JP2007036029A - 半導体装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 回路が占める面積の増大を防止すると共に第2の保護用論理回路INV1のトランジスタのゲートが破壊されるのを防止する静電保護回路を提供する。
【解決手段】 第1の保護用論理回路INV1と第2の保護用論理回路INV2とは、サージ電流が印加されてから、第1乃至第4の静電保護トランジスタTr10・・・Tr40のいずれかがブレイクダウンするまでの間、第2の電源系に属する第2のインターフェース200のインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bn及び第2の保護用論理回路INV1のトランジスタのゲートが破壊されるのを防止する。更に、回路が占める面積の増大を防止することを可能にする。
【選択図】なし

Description

本発明は、半導体装置に関し、特に、互いに分離独立した複数の電源系にそれぞれ属する複数の内部回路を有する半導体装置において、該複数の電源系にそれぞれ属する複数の内部回路間のインターフェース回路を、静電気放電(ESD)に起因するサージ電流から保護するための静電保護回路を有する半導体装置に関する。
互いに分離独立した複数の電源系にそれぞれ属する複数の内部回路を含む半導体装置が知られている。該複数の内部回路同士は、インターフェース回路を介して電気的に接続される。例えば、ある1つの電源系に属する内部回路から出力された信号は、インターフェース回路を介して、他の電源系に属する別の内部回路に入力される。該インターフェース回路は、典型的には、CMOSインバータ回路で構成され得る。
各電源系に属する各内部回路は、少なくとも1つの高電位側電源端子と、少なくとも1つの低電位側電源端子とを備える。即ち、互いに分離独立した複数の電源系ごとに、少なくとも1つの高電位側電源端子と、少なくとも1つの低電位側電源端子とを備える。よって、半導体装置は、電源系の数と同じかそれより多い数の高電位側電源端子と低電位側電源端子とを有する。以下、用語「電源端子」は、高電位側電源端子及び低電位側電源端子のみならず、電力を該回路に供給する経路に存在する端子を含むものとする。
静電気放電(ESD)に起因するサージ電流は、半導体装置の複数の電源端子のいずれにも印加される可能性がある。このため、いずれの電源端子にサージ電流が印加された場合であっても、該静電保護回路により、各インターフェース回路をサージ電流から保護する必要がある。
特許文献1には、第1の電源系に属するアナログ回路と第2の電源系に属するデジタル回路との間のインターフェース回路に静電保護回路を設けることが開示されている。該静電保護回路は、インターフェース回路毎に設けられている。具体的には、2つのCMOSインバータ回路の間に、1つの静電保護回路が設けられている。半導体装置は、一般的には、該インターフェース回路を複数有する。このため、半導体装置は、該複数のインターフェース回路にそれぞれ対応する複数の静電保護回路を有する。
特開平9−172146号公報(段落番号0010乃至段落番号0012、第1図)
従来の回路構成によれば、ある1つの電源系に属する複数のインターフェース回路と同数の静電保護回路が必要となる。例えば、互いに独立した電源系にそれぞれ属する2つの内部回路の間でデジタル信号の送信を行うには、デジタル信号のビット数と同数の論理ゲート回路を有するインターフェースを使用し得る。このような回路構成によれば、デジタル信号のビット数の増加は、該インターフェース回路の数の増加を招き、該インターフェース回路の数の増加は、該静電保護回路の数の増加につながり、強いては、該複数の静電保護回路が占める総面積が増大する。このことは、半導体装置を構成する半導体集積回路の微細化及び寸法縮小の妨げとなる。
従って、信号のビット数、即ちインターフェース回路の数に依存せず静電保護回路が占める総面積を低減することが可能な回路構成の提案及び新規回路の開発が要求されていた。
そこで、本発明の目的は、前述した問題のない静電保護回路を提供することである。
本発明の更なる目的は、前述した問題のない静電保護回路を有する半導体装置を提供することである。
本発明は、第1の電源系に属する第1の電源線と前記第1の電源系に属する第2の電源線との間にそれぞれ電気的に結合される、複数の第1のインターフェース回路と、前記第1の電源線に結合される第1のサージ電流経路と、前記第2の電源線に結合される第2のサージ電流経路とを有し、前記複数の第1のインターフェース回路の数より少ない数の第1の回路と、前記第1の電源系から独立した第2の電源系に属する第3の電源線と第4の電源線との間にそれぞれ電気的に結合されると共に、前記複数の第1のインターフェース回路の対応するものにそれぞれ電気的に結合される複数の第2のインターフェース回路と、前記第1の回路に結合される第3のサージ電流経路と、前記第3のサージ電流経路に結合される第1の抵抗と第1の容量とで与えられる第1の時定数とを有し、前記複数の第2のインターフェース回路の数より少ない数の第2の回路と、を少なくとも含む半導体装置を提供する。

本発明によれば、第2の電源系に属する第2の回路は、第3のサージ電流経路を介して第1の電源系に属する第1の回路に結合されている。更に、該第2の電源系に属する第2の回路は、該第3のサージ電流経路に結合される第1の抵抗と第1の容量とで与えられる第1の時定数とを有する。従って、前述の第1の回路と第2の回路とは、サージ電流が印加されてから静電保護トランジスタのいずれかがブレイクダウンするまでの間、第2の電源系に属する第2のインターフェースのインターフェース回路のトランジスタのゲートが破壊されるのを防止する。更に、複数のインターフェース回路のゲートを保護するのに、該複数のインターフェース回路より少ない数の第1の回路と第2の回路とを設けることが必要となる。このことは、回路が占める面積の増大を防止することを可能にする。
(1)第1実施形態
(本発明を適用する半導体集積回路のレイアウト)
図1は、本発明に係る静電保護回路の適用対象となり得る、異なる電源系に属する2つの内部回路及び2つのインターフェースを含む半導体集積回路のレイアウトを示す概略部分平面図である。
図1に示すように、本発明を適用する半導体集積回路は、第1の電源系と、該第1の電源系から分離独立した第2の電源系とを有する。該第1の電源系は、第1の電源線VDD1と第1のグランド線GND1とで構成される。該第1の電源線VDD1は、該第1の電源系に属する高電位線に相当し、該第1のグランド線GND1は、該第1の電源系に属する低電位線に相当する。該第2の電源系は、第2の電源線VDD2と第2のグランド線GND2とで構成される。該第2の電源線VDD2は、該第2の電源系に属する高電位線に相当し、該第2のグランド線GND2は、該第2の電源系に属する低電位線に相当する。
前述の半導体集積回路は、該第1の電源系に属する第1の内部回路1000と、該第1の電源系に属する第1のインターフェース100と、該第2の電源系に属する第2の内部回路2000と、該第2の電源系に属する第2のインターフェース200とを有する。該第1の内部回路1000は、該第1の電源線VDD1と該第1のグランド線GND1との間に接続され、該第1の電源系から電源の供給を受けて、動作する。該第2の内部回路2000は、該第2の電源線VDD2と該第2のグランド線GND2との間に接続され、該第2の電源系から電源の供給を受けて、動作する。該第1のインターフェース100は、該第1の電源線VDD1と該第1のグランド線GND1との間に接続され、該第1の電源系から電源の供給を受けて、動作する。該第2のインターフェース200は、該第2の電源線VDD2と該第2のグランド線GND2との間に接続され、該第2の電源系から電源の供給を受けて、動作する。該第1のインターフェース100は、該第1の内部回路1000用に設けられる。該第2のインターフェース200は、該第2の内部回路2000用に設けられる。
該第1の内部回路1000からの信号の転送及び該第1の内部回路1000への信号の転送は、該第1のインターフェース100を介して行われる。該第2の内部回路2000からの信号の転送及び該第2の内部回路2000への信号の転送は、該第2のインターフェース200を介して行われる。該第1の内部回路1000から該第2の内部回路2000への信号の転送は、該第1のインターフェース100から該第2のインターフェース200への信号の転送を必然的に伴う。該第2の内部回路2000から該第1の内部回路1000への信号の転送は、該第2のインターフェース200から該第1のインターフェース100への信号の転送を必然的に伴う。
該第1のインターフェース100及び該第2のインターフェース200間の信号の転送は、各ビットに対応する信号線を介して行われる。例えば、n本の信号線S1、S2、S3、・・・Sn―2、Sn―1、Snを使用して、nビットからなる信号を該第1のインターフェース100及び該第2のインターフェース200間で転送する。一般には、該第1のインターフェース100及び該第2のインターフェース200の各々は、各ビットに対応したインターフェース用論理回路(論理ゲート)を有する。例えば、nビットからなる信号の入出力用のインターフェースは、n個のインターフェース用論理ゲートを有してもよい。
第1の電源線VDD1、第1のグランド線GND1、第2の電源線VDD2及び第2のグランド線GND2の少なくともいずれかに、静電気放電(ESD)に起因したサージ電流が流れた際に、該第1のインターフェース100及び該第2のインターフェース200に含まれるインターフェース用論理ゲートをサージ電流から保護する必要がある。このため、該第1のインターフェース100及び該第2のインターフェース200は、保護回路を有する。
前述の半導体集積回路は、更に、該第1の電源線VDD1と該第2の電源線VDD2との間に接続された第1の静電保護素子10を含む。該第1の静電保護素子10は、該第1の電源線VDD1に印加したサージ電流が第2の電源線VDD2へ流れることを許容すると共に、該第2の電源線VDD2に印加したサージ電流が第1の電源線VDD1へ流れることを許容する。しかし、サージ電流が該第1の電源線VDD1及び第2の電源線VDD2のいずれにも印加されない場合、該第1の静電保護素子10は、該第1の電源線VDD1と該第2の電源線VDD2とを互いに電気的に分離する。該第1の静電保護素子10は、該半導体集積回路が製品に組み込まれ実際に動作する際に第1の電源線VDD1が本来有するべき電位と第2の電源線VDD2が本来有するべき電位との差より十分大きく且つサージ電圧より小さい第1のブレイクダウン電圧Vb1を有する回路素子で構成する。
該第1の静電保護素子10は、該半導体集積回路が製品に組み込まれ実際に動作する際には、該第1の電源線VDD1と該第2の電源線VDD2とを互いに電気的に分離する。しかし、該半導体集積回路がまだ製品に組み込まれていない状態では、第1の電源線VDD1、第1のグランド線GND1、第2の電源線VDD2及び第2のグランド線GND2は、電気的にフローティング状態にある。このフローティング状態で、静電気放電に起因するサージ電圧が、該第1の電源線VDD1と該第2の電源線VDD2との間に印加された際には、該第1の静電保護素子10はブレイクダウンし、該第1の電源線VDD1と該第2の電源線VDD2との間のサージ電流経路を保証する。
前述の半導体集積回路は、更に、該第1の電源線VDD1と該第2のグランド線GND2との間に接続された第2の静電保護素子20を含む。該第2の静電保護素子20は、該第1の電源線VDD1に印加したサージ電流が第2のグランド線GND2へ流れることを許容すると共に、該第2のグランド線GND2に印加したサージ電流が該第1の電源線VDD1へ流れることを許容する。しかし、サージ電流が該第1の電源線VDD1及び該第2のグランド線GND2のいずれにも印加されない場合、該第2の静電保護素子20は、該第1の電源線VDD1と該第2のグランド線GND2とを互いに電気的に分離する。該第2の静電保護素子20は、該半導体集積回路が製品に組み込まれ実際に動作する際に第1の電源線VDD1が本来有するべき電位と第2のグランド線GND2が本来有するべき電位との差より十分大きく且つサージ電圧より小さい第2のブレイクダウン電圧Vb2を有する既知の回路素子で構成する。
該第2の静電保護素子20は、該半導体集積回路が製品に組み込まれ実際に動作する際には、該第1の電源線VDD1と該第2のグランド線GND2とを互いに電気的に分離する。しかし、該半導体集積回路がまだ製品に組み込まれていない状態では、第1の電源線VDD1、第1のグランド線GND1、第2の電源線VDD2及び第2のグランド線GND2は、電気的にフローティング状態にある。このフローティング状態で、静電気放電に起因するサージ電圧が、該第1の電源線VDD1と該第2のグランド線GND2との間に印加された際には、該第2の静電保護素子20はブレイクダウンし、該第1の電源線VDD1と該第2のグランド線GND2との間のサージ電流経路を保証する。
前述の半導体集積回路は、更に、該第1のグランド線GND1と該第2のグランド線GND2との間に接続された第3の静電保護素子30を含む。該第3の静電保護素子30は、該第1のグランド線GND1に印加したサージ電流が第2のグランド線GND2へ流れることを許容すると共に、該第2のグランド線GND2に印加したサージ電流が第1のグランド線GND1へ流れることを許容する。しかし、サージ電流が該第1のグランド線GND1及び第2のグランド線GND2のいずれにも印加されない場合、該第3の静電保護素子30は、該第1のグランド線GND1と該第2のグランド線GND2とを互いに電気的に分離する。該第3の静電保護素子30は、該半導体集積回路が製品に組み込まれ実際に動作する際に第1のグランド線GND1が本来有するべき電位と第2のグランド線GND2が本来有するべき電位との差より十分大きく且つサージ電圧より小さい第3のブレイクダウン電圧Vb3を有する回路素子で構成する。
該第3の静電保護素子30は、該半導体集積回路が製品に組み込まれ実際に動作する際には、該第1のグランド線GND1と該第2のグランド線GND2とを互いに電気的に分離する。しかし、該半導体集積回路がまだ製品に組み込まれていない状態では、第1の電源線VDD1、第1のグランド線GND1、第2の電源線VDD2及び第2のグランド線GND2は、電気的にフローティング状態にある。このフローティング状態で、静電気放電に起因するサージ電圧が、該第1のグランド線GND1と該第2のグランド線GND2との間に印加された際には、該第3の静電保護素子30はブレイクダウンし、該第1のグランド線GND1と該第2のグランド線GND2との間のサージ電流経路を保証する。
前述の半導体集積回路は、更に、該第2の電源線VDD2と該第1のグランド線GND1との間に接続された第4の静電保護素子40を含む。該第4の静電保護素子40は、該第2の電源線VDD2に印加したサージ電流が第1のグランド線GND1へ流れることを許容すると共に、該第1のグランド線GND1に印加したサージ電流が該第2の電源線VDD2へ流れることを許容する。しかし、サージ電流が該第2の電源線VDD2及び該第1のグランド線GND1のいずれにも印加されない場合、該第4の静電保護素子40は、該第2の電源線VDD2と該第1のグランド線GND1とを互いに電気的に分離する。該第4の静電保護素子40は、該半導体集積回路が製品に組み込まれ実際に動作する際に第2の電源線VDD2が本来有するべき電位と第1のグランド線GND1が本来有するべき電位との差より十分大きく且つサージ電圧より小さい第4のブレイクダウン電圧Vb4を有する既知の回路素子で構成する。
