JP3440972B2 - サージ保護回路 - Google Patents

サージ保護回路

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JP3440972B2
JP3440972B2 JP13424696A JP13424696A JP3440972B2 JP 3440972 B2 JP3440972 B2 JP 3440972B2 JP 13424696 A JP13424696 A JP 13424696A JP 13424696 A JP13424696 A JP 13424696A JP 3440972 B2 JP3440972 B2 JP 3440972B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、過電流から半導体
集積回路を保護するサージ保護回路に関し、特に高電圧
高電位の電源電圧と低電圧高電位の電源電圧を使用する
半導体集積回路において、高電圧高電位の電源電圧と同
程度のハイレベルの電位をもつ信号を入力あるいは出力
する半導体集積回路を保護するサージ保護回路に関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来より、チップ搬送時やワイヤボンデ
ィング時などにおいて、半導体集積回路を静電気等より
保護するものとして、図7に示すような構成のサージ保
護回路が知られている。
【0003】このサージ保護回路20は、“A NEW ESD
PROTECTION CONCEPT FOR VLSI CMOS CIRCUITS AVOIDIN
G CIRCUIT STRESS”X.Guggenmos,R.Holzner,1991 EOS/E
SD SYMPOSIUM PROCEEDINGS,Figure 9 によるものであ
り、図示の例は、サージ保護回路20を、入力回路11
および内部回路12のESD(electrostatic discharg
e )保護素子として、パッド1と電源VDDの端子との
間に設けた場合について示している。
【0004】また、図7に示す半導体集積回路S4は、
パッド1、入力回路11、内部回路12、およびサージ
保護回路20によって構成され、高電位電源として、低
電圧高電位電源VDD(電圧値;Vdd)および高電圧
高電位電源VDDO(電圧値;Vddo)の2つの電源
で動作するものである。なお、電源VDDOは、図示し
ない出力回路で主に用いられるものであり、図7では示
していない。
【0005】サージ保護回路20は、パッド1と入力回
路11の入力を結ぶ配線と、電源VDDとの間に接続さ
れており、P型MOSトランジスタ(以下、PMOST
rという)4によって構成されている。
【0006】そして、PMOSTr4のドレインは、パ
ッド1と入力回路11とを結ぶ配線に接続され、PMO
STr4のソースは、電源VDDに接続されている。ま
た、PMOSTr4のゲートは、電源VDDに接続さ
れ、バックゲートも電源VDDに接続されている。
【0007】また、図7に示す各回路を構成するトラン
ジスタは、電源VDDの電圧値Vddを定格電源電圧と
して使用することを前提として信頼性が保証されてい
る。
【0008】次に、このような従来の回路S4における
動作について説明する。
【0009】まず、PMOSTrのゲートの電圧値をV
ddとしたオフ状態のソース・ドレインブレークダウン
耐圧をVbdsとすると、サージ保護回路20のブレー
クダウン耐圧はVbdsである。なお、詳しくは、ブレ
ークダウン耐圧は、スナップバック電圧とソース・ドレ
イン間電圧のいずれかで定義されるが、ここでは簡単の
ためVbdsと考える。
【0010】そして、図7の半導体集積回路S4を電源
に接続した通常の動作状態では、パッド1に正規に入力
する信号は、Vdbs未満の電圧をもつ信号であれば、
サージ保護回路20はブレークダウンせずに、入力回路
11では、外部の信号がそのまま入力される。
【0011】一方、チップ搬送時やワイヤボンディング
時などのように、電源VDD、VDDOの端子に電源電
圧が印加されず、フローティングになった状態であるた
め、サージ保護回路20により、静電気等によるサージ
から入力回路11と内部回路12を保護することが必要
となる。
【0012】すなわち、この状態で、パッド1にサージ
が入ると、その極性に応じてPMOSTr4がオンまた
はブレークダウンすることから、サージによる過電流
は、接地状態にある電源VDDの端子とパッド1との間
