駆動手段は、内枠１１の回動軸近傍に配置されたアクチュエータ１３である。アクチュエータ１３は圧電素子からなり、その先端に作用部１３ａが取り付けられている。作用部１３ａは、セラミックス製であり、先端に向かって細くなるテーパー状である。レンズンズモジュール１０１を内枠１１に対して回転支持するピッチ回動軸１７の一端にはロータ１６が取り付けられている。ロータ１６は回動軸の軸本体より大径の部材であり、円周面を有する円柱形状である。アクチュエータ１３は、内枠１１に固定されたアクチュエータホルダー１５に保持されている。アクチュエータホルダー１５には、アクチュエータ１３の光軸方向の位置を規制する付勢ばね１４と、アクチュエータ１３をピッチ回動軸１７に対して直角に付勢する板ばね４１とが設けられている。板ばね４１はビス４２によって内枠１１に固定されている。アクチュエータ１３は板ばね４１でロータ１６に付勢され、より具体的にはロータ１６の回動軸中心、つまり、ピッチ回動軸に対して垂直方向に付勢されている。その結果、アクチュエータ１３の作用部１３ａは、ロータ１６のほぼ回転中心方向に押し付けられている。
ヨー方向駆動機構１０４について説明する。図７及び図８に示すように、レンズモジュール１０１と内枠１１をヨー方向に回動させる駆動手段は、外枠１２の回動軸近傍に配置されたアクチュエータ２３である。アクチュエータ２３は圧電素子からなり、その先端に作用部２３ａが取り付けられている。作用部２３ａは、セラミックス製であり、先端に向かって細くなるテーパー状である。レンズモジュール１０１と内枠１１を外枠１２に対して回転支持するヨー回動軸２７の一端にはロータ２６が取り付けられている。ロータ２６は回動軸の軸本体より大径の部材であり、円周面を有する円柱形状である。アクチュエータ２３は、外枠１２に固定されたアクチュエータホルダー２５に保持されている。アクチュエータホルダー２５には、アクチュエータ２３の光軸方向の位置を規制する付勢ばね２４と、アクチュエータ２３をヨー回動軸２７に対して直角に付勢する板ばね５１とが設けられている。板ばね５１はビス５２によって外枠１２に固定されている。アクチュエータ２３は板ばね５１によってロータ２６に付勢され、より具体的には、ロータ２６の回動中心、つまり、ヨー回動軸に対して垂直方向に付勢されている。その結果、アクチュエータ２３の作用部２３ａは、ロータ２６のほぼ回転中心方向に付勢されている。

図７はヨー回動用アクチュエータ近傍の拡大図である。図８は図７のロータ２６を取り除いた時のアクチュエータ近傍の拡大図である。
ヨー回動軸２７は軸受２８で支持されている。アクチュエータの付勢力に対して回動軸は回転しなければならないため、軸受における損失は可能な限り小さいことが求められる。従って、この軸受は一般的な玉軸受が好ましい。しかしながら、デジタルカメラやムービで行われる像振れ補正角度は一般的に±１度以下であるため、ヨー回動軸２７の直径にもよるが、仮に１ｍｍとしても軸受２８と摺動する距離は±１０μｍ以下であり、低摩擦負荷である部材でも十分問題はない。例えば、樹脂部材では低摩擦部材であるポリアセタールが好ましい。以上の結果、アクチュエータ２３は板ばね５１からの付勢力によってヨー回動軸２７に押し付けられ、さらにヨー回動軸２７は外枠１２の孔に押し付けられるが、軸受２８によって両者の接触部分に大きな摩擦が生じにくい。したがって、ヨー回動軸２７はスムーズに回動する。
図９はピッチ回動軸に作用するアクチュエータの様子を表した図であり、外枠は省略してある。なお、外枠の回動中心となるのはピッチ回動軸１７である。図１０は図８と同様、ロータ１６を取り除いた時のアクチュエータ近傍の拡大図である。