該第4の静電保護素子40は、該半導体集積回路が製品に組み込まれ実際に動作する際には、該第2の電源線VDD2と該第1のグランド線GND1とを互いに電気的に分離する。しかし、該半導体集積回路がまだ製品に組み込まれていない状態では、第1の電源線VDD1、第1のグランド線GND1、第2の電源線VDD2及び第2のグランド線GND2は、電気的にフローティング状態にある。このフローティング状態で、静電気放電に起因するサージ電圧が、該第2の電源線VDD2と該第1のグランド線GND1との間に印加された際には、該第4の静電保護素子40はブレイクダウンし、該第2の電源線VDD2と該第1のグランド線GND1との間のサージ電流経路を保証する。
前述の第1のインターフェース100と第2のインターフェース200と間の信号の転送は、該信号の各ビットに対応した複数の信号線により行われる。例えば、第1のインターフェース100と第2のインターフェース200と間に配線されたn本の信号線S1・・・Snを使用してnビットの信号を転送することができる。
前述したように、第1のインターフェース100及び第2のインターフェース200は、各々、複数の論理回路で構成することが可能である。これら複数の論理回路は、それぞれ、信号の各ビットに対応している。そこで、これら複数の論理回路をサージ電流から保護する必要がある。このため、既知の回路構成によれば、ある1つの電源系に属するインターフェースを構成する複数の論理回路毎に静電保護回路を設ける。例えば、互いに独立した電源系にそれぞれ属する2つの内部回路の間でデジタル信号の送信を行うには、デジタル信号のビット数と同数の論理ゲート回路を有するインターフェースを使用し得る。このような回路構成によれば、デジタル信号のビット数の増加は、該インターフェース用論理回路の数の増加を招き、該インターフェース用論理回路の数の増加は、該静電保護回路の数の増加につながり、強いては、該複数の静電保護回路が占める総面積が増大する。このことは、半導体装置を構成する半導体集積回路の微細化及び寸法縮小の妨げとなる。
しかし、本発明によれば、静電保護回路は、信号のビット数、即ちインターフェース用論理回路の数に依存せず静電保護回路が占める総面積を低減することが可能な回路構成を有する。このことを以下、詳細に説明する。
(インターフェースに含まれる静電保護回路の回路構成)
図2は、本発明の第1の実施形態に係るインターフェースに含まれる静電保護回路の等価回路図である。静電保護回路は、信号のビット数、即ちインターフェース用論理回路の数に依存せず静電保護回路が占める総面積を最小することが可能な回路構成を有する。該第1のインターフェース100から該第2のインターフェース200へnビットのデジタル信号を転送することを前提として、以下具体的な回路構成につき説明する。
前述の第1の電源系に属する第1のインターフェース100は、第1の電源系に属する高電位線に相当する第1の電源線VDD1と、第1の電源系に属する低電位線に相当する第1のグランド線GND1との間に接続される。前述の第2の電源系に属する第2のインターフェース200は、第2の電源系に属する高電位線に相当する第2の電源線VDD2と、第2の電源系に属する低電位線に相当する第2のグランド線GND2との間に接続される。
前述の第1のインターフェース100は、第1乃至第nのインターフェース用論理回路INV−A1・・・INV−Anと、第1の保護用論理回路INV1とを有する。該第1の保護用論理回路INV1は、第1乃至第nのインターフェース用論理回路INV−A1・・・INV−Anをサージ電流から保護するために設けられる回路であり、信号処理には関与しない。即ち、該第1の保護用論理回路INV1は、何ら信号が入力されず、且つ、何ら信号が出力されない。よって、該第1の保護用論理回路INV1をダミー論理ゲートとみなすことができる。該第1乃至第nのインターフェース用論理回路INV−A1・・・INV−Anの各々は、第1の電源系に属する高電位線に相当する第1の電源線VDD1と、第1の電源系に属する低電位線に相当する第1のグランド線GND1との間に電気的に接続される。第1の保護用論理回路INV1は、第1の電源系に属する高電位線に相当する第1の電源線VDD1と、第1の電源系に属する低電位線に相当する第1のグランド線GND1との間に電気的に接続される。
該第1乃至第nのインターフェース用論理回路INV−A1・・・INV−Anは、それぞれ、入力INA1・・・・INAnを有し、該入力INA1・・・・INAnは、図1に示す前述の第1の内部回路1000に接続される。該第1乃至第nのインターフェース用論理回路INV−A1・・・INV−Anは、それぞれ、出力OUTA1・・・・OUTAnを有し、該出力OUTA1・・・・OUTAnは、信号線S1・・・Snに接続される。該第1乃至第nのインターフェース用論理回路INV−A1・・・INV−Anは、既知の論理ゲート、例えばCMOSインバータで構成することが可能である。
第1のインターフェース用論理回路INV−A1は、pMOSトランジスタTrpA1とnMOSトランジスタTrnA1とで構成する。該pMOSトランジスタTrpA1のゲートと該nMOSトランジスタTrnA1のゲートとは、入力INA1に接続される。該入力INA1は、第1の内部回路1000に接続され、該第1の内部回路1000からの信号の第1番目のビットの入力を受ける。該pMOSトランジスタTrpA1のドレインと該nMOSトランジスタTrnA1のドレインとは、出力OUTA1に接続され、該出力OUTA1は、信号線S1に接続される。該pMOSトランジスタTrpA1のソースは、第1の電源線VDD1に接続され、該nMOSトランジスタTrnA1のソースは、第1のグランド線GND1に接続される。
第nのインターフェース用論理回路INV−Anは、pMOSトランジスタTrpAnとnMOSトランジスタTrnAnとで構成する。該pMOSトランジスタTrpAnのゲートと該nMOSトランジスタTrnAnのゲートとは、入力INAnに接続される。該入力INAnは、第1の内部回路1000に接続され、該第1の内部回路1000からの信号の第n番目のビットの入力を受ける。該pMOSトランジスタTrpAnのドレインと該nMOSトランジスタTrnAnのドレインとは、出力OUTAnに接続され、該出力OUTAnは、信号線Snに接続される。該pMOSトランジスタTrpAnのソースは、第1の電源線VDD1に接続され、該nMOSトランジスタTrnAnのソースは、第1のグランド線GND1に接続される。
前述の第1の保護用論理回路INV1は、第1のサージ電流経路Sur1を有し、該第1のサージ電流経路Sur1は、第1の電源線VDD1に接続される。該第1の保護用論理回路INV1は、第2のサージ電流経路Sur2を有し、該第2のサージ電流経路Sur2は、第1のグランド線GND1に接続される。前述したように、該第1の保護用論理回路INV1は、第1乃至第nのインターフェース用論理回路INV−A1・・・INV−Anをサージ電流から保護するために設けられる回路であり、信号処理には関与しない。即ち、該第1の保護用論理回路INV1は、何ら信号が入力されず、且つ、何ら信号が出力されない。このため、該第1の保護用論理回路INV1は、入力IN1を有するが、該入力IN1は、第1のグランド線GND1に接続され、該入力IN1には、信号は一切入力されない。該入力IN1は、抵抗RAを有する。該第1の保護用論理回路INV1は、出力OUT1を有し、該出力OUT1は、第5のサージ電流経路Sur5に接続される。該該第1の保護用論理回路INV1は、既知の論理ゲート、例えばCMOSインバータで構成することが可能である。
該第1の保護用論理回路INV1は、pMOSトランジスタTrp1とnMOSトランジスタTrn1とで構成する。該pMOSトランジスタTrp1のゲートと該nMOSトランジスタTrn1のゲートとは、入力IN1に接続される。該入力IN1は、第1のグランド線GND1に接続される。該pMOSトランジスタTrp1のドレインと該nMOSトランジスタTrn1のドレインとは、出力OUT1に接続され、該出力OUT1は、第5のサージ電流経路Sur5に接続される。該pMOSトランジスタTrp1のソースは、第1のサージ電流経路Sur1を介して第1の電源線VDD1に接続され、該nMOSトランジスタTrnA1のソースは、第2のサージ電流経路Sur2を介して第1のグランド線GND1に接続される。
前述の第2のインターフェース200は、第1乃至第nのインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnと、第2の保護用論理回路INV2とを有する。該第2の保護用論理回路INV2は、第1乃至第nのインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnをサージ電流から保護するために設けられる回路であり、信号処理には関与しない。即ち、該第2の保護用論理回路INV2は、何ら信号が入力されず、且つ、何ら信号が出力されない。よって、該第2の保護用論理回路INV2をダミー論理ゲートとみなすことができる。該第1乃至第nのインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnの各々は、第2の電源系に属する高電位線に相当する第2の電源線VDD2と、第2の電源系に属する低電位線に相当する第2のグランド線GND2との間に電気的に接続される。第2の保護用論理回路INV2は、第2の電源系に属する高電位線に相当する第2の電源線VDD2と、第2の電源系に属する低電位線に相当する第2のグランド線GND2との間に電気的に接続される。
該第1乃至第nのインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnは、それぞれ、入力INB1・・・・INBnを有し、該入力INB1・・・・INBnは、前述した信号線S1・・・Snに接続される。該第1乃至第nのインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnの該入力INB1・・・・INBnは、それぞれ、信号線S1・・・Snを介して前述の第1乃至第nのインターフェース用論理回路INV−A1・・・INV−Anの出力OUTA1・・・・OUTAnに接続される。該第1乃至第nのインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnは、第1乃至第nのインターフェース用論理回路INV−A1・・・INV−Anから信号線S1・・・Snを介して転送された信号を受ける。該第1乃至第nのインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnは、それぞれ、出力OUTB1・・・・OUTBnを有し、該出力OUTB1・・・・OUTBnは、図1に示す前述の第2の内部回路2000に接続される。該第1乃至第nのインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnは、既知の論理ゲート、例えばCMOSインバータで構成することが可能である。
第1のインターフェース用論理回路INV−B1は、pMOSトランジスタTrpB1とnMOSトランジスタTrnB1とで構成する。該pMOSトランジスタTrpB1のゲートと該nMOSトランジスタTrnB1のゲートとは、入力INB1に接続される。該入力INB1は信号線S1を介して第1のインターフェース用論理回路INV−A1の出力OUTA1に接続され、信号の第1番目のビットの入力を受ける。該pMOSトランジスタTrpB1のドレインと該nMOSトランジスタTrnB1のドレインとは、出力OUTB1に接続され、該出力OUTB1は、図1に示す第2の内部回路2000に接続される。該pMOSトランジスタTrpB1のソースは、第2の電源線VDD2に接続され、該nMOSトランジスタTrnB1のソースは、第2のグランド線GND2に接続される。
第nのインターフェース用論理回路INV−Bnは、pMOSトランジスタTrpBnとnMOSトランジスタTrnBnとで構成する。該pMOSトランジスタTrpBnのゲートと該nMOSトランジスタTrnBnのゲートとは、入力INBnに接続される。該入力INBnは信号線Snを介して第nのインターフェース用論理回路INV−Anの出力OUTAnに接続され、信号の第n番目のビットの入力を受ける。該pMOSトランジスタTrpBnのドレインと該nMOSトランジスタTrnBnのドレインとは、出力OUTBnに接続され、該出力OUTBnは、図1に示す第2の内部回路2000に接続される。該pMOSトランジスタTrpBnのソースは、第2の電源線VDD2に接続され、該nMOSトランジスタTrnBnのソースは、第2のグランド線GND2に接続される。
前述の第2の保護用論理回路INV2は、第3のサージ電流経路Sur3を有し、該第3のサージ電流経路Sur3は、第2の電源線VDD2に接続される。該第2の保護用論理回路INV2は、第4のサージ電流経路Sur4を有し、該第4のサージ電流経路Sur4は、第2のグランド線GND2に接続される。前述したように、該第2の保護用論理回路INV2は、第1乃至第nのインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnをサージ電流から保護するために設けられる回路であり、信号処理には関与しない。即ち、該第2の保護用論理回路INV2は、何ら信号が入力されず、且つ、何ら信号が出力されない。このため、該第2の保護用論理回路INV2は、入力IN2を有するが、該入力IN2は、前述の第5のサージ電流経路Sur5に接続される。即ち、該第2の保護用論理回路INV2の入力IN2は、第5のサージ電流経路Sur5を介して前述の第1の保護用論理回路INV1の出力OUT1に接続される。従って、該入力IN2には、信号は一切入力されない。該入力IN2は、抵抗RBを有する。該第2の保護用論理回路INV2は、信号処理に何ら関与しないため、出力を有する必要がない。該第2の保護用論理回路INV2は、既知の論理ゲートを変更したものであって出力の無い論理ゲート、例えば出力の無いCMOSインバータで構成することが可能である。
該第2の保護用論理回路INV2は、pMOSトランジスタTrp2とnMOSトランジスタTrn2とで構成する。該pMOSトランジスタTrp2のゲートと該nMOSトランジスタTrn2のゲートとは、入力IN2に接続される。該入力IN2は、第5のサージ電流経路Sur5を介して前述の第1の保護用論理回路INV1の出力OUT1に接続される。該pMOSトランジスタTrp2のドレインと該nMOSトランジスタTrn2のドレインとは、互いに接続される。該pMOSトランジスタTrp2のソースは、第3のサージ電流経路Sur3を介して第2の電源線VDD2に接続され、該nMOSトランジスタTrn2のソースは、第4のサージ電流経路Sur4を介して第2のグランド線GND2に接続される。