を流れることになる。
【0013】したがって、入力回路11には、電源VD
Dと入力端子間にVbds以上の電圧がかからず、入力
回路11を構成する素子のソース・ドレイン間ブレーク
ダウンやゲート破壊を防ぐことができる。
【0014】このようにして、サージ保護回路20は、
入力回路11を構成するトランジスタの破壊を防止する
保護回路として動作する。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のサージ保護回路20では、通常の動作状態におい
て、パッド1に正規に入力する信号のハイレベルが電源
電圧Vdd+Vthp(VthpはPMOSTrの閾値
電圧)より高い電位である場合に、使用できないという
問題がある。
【0016】すなわち、パッド1に電源電圧Vdd+V
thpより高い電位の信号が入力すると、PMOSTr
4のゲートが電源VDDに接続されているため、ドレイ
ン電位に対するゲート電位が閾値よりも大きく低下し、
PMOSTr4はオン状態となる。このため、入力回路
11の入力端子と電源VDDとが短絡状態となり、過大
電流が流れることとなる。
【0017】したがって、ハイレベル信号の入力によ
り、定常的に消費電流が増大するばかりでなく、最悪の
場合、過大電流で保護回路20が破壊し、接続された内
部回路12内の回路も破壊してしまうという問題があっ
た。
【0018】なお、異常な入力回路用のサージ保護回路
について説明したが、出力回路用のサージ保護回路につ
いても同様の原理で同様の問題があった。
【0019】本発明は、サージ保護回路を構成する全て
のトランジスタの耐圧条件を維持しつつ、電源電圧Vd
d+Vthpより高い電位の信号を入力または出力する
ことが可能なサージ保護回路を提供することを目的とす
る。
【0020】
【課題を解決するための手段】本発明は、高電位電源と
して、高電圧高電位電源および低電圧高電位電源の2つ
の電源で動作する半導体集積回路の入力端子に接続され
るサージ保護回路において、第1のPチャネルトランジ
スタと第2のPチャネルトランジスタとを有し、前記第
1のPチャネルトランジスタのドレインを前記入力端子
に接続し、ゲートを前記低電圧高電位電源に接続し、ま
た、ソースを第2のPチャネルトランジスタのドレイン
に接続し、前記第2のPチャネルトランジスタのソース
を前記低電圧高電位電源に接続し、また、ゲートを前記
高電圧高電位電源に接続したことを特徴とする。
【0021】また、本発明は、高電位電源として、高電
圧高電位電源および低電圧高電位電源の2つの電源で動
作する半導体集積回路の出力端子に接続されるサージ保
護回路において、第1のPチャネルトランジスタと第2
のPチャネルトランジスタとを有し、前記第1のPチャ
ネルトランジスタのドレインを前記出力端子に接続し、
ゲートを前記低電圧高電位電源に接続し、また、ソース
を第2のPチャネルトランジスタのドレインに接続し、
前記第2のPチャネルトランジスタのソースおよびゲー
トを前記高電圧高電位電源に接続したことを特徴とす
る。
【0022】
【発明の実施の形態および実施例】図1は、本発明の第
1実施例によるサージ保護回路10を設けた半導体集積
回路S1の構成を示すブロック図である。
【0023】なお、この第1実施例の半導体集積回路S
1は、上記従来例(図7)と同様に、高電圧高電位の電
源VDDOと低電圧高電位の電源VDDとを使用する半
導体集積回路であり、サージ保護回路10は、入力回路
11の入力信号用に設けられているものである。また、
パッド1、入力回路11および内部回路12は、上記従
来例(図7)と共通である。
【0024】また、高電圧高電位の電源VDDOは低電
圧高電位の電源VDDのm倍(具体的には、例えば、V
dd=2V、Vddo=3.3Vとし、m=1.65で
ある)の電位を持つものとする。そして、サージ保護回
路10は、パッド1と入力回路11の入力端子を結ぶ配
線と電源VDDとの間に接続されている。
【0025】サージ保護回路10は、第2のPチャネル
トランジスタとしてのPMOSTr2と第1のPチャネ
ルトランジスタとしてのPMOSTr3とから構成され
ている。そして、PMOSTr3のドレインは、パッド
1と入力回路11とを結ぶ配線に接続され、PMOST
r3のソースは、PMOSTr2のドレインに接続さ
れ、PMOSTr2のソースは、電源VDDに接続され
ている。
【0026】また、PMOSTr3のゲートは、電源V
DDに接続され、PMOSTr2のゲート、バックゲー