ヨー軸と同様、ピッチ回動軸１７は軸受１８で支持されており、軸受も同様、玉軸受、もしくはポリアセタール樹脂で保持されている。以上の結果、アクチュエータ１３は板ばね４１からの付勢力によってピッチ回動軸１７に押し付けられ、さらにピッチ回動軸１７は内枠１１の孔に押し付けられるが、軸受１８によって両者の接触部分に大きな摩擦が生じにくい。したがって、ピッチ回動軸１７はスムーズに回動する。
次に本アクチュエータの構成と動きについて説明する。
アクチュエータはりん青銅等の金属の薄板をチタン酸ジルコン酸鉛（以下ＰＺＴという）等で作られた２枚の圧電体で挟み込んだ圧電振動体であり、２枚の圧電体の両面に蒸着などによって電極が形成されている。図１１に詳細に示すように、アクチュエータ２３は、矩形板状の圧電基板７１の一方の主面に４つの電極７２ａ，７２ａ，７２ｂ，７２ｂが設けられて構成されている。これらの電極７２ａ，７２ａ、７２ｂ、７２ｂは互いに絶縁された状態で配置されており、対角の位置にある電極７２ａ同士と電極７２ｂ同士が電気的に接続されている。さらに、２つの交流電圧源７３，７４が配置され、電極７２ａと電極７２ｂにそれぞれ電圧印可が可能である。このアクチュエータの動作原理は、位相の異なる交流信号を電極７２ａ、７２ｂに加えることで、圧電振動子の長さ方向に定在波を励起する屈曲振動の曲げモードと、圧電振動子の長さ方向に伸縮させる縦振動モードを生じさせる。２つのモード振動の合成によって、図１２に示すように、アクチュエータ１３、２３の作用部１３ａ、２３ａは楕円振動を行う。この結果、ロータ２６は回動する
この楕円運動を正確にロータ１６、２６に伝達するためには適正な付勢力が必要であり、回動軸に対して直角に働く付勢力とアクチュエータ１３、２３のロータ１６，２６に対する作用点の安定化を図るために位置規制用のばね１４、２４が配置されている。

また、ロータ１６，２６とアクチュエータ１３，２３の作用部１３ａ、２３ａの作用点で磨耗が生じると、正確な接触が阻害され、駆動能力に大きく影響を与える。その影響を軽減するためには、一般的にアクチュエータ１３，２３の作用部１３ａ，２３ａには磨耗を減らすためにＡｌ₂Ｏ₃が用いられて場合が多い。本発明の実施形態におけるアクチュエータは駆動周波数が可聴帯域の２０ｋＨｚ以上で駆動させるのが一般的であり、作用点では接触と離脱を繰り返すために、極めて磨耗が多くなることが懸念された。そこで、ロータ１６、２６の材質の最適化を図る検討を行った結果、一般炭素鋼材にセラミックスコーティングしたロータの駆動特性が優れていた。特に、ＤＬＣ、所謂ダイヤモンドライクカーボン、チタン系合金であるＴｉＮやＴｉＡｌＮ、その他ではＳｉ₃Ｎ₄、Ａｌ₂Ｏ₃、ＳｉＣが効果的であり、磨耗粉は殆ど発生が見られなかった。特に、セラミックコーティングは、ビッカース硬度がＨｖ１０００〜３０００の範囲にあることが好ましい。
なお、ロータは円筒形状にしたが、この限りではなく、駆動特性との兼ね合いで扇型形状でも構わない。ここでいう扇形状とは、アクチュエータの作用部が当接する部分に円周面（の一部）が確保され、他の部分がカットされた形状をいう。また、本実施例ではロータを配置したが、ピッチ回動軸やヨー回動軸の軸本体を直接駆動しても構わない。さらに、付勢機構はばねによる後方からの加圧としたが、磁石による反力で加圧する方法でも構わない。

本発明の作用効果について説明する。この像振れ補正装置では、アクチュエータ１３，２３は、板ばね４１，５１によって回動軸１７，２７のロータ１６，２６に付勢された状態で回動軸１７，２７に駆動力を与えて回転させ、その結果レンズモジュール１０１を内枠１１や外枠１２に対して回動させる。アクチュエータ１３，２３が回動軸１７，２７に直接当接しているため、装置全体が小型化している。なお、アクチュエータ１３，２３が実際に当接しているのは、ロータ１６，２６である。
アクチュエータ１３，２３及び板ばね４１，５１が内枠１１と外枠１２に取り付けられているため、全体が小型化している。特に、アクチュエータ１３，２３および板ばね４１，５１が内枠１１と外枠１２の外側に取り付けられているため、アクチュエータ１３，２３とロータ１６，２６の接触部分で生じる摩耗粉が内枠１１と外枠１２の内に入りにくい。
アクチュエータ１３，２３は回動軸１７，２７のロータ１６，２６に対して光軸と直角方向から当接するように配置されているため、像振れ補正装置は光軸方向に小型化、すなわち薄型化される。