前述したように、第1の静電保護素子10が、該第1の電源線VDD1と該第2の電源線VDD2との間に接続される。該第1の静電保護素子10は、既知の素子で構成することができる。該第1の静電保護素子10は、第1の静電保護トランジスタTr10で構成することができ、該第1の静電保護トランジスタTr10は、具体的には、nMOSトランジスタで構成することができる。該nMOSトランジスタのソース及びドレインの一方は、該第1の電源線VDD1に接続され、他方は該第2の電源線VDD2に接続される。該nMOSトランジスタのゲートは、グランド電位に固定され、該nMOSトランジスタは、オフ状態に置かれる。該第1の静電保護トランジスタTr10は、pMOSトランジスタで構成することも可能である。この場合、pMOSトランジスタのゲートは、高電位に固定され、該pMOSトランジスタは、オフ状態に置かれる。該第1の静電保護トランジスタTr10は、該第1の電源線VDD1に印加したサージ電流が第2の電源線VDD2へ流れることを許容すると共に、該第2の電源線VDD2に印加したサージ電流が第1の電源線VDD1へ流れることを許容する。しかし、サージ電流が該第1の電源線VDD1及び第2の電源線VDD2のいずれにも印加されない場合、該第1の静電保護トランジスタTr10は、該第1の電源線VDD1と該第2の電源線VDD2とを互いに電気的に分離する。該第1の静電保護トランジスタTr10は、該半導体集積回路が製品に組み込まれ実際に動作する際に第1の電源線VDD1が本来有するべき電位と第2の電源線VDD2が本来有するべき電位との差より十分大きく且つサージ電圧より小さい第1のブレイクダウン電圧Vb1を有する。尚、サージ電圧レベルは、経験的に知られている。
該第1の静電保護トランジスタTr10は、該半導体集積回路が製品に組み込まれ実際に動作する際には、該第1の電源線VDD1と該第2の電源線VDD2とを互いに電気的に分離する。しかし、該半導体集積回路がまだ製品に組み込まれていない状態では、第1の電源線VDD1、第1のグランド線GND1、第2の電源線VDD2及び第2のグランド線GND2は、電気的にフローティング状態にある。このフローティング状態で、静電気放電に起因するサージ電圧が、該第1の電源線VDD1と該第2の電源線VDD2との間に印加された際には、該第1の静電保護トランジスタTr10はブレイクダウンし、該第1の電源線VDD1と該第2の電源線VDD2との間のサージ電流経路を確立する。
前述したように、第2の静電保護素子20が、該第1の電源線VDD1と該第2のグランド線GND2との間に接続される。該第2の静電保護素子20は、既知の素子で構成することができる。該第2の静電保護素子20は、第2の静電保護トランジスタTr20で構成することができ、該第2の静電保護トランジスタTr20は、具体的には、nMOSトランジスタで構成することができる。該nMOSトランジスタのソース及びドレインの一方は、該第1の電源線VDD1に接続され、他方は該第2の電源線VDD2に接続される。該nMOSトランジスタのゲートは、該第2のグランド線GND2に接続され、該nMOSトランジスタは、オフ状態に置かれる。該第2の静電保護トランジスタTr20は、該第1の電源線VDD1に印加したサージ電流が第2のグランド線GND2へ流れることを許容すると共に、該第2のグランド線GND2に印加したサージ電流が該第1の電源線VDD1へ流れることを許容する。しかし、サージ電流が該第1の電源線VDD1及び該第2のグランド線GND2のいずれにも印加されない場合、該第2の静電保護トランジスタTr20は、該第1の電源線VDD1と該第2のグランド線GND2とを互いに電気的に分離する。該第2の静電保護トランジスタTr20は、該半導体集積回路が製品に組み込まれ実際に動作する際に第1の電源線VDD1が本来有するべき電位と第2のグランド線GND2が本来有するべき電位との差より十分大きく且つサージ電圧より小さい第2のブレイクダウン電圧Vb2を有する。
該第2の静電保護トランジスタTr20は、該半導体集積回路が製品に組み込まれ実際に動作する際には、該第1の電源線VDD1と該第2のグランド線GND2とを互いに電気的に分離する。しかし、該半導体集積回路がまだ製品に組み込まれていない状態では、第1の電源線VDD1、第1のグランド線GND1、第2の電源線VDD2及び第2のグランド線GND2は、電気的にフローティング状態にある。このフローティング状態で、静電気放電に起因するサージ電圧が、該第1の電源線VDD1と該第2のグランド線GND2との間に印加された際には、該第2の静電保護トランジスタTr20はブレイクダウンし、該第1の電源線VDD1と該第2のグランド線GND2との間のサージ電流経路を保証する。
前述したように、第3の静電保護素子30が、該第1のグランド線GND1と該第2のグランド線GND2との間に接続される。該第3の静電保護素子30は、既知の素子で構成することができる。該第3の静電保護素子30は、該第1のグランド線GND1と該第2のグランド線GND2との間の2つのダイオードD1、D2の逆並列接続で構成することができる。即ち、該第3の静電保護素子30は、該第1のグランド線GND1と該第2のグランド線GND2との間に接続されたダイオードD1と、該ダイオードD1と並列且つ逆向きに該第1のグランド線GND1と該第2のグランド線GND2との間に接続されたダイオードD2とからなる。該逆並列接続された2つのダイオードD1、D2は、該第1のグランド線GND1に印加したサージ電流が第2のグランド線GND2へ流れることを許容すると共に、該第2のグランド線GND2に印加したサージ電流が第1のグランド線GND1へ流れることを許容する。しかし、サージ電流が該第1のグランド線GND1及び第2のグランド線GND2のいずれにも印加されない場合、該逆並列接続された2つのダイオードD1、D2は、該第1のグランド線GND1と該第2のグランド線GND2とを互いに電気的に分離する。該逆並列接続された2つのダイオードD1、D2は、サージ電圧より小さい第3のブレイクダウン電圧Vb3を有する。
該逆並列接続された2つのダイオードD1、D2は、該半導体集積回路が製品に組み込まれ実際に動作する際には、該第1のグランド線GND1と該第2のグランド線GND2とを互いに電気的に分離する。しかし、該半導体集積回路がまだ製品に組み込まれていない状態では、第1の電源線VDD1、第1のグランド線GND1、第2の電源線VDD2及び第2のグランド線GND2は、電気的にフローティング状態にある。このフローティング状態で、静電気放電に起因するサージ電圧が、該第1のグランド線GND1と該第2のグランド線GND2との間に印加された際には、該第3の静電保護素子30はブレイクダウンし、該第1のグランド線GND1と該第2のグランド線GND2との間のサージ電流経路を保証する。
前述したように、第4の静電保護素子40が、該第2の電源線VDD2と該第1のグランド線GND1との間に接続される。該第4の静電保護素子40は、既知の素子で構成することができる。該第4の静電保護素子40は、第4の静電保護トランジスタTr40で構成することができ、該第4の静電保護トランジスタTr40は、具体的には、nMOSトランジスタで構成することができる。該nMOSトランジスタのソース及びドレインの一方は、該第1の電源線VDD1に接続され、他方は該第2の電源線VDD2に接続される。該nMOSトランジスタのゲートは、該第1のグランド線GND1に接続され、該nMOSトランジスタは、オフ状態に置かれる。該第4の静電保護トランジスタTr40は、該第2の電源線VDD2に印加したサージ電流が第1のグランド線GND1へ流れることを許容すると共に、該第1のグランド線GND1に印加したサージ電流が該第2の電源線VDD2へ流れることを許容する。しかし、サージ電流が該第2の電源線VDD2及び該第1のグランド線GND1のいずれにも印加されない場合、該第4の静電保護トランジスタTr40は、該第2の電源線VDD2と該第1のグランド線GND1とを互いに電気的に分離する。該第4の静電保護トランジスタTr40は、該半導体集積回路が製品に組み込まれ実際に動作する際に第2の電源線VDD2が本来有するべき電位と第1のグランド線GND1が本来有するべき電位との差より十分大きく且つサージ電圧より小さい第4のブレイクダウン電圧Vb4を有する。
該第4の静電保護トランジスタTr40は、該半導体集積回路が製品に組み込まれ実際に動作する際には、該第2の電源線VDD2と該第1のグランド線GND1とを互いに電気的に分離する。しかし、該半導体集積回路がまだ製品に組み込まれていない状態では、第1の電源線VDD1、第1のグランド線GND1、第2の電源線VDD2及び第2のグランド線GND2は、電気的にフローティング状態にある。このフローティング状態で、静電気放電に起因するサージ電圧が、該第2の電源線VDD2と該第1のグランド線GND1との間に印加された際には、該第4の静電保護トランジスタTr40はブレイクダウンし、該第2の電源線VDD2と該第1のグランド線GND1との間のサージ電流経路を保証する。
前述したように、第1の電源系に属する第1のインターフェース100に、単一の第1の保護用論理回路INV1を設けた。更に、第2の電源系に属する第2のインターフェース200に、単一の第2の保護用論理回路INV2を設けた。第1の保護用論理回路INV1及び第2の保護用論理回路INV2は、第1の電源系に属する高電位線に相当する第1の電源線VDD1、第1の電源系に属する低電位線に相当する第1のグランド線GND1、第2の電源系に属する高電位線に相当する第2の電源線VDD2、第2の電源系に属する低電位線に相当する第2のグランド線GND2のいずれかにサージ電流が印加された際の、該サージ電流の経路、具体的には、前述した第1乃至第5のサージ電流経路Sur1・・・Sur5を提供する。即ち、第1の保護用論理回路INV1は、第1の電源線VDD1に接続される第1のサージ電流経路Sur1と、第1のグランド線GND1に接続される第2のサージ電流経路Sur2とを提供する。第2の保護用論理回路INV2は、第2の電源線VDD2に接続される第3のサージ電流経路Sur3と、第2のグランド線GND2に接続される第4のサージ電流経路Sur4とを提供する。更に、第1の保護用論理回路INV1の出力OUT1と第2の保護用論理回路INV2の入力IN2との間を接続する第5のサージ電流経路Sur5が提供される。
第1の電源線VDD1、第1のグランド線GND1、第2の電源線VDD2及び第2のグランド線GND2のいずれかにサージ電流が印加された際、前述の第1乃至第4の静電保護トランジスタTr10・・・Tr40のいずれかがブレイクダウンして、サージ電流経路が形成される。前述の第1の保護用論理回路INV1と第2の保護用論理回路INV2とは、サージ電流が印加されてから前述の第1乃至第4の静電保護トランジスタTr10・・・Tr40のいずれかがブレイクダウンするまでの間、第2の電源系に属する第2のインターフェース200のインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bn及び第2の保護用論理回路INV2のpMOSトランジスタTrpB1・・・TrpBn及びpMOSトランジスタTrp1が破壊されるのを防止する。このため、第2の保護用論理回路INV2の入力IN2は、第1の電源線VDD1、第1のグランド線GND1、第2の電源線VDD2及び第2のグランド線GND2のいずれかにサージ電流が印加されてから前述の第1乃至第4の静電保護トランジスタTr10・・・Tr40がブレイクダウンするまでの時間(以下ブレイクダウン達成時間という)、サージ電流により充電される容量を有する。換言すると、第2の保護用論理回路INV2の入力IN2は、前述の第1乃至第4の静電保護トランジスタTr10・・・Tr40のそれぞれのブレイクダウン達成時間のいずれよりも大きい時定数RCを有する。
前述したように、第2の保護用論理回路INV2は、pMOSトランジスタTrpA1と、nMOSトランジスタTrnA1とからなる。第2の保護用論理回路INV2の入力IN2が、前述の第1乃至第4の静電保護トランジスタTr10・・・Tr40のそれぞれのブレイクダウン達成時間のいずれよりも大きい時定数RCを有する。該時定数RCは、抵抗RBの抵抗値Rと、pMOSトランジスタTrpA1のゲート容量とnMOSトランジスタTrnA1のゲート容量との和Cとの積(R×C)で与えられる。第2の保護用論理回路INV2の入力IN2の容量Cは、ゲート幅Wとゲート長さLとの積で与えられる。
前述したように、第1の電源系に属する第1の保護用論理回路INV1及び第2の電源系に属する第2の保護用論理回路INV2は、サージ電流経路を提供する目的で設けられる。更に、第2の保護用論理回路INV2は、第1乃至第4の静電保護素子10、20、30、40がブレイクダウンするまでの間、サージ電流により充電される容量を提供する目的で設けられる。このことを以下、説明する。第1の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−A1・・・INV−Anの入力は、第1の電源系に属する第1の内部回路1000に接続され信号の入力を受けるよう設計されている。一方、第2の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnの入力も、インターフェース用論理回路INV−A1・・・INV−Anからの出力を受けるよう設計されている。
サージ電流が、第1の電源線VDD1、第1のグランド線GND1、第2の電源線VDD2及び第2のグランド線GND2のいずれかに印加した場合、第1の静電保護素子10、第2の静電保護素子20、第3の静電保護素子30、第4の静電保護素子40のいずれかがブレイクダウンして、サージ電流経路を提供する。しかしながら、これら第1の静電保護素子10、第2の静電保護素子20、第3の静電保護素子30、第4の静電保護素子40は、それぞれ、ブレイクダウン達成時間を有する。即ち、サージ電流が、第1の電源線VDD1、第1のグランド線GND1、第2の電源線VDD2及び第2のグランド線GND2のいずれかに印加してから第1の静電保護素子10、第2の静電保護素子20、第3の静電保護素子30、第4の静電保護素子40のいずれかがブレイクダウンするまでは、第1の電源線VDD1、第1のグランド線GND1、第2の電源線VDD2及び第2のグランド線GND2間にはサージ電流経路は形成されていない。このため、サージ電流が第1の電源線VDD1及び第1のグランド線GND1のいずれかに印加された後、第1の静電保護素子10、第2の静電保護素子20、第3の静電保護素子30、第4の静電保護素子40のいずれかがブレイクダウンするまでは、第2の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bn及び第2の保護用論理回路INV2のトランジスタのゲートに、サージ電流が流れ込む。
インターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bn及び第2の保護用論理回路INV2は、インターフェース用論理回路INV−A1・・・INV−An及び第1の保護用論理回路INV1と、それぞれ信号線S1・・・Sn及び第5のサージ電流経路Sur5を介して接続されている。ここで、信号線S1・・・Sn及び第5のサージ電流経路Sur5は、それぞれ抵抗R1・・・Rn及び抵抗RBを有する。よって、インターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bn及び第2の保護用論理回路INV2のそれぞれの入力には、抵抗分圧比に応じたサージ電流が流れ込む。
従って、該第2の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnのトランジスタのゲートの破壊を回避するためには、第2の電源系に属する第2の保護用論理回路INV2のpMOSトランジスタTrp2及びnMOSトランジスタTrn2のゲートに、サージ電流の大部分が流れ込むよう抵抗分圧比が定められることが有効である。具体的には、第1の保護用論理回路INV1の出力と第2の保護用論理回路INV2の入力とを接続する第5のサージ電流経路Sur5の抵抗RBが、インターフェース用論理回路INV−A1・・・INV−Anのそれぞれの出力とインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnのそれぞれの入力とを接続する信号線S1・・・Snがそれぞれ有する抵抗R1・・・Rnのいずれよりも十分小さいことが好ましい。