トおよびPMOSTr3のバックゲートは、電源VDD
Oに接続されている。ただし、フルディプリート型のC
MOS/SIMOX等のデバイスを使用する場合は、バ
ックゲートは特に接続しない。
【0027】また、図1に示す各回路を構成するトラン
ジスタは、電源VDDの電圧値Vddを定格電源電圧と
して使用することを前提として信頼性が保証されてい
る。
【0028】次に、以上のようなサージ保護回路10に
おける動作について説明する。
【0029】まず、チップ搬送時やワイヤボンディング
時など、半導体集積回路S1の入力回路11と内部回路
12をサージ保護回路10によってサージから保護する
状態について説明する。
【0030】この状態で、電源VDD、VDDOの端子
には電源電圧は印加されておらず、フローティングにな
っている。厳密には、電源VDD、VDDOの端子は、
内部回路12のトランジスタのオフ状態の抵抗を介して
GNDと接続されている。したがって、PMOSTr
2、PMOSTr3のゲートもGND電位となる。
【0031】この状態で、パッド1に負のサージ電位が
かかった場合、PMOSTr3のドレインには負の電位
が印加される。
【0032】ここで、PMOSTrのゲート、ソースを
接地し、ドレインにマイナス電位が印加されるようなオ
フ状態のソース・ドレインブレークダウン耐圧をVbd
sとすると、ゲートがGND電位のPMOSTr3のソ
ース・ドレインブレークダウン耐圧もVbdsである。
【0033】したがって、サージ保護回路10のブレー
クダウン耐圧は、PMOSTr2、PMOSTr3の縦
列接続により、図2に示すように、n・Vbds(nは
およそ2.0であり、|n・Vbds|>Vdd)であ
る。
【0034】ここで、パッド1に負のサージ電位(>n
・Vbds)が印加されると、PMOSTr2とPMO
STr3は、ともにブレークダウンし、過電流を電源V
DDの端子から流して入力回路11の接続ノードの電位
(PMOSTr3のドレイン電位)の下降を抑える。こ
のことにより、上述した従来例と同様に、入力回路11
への過電圧の印加と過電流の流入を防止し、入力回路1
1を構成するトランジスタの破壊を防止する。
【0035】次に、パッド1に正のサージ電位が印加さ
れた場合、ゲートがGND電位であるPMOSTr2、
PMOSTr3はオン状態となり、過電流を電源VDD
の端子に流して入力回路11の接続ノードの電位(PM
OSTr3のドレイン電位)の上昇を抑える。このこと
により、従来例と同様に入力回路11への、過電圧の印
加と過電流の流入を防止し、入力回路11を構成するト
ランジスタの破壊を防止する。
【0036】次に、半導体集積回路S1を動作させてい
る状態について説明する。
【0037】まず、サージ保護回路10の各トランジス
タには、定格電源電圧であるVdd以下の電圧しか印加
されないことを図3を用いて説明する。
【0038】半導体集積回路S1を動作させる状態で
は、電源VDDの端子には電源電圧Vdd(2.0V)
が、電源VDDOの端子には電源電圧Vddo(3.3
V)が各々印加される。したがって、PMOSTr3の
ゲート電位は電源電圧Vddとなり、PMOSTr2の
ゲート電位は電源電圧Vddoとなる。
【0039】(1)パッド1の入力電位がVdd+Vt
hp(VthpはPMOSTrの閾値電圧)以下の場合 パッド1の電位が0VからVdd+Vthpまでは、P
MOSTr3はオフ状態となり、PMOSTr3のソー
ス電位は、ゲート電位と等しい電位Vddとなる。すな
わち、PMOSTr2、PMOSTr3のソース・ドレ
イン間電圧Vds、ゲート・ソース間電圧Vgs、ゲー
ト・ドレイン間電圧Vgdは、以下のようになる。
【0040】PMOSTr2:Vds=Vin−Vdd
(≦Vdd)、Vgs=Vddo−Vdd(≦Vd
d)、Vgd=Vddo−Vdd(≦Vdd) PMOSTr3:Vds=Vin−Vdd(≦Vd
d)、Vgs=0V(≦Vdd)、Vgd=Vdd−V
in(≦Vdd) ここで、Vddo=mVdd(m=1.65)である。
【0041】そして、PMOSTr3がVdd以上のソ
ース・ドレインブレークダウン耐圧を持つことから、サ
ージ保護回路10はブレークダウンしない。
【0042】(2)パッド1の入力電位VinがVdd
+Vthpより大きい場合 パッド1の電位VinがVthpを越えると、PMOS
Tr3はオン状態となり、PMOSTr3のソース電位
はパッド1の電位Vinに等しくなる。この時、PMO
STr3のソース・ドレイン間電圧Vdsは0V、ゲー