本発明は小型で像振れ補正が可能な携帯端末やデジタルカメラに適応することが可能である。また、一般的には回転運動するロータを回転させる小型の駆動手段として好適である。

本発明の一実施形態にかかるデジタルカメラの構成を示すブロック図である。 本発明の一実施形態にかかるデジタルカメラが備えるＯＩＳモジュールの構成を示すブロック図である。 ＯＩＳモジュールの外観を示す斜視図である。 ＯＩＳモジュールの鏡筒カバーをはずした時の外観を示す斜視図である。 ＯＩＳモジュールを光軸上から見た平面図である。 ＯＩＳモジュールを背面から見た斜視図である。 ヨー軸用アクチュエータの拡大図である。 ヨー軸用アクチュエータ近傍のロータをはずした時の拡大図である。 ピッチ軸用アクチュエータの拡大図である。 ピッチ軸用アクチュエータ近傍のロータをはずした時の拡大図である。 圧電振動素子からアクチュエータとその駆動方法を説明するための図である。 アクチュエータの作用部の動作を示す図である。

符号の説明

１ ＯＩＳモジュール
２ 画像処理回路
３ 液晶モニタ
４ 画像メモリ
５ カードインターフェース
６ メモリカード
７ ヨー側角速度センサ
８ ピッチ側角速度センサ
９ マイコン
９０１ 積分回路
９０２ 積分回路
９０３ 像振れ補正制御部
１０ 操作部
１１ 内枠
１２ 外枠
１３、２３ 圧電アクチュエータ（駆動手段）
１３ａ、２３ａ 作用部
１４、２４ 位置規制ばね
１５、２５ アクチュエータホルダー
１６、２６ ロータ
１７ ピッチ回動軸
１８、２８ 軸受
２０ レンズモジュールベース
２７ ヨー回動軸
４１、５１ 板ばね（付勢手段）
４２，５２ ピス
１０１ レンズモジュール
１０１０ ＣＣＤイメージセンサ
１０１１ シャッタユニット
１０１２ レンズホルダ
１０１３ フォトセンサ
１０２ ピッチ方向駆動機構
１０３ ピッチ側位置センサ
１０４ ヨー方向駆動機構
１０５ ヨー側位置センサ
１０６ 駆動制御部

Claims (11)

1. レンズと撮像素子とを保持するレンズモジュールと、
   前記レンズモジュールを回動軸により回動可能に支持する枠構造と、
   前記回動軸の被駆動部に駆動力を与えることで前記レンズモジュールを前記枠構造に対して回動させる駆動手段と、
   前記駆動手段を前記回動軸の前記被駆動部に付勢する付勢手段と、
   を備えた光学装置の像振れ補正装置。
2. 前記回動軸の前記被駆動部は軸本体より大径のロータである、請求項１に記載の光学装置の像振れ補正装置。
3. 前記回動軸の前記被駆動部は軸本体である、請求項１に記載の光学装置の像振れ補正装置。
4. 前記駆動手段及び前記付勢手段は前記枠構造に取り付けられている、請求項１〜３のいずれかに記載の光学装置の像振れ補正装置。
5. 前記駆動手段及び前記付勢手段は前記枠構造の外側に取り付けられている、請求項４に記載の光学装置の像振れ補正装置。
6. 前記駆動手段は前記回動軸の前記被駆動部に対して光軸と直角方向から当接するように配置されている、請求項４又は５に記載の光学装置の像振れ補正装置。
7. 前記駆動手段は、圧電素子と前記回動軸側の作用部とからなるアクチュエータであり、
   前記作用部は、前記圧電素子の縦振動および屈曲振動により前記回動軸を駆動する、請求項１〜６のいずれかに記載の光学装置の像振れ補正装置。
8. 前記回動軸の前記被駆動部の表面にはセラミックコーティングが施されている、請求項１〜７のいずれかに記載の光学装置の像振れ補正装置。
9. 前記セラミックコーティングの材質は、ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）、ＴｉＮ、ＴｉＡｌＮ、Ｓｉ₃Ｎ₄、Ａｌ₂Ｏ₃、ＳｉＣである、請求項８に記載の光学装置の像振れ補正装置。
10. 前記セラミックコーティングのビッカース硬度はＨｖ１０００〜３０００の範囲にある、請求項８又は９に記載の光学装置の像振れ補正装置。
11. 前記回動軸を前記枠構造に支持する軸受をさらに備えている、請求項１〜１０のいずれかに記載の光学装置の像振れ補正装置。
    
    

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