第1の保護用論理回路INV1の出力と第2の保護用論理回路INV2の入力とを接続する第5のサージ電流経路Sur5の抵抗RBが、インターフェース用論理回路INV−A1・・・INV−Anのそれぞれの出力とインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnのそれぞれの入力とを接続する信号線S1・・・Snがそれぞれ有する抵抗R1・・・Rnのいずれよりも十分小さい場合、サージ電流の大部分を第2の保護用論理回路INV2の入力で受けることになる。
そして、第2の保護用論理回路INV2の入力は、pMOSトランジスタTrp2のゲート容量とnMOSトランジスタTrn2のゲート容量との和に概ね相当する容量を有する。前述のサージ電流の大部分が、pMOSトランジスタTrp2のゲート及びnMOSトランジスタTrn2のゲートに流れ込むことで、該ゲート容量が充電される。該第2の保護用論理回路INV2の入力の該ゲート容量がサージ電流により充電されている間は、インターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnのトランジスタのゲートが破壊されることはない。また、第1の静電保護素子10、第2の静電保護素子20、第3の静電保護素子30、第4の静電保護素子40のいずれかがブレイクダウンし、第1の電源線VDD1、第1のグランド線GND1、第2の電源線VDD2及び第2のグランド線GND2間にサージ電流経路が形成された後は、インターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnのトランジスタのゲートが破壊されることはない。よって、サージ電流が第1の電源線VDD1、第1のグランド線GND1、第2の電源線VDD2及び第2のグランド線GND2のいずれかに印加されてから、該第2の保護用論理回路INV2の入力の該ゲート容量が該サージ電流により充電されている間に、第1の静電保護素子10、第2の静電保護素子20、第3の静電保護素子30、第4の静電保護素子40のいずれかがブレイクダウンした場合、インターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnのトランジスタのゲートが破壊されることはない。従って、サージ電流が第1の電源線VDD1、第1のグランド線GND1、第2の電源線VDD2及び第2のグランド線GND2のいずれかに印加されてから、第1の静電保護素子10、第2の静電保護素子20、第3の静電保護素子30、第4の静電保護素子40のいずれかがブレイクダウンする時間より長い時定数を有する第2の保護用論理回路INV2の入力は、インターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnのトランジスタのゲートの破壊を回避できる。
該第2の保護用論理回路INV2の入力の時定数は、pMOSトランジスタTrp2のゲート容量CpとnMOSトランジスタTrn2のゲート容量Cnの和(C=Cp+Cn)と、第1の保護用論理回路INV1の出力と第2の保護用論理回路INV2の入力とを接続する第5のサージ電流経路Sur5の抵抗RBとの積(C×RB)で与えられる。該時定数が、第1の静電保護素子10、第2の静電保護素子20、第3の静電保護素子30、第4の静電保護素子40のそれぞれのブレイクダウン達成時間のいずれよりも長くなるよう、pMOSトランジスタTrp2のゲートとnMOSトランジスタTrn2のゲートとを設計する。
第5のサージ電流経路Sur5の抵抗RBは、前述した分圧抵抗比に関する要求を満たすよう調整されることが好ましく、前述の時定数の条件を満たすよう調整されることが好ましくない。そこで、時定数の条件を満たすよう調整すべきパラメータは、該第2の保護用論理回路INV2の入力の容量、具体的には、pMOSトランジスタTrp2のゲート容量CpとnMOSトランジスタTrn2のゲート容量Cnである。該ゲート容量Cは、ゲート電極の面積Sに比例する。該ゲート電極の面積Sは、ゲート長さLとゲート幅Wとの積(S=L×W)で与えられる。該ゲート長さLは、プロセスに依存するので、該ゲート長さLは、時定数の条件を満たすよう調整することが難しい。よって、時定数の条件を満たすよう調整可能なパラメータは、ゲート幅Wとなる。そこで、該第2の保護用論理回路INV2を構成するpMOSトランジスタTrp2のゲート幅及びnMOSトランジスタTrn2のゲート幅を調整する。
即ち、該第2の保護用論理回路INV2を構成するpMOSトランジスタTrp2のゲート幅及びnMOSトランジスタTrn2のゲート幅を調整し、該第2の保護用論理回路INV2の入力の時定数を、第1の静電保護素子10、第2の静電保護素子20、第3の静電保護素子30、第4の静電保護素子40のそれぞれのブレイクダウン達成時間のいずれよりも長くすることで、インターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnのトランジスタのゲートの破壊を回避できる。
前述したように、第2の電源系に属する第2の保護用論理回路INV2の入力が、第1の静電保護素子10、第2の静電保護素子20、第3の静電保護素子30、第4の静電保護素子40のそれぞれのブレイクダウン達成時間のいずれよりも長い時定数を有することで、第2の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnのトランジスタのゲートの破壊を回避できる。ここで、複数のインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnに対して、前述の時定数を有する1つの第2の保護用論理回路INV2を設けることで、複数のインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnのトランジスタのゲートの破壊を回避できる。即ち、複数のインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnと同数の第2の保護用論理回路INV2は必要とせず、少なくとも1つの第2の保護用論理回路INV2があれば、該複数のインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnのトランジスタのゲートの破壊を回避できる。このことは、保護用回路が占有する領域の面積の増大を回避することにつながる。
前述の例では、保護用回路が占有する領域の面積を出来る限り小さくする観点で、第2の電源系に属するn個のインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnに対し1つの第2の保護用論理回路INV2を設けた。しかし、第2の電源系に属するn個のインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnに対し、n−1個の第2の保護用論理回路INV2を設けた場合であっても、保護用回路が占有する領域の面積の抑制には効果がある。即ち、第2の電源系に属するn個のインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnより少ない数の第2の保護用論理回路INV2を設けた場合であっても、保護用回路が占有する領域の面積の抑制には効果がある。
第2の電源系に属する第2の保護用論理回路INV2は、第5のサージ電流経路Sur5を介して第1の電源系に属する第1の保護用論理回路INV1に接続されている。更に、第2の電源系に属する第2の保護用論理回路INV2は、第5のサージ電流経路Sur5と接続する入力が、第1の電源系に属する高電位線と低電位線及び第2の電源系に属する高電位線と低電位線の各々の間に結合される静電保護素子のブレイクダウン達成時間のいずれよりも長い時定数を有する。従って、前述の第1の保護用論理回路INV1と第2の保護用論理回路INV2とは、サージ電流が印加されてから前述の第1乃至第4の静電保護トランジスタTr10・・・Tr40のいずれかがブレイクダウンするまでの間、第2の電源系に属する第2のインターフェース200のインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bn及び第2の保護用論理回路INV1のトランジスタのゲートが破壊されるのを防止する。更に、複数のインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnのゲートを保護するのに、該複数のインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnより少ない数の第1の保護用論理回路INV1と第2の保護用論理回路INV2とを設けることが必要となる。このことは、回路が占める面積の増大を防止することを可能にする。
(静電保護回路動作)
以下、サージ電流印加後の回路動作につき簡単に説明する。サージ電流が、第1の電源線VDD1、第1のグランド線GND1、第2の電源線VDD2、第2のグランド線GND2のいずれかに印加されるのは、前述の半導体集積回路がまだ製品に組み込まれていない状態である。この状態では、第1のグランド線GND1、第2の電源線VDD2、第2のグランド線GND2は、いずれもフローティング状態にある。該半導体集積回路が製品に組み込まれ動作可能な状態では、第1の電源線VDD1、第1のグランド線GND1、第2の電源線VDD2、第2のグランド線GND2のいずれにもサージ電流が印加されることはない。通常、正極のサージ電圧が発生することが多いので、以下の説明では、正極のサージ電圧が発生した場合に限定して説明する。しかし、以下の説明は、負極のサージ電圧が発生した場合の回路動作にも準用可能である。
(第2の電源線VDD2を基準に第1の電源線VDD1に正極サージが発生した場合)
図2において、第1の電源線VDD1に正極サージが発生した直後は、第1の静電保護素子10を構成する第1の静電保護トランジスタTr10は、第1の電源線VDD1と第2の電源線VDD2とを電気的に分離している。従って、第1の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−A1・・・INV−AnのpMOSトランジスタTrpA1・・・TrpAn及び第1の電源系に属する第1の保護用論理回路INV1のpMOSトランジスタTrp1を介してインターフェース用論理回路INV−A1・・・INV−Anの出力及び第2の保護用論理回路INV2の出力へサージ電流が流れる。更に、信号線S1・・・Sn及び第5のサージ電流経路Sur5を介して、第2の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnの入力及び第2の電源系に属する第2の保護用論理回路INV2の入力へサージ電流が流れる。
しかしながら、前述したように、第2の電源系に属する第2の保護用論理回路INV2のpMOSトランジスタTrp2及びnMOSトランジスタTrn2のゲートに該サージ電流の大部分が流れ込むよう抵抗分圧比が定められている。即ち、該サージ電流の大部分を、第2の保護用論理回路INV2の入力が受ける。前述したように、第2の保護用論理回路INV2の入力は、サージ電流が第1の電源線VDD1に印加されてから、第1の静電保護トランジスタTr10がブレイクダウンする時間より長い時定数を有する。よって、第1の電源線VDD1に印加された該サージ電流の大部分は、第2の保護用論理回路INV2の入力に流れ込み、第2の保護用論理回路INV2の入力が提供するゲート容量を充電する。第1の静電保護トランジスタTr10がブレイクダウンしなくても、該充電が継続している限り、第2の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−BnのpMOSトランジスタTrpB1・・・TrpBnのゲート及びnMOSトランジスタTrnB1・・・TrnBnのゲートが破壊されることはない。
第2の保護用論理回路INV2の入力が有する時定数に相当する時間該充電が継続することで、該ゲート容量の充電が完了する。しかし、前述したように、第1の静電保護トランジスタTr10のブレイクダウン達成時間は、第2の保護用論理回路INV2の入力が有する時定数より短い。このことは、第1の静電保護トランジスタTr10が、該時定数に相当する時間が経過する前にブレイクダウンすることを保証する。該第1の静電保護トランジスタTr10が一旦ブレイクダウンした後は、第1の電源線VDD1から該ブレイクダウンした第1の静電保護トランジスタTr10を介して第2の電源線VDD2へ該サージ電流のほぼ全部が流れる。よって、第2の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−BnのpMOSトランジスタTrpB1・・・TrpBnのゲート及びnMOSトランジスタTrnB1・・・TrnBnのゲートが破壊されることはない。
(第2のグランド線GND2を基準に第1の電源線VDD1に正極サージが発生した場合)
図2において、第1の電源線VDD1に正極サージが発生した直後は、第2の静電保護素子20を構成する第2の静電保護トランジスタTr20は、第1の電源線VDD1と第2のグランド線GND2とを電気的に分離している。従って、第1の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−A1・・・INV−AnのpMOSトランジスタTrpA1・・・TrpAn及び第1の電源系に属する第1の保護用論理回路INV1のpMOSトランジスタTrp1を介してインターフェース用論理回路INV−A1・・・INV−Anの出力及び第2の保護用論理回路INV2の出力へサージ電流が流れる。更に、信号線S1・・・Sn及び第5のサージ電流経路Sur5を介して、第2の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnの入力及び第2の電源系に属する第2の保護用論理回路INV2の入力へサージ電流が流れる。
しかしながら、前述したように、第2の電源系に属する第2の保護用論理回路INV2のpMOSトランジスタTrp2及びnMOSトランジスタTrn2のゲートに該サージ電流の大部分が流れ込むよう抵抗分圧比が定められている。即ち、該サージ電流の大部分を、第2の保護用論理回路INV2の入力が受ける。前述したように、第2の保護用論理回路INV2の入力は、サージ電流が第1の電源線VDD1に印加されてから、第2の静電保護トランジスタTr20がブレイクダウンする時間より長い時定数を有する。よって、第1の電源線VDD1に印加された該サージ電流の大部分は、第2の保護用論理回路INV2の入力に流れ込み、第2の保護用論理回路INV2の入力が提供するゲート容量を充電する。第2の静電保護トランジスタTr20がブレイクダウンしなくても、該充電が継続している限り、第2の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−BnのpMOSトランジスタTrpB1・・・TrpBnのゲート及びnMOSトランジスタTrnB1・・・TrnBnのゲートが破壊されることはない。