ト・ソース間電圧VgsはVdd−Vinであり、とも
にVdd以下である。また、PMOSTr2もパッド1
の電位Vinが2Vddまではソース・ドレイン間電圧
Vds、ゲート・ドレイン間電圧VgdはVdd以下と
なる。
【0043】すなわち、PMOSTr2、PMOSTr
3のソース・ドレイン間電圧Vds、ゲート・ソース間
電圧Vgs、ゲート・ドレイン間電圧Vgdは、以下の
ようになる。
【0044】PMOSTr2:Vds=Vin−Vdd
(≦Vdd)、Vgs=Vddo−Vdd(≦Vd
d)、Vgd=Vddo−Vin(≦Vdd) PMOSTr3:Vds=0V(≦Vdd)、Vgs=
Vdd−Vin(≦Vdd)、Vgd=Vdd−Vin
(≦Vdd) ここで、Vddo=mVdd(m=1.65)である。
【0045】したがって、入力電圧が、内部電源電位で
あるVddより大きいVin=2Vddの電圧まで、素
子に印加される電圧は、素子耐圧であるVdd以下に抑
えられる。しかし、PMOSTr2のVgdがVddo
−Vinであることから、入力電位VinがVddo+
Vthpを越えると、PMOSTr2が導通状態とな
る。
【0046】したがって、本実施例のサージ保護回路1
0が適用できる入力信号の電位の上限は、電源電圧Vd
dより高い、Vddo+Vthp(Vddo=m・Vd
d、m=1.65程度)である。
【0047】なお、以上の説明は、入力端子と電源VD
Dの端子との間にサージ電圧がかかった場合であるが、
VDDとVDDOの2電源を使用する場合、サージ電圧
は入力端子と電源VDDOの端子にかかることがあり得
る。この場合、特願平7−298737号の「半導体集
積回路装置」に示されるような、電源VDDと電源VD
DOの端子間に電源線間MOSダイオードを挿入するこ
とにより、入力端子から電源VDDの端子へのパスを使
用して過電流を流すことで、電源VDDOの端子にかか
った電圧を低減することが可能となる。よって、サージ
電圧が入力端子と電源VDDOの端子に印加される場合
でも、保護回路10は破壊せずに機能することが可能で
ある。
【0048】図4は、本発明の第2実施例によるサージ
保護回路を設けた半導体集積回路の構成を示すブロック
図である。
【0049】なお、この第2実施例の半導体集積回路S
2は、上記第1実施例(図1)と同様に、高電圧高電位
の電源VDDOと低電圧高電位の電源VDDを使用する
半導体集積回路であり、サージ保護回路10’は、出力
回路11’の出力信号用に設けられているものである。
【0050】また、パッド1’と内部回路12は、上記
第1実施例(図1)と共通である。さらに、高電圧高電
位の電源VDDOは低電圧高電位の電源VDDのm倍
(具体的には、例えば、Vdd=2V、Vddo=3.
3Vとし、m=1.65である)の電位を持つものとす
る。そして、サージ保護回路10’は、パッド1’と出
力回路11’の出力端子を結ぶ配線と電源VDDOとの
間に接続されている。
【0051】サージ保護回路10’は、第2のPチャネ
ルトランジスタとしてのPMOSTr2’と第1のPチ
ャネルトランジスタとしてのPMOSTr3’とから構
成されている。そして、PMOSTr3’のドレイン
は、パッド1’と出力回路11’とを結ぶ配線に接続さ
れ、PMOSTr3’のソースは、PMOSTr2’の
ドレインに接続され、PMOSTr2’のソースは、電
源VDDOに接続されている。
【0052】また、PMOSTr3’のゲートは、電源
VDDに接続され、PMOSTr2’のゲート、バック
ゲートおよびPMOSTr3’のバックゲートは、電源
VDDOに接続されている。ただし、フルディプリート
型のCMOS/SIMOX等のデバイスを使用する場合
は、バックゲートは特に接続しない。
【0053】また、図4に示す各回路を構成するトラン
ジスタは、電源VDDの電圧値Vddを定格電源電圧と
して使用することを前提として信頼性が保証されてい
る。
【0054】次に、以上のようなサージ保護回路10’
における動作について説明する。
【0055】まず、チップ搬送時やワイヤボンディング
時など、半導体集積回路S2の出力回路11’と内部回
路12をサージ保護回路10’によってサージから保護
する状態について説明する。
【0056】この状態で、電源VDD、VDDOの端子
には電源電圧は印加されておらず、フローティングにな
っている。厳密には、電源VDD、VDDOの端子は、
内部回路12のトランジスタのオフ状態の抵抗を介して
GNDと接続されている。したがって、PMOSTr
2’、およびPMOSTr3’のゲートもGND電位と