第2の保護用論理回路INV2の入力が有する時定数に相当する時間該充電が継続することで、該ゲート容量の充電が完了する。しかし、前述したように、第2の静電保護トランジスタTr20のブレイクダウン達成時間は、第2の保護用論理回路INV2の入力が有する時定数より短い。このことは、第2の静電保護トランジスタTr20が、該時定数に相当する時間が経過する前にブレイクダウンすることを保証する。該第2の静電保護トランジスタTr20が一旦ブレイクダウンした後は、第1の電源線VDD1から該ブレイクダウンした第2の静電保護トランジスタTr20を介して第2のグランド線GND2へ該サージ電流のほぼ全部が流れる。よって、第2の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−BnのpMOSトランジスタTrpB1・・・TrpBnのゲート及びnMOSトランジスタTrnB1・・・TrnBnのゲートが破壊されることはない。
(第2のグランド線GND2を基準に第1のグランド線GND1に正極サージが発生した場合)
図2において、第1のグランド線GND1に正極サージが発生した直後は、第3の静電保護素子30を構成する互いに逆平行接続された第1及び第2のダイオードD1、D2は、第1の電源線VDD1と第2のグランド線GND2とを電気的に分離している。従って、第1の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−A1・・・INV−AnのnMOSトランジスタTrnA1・・・TrnAn及び第1の電源系に属する第1の保護用論理回路INV1のnMOSトランジスタTrn1を介してインターフェース用論理回路INV−A1・・・INV−Anの出力及び第2の保護用論理回路INV2の出力へサージ電流が流れる。更に、信号線S1・・・Sn及び第5のサージ電流経路Sur5を介して、第2の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnの入力及び第2の電源系に属する第2の保護用論理回路INV2の入力へサージ電流が流れる。
しかしながら、前述したように、第2の電源系に属する第2の保護用論理回路INV2のpMOSトランジスタTrp2及びnMOSトランジスタTrn2のゲートに該サージ電流の大部分が流れ込むよう抵抗分圧比が定められている。即ち、該サージ電流の大部分を、第2の保護用論理回路INV2の入力が受ける。前述したように、第2の保護用論理回路INV2の入力は、サージ電流が第1の電源線VDD1に印加されてから、第1のダイオードD1がブレイクダウンする時間より長い時定数を有する。よって、第1のグランド線GND1に印加された該サージ電流の大部分は、第2の保護用論理回路INV2の入力に流れ込み、第2の保護用論理回路INV2の入力が提供するゲート容量を充電する。第1のダイオードD1がブレイクダウンしなくても、該充電が継続している限り、第2の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−BnのpMOSトランジスタTrpB1・・・TrpBnのゲート及びnMOSトランジスタTrnB1・・・TrnBnのゲートが破壊されることはない。
第2の保護用論理回路INV2の入力が有する時定数に相当する時間該充電が継続することで、該ゲート容量の充電が完了する。しかし、前述したように、第1のダイオードD1のブレイクダウン達成時間は、第2の保護用論理回路INV2の入力が有する時定数より短い。このことは、第1のダイオードD1が、該時定数に相当する時間が経過する前にブレイクダウンすることを保証する。該第1のダイオードD1が一旦ブレイクダウンした後は、第1のグランド線GND1から該ブレイクダウンした第1のダイオードD1を介して第2のグランド線GND2へ該サージ電流のほぼ全部が流れる。よって、第2の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−BnのpMOSトランジスタTrpB1・・・TrpBnのゲート及びnMOSトランジスタTrnB1・・・TrnBnのゲートが破壊されることはない。
(第2の電源線VDD2を基準に第1のグランド線GND1に正極サージが発生した場合)
図2において、第1のグランド線GND1に正極サージが発生した直後は、第4の静電保護素子40を構成する第4の静電保護トランジスタTr40は、第2の電源線VDD2と第1のグランド線GND1とを電気的に分離している。従って、第1の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−A1・・・INV−AnのnMOSトランジスタTrnA1・・・TrnAn及び第1の電源系に属する第1の保護用論理回路INV1のnMOSトランジスタTrn1を介してインターフェース用論理回路INV−A1・・・INV−Anの出力及び第2の保護用論理回路INV2の出力へサージ電流が流れる。更に、信号線S1・・・Sn及び第5のサージ電流経路Sur5を介して、第2の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnの入力及び第2の電源系に属する第2の保護用論理回路INV2の入力へサージ電流が流れる。
しかしながら、前述したように、第2の電源系に属する第2の保護用論理回路INV2のpMOSトランジスタTrp2及びnMOSトランジスタTrn2のゲートに該サージ電流の大部分が流れ込むよう抵抗分圧比が定められている。即ち、該サージ電流の大部分を、第2の保護用論理回路INV2の入力が受ける。前述したように、第2の保護用論理回路INV2の入力は、サージ電流が第1の電源線VDD1に印加されてから、第4の静電保護トランジスタTr40がブレイクダウンする時間より長い時定数を有する。よって、第1のグランド線GND1に印加された該サージ電流の大部分は、第2の保護用論理回路INV2の入力に流れ込み、第2の保護用論理回路INV2の入力が提供するゲート容量を充電する。第4の静電保護トランジスタTr40がブレイクダウンしなくても、該充電が継続している限り、第2の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−BnのpMOSトランジスタTrpB1・・・TrpBnのゲート及びnMOSトランジスタTrnB1・・・TrnBnのゲートが破壊されることはない。
第2の保護用論理回路INV2の入力が有する時定数に相当する時間該充電が継続することで、該ゲート容量の充電が完了する。しかし、前述したように、第4の静電保護トランジスタTr40のブレイクダウン達成時間は、第2の保護用論理回路INV2の入力が有する時定数より短い。このことは、第4の静電保護トランジスタTr40が、該時定数に相当する時間が経過する前にブレイクダウンすることを保証する。該第4の静電保護トランジスタTr40が一旦ブレイクダウンした後は、第1のグランド線GND1から該ブレイクダウンした第4の静電保護トランジスタTr40を介して第2の電源線VDD2へ該サージ電流のほぼ全部が流れる。よって、第2の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−BnのpMOSトランジスタTrpB1・・・TrpBnのゲート及びnMOSトランジスタTrnB1・・・TrnBnのゲートが破壊されることはない。
(第1の電源線VDD1を基準に第2の電源線VDD2に正極サージが発生した場合)
図2において、第2の電源線VDD2に正極サージが発生した直後は、第1の静電保護素子10を構成する第1の静電保護トランジスタTr10は、第1の電源線VDD1と第2の電源線VDD2とを電気的に分離している。しかし、該正極サージは、第1の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−A1・・・INV−Anのトランジスタのゲート及び第1の電源系に属する第1の保護用論理回路INV1のトランジスタのゲート、並びに、第2の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnのトランジスタのゲート及び第2の電源系に属する第2の保護用論理回路INV2のトランジスタのゲートには印加されない。よって、これらトランジスタのゲートが破壊されることはない。該正極サージが第2の電源線VDD2に印加されてから、第1の静電保護トランジスタTr10が有するブレイクダウン達成時間が経過した後、第1の静電保護トランジスタTr10がブレイクダウンする。よって、該正極サージが第2の電源線VDD2から該ブレイクダウンした第1の静電保護トランジスタTr10を介して第1の電源線VDD1へ流れる。よって、第2の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−BnのpMOSトランジスタTrpB1・・・TrpBnのゲート及びnMOSトランジスタTrnB1・・・TrnBnのゲートが破壊されることはない。
(第1のグランド線GND1を基準に第2の電源線VDD2に正極サージが発生した場合)
図2において、第2の電源線VDD2に正極サージが発生した直後は、第4の静電保護素子40を構成する第4の静電保護トランジスタTr40は、第1のグランド線GND1と第2の電源線VDD2とを電気的に分離している。しかし、該正極サージは、第1の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−A1・・・INV−Anのトランジスタのゲート及び第1の電源系に属する第1の保護用論理回路INV1のトランジスタのゲート、並びに、第2の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnのトランジスタのゲート及び第2の電源系に属する第2の保護用論理回路INV2のトランジスタのゲートには印加されない。よって、これらトランジスタのゲートが破壊されることはない。該正極サージが第2の電源線VDD2に印加されてから、第4の静電保護トランジスタTr40が有するブレイクダウン達成時間が経過した後、第4の静電保護トランジスタTr40がブレイクダウンする。よって、該正極サージが第2の電源線VDD2から該ブレイクダウンした第4の静電保護トランジスタTr40を介して第1のグランド線GND1へ流れる。よって、第2の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−BnのpMOSトランジスタTrpB1・・・TrpBnのゲート及びnMOSトランジスタTrnB1・・・TrnBnのゲートが破壊されることはない。
(第1の電源線VDD1を基準に第2のグランド線GND2に正極サージが発生した場合)
図2において、第2のグランド線GND2に正極サージが発生した直後は、第2の静電保護素子20を構成する第2の静電保護トランジスタTr20は、第1の電源線VDD1と第2のグランド線GND2とを電気的に分離している。しかし、該正極サージは、第1の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−A1・・・INV−Anのトランジスタのゲート及び第1の電源系に属する第1の保護用論理回路INV1のトランジスタのゲート、並びに、第2の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnのトランジスタのゲート及び第2の電源系に属する第2の保護用論理回路INV2のトランジスタのゲートには印加されない。よって、これらトランジスタのゲートが破壊されることはない。該正極サージが第2のグランド線GND2に印加されてから、第2の静電保護トランジスタTr20が有するブレイクダウン達成時間が経過した後、第2の静電保護トランジスタTr20がブレイクダウンする。よって、該正極サージが第2のグランド線GND2から該ブレイクダウンした第2の静電保護トランジスタTr20を介して第1の電源線VDD1へ流れる。よって、第2の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−BnのpMOSトランジスタTrpB1・・・TrpBnのゲート及びnMOSトランジスタTrnB1・・・TrnBnのゲートが破壊されることはない。
(第1のグランド線GND1を基準に第2のグランド線GND2に正極サージが発生した場合)
図2において、第2のグランド線GND2に正極サージが発生した直後は、第3の静電保護素子30を構成する第2のダイオードD2は、第1のグランド線GND1と第2のグランド線GND2とを電気的に分離している。しかし、該正極サージは、第1の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−A1・・・INV−Anのトランジスタのゲート及び第1の電源系に属する第1の保護用論理回路INV1のトランジスタのゲート、並びに、第2の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnのトランジスタのゲート及び第2の電源系に属する第2の保護用論理回路INV2のトランジスタのゲートには印加されない。よって、これらトランジスタのゲートが破壊されることはない。該正極サージが第2のグランド線GND2に印加されてから、第2のダイオードD2が有するブレイクダウン達成時間が経過した後、第2のダイオードD2がブレイクダウンする。よって、該正極サージが第2のグランド線GND2から該第2のダイオードD2を介して第1のグランド線GND1へ流れる。よって、第2の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−BnのpMOSトランジスタTrpB1・・・TrpBnのゲート及びnMOSトランジスタTrnB1・・・TrnBnのゲートが破壊されることはない。
前述したように、互いに独立し異なる電源系にそれぞれ属する第1のインターフェース100と第2のインターフェース200をサージ電流から保護するための静電保護回路構成にとって、第2の電源系に属する第2の保護用論理回路INV2が、第5のサージ電流経路Sur5を介して第1の電源系に属する第1の保護用論理回路INV1に接続されていることが重要である。更に、第2の電源系に属する第2の保護用論理回路INV2の入力が、第1の電源系に属する高電位線と低電位線及び第2の電源系に属する高電位線と低電位線の各々の間に結合される静電保護素子のブレイクダウン達成時間のいずれよりも長い時定数を有することが重要である。前述した静電保護回路の設計の典型例を以下説明する。
(第1の保護用論理回路の設計)
前述したように、第1の電源系に属する第1の保護用論理回路INV1は、サージ電流を第2の電源系に属する第2の保護用論理回路INV2へ伝えるサージ電流経路を提供する。この観点に基づくと、第1の保護用論理回路INV1を構成するpMOSトランジスタTrp1及びnMOSトランジスタTrn1の寸法、特にゲート長さL及びゲート幅Wに対する制約はない。
しかし、前述したように、サージ電流が第1の電源線VDD1及び第1のグランド線GND1のいずれかに印加された後、第1の静電保護素子10、第2の静電保護素子20、第3の静電保護素子30、第4の静電保護素子40のいずれかがブレイクダウンするまでは、前述した抵抗分圧比に基づき、第2の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bn及び第2の保護用論理回路INV2のトランジスタのゲートに、サージ電流の大部分が流れ込む。該第2の保護用論理回路INV2の入力の該ゲート容量がサージ電流により充電されている間は、インターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnのトランジスタのゲートが破壊されることはない。また、第1の静電保護素子10、第2の静電保護素子20、第3の静電保護素子30、第4の静電保護素子40のいずれかがブレイクダウンし、第1の電源線VDD1、第1のグランド線GND1、第2の電源線VDD2及び第2のグランド線GND2間にサージ電流経路が形成された後は、インターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnのトランジスタのゲートが破壊されることはない。よって、サージ電流が第1の電源線VDD1、第1のグランド線GND1、第2の電源線VDD2及び第2のグランド線GND2のいずれかに印加されてから、第1の静電保護素子10、第2の静電保護素子20、第3の静電保護素子30、第4の静電保護素子40のいずれかがブレイクダウンする時間より長い時定数を第2の保護用論理回路INV2の入力が有することで、インターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnのトランジスタのゲートの破壊を回避できる。
前述した抵抗分圧比に影響を与えない観点から、第1の保護用論理回路INV1の寸法、具体的には、第1の保護用論理回路INV1を構成するpMOSトランジスタTrp1及びnMOSトランジスタTrn1の寸法、特にゲート長さL及びゲート幅Wは、第1の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−A1・・・INV−Anを構成するpMOSトランジスタTrpA1・・・TrpAn及びnMOSトランジスタTrnA1・・・TrnAnの寸法、特にゲート長さL及びゲート幅Wと同じにすることが好ましいが、必ずしもこの条件を満たす必要はない。
(第2の保護用論理回路の設計)
前述したように、該第2の保護用論理回路INV2の入力の時定数は、pMOSトランジスタTrp2のゲート容量CpとnMOSトランジスタTrn2のゲート容量Cnの和(C=Cp+Cn)と、第1の保護用論理回路INV1の出力と第2の保護用論理回路INV2の入力とを接続する第5のサージ電流経路Sur5の抵抗RBとの積(C×RB)で与えられる。該時定数が、第1の静電保護素子10、第2の静電保護素子20、第3の静電保護素子30、第4の静電保護素子40のそれぞれのブレイクダウン達成時間のいずれよりも長くなるよう、pMOSトランジスタTrp2のゲートとnMOSトランジスタTrn2のゲートとを設計する。
第5のサージ電流経路Sur5の抵抗RBは、前述した分圧抵抗比に関する要求を満たすよう調整されることが好ましく、前述の時定数の条件を満たすよう調整されることが好ましくない。そこで、時定数の条件を満たすよう調整すべきパラメータは、該第2の保護用論理回路INV2の入力の容量、具体的には、pMOSトランジスタTrp2のゲート容量CpとnMOSトランジスタTrn2のゲート容量Cnである。該ゲート容量Cは、ゲート電極の面積Sに比例する。該ゲート電極の面積Sは、ゲート長さLとゲート幅Wとの積(S=L×W)で与えられる。該ゲート長さLは、プロセスに依存するので、該ゲート長さLは、時定数の条件を満たすよう調整することが難しい。よって、時定数の条件を満たすよう調整可能なパラメータは、ゲート幅Wとなる。そこで、該第2の保護用論理回路INV2を構成するpMOSトランジスタTrp2のゲート幅及びnMOSトランジスタTrn2のゲート幅を調整する。即ち、該第2の保護用論理回路INV2の入力が、第1の静電保護素子10、第2の静電保護素子20、第3の静電保護素子30、第4の静電保護素子40のブレイクダウン達成時間より長い時定数を有するよう、該第2の保護用論理回路INV2を構成するpMOSトランジスタTrp2のゲート幅及びnMOSトランジスタTrn2のゲート幅を調整する。
尚、該pMOSトランジスタTrp2のゲート容量(C_Pinv2)及び該nMOSトランジスタTrn2のゲート容量(C_Ninv2)は、以下の式によりそれらの概算値を求めることができる。
C_Pinv2 = ε×S/d =ε×(L×W)/d = {(ε×L)/d}×W_Pinv2
C_Ninv2 = ε×S/d =ε×(L×W)/d = {(ε×L)/d}×W_Ninv2
ε:誘電率(材料及びプロセスに依存する値)
L: ゲート長(プロセスルールに依存する値)
d:ゲート絶縁膜の厚さ(プロセスに依存する値)
W_Pinv2:pMOSトランジスタTrp2のゲート幅
W_Ninv2:nMOSトランジスタTrn2のゲート幅
更に、追加の条件としてシミュレーション結果及び実験結果を考慮して該第2の保護用論理回路INV2を構成するpMOSトランジスタTrp2のゲート幅及びnMOSトランジスタTrn2のゲート幅を調整してもよい。これらの結果から該第2の保護用論理回路INV2を構成するpMOSトランジスタTrp2のゲート幅及びnMOSトランジスタTrn2のゲート幅について下記条件が導き出される。
W_Pinv2 ≧ 450um − ΣPWn
W_Ninv2 ≧ 450um − ΣNWn
ΣPWn: 第2の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−BnのpMOSトランジスタTrpB1・・・TrpBnのゲート幅の総和
ΣNWn : 第2の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−BnのnMOSトランジスタTrnB1・・・TrnBnのゲート幅の総和
但し、上記条件で示す450μmという数字は0.16μmプロセスの時に有効な数字であり、その他プロセス(0.22μmや0.15μm)では、別な値となる。
上記前提条件から、nMOSトランジスタTrn2のゲート幅W_Ninv2について制約条件を求める。
C_Ninv2 >> Td/RB
{(ε×l)/d}×W_Ninv2 >> Td/RB
W_Ninv2 >> (Td/RB)× d/(ε×l)
Td:第1乃至第4の静電保護素子10、20,30、40のブレイクダウン達成時間の最大値
RB:nMOSトランジスタTrn2のゲート抵抗
前述したようにd、L、εはプロセスによって決まる。
従って、第2の保護用論理回路INV2のnMOSトランジスタTrn2のゲート幅W_Ninv2は、以下2つの式で与えられる制約条件を満たすよう決定することが好ましい。
W_Ninv2 ≧ 450um − ΣNWn ・・・・(1)
W_Ninv2 >> (Td/RB)× d/(ε×l) ・・・・(2)
更に、上記前提条件から、pMOSトランジスタTrp2のゲート幅W_Pinv2について制約条件を求める。
C_Pinv2 >> Td/RB
{(ε×l)/d}×W_PNinv2 >> Td/RB
W_Pinv2 >> (Td/RB)× d/(ε×l)
Td:第1乃至第4の静電保護素子10、20,30、40のブレイクダウン達成時間の最大値
RB:nMOSトランジスタTrn2のゲート抵抗
前述したようにd、L、εはプロセスによって決まる。
従って、第2の保護用論理回路INV2のpMOSトランジスタTrp2のゲート幅W_Pinv2は、以下2つの式で与えられる制約条件を満たすよう決定することが好ましい。
W_Pinv2 ≧ 450um − ΣPWn ・・・・(3)
W_Pinv2 >> (Td/RB)× d/(ε×l) ・・・・(4)
0.16μmプロセスにて第1の電源系と第2の電源系との間で100本のインターフェース信号を受ける100個のインターフェース用論理回路が設けられ、該インターフェース用論理回路に含まれるnMOSトランジスタのゲート幅が2μmである場合、上記式(1)によりnMOSトランジスタTrn2のゲート幅W_Ninv2は、下記値となる。
W_Ninv2 ≧ 450um − ΣNWn
= 450um − 100×2um = 250um
従って、W_Ninv2 ≧ 250umの関係が成り立つ。
同様に、0.16μmプロセスにて第1の電源系と第2の電源系との間で100本のインターフェース信号を受ける100個のインターフェース用論理回路が設けられ、該インターフェース用論理回路に含まれるpMOSトランジスタのゲート幅が2μmである場合、上記式(3)によりpMOSトランジスタTrp2のゲート幅W_Pinv2は、下記値となる。
W_Pinv2 ≧ 450um − ΣPWn
= 450um − 100×2um = 250um
従って、W_Pinv2 ≧ 250umの関係が成り立つ。
0.16μmプロセスにて第1の電源系と第2の電源系との間で89本のインターフェース信号を受ける89個のインターフェース用論理回路が設けられ、該インターフェース用論理回路に含まれるnMOSトランジスタのゲート幅が5μmである場合、上記式(1)によりnMOSトランジスタTrn2のゲート幅W_Ninv2は、下記値となる。
W_Ninv2 ≧ 450um − ΣNWn
= 450um − 89×5um = 5um
従って、W_Ninv2 ≧ 5umの関係が成り立つ。
同様に、0.16μmプロセスにて第1の電源系と第2の電源系との間で89本のインターフェース信号を受ける89個のインターフェース用論理回路が設けられ、該インターフェース用論理回路に含まれるpMOSトランジスタのゲート幅がμmである場合、上記式(3)によりpMOSトランジスタTrp2のゲート幅W_Pinv2は、下記値となる。
W_Pinv2 ≧ 450um − ΣPWn
= 450um − 89×5um = 5um
従って、W_Pinv2 ≧ 5umの関係が成り立つ。
0.16μmプロセスにて第1の電源系と第2の電源系との間で2本のインターフェース信号を受ける2個のインターフェース用論理回路が設けられ、該インターフェース用論理回路に含まれるnMOSトランジスタのゲート幅が5μmである場合、上記式(1)によりnMOSトランジスタTrn2のゲート幅W_Ninv2は、下記値となる。
W_Ninv2 ≧ 450um − ΣNWn
= 450um − 2×5um = 440um
従って、W_Ninv2 ≧ 440umの関係が成り立つ。
同様に、0.16μmプロセスにて第1の電源系と第2の電源系との間で2本のインターフェース信号を受ける2個のインターフェース用論理回路が設けられ、該インターフェース用論理回路に含まれるpMOSトランジスタのゲート幅がμmである場合、上記式(3)によりpMOSトランジスタTrp2のゲート幅W_Pinv2は、下記値となる。
W_Pinv2 ≧ 450um − ΣPWn
= 450um − 2×5um = 440um
従って、W_Pinv2 ≧ 440umの関係が成り立つ。
同様に、式(2)及び式(4)に関しても0.16μmプロセスルールを適用した場合で考察する。ここでゲート長以外のパラメータは、下記値である仮定として算出する。
ゲート長L:0.16μm
ゲート絶縁膜の厚さd:1000nm
誘電率ε:8.85E−12×4
ゲート保護抵抗:1000Ω
W_Ninv2 >> (Td/RB)× d/(ε×l)
=(Td/1000)×1000nm/(8.85E-12×4×0.16um)
=(Td/1000)×1000nm/5.66E-18
=Td×1.77E+8
従って、W_Ninv2 >>Td×1.77E+8の関係が成り立つ。
W_Pinv2 >> (Td/RB)× d/(ε×l)
=(Td/1000)×1000nm/(8.85E-12×4×0.16um)
=(Td/1000)×1000nm/5.66E-18
=Td×1.77E+8
従って、W_Ninv2 >>Td×1.77E+8の関係が成り立つ。
Td:第1乃至第4の静電保護素子10、20、30、40のブレイクダウン達成時間の最大値。尚、静電保護素子10、20、30、40のブレイクダウン達成時間は、プロセスに依存する。
前述したように、シミュレーション結果及び実験結果を考慮する場合、第2の電源系に属する第2の保護用論理回路INV2を構成するpMOSトランジスタTrp2及びnMOSトランジスタTrn2のゲートの寸法は、第1乃至第4の静電保護素子10、20、30、40のブレイクダウン達成時間に加え、第2の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnを構成するトランジスタのゲート幅の総和を考慮して決定されることが好ましい。
第1の電源系に属するインターフェース用論理回路INV−A1・・・INV−Anと第1の電源系に属する第1の保護用論理回路INV1とは同一寸法のトランジスタからなるCMOSインバータで構成することで、設計及び製造共に容易となる。ここで、第1の保護用論理回路INV1を構成するCMOSインバータは、信号を処理する論理ゲートではなく、ダミー論理ゲートとみなすことができる。
(第1の変更例)
前述したように、第2の電源系に属する第2の保護用論理回路INV2は、第5のサージ電流経路Sur5を介して第1の電源系に属する第1の保護用論理回路INV1に接続されていることが重要である。更に、第2の電源系に属する第2の保護用論理回路INV2は、第5のサージ電流経路Sur5と接続する入力が、第1の電源系に属する高電位線と低電位線及び第2の電源系に属する高電位線と低電位線の各々の間に結合される静電保護素子のブレイクダウン達成時間のいずれよりも長い時定数を有することが重要である。従って、第2の電源系に属する第2の保護用論理回路は、上記2つの条件を満たすことが望ましい。よって、第2の電源系に属する第2の保護用論理回路は、必ずしも、CMOSインバータ回路で構成される必要はなく、上記2つの構成を満たせば、他の論理ゲートで構成することが可能である。
他の論理ゲートの典型例として、NORゲートやNANDゲートを挙げることができる。図3は、本発明の第1の実施形態に対する第1の変更例に係るインターフェースに含まれるESD保護回路の等価回路図である。図3に示す第1の変更例に係る回路が、図2に示す第1の実施形態の回路と異なる点は、第2の電源系に属する第2の保護用論理回路が出力を有しないダミーNANDゲートNAND1で構成されることである。該NANDゲートNAND1の2つの入力のうち第1の入力を第5のサージ電流経路Sur5に接続し、他方をフローティングするか、或いは、第2の電源線VDD2か第2のグランド線GND2のいずれかに接続する。そして、該NANDゲートNAND1は出力を持たない構成とする。該NANDゲートNAND1は、第3のサージ電流経路Sur3を介して第2の電源線VDD2と接続される。また、該NANDゲートNAND1は、第4のサージ電流経路Sur4を介して第2のグランド線GND2に接続される。
該NANDゲートNAND1は、複数のトランジスタで構成される。該NANDゲートNAND1の入力は、トランジスタのゲートで構成される。よって、該NANDゲートNAND1の第1の入力は、ゲート容量を提供する。更に、該第5のサージ電流経路Sur5は、抵抗を有する。従って、該NANDゲートNAND1の第1の入力は、時定数を提供する。前述したように、該時定数が、第1乃至第4の静電保護素子10、20、30、40のそれぞれのブレイクダウン達成時間のいずれよりも長くなるよう、該NANDゲートNAND1の第1の入力を構成するトランジスタのゲートの幅を調整する。
この構成も、前述した2つの条件を満たす。即ち、第2の電源系に属する第2の保護用論理回路NAND1は、第5のサージ電流経路Sur5を介して第1の電源系に属する第1の保護用論理回路INV1に接続されている。更に、第2の電源系に属する第2の保護用論理回路NAND1は、第5のサージ電流経路Sur5と接続する入力が、第1の電源系に属する高電位線と低電位線及び第2の電源系に属する高電位線と低電位線の各々の間に結合される静電保護素子のブレイクダウン達成時間のいずれよりも長い時定数を有する。従って、前述の第1の保護用論理回路INV1と第2の保護用論理回路NOR1とは、サージ電流が印加されてから前述の第1乃至第4の静電保護トランジスタTr10・・・Tr40のいずれかがブレイクダウンするまでの間、第2の電源系に属する第2のインターフェース200のインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bn及び第2の保護用論理回路NAND1のトランジスタのゲートが破壊されるのを防止する。更に、複数のインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnのゲートを保護するのに、該複数のインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnより少ない数の第1の保護用論理回路INV1と第2の保護用論理回路NAND1とを設けることが必要となる。このことは、回路が占める面積の増大を防止することを可能にする。