なる。
【0057】この状態で、パッド1’に負のサージ電位
がかかった場合、PMOSTr3’のドレインには負の
電位が印加される。
【0058】ここで、PMOSTrのゲート、ソースを
接地し、ドレインにマイナス電位が印加されるようなオ
フ状態のソース・ドレインブレークダウン耐圧をVbd
sとすると、ゲートがGND電位のPMOSTr3’の
ソース・ドレインブレークダウン耐圧もVbdsであ
る。
【0059】したがって、サージ保護回路10’のブレ
ークダウン耐圧は、PMOSTr2’、PMOSTr
3’の縦列接続により、図2に示すように、n・Vbd
s(nはおよそ2.0であり、|n・Vbds|>Vd
d)である。
【0060】ここで、パッド1’に負のサージ電位(>
n・Vbds)が印加されると、PMOSTr2’とP
MOSTr3’はともにブレークダウンし、過電流を電
源VDDの端子から流して出力回路11’の接続ノード
の電位(PMOSTr3’のドレイン電位)の下降を抑
える。このことにより、上述した従来例と同様に、出力
回路11’への過電圧の印加と過電流の流入を防止し、
出力回路11’を構成するトランジスタの破壊を防止す
る。
【0061】次に、パッド1’に正のサージ電位が印加
された場合、ゲートがGND電位であるPMOSTr
2’、PMOSTr3’はオン状態となり、過電流を電
源VDDの端子に流して出力回路11’の接続ノードの
電位(PMOSTr3’のドレイン電位)の上昇を抑え
る。このことにより、従来例と同様に、出力回路11’
への、過電圧の印加と過電流の流入を防止し、出力回路
11’を構成するトランジスタの破壊を防止する。
【0062】次に、半導体集積回路S2を動作させてい
る状態について説明する。
【0063】まず、サージ保護回路10’の各トランジ
スタには、定格電源電圧であるVdd以下の電圧しか印
加されないことを説明する。
【0064】半導体集積回路S2を動作させる状態で
は、電源VDDの端子には電源電圧Vdd(2.0V)
が、電源VDDOの端子には電源電圧Vddo(3.3
V)が各々印加される。したがって、PMOSTr3’
のゲート電位は電源電圧Vddとなり、PMOSTr
2’のゲート電位は電源電圧Vddoとなる。
【0065】(1)パッド1’の出力電位がVdd+V
thp(VthpはPMOSTrの閾値電圧)以下の場
合 パッド1’の電位が0VからVdd+Vthpまでは、
PMOSTr3’はオフ状態となり、PMOSTr3’
のソース電位は、ゲート電位と等しい電位Vddとな
る。すなわち、PMOSTr2’、PMOSTr3’の
ソース・ドレイン間電圧Vds、ゲート・ソース間電圧
Vgs、ゲート・ドレイン間電圧Vgdは、以下のよう
になる。
【0066】PMOSTr2’:Vds=Vddo−V
dd(≦Vdd)、Vgs=0(≦Vdd)、Vgd=
Vddo−Vdd(≦Vdd) PMOSTr3’:Vds=Vin−Vdd(≦Vd
d)、Vgs=0V(≦Vdd)、Vgd=Vdd−V
in(≦Vdd) ここで、Vddo=mVdd(m=1.65)である。
【0067】そして、PMOSTr3’がVdd以上の
ソース・ドレインブレークダウン耐圧を持つことから、
サージ保護回路10’はブレークダウンしない。
【0068】(2)パッド1’の出力電位VinがVd
d+Vthpより大きい場合 パッド1’の電位VinがVthpを越えると、PMO
STr3’はオン状態となり、PMOSTr3’のソー
ス電位はパッド1’の電位Vinに等しくなる。この
時、PMOSTr3’のソース・ドレイン間電圧Vds
は0V、ゲート・ソース間電圧VgsはVdd−Vin
であり、ともにVdd以下である。また、PMOSTr
2’もパッド1’の電位VinがVddo+Vthpま
ではオフ常態であり、サージ保護回路10’はブレーク
ダウンしない。そして、そのVinの範囲では、PMO
STr2’もソース・ドレイン間電圧Vds、ゲート・
ドレイン間電圧VgdはVdd以下となる。
【0069】すなわち、PMOSTr2’、PMOST
r3’のソース・ドレイン間電圧Vds、ゲート・ソー
ス間電圧Vgs、ゲート・ドレイン間電圧Vgdは、以
下のようになる。
【0070】PMOSTr2’:Vds=Vddo−V
in(≦Vdd)、Vgs=0(≦Vdd)、Vgd=
Vddo−Vin(≦Vdd) PMOSTr3’:Vds=0V(≦Vdd)、Vgs
=Vdd−Vin(≦Vdd)、Vgd=Vdd−Vi
n(≦Vdd) ここで、Vddo=mVdd(m=1.65)である。
【0071】したがって、出力電圧が、内部電源電位で
あるVddより大きいVin=2Vddの電圧まで、素
子に印加される電圧は、素子耐圧であるVdd以下に抑
えられる。しかし、PMOSTr2’のVgdがVdd
o−Vinであることから、出力電位VinがVddo
+Vthpを越えると、PMOSTr2’が導通状態と
なる。
【0072】したがって、本実施例のサージ保護回路1
0’が適用できる出力信号の電位の上限は、電源電圧V
ddより高い、Vddo+Vthp(Vddo=m・V
dd、m=1.65程度)である。
【0073】なお、以上の説明は、出力端子と電源VD
DOの端子との間にサージ電圧がかかった場合である
が、VDDとVDDOの2電源を使用する場合、サージ
電圧は出力端子と電源VDDの端子にかかることがあり
得る。この場合、特願平7−298737号の「半導体
集積回路装置」に示されるような、電源VDDとVDD
Oの端子間に電源線間MOSダイオードを挿入すること
により、出力端子から電源VDDの端子へのパスを使用
して過電流を流すことで、電源VDDの端子にかかった
電圧を低減することが可能となる。これによって、サー
ジ電圧が出力端子と電源VDDOの端子に印加される場
合でも、保護回路10’は破壊せずに機能することが可
能である。
【0074】図5は、本発明の第3実施例によるサージ
保護回路を設けた半導体集積回路S3の構成を示すブロ
ック図である。
【0075】この第3実施例の半導体集積回路S3は、
上記第1実施例(図1)と同様に、高電圧高電位の電源
VDDOと低電圧高電位の電源VDDとを使用するもの
であり、この第3実施例のサージ保護回路は、入力回路
および出力回路について、パッドと電源VDD、パッド
とグランドGND間、パッドと電源VDDO間、パッド
とグランドGNDO間を保護するものである。
【0076】図5において、パッド1は、入力回路11
の保護用の抵抗60を介して入力回路11の入力端子に
接続され、パッド1’は、出力回路11’の出力端子に
接続されている。
【0077】また、サージ保護回路10は、入力側に適
用した保護回路であり、サージ保護回路10’は、出力
側に適用した保護回路である。また、サージ保護回路3
0は、パッド1とグランドGNDとの間で入力回路11
を保護する保護回路であり、サージ保護回路31は、パ
ッド1’とグランドGNDOとの間で出力回路11’を
保護する保護回路である。
【0078】さらに、この実施例の半導体集積回路S3
は、擬似ウエルダイオード40〜44、電源線間ダイオ
ード45〜47とを有する。
【0079】また、この第3実施例においても、高電圧
高電位の電源VDDOは低電圧高電位の電源VDDのm
倍(具体的には、例えば、Vdd=2V、Vddo=
3.3Vとし、m=1.65である)の電位を持つもの
とする。
【0080】そして、サージ保護回路10は、パッド1
と入力回路11の入力端子を結ぶ配線と電源VDDとの
間に接続されており、サージ保護回路10’は、パッド
1’と出力回路11’の出力端子を結ぶ配線と電源VD
DOとの間に接続されている。また、サージ保護回路3
0は、パッド1と入力回路11の入力端子を結ぶ配線と
グランドGNDとの間に接続されており、サージ保護回
路31は、パッド1’と出力回路11’の出力端子を結
ぶ配線とグランドGNDOとの間に接続されている。
【0081】また、各サージ保護回路10、10’、3
0、31の各トランジスタは、フルディプリート型のC
MOS/SIMOX等のデバイスを使用し、バックゲー
トは特に接続しない。また、図5に示す各回路を構成す
るトランジスタは、電源VDDの電圧値Vddを定格電
源電圧として使用することを前提として信頼性が保証さ
れている。
【0082】サージ保護回路10は、第2のPチャネル
トランジスタとしてのPMOSTr2と第1のPチャネ
ルトランジスタとしてのPMOSTr3とから構成され
ている。そして、PMOSTr3のドレインは、パッド
1と入力回路11とを結ぶ配線に接続され、PMOST
r3のソースは、PMOSTr2のドレインに接続さ
れ、PMOSTr2のソースは、電源VDDに接続され
ている。また、PMOSTr3のゲートは、電源VDD
に接続され、PMOSTr2のゲートは、電源VDDO
に接続されている。
【0083】サージ保護回路10’は、第2のPチャネ
ルトランジスタとしてのPMOSTr2’と第1のPチ
ャネルトランジスタとしてのPMOSTr3’とから構
成されている。そして、PMOSTr3’のドレイン