(第2の変更例)
図4は、本発明の第1の実施形態に対する第2の変更例に係るインターフェースに含まれるESD保護回路の等価回路図である。図4に示す第1の変更例に係る回路が、図2に示す第1の実施形態の回路と異なる点は、第2の電源系に属する第2の保護用論理回路が出力を有しないダミーNORゲートNOR1で構成されることである。該NORゲートNOR1の2つの入力のうち第1の入力を第5のサージ電流経路Sur5に接続し、他方をフローティングするか、或いは、第2の電源線VDD2か第2のグランド線GND2のいずれかに接続する。そして、該NORゲートNOR1は出力を持たない構成とする。該NORゲートNOR1は、第3のサージ電流経路Sur3を介して第2の電源線VDD2と接続される。また、該NORゲートNOR1は、第4のサージ電流経路Sur4を介して第2のグランド線GND2に接続される。
該NORゲートNOR1は、複数のトランジスタで構成される。該NORゲートNOR1の入力は、トランジスタのゲートで構成される。よって、該NORゲートNOR1の第1の入力は、ゲート容量を提供する。更に、該第5のサージ電流経路Sur5は、抵抗を有する。従って、該NORゲートNOR1の第1の入力は、時定数を提供する。前述したように、該時定数が、第1乃至第4の静電保護素子10、20、30、40のそれぞれのブレイクダウン達成時間のいずれよりも長くなるよう、該NORゲートNOR1の第1の入力を構成するトランジスタのゲートの幅を調整する。
この構成も、前述した2つの条件を満たす。即ち、第2の電源系に属する第2の保護用論理回路NOR1は、第5のサージ電流経路Sur5を介して第1の電源系に属する第1の保護用論理回路INV1に接続されている。更に、第2の電源系に属する第2の保護用論理回路NOR1は、第5のサージ電流経路Sur5と接続する入力が、第1の電源系に属する高電位線と低電位線及び第2の電源系に属する高電位線と低電位線の各々の間に結合される静電保護素子のブレイクダウン達成時間のいずれよりも長い時定数を有する。従って、前述の第1の保護用論理回路INV1と第2の保護用論理回路NOR1とは、サージ電流が印加されてから前述の第1乃至第4の静電保護トランジスタTr10・・・Tr40のいずれかがブレイクダウンするまでの間、第2の電源系に属する第2のインターフェース200のインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bn及び第2の保護用論理回路NOR1のトランジスタのゲートが破壊されるのを防止する。更に、複数のインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnのゲートを保護するのに、該複数のインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnより少ない数の第1の保護用論理回路INV1と第2の保護用論理回路NOR1とを設けることが必要となる。このことは、回路が占める面積の増大を防止することを可能にする。
(第3の変更例)
図5は、本発明の第1の実施形態に対する第3の変更例に係るインターフェースに含まれるESD保護回路の等価回路図である。図5に示す第1の変更例に係る回路が、図2に示す第1の実施形態の回路と異なる点は、第2の電源系に属する第2の保護用論理回路INV2が、フローティングしている出力を有することである。即ち、2の保護用論理回路INV2は、信号を処理する論理ゲートではないので、出力は必要としない。この構成も、前述した2つの条件を満たす。第2の電源系に属する第2の保護用論理回路INV2は、第5のサージ電流経路Sur5を介して第1の電源系に属する第1の保護用論理回路INV1に接続されている。更に、第2の電源系に属する第2の保護用論理回路INV2は、第5のサージ電流経路Sur5と接続する入力が、第1の電源系に属する高電位線と低電位線及び第2の電源系に属する高電位線と低電位線の各々の間に結合される静電保護素子のブレイクダウン達成時間のいずれよりも長い時定数を有する。従って、前述の第1の保護用論理回路INV1と第2の保護用論理回路INV2とは、サージ電流が印加されてから前述の第1乃至第4の静電保護トランジスタTr10・・・Tr40のいずれかがブレイクダウンするまでの間、第2の電源系に属する第2のインターフェース200のインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bn及び第2の保護用論理回路INV2のトランジスタのゲートが破壊されるのを防止する。更に、複数のインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnのゲートを保護するのに、該複数のインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnより少ない数の第1の保護用論理回路INV1と第2の保護用論理回路INV2とを設けることが必要となる。このことは、回路が占める面積の増大を防止することを可能にする。
(第4の変更例)
図6は、本発明の第1の実施形態に対する第1の変更例に係るインターフェースに含まれるESD保護回路の等価回路図である。図6に示す第4の変更例に係る回路が、図2に示す第1の実施形態の回路と異なる点は、第2の電源系に属する第2の保護用論理回路がフローティングされた出力を有するダミーNANDゲートNAND1で構成されることである。該NANDゲートNAND1の2つの入力のうち第1の入力を第5のサージ電流経路Sur5に接続し、他方をフローティングするか、或いは、第2の電源線VDD2か第2のグランド線GND2のいずれかに接続する。そして、該NANDゲートNAND1はフローティングされた出力を有する構成とする。該NANDゲートNAND1は、第3のサージ電流経路Sur3を介して第2の電源線VDD2と接続される。また、該NANDゲートNAND1は、第4のサージ電流経路Sur4を介して第2のグランド線GND2に接続される。
該NANDゲートNAND1は、複数のトランジスタで構成される。該NANDゲートNAND1の入力は、トランジスタのゲートで構成される。よって、該NANDゲートNAND1の第1の入力は、ゲート容量を提供する。更に、該第5のサージ電流経路Sur5は、抵抗を有する。従って、該NANDゲートNAND1の第1の入力は、時定数を提供する。前述したように、該時定数が、第1乃至第4の静電保護素子10、20、30、40のそれぞれのブレイクダウン達成時間のいずれよりも長くなるよう、該NANDゲートNAND1の第1の入力を構成するトランジスタのゲートの幅を調整する。
この構成も、前述した2つの条件を満たす。即ち、第2の電源系に属する第2の保護用論理回路NAND1は、第5のサージ電流経路Sur5を介して第1の電源系に属する第1の保護用論理回路INV1に接続されている。更に、第2の電源系に属する第2の保護用論理回路NAND1は、第5のサージ電流経路Sur5と接続する入力が、第1の電源系に属する高電位線と低電位線及び第2の電源系に属する高電位線と低電位線の各々の間に結合される静電保護素子のブレイクダウン達成時間のいずれよりも長い時定数を有する。従って、前述の第1の保護用論理回路INV1と第2の保護用論理回路NOR1とは、サージ電流が印加されてから前述の第1乃至第4の静電保護トランジスタTr10・・・Tr40のいずれかがブレイクダウンするまでの間、第2の電源系に属する第2のインターフェース200のインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bn及び第2の保護用論理回路NAND1のトランジスタのゲートが破壊されるのを防止する。更に、複数のインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnのゲートを保護するのに、該複数のインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnより少ない数の第1の保護用論理回路INV1と第2の保護用論理回路NAND1とを設けることが必要となる。このことは、回路が占める面積の増大を防止することを可能にする。
(第5の変更例)
図7は、本発明の第1の実施形態に対する第5の変更例に係るインターフェースに含まれるESD保護回路の等価回路図である。図7に示す第1の変更例に係る回路が、図2に示す第1の実施形態の回路と異なる点は、第2の電源系に属する第2の保護用論理回路がフローティングされた出力を有するダミーNORゲートNOR1で構成されることである。該NORゲートNOR1の2つの入力のうち第1の入力を第5のサージ電流経路Sur5に接続し、他方をフローティングするか、或いは、第2の電源線VDD2か第2のグランド線GND2のいずれかに接続する。そして、該NORゲートNOR1はフローティングされた出力を有する構成とする。該NORゲートNOR1は、第3のサージ電流経路Sur3を介して第2の電源線VDD2と接続される。また、該NANDゲートNAND1は、第4のサージ電流経路Sur4を介して第2のグランド線GND2に接続される。
該NORゲートNOR1は、複数のトランジスタで構成される。該NORゲートNOR1の入力は、トランジスタのゲートで構成される。よって、該NORゲートNOR1の第1の入力は、ゲート容量を提供する。更に、該第5のサージ電流経路Sur5は、抵抗を有する。従って、該NORゲートNOR1の第1の入力は、時定数を提供する。前述したように、該時定数が、第1乃至第4の静電保護素子10、20、30、40のそれぞれのブレイクダウン達成時間のいずれよりも長くなるよう、該NORゲートNOR1の第1の入力を構成するトランジスタのゲートの幅を調整する。
この構成も、前述した2つの条件を満たす。即ち、第2の電源系に属する第2の保護用論理回路NOR1は、第5のサージ電流経路Sur5を介して第1の電源系に属する第1の保護用論理回路INV1に接続されている。更に、第2の電源系に属する第2の保護用論理回路NOR1は、第5のサージ電流経路Sur5と接続する入力が、第1の電源系に属する高電位線と低電位線及び第2の電源系に属する高電位線と低電位線の各々の間に結合される静電保護素子のブレイクダウン達成時間のいずれよりも長い時定数を有する。従って、前述の第1の保護用論理回路INV1と第2の保護用論理回路NOR1とは、サージ電流が印加されてから前述の第1乃至第4の静電保護トランジスタTr10・・・Tr40のいずれかがブレイクダウンするまでの間、第2の電源系に属する第2のインターフェース200のインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bn及び第2の保護用論理回路NOR1のトランジスタのゲートが破壊されるのを防止する。更に、複数のインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnのゲートを保護するのに、該複数のインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnより少ない数の第1の保護用論理回路INV1と第2の保護用論理回路NOR1とを設けることが必要となる。このことは、回路が占める面積の増大を防止することを可能にする。
(第6の変更例)
図8は、本発明の第1の実施形態に対する第6の変更例に係るインターフェースに含まれるESD保護回路の等価回路図である。図8に示す第1の変更例に係る回路が、図2に示す第1の実施形態の回路と異なる点は、第2の電源系に属する第2の保護用論理回路に代え、第2の保護用回路CAP1が設けられることである。該第2の保護用回路CAP1は、第2の電源線VDD2と第2のグランド線GND2との間に直列接続された1対のキャパシタで構成されることである。該1対のキャパシタは、第3のサージ電流経路Sur3を介して第2の電源線VDD2に接続される第1のキャパシタC1と、第4のサージ電流経路Sur4を介して第2のグランド線GND2に接続される第2のキャパシタC2とからなる。該第1のキャパシタC1と該第2のキャパシタC2との間には、第5のサージ電流経路Sur5が接続される。即ち、該第1のキャパシタC1は、第1の容量を提供する。該第2のキャパシタC2は、第2の容量を提供する。該1対のキャパシタは、従って、第1の容量と第2の容量との和Cを提供する。更に、該第5のサージ電流経路Sur5は、抵抗を有する。従って、該第2の保護用回路CAP1の入力は、時定数を提供する。前述したように、該時定数が、第1乃至第4の静電保護素子10、20、30、40のそれぞれのブレイクダウン達成時間のいずれよりも長くなるよう、該第1の容量と第2の容量とを調整する。
この構成も、前述した2つの条件を満たす。即ち、第2の電源系に属する第2の保護用回路CAP1は、第5のサージ電流経路Sur5を介して第1の電源系に属する第1の保護用論理回路INV1に接続されている。更に、第2の電源系に属する第2の保護用回路CAP1の入力は、第1の電源系に属する高電位線と低電位線及び第2の電源系に属する高電位線と低電位線の各々の間に結合される静電保護素子のブレイクダウン達成時間のいずれよりも長い時定数を有する。従って、前述の第1の保護用論理回路INV1と第2の保護用回路CAP1とは、サージ電流が印加されてから前述の第1乃至第4の静電保護トランジスタTr10・・・Tr40のいずれかがブレイクダウンするまでの間、第2の電源系に属する第2のインターフェース200のインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnのトランジスタのゲートが破壊されるのを防止する。更に、複数のインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnのゲートを保護するのに、該複数のインターフェース用論理回路INV−B1・・・INV−Bnより少ない数の第1の保護用論理回路INV1と第2の保護用回路CAP1とを設けることが必要となる。このことは、回路が占める面積の増大を防止することを可能にする。
前述した実施の形態及びその変更例は、2つの異なる電源系に属するインターフェースをサージ電流から保護する回路構成を示した。しかしながら、本発明は、言うまでもなく、3つ以上の異なる電源系に属するインターフェースをサージ電流から保護する回路にも適用可能である。
本発明に係る静電保護回路の適用対象となり得る、異なる電源系に属する2つの内部回路及び2つのインターフェースを含む半導体集積回路のレイアウトを示す概略部分平面図である。 本発明の第1の実施形態に係るインターフェースに含まれるESD保護回路の等価回路図である。 本発明の第1の実施形態に対する第1の変更例に係るインターフェースに含まれるESD保護回路の等価回路図である。 本発明の第1の実施形態に対する第2の変更例に係るインターフェースに含まれるESD保護回路の等価回路図である。 本発明の第1の実施形態に対する第3の変更例に係るインターフェースに含まれるESD保護回路の等価回路図である。 本発明の第1の実施形態に対する第4の変更例に係るインターフェースに含まれるESD保護回路の等価回路図である。 本発明の第1の実施形態に対する第5の変更例に係るインターフェースに含まれるESD保護回路の等価回路図である。 本発明の第1の実施形態に対する第6の変更例に係るインターフェースに含まれるESD保護回路の等価回路図である。
符号の説明
VDD1 第1の電源系に属する高電位線(第1の電源線)
GND1 第1の電源系に属する低電位線(第1のグランド線)
VDD2 第2の電源系に属する高電位線(第2の電源線)
GND2 第2の電源系に属する低電位線(第2のグランド線)
1000 第1の電源系に属する第1の内部回路
2000 第2の電源系に属する第2の内部回路
100 第1の電源系に属する第1のインターフェース
200 第2の電源系に属する第2のインターフェース
10 第1の静電保護素子
20 第2の静電保護素子
30 第3の静電保護素子
40 第4の静電保護素子
INV−A1 第1の電源系に属するインターフェース用論理回路
INV−An 第1の電源系に属するインターフェース用論理回路
INV−B1 第2の電源系に属するインターフェース用論理回路
INV−Bn 第2の電源系に属するインターフェース用論理回路
INV1 第1の電源系に属する第1の保護用論理回路
INV2 第2の電源系に属する第2の保護用論理回路
NAND1 第2の電源系に属する第2の保護用論理回路
NOR1 第2の電源系に属する第2の保護用論理回路
CAP1 第2の電源系に属する第2の保護用回路
INA1 入力
OUTA1 出力
INAn 入力
OUTAn 出力
INB1 入力
OUTB1 出力
INBn 入力
OUTBn 出力
IN1 入力
OUT1 出力
IN2 入力
OUT2 出力
S1 信号線
Sn 信号線
R1 抵抗
Rn 抵抗
RA 抵抗
RB 抵抗
Sur1 第1のサージ電流経路
Sur2 第2のサージ電流経路
Sur3 第3のサージ電流経路
Sur4 第4のサージ電流経路
Sur5 第5のサージ電流経路
TrpA1 pMOSトランジスタ
TrnA1 nMOSトランジスタ
TrpAn pMOSトランジスタ
TrnAn nMOSトランジスタ
Trp1 pMOSトランジスタ
Trn1 nMOSトランジスタ
TrpB1 pMOSトランジスタ
TrnB1 nMOSトランジスタ
TrpBn pMOSトランジスタ
TrnBn nMOSトランジスタ
Trp2 pMOSトランジスタ
Trn2 nMOSトランジスタ
Tr10 第1の静電保護トランジスタ
Tr20 第2の静電保護トランジスタ
Tr40 第4の静電保護トランジスタ
D1 第1のダイオード
D2 第2のダイオード
Tb1 第1のブレイクダウン達成時間
Tb2 第2のブレイクダウン達成時間
Tb3 第3のブレイクダウン達成時間
Tb4 第4のブレイクダウン達成時間
RC1 第1の時定数

Claims (30)

  1. 第1の電源系に属する第1の電源線と前記第1の電源系に属する第2の電源線との間にそれぞれ電気的に結合される、複数の第1のインターフェース回路と、
    前記第1の電源線に結合される第1のサージ電流経路と、前記第2の電源線に結合される第2のサージ電流経路とを有し、前記複数の第1のインターフェース回路の数より少ない数の第1の回路と、
    前記第1の電源系から独立した第2の電源系に属する第3の電源線と前記第2の電源系に属する第4の電源線との間にそれぞれ電気的に結合されると共に、前記複数の第1のインターフェース回路の対応するものにそれぞれ電気的に結合される、複数の第2のインターフェース回路と、
    前記第1の回路に結合される第3のサージ電流経路と、前記第3のサージ電流経路に結合される第1の抵抗と第1の容量とで与えられる第1の時定数と、を有し、前記複数の第2のインターフェース回路の数より少ない数の第2の回路と、
    を少なくとも含む半導体装置。
  2. 前記複数の第1のインターフェース回路と、前記複数の第2のインターフェース回路と、前記第1の回路と、前記第2の回路とは、第1の論理回路構成を有する請求項1に記載の半導体装置。
  3. 前記第1の論理回路構成は、CMOSインバータを含む請求項2に記載の半導体装置。
  4. 前記第2の回路に含まれるCMOSインバータを構成するトランジスタのゲート幅は、前記複数の第2のインターフェース回路の各々に含まれるCMOSインバータを構成するトランジスタのゲート幅より広い請求項3に記載の半導体装置。
  5. 前記第2の回路に含まれるnチャネルトランジスタのゲート幅と、前記複数の第2のインターフェース回路に含まれる複数のnチャネルトランジスタのゲート幅との合計は450μm以上であり、且つ、前記第2の回路に含まれるpチャネルトランジスタのゲート幅と、前記複数の第2のインターフェース回路に含まれる複数のpチャネルトランジスタのゲート幅の合計は450μm以上である請求項3又は4に記載の半導体装置。
  6. 前記第2の回路に含まれる前記トランジスタのゲート幅と、前記複数の第2のインターフェース回路に含まれる複数の前記トランジスタのゲート幅の合計との和が、予め定められた値となるよう、前記第2の回路に含まれる前記トランジスタのゲート幅が設定されている請求項4又は5に記載の半導体装置。
  7. 前記第1の回路に含まれるCMOSインバータを構成するトランジスタのゲート幅と、前記複数の第1のインターフェース回路の各々に含まれるCMOSインバータを構成するトランジスタのゲート幅とは、互いに等しい請求項3に記載の半導体装置。
  8. 前記第1の抵抗は、前記複数の第1のインターフェース回路と前記複数の第2のインターフェース回路との間にそれぞれ存在する複数の抵抗のいずれよりも小さい請求項1乃至7のいずれかに記載の半導体装置。
  9. 前記第1の容量は、トランジスタのゲート容量である請求項1乃至8のいずれかに記載の半導体装置。
  10. 前記第2の回路は、更に、前記第3の電源線に結合される第4のサージ電流経路と、前記第4の電源線に結合される第5のサージ電流経路とを有する請求項1乃至9のいずれかに記載の半導体装置。
  11. 前記第1の電源線と前記第3の電源線との間に結合されると共に、第1のブレークダウン達成時間を有する第1の保護回路と、
    前記第1の電源線と前記第4の電源線との間に結合されると共に、第2のブレークダウン達成時間を有する第2の保護回路と、
    前記第2の電源線と前記第4の電源線との間に結合されると共に、第3のブレークダウン達成時間を有する第3の保護回路と、
    前記第2の電源線と前記第3の電源線との間に結合されると共に、第4のブレークダウン達成時間を有する第4の保護回路と、
    を更に含み、
    前記第1の時定数は、前記第1のブレークダウン達成時間、前記第2のブレークダウン達成時間、前記第3のブレークダウン達成時間、及び前記第4のブレークダウン達成時間のいずれよりも長い請求項1乃至10のいずれかに記載の半導体装置。
  12. 前記第2の回路は、出力を有しない請求項1乃至11のいずれかに記載の半導体装置。
  13. 前記第2の回路は、前記第3のサージ電流経路に接続された入力とフローティングされた出力とを有する請求項1乃至11のいずれかに記載の半導体装置。
  14. 前記第1の回路の数及び前記第2の回路の数は、共に1である請求項1乃至13のいずれかに記載の半導体装置。
  15. 前記第1の容量は、キャパシタ素子の容量である請求項1に記載の半導体装置。
  16. 第1の電源系に属する第1の電源線と第2の電源線との間にそれぞれ電気的に結合される、複数の第1のインターフェース回路と、
    前記第1の電源線に結合される第1のサージ電流経路と、前記第2の電源線に結合される第2のサージ電流経路と、第3のサージ電流経路に電気的に接続される入力を有し且つ出力を有さない第1のダミー論理回路と、
    を少なくとも含む半導体装置。
  17. 前記第1のダミー論理回路は、少なくとも1つのトランジスタを有し、前記トランジスタのゲート幅は、前記複数の第1のインターフェース回路の各々に含まれるトランジスタのゲート幅より広い請求項16に記載の半導体装置。
  18. 第1の電源系に属する第1の電源線と第2の電源線との間にそれぞれ電気的に結合される、複数の第1のインターフェース回路と、
    前記第1の電源線に結合される第1のサージ電流経路と、前記第2の電源線に結合される第2のサージ電流経路と、第3のサージ電流経路に電気的に接続される入力とフローティングされた出力とを有する第1のダミー論理回路と、
    を少なくとも含む半導体装置。
  19. 前記第1の論理回路は、少なくとも1つのトランジスタを有し、前記トランジスタのゲート幅は、前記複数の第1のインターフェース回路の各々に含まれるトランジスタのゲート幅より広い請求項18に記載の半導体装置。
  20. 第1の電源系に属する第1の電源線と前記第1の電源系に属する第2の電源線との間にそれぞれ電気的に結合される、複数の第1のインターフェース回路と、
    前記第1の電源線に結合される第1のサージ電流経路と、前記第2の電源線に結合される第2のサージ電流経路とを有し、前記複数の第1のインターフェース回路の数より少ない数の第1の回路と、
    前記第1の電源系から独立した第2の電源系に属する第3の電源線と前記第2の電源系に属する第4の電源線との間にそれぞれ電気的に結合されると共に、前記複数の第1のインターフェース回路の対応するものにそれぞれ電気的に結合される、複数の第2のインターフェース回路と、
    前記第3の電源線に結合される第3のサージ電流経路と、前記第4の電源線に結合される第4のサージ電流経路と、前記第1の回路に結合される第5のサージ電流経路と、前記第5のサージ電流経路に結合される入力とを有し、更に出力を有しない、前記複数の第2のインターフェース回路の数より少ない数の第2の回路と、
    を少なくとも含む半導体装置。
  21. 前記第2の回路は、少なくとも1つのトランジスタを有し、前記トランジスタのゲート幅は、前記複数の第2のインターフェース回路の各々に含まれるトランジスタのゲート幅より広い請求項20に記載の半導体装置。
  22. 前記第2の回路は、前記第5のサージ電流経路に結合される第1の抵抗と第1の容量とで与えられる第1の時定数を更に有する請求項20又は21に記載の半導体装置。
  23. 前記第1の電源線と前記第3の電源線との間に結合されると共に、第1のブレークダウン達成時間を有する第1の保護回路と、
    前記第1の電源線と前記第4の電源線との間に結合されると共に、第2のブレークダウン達成時間を有する第2の保護回路と、
    前記第2の電源線と前記第4の電源線との間に結合されると共に、第3のブレークダウン達成時間を有する第3の保護回路と、
    前記第2の電源線と前記第3の電源線との間に結合されると共に、第4のブレークダウン達成時間を有する第4の保護回路と、
    を更に含み、
    前記第1の時定数は、前記第1のブレークダウン達成時間、前記第2のブレークダウン達成時間、前記第3のブレークダウン達成時間、及び前記第4のブレークダウン達成時間のいずれよりも長い請求項22に記載の半導体装置。
  24. 第1の電源系に属する第1の電源線と前記第1の電源系に属する第2の電源線との間にそれぞれ電気的に結合される、複数の第1のインターフェース回路と、
    前記第1の電源線に結合される第1のサージ電流経路と、前記第2の電源線に結合される第2のサージ電流経路とを有し、前記複数の第1のインターフェース回路の数より少ない数の第1の回路と、
    前記第1の電源系から独立した第2の電源系に属する第3の電源線と第4の電源線との間にそれぞれ電気的に結合されると共に、前記複数の第1のインターフェース回路の対応するものにそれぞれ電気的に結合される、複数の第2のインターフェース回路と、
    前記第3の電源線に結合される第3のサージ電流経路と、前記第4の電源線に結合される第4のサージ電流経路と、前記第1の回路に結合される第5のサージ電流経路と、前記第5のサージ電流経路に結合される入力と、フローティングされた出力とを有する、前記複数の第2のインターフェース回路の数より少ない数の第2の回路と、
    を少なくとも含む半導体装置。
  25. 前記第2の回路は、少なくとも1つのトランジスタを有し、前記トランジスタのゲート幅は、前記複数の第2のインターフェース回路の各々に含まれるトランジスタのゲート幅より広い請求項24に記載の半導体装置。
  26. 前記第2の回路は、前記第5のサージ電流経路に結合される第1の抵抗と第1の容量とで与えられる第1の時定数を更に有する請求項24又は25に記載の半導体装置。
  27. 前記第1の電源線と前記第3の電源線との間に結合されると共に、第1のブレークダウン達成時間を有する第1の保護回路と、
    前記第1の電源線と前記第4の電源線との間に結合されると共に、第2のブレークダウン達成時間を有する第2の保護回路と、
    前記第2の電源線と前記第4の電源線との間に結合されると共に、第3のブレークダウン達成時間を有する第3の保護回路と、
    前記第2の電源線と前記第3の電源線との間に結合されると共に、第4のブレークダウン達成時間を有する第4の保護回路と、
    を更に含み、
    前記第1の時定数は、前記第1のブレークダウン達成時間、前記第2のブレークダウン達成時間、前記第3のブレークダウン達成時間、及び前記第4のブレークダウン達成時間のいずれよりも長い請求項26に記載の半導体装置。
  28. 第1の電源系に属する第1の電源線と前記第1の電源系に属する第2の電源線との間にそれぞれ電気的に結合される、複数の第1のインターフェース回路と、
    前記第1の電源線に結合される第1のサージ電流経路と、前記第2の電源線に結合される第2のサージ電流経路とを有し、前記複数の第1のインターフェース回路の数より少ない数の第1の回路と、
    前記第1の電源系から独立した第2の電源系に属する第3の電源線と第4の電源線との間にそれぞれ電気的に結合されると共に、前記複数の第1のインターフェース回路にそれぞれ電気的に結合される、複数の第2のインターフェース回路と、
    前記第1の電源線と前記第3の電源線との間に結合されると共に、第1のブレークダウン達成時間を有する第1の保護回路と、
    前記第1の電源線と前記第4の電源線との間に結合されると共に、第2のブレークダウン達成時間を有する第2の保護回路と、
    前記第2の電源線と前記第4の電源線との間に結合されると共に、第3のブレークダウン達成時間を有する第3の保護回路と、
    前記第2の電源線と前記第3の電源線との間に結合されると共に、第4のブレークダウン達成時間を有する第4の保護回路と、
    前記第3の電源線に結合される第3のサージ電流経路と、前記第4の電源線に結合される第4のサージ電流経路と、前記第1の回路に結合される第5のサージ電流経路と、前記第5のサージ電流経路に結合される第1の抵抗と第1の容量とで与えられる第1の時定数であって且つ前記第1のブレークダウン達成時間、前記第2のブレークダウン達成時間、前記第3のブレークダウン達成時間、及び前記第4のブレークダウン達成時間のいずれよりも長い第1の時定数とを有すると共に、前記複数の第2のインターフェース回路の数より少ない数の第2の回路と、
    を少なくとも含む半導体装置。
  29. 前記第2の回路に含まれるトランジスタのゲート幅は、前記複数の第2のインターフェース回路の各々に含まれるトランジスタのゲート幅より広い請求項28に記載の半導体装置。
  30. 前記第2の回路は、前記第5のサージ電流経路に結合される入力を有し、更に、出力を有さない請求項29に記載の半導体装置。
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