は、パッド1’と出力回路11’とを結ぶ配線に接続さ
れ、PMOSTr3’のソースは、PMOSTr2’の
ドレインに接続され、PMOSTr2’のソースは、電
源VDDOに接続されている。また、PMOSTr3’
のゲートは、電源VDDに接続され、PMOSTr2’
のゲートは、電源VDDOに接続されている。
【0084】また、サージ保護回路10、10’の動作
は、上記第1実施例のサージ保護回路10の動作と同様
であり、サージ保護回路10’の動作は、上記第2実施
例のサージ保護回路10’の動作と同様であるので説明
は省略する。
【0085】次に、サージ保護回路30、31は、特願
平7−160033号および特願平7−298737号
に示されるものである。
【0086】そして、サージ保護回路30は、N型MO
Sトランジスタ(以下、NMOSTrという)7とNM
OSTr8とから構成されている。そして、NMOST
r7のドレインは、パッド1と入力回路11の抵抗60
とを結ぶ配線に接続され、NMOSTr7のソースは、
NMOSTr8のドレインに接続され、NMOSTr8
のソースは、グランドGNDに接続されている。また、
NMOSTr7のゲートは、電源VDDに接続され、N
MOSTr8のゲートは、グランドGNDに接続されて
いる。
【0087】このサージ保護回路30では、チップ搬送
時やワイヤボンディング時など、電源VDD、VDDO
の端子がフローティングになっており、半導体集積回路
S3をサージ保護回路30によってサージから保護する
状態では、パッド1にサージが印加されると、NMOS
Tr7、8がともにブレークダウンし、過電流をグラン
ドGNDに流して入力回路11の接続ノードの電位(N
MOSTr7のドレイン電位)の上昇を抑える。これに
より、入力回路11を構成するトランジスタの破壊を防
止する。
【0088】また、半導体集積回路S3を動作させる状
態では、NMOSTr7のゲート電位はVddとなる。
ここで、パッド1の入力電位が0VからVdd−Vth
n(VthnはNMOSTrの閾値電圧)までは、NM
OSTr7はオン状態となり、NMOSTr7のソース
電位はドレイン電位と等しい電位となる。よって、NM
OSTr8がVdd以上のソース・ドレインブレークダ
ウン耐圧を持つことから、サージ保護回路30はブレー
クダウンしない。
【0089】一方、パッド1の入力電位がVdd−Vt
hnを超えると、NMOSTr7のソース電位はVdd
−Vthnに固定される。このとき、NMOSTr8の
ソース・ドレイン間電圧、ゲート・ソース間電圧はVd
d−Vthnであり、Vddより低い。また、NMOS
Tr7のソース電位がVdd−Vthnに上昇したこと
で、NMOSTr7もパッド1の電位が2Vdd−Vt
hnになるまでは、ソース・ドレイン間電圧はVdd以
下になり、ゲート・ソース間電圧はVdd−Vthnに
なる。
【0090】したがって、パッド1の入力電位が2Vd
d−Vthnになるまでは、NMOSTr7、NMOS
Tr8には、定格電圧Vdd以下の電圧しか印加されな
いことになり、正規のハイレベル信号による導通状態も
回避できる。
【0091】また、サージ保護回路31は、NMOST
r7’とNMOSTr8’とから構成されている。そし
て、NMOSTr7’のドレインは、パッド1’と出力
回路11’とを結ぶ配線に接続され、NMOSTr7’
のソースは、NMOSTr8’のドレインに接続され、
NMOSTr8’のソースは、グランドGNDOに接続
されている。また、NMOSTr7’のゲートは、電源
VDDに接続され、NMOSTr8’のゲートは、グラ
ンドGNDOに接続されている。
【0092】このサージ保護回路31では、チップ搬送
時やワイヤボンディング時など、電源VDD、VDDO
の端子がフローティングになっており、半導体集積回路
S3をサージ保護回路31によってサージから保護する
状態では、パッド1’にサージが印加されると、NMO
STr7’、8’がともにブレークダウンし、過電流を
グランドGNDOに流して出力回路11’の接続ノード
の電位(NMOSTr7’のドレイン電位)の上昇を抑
える。これにより、出力回路11’を構成するトランジ
スタの破壊を防止する。
【0093】また、半導体集積回路S3を動作させる状
態では、NMOSTr7’のゲート電位はVddとな
る。ここで、パッド1’への出力電位が0VからVdd
−Vthn(VthnはNMOSTrの閾値電圧)まで
は、NMOSTr7’はオン状態となり、NMOSTr
7’のソース電位はドレイン電位と等しい電位となる。
よって、NMOSTr8’がVdd以上のソース・ドレ
インブレークダウン耐圧を持つことから、サージ保護回
路31はブレークダウンしない。
【0094】一方、パッド1’への出力電位がVdd−
Vthnを超えると、NMOSTr7’のソース電位は
Vdd−Vthnに固定される。このとき、NMOST
r8’のソース・ドレイン間電圧、ゲート・ソース間電
圧はVdd−Vthnであり、Vddより低い。また、
NMOSTr7’のソース電位がVdd−Vthnに上
昇したことで、NMOSTr7’もパッド1’の電位が
2Vdd−Vthnになるまでは、ソース・ドレイン間
電圧はVdd以下になり、ゲート・ソース間電圧はVd
d−Vthnになる。
【0095】したがって、パッド1’への出力電位が2
Vdd−Vthnになるまでは、NMOSTr7’、N
MOSTr8’には、定格電圧Vdd以下の電圧しか印
加されないことになり、正規のハイレベル信号による導
通状態も回避できる。
【0096】次に、以上のようなサージ保護回路10、
10’、30、31による全体的な動作について説明す
る。
【0097】まず、チップ搬送時やワイヤボンディング
時など、半導体集積回路S3の入力回路11、出力回路
11’、内部回路12をサージ保護回路10、10’、
30、31によってサージから保護する状態について説
明する。
【0098】この状態で、電源VDD、VDDO、グラ
ンドGND、GNDOの端子はフローティングになって
おり、以下のような16通りのサージ経路につき、全て
に耐性をもたせなければならない。そこで、この16通
りのサージに対し、以下ような低抵抗のサージ電流経路
により、サージ保護を行うものである。
【0099】(1)入力パッド1が正に帯電し、電源V
DDへサージ電流が流れる場合には、PMOSTr2、
PMOSTr3がオン状態となり放電する。
【0100】(2)入力パッド1が負に帯電し、電源V
DDからサージ電流が流れる場合には、PMOSTr
2、PMOSTr3がブレークダウンして放電、あるい
は、ダイオード44または内部回路12がブレークダウ
ンし、ダイオード40または保護回路30を通して放電
する。
【0101】(3)入力パッド1が正に帯電し、電源V
DDOへサージ電流が流れる場合には、PMOSTr
2、PMOSTr3がオン状態となり、保護回路10と
ダイオード45を通して放電する。
【0102】(4)入力パッド1が負に帯電し、電源V
DDOからサージ電流が流れる場合には、ダイオード4
3がブレークダウンし、ダイオード46を通してダイオ
ード40または保護回路30を通して放電する。
【0103】(5)入力パッド1が正に帯電し、グラン
ドGNDへサージ電流が流れる場合には、保護回路30
を通して放電する。あるいは、保護回路10を通り、内
部回路12またはダイオード44がブレークダウンして
放電する。
【0104】(6)入力パッド1が負に帯電し、グラン
ドGNDからサージ電流が流れる場合には、ダイオード
40に順方向電流が流れて放電する。
【0105】(7)入力パッド1が正に帯電し、グラン
ドGNDOへサージ電流が流れる場合には、保護回路3
0とダイオード47を通して放電する。あるいは、保護
回路10を通り、内部回路12またはダイオード44が
ブレークダウンし、ダイオード47を通して放電する。
【0106】(8)入力パッド1が負に帯電し、グラン
ドGNDOからサージ電流が流れる場合には、ダイオー
ド40、46に順方向電流が流れて放電する。
【0107】(9)出力パッド1’が正に帯電し、電源
VDDOへサージ電流が流れる場合には、PMOSTr
2’、PMOSTr3’がオン状態となり、保護回路1
0’を通して放電する。
【0108】(10)出力パッド1’が負に帯電し、電
源VDDOからサージ電流が流れる場合には、保護回路
10’を通して、あるいは、ダイオード41がブレーク
ダウンして放電する。
【0109】(11)出力パッド1’が正に帯電し、電
源VDDへサージ電流が流れる場合は、ダイオード45
がブレークダウンし、ダイオード41を通して放電す
る。
【0110】(12)出力パッド1’が負に帯電し、電
源VDDからサージ電流が流れる場合には、ダイオード
41がブレークダウンし、ダイオード45を通して放電
する。
【0111】(13)出力パッド1’が正に帯電し、グ
ランドGNDOへサージ電流が流れる場合には、保護回
路31を通して放電する。
【0112】(14)出力パッド1’が負に帯電し、グ
ランドGNDOからサージ電流が流れる場合には、ダイ
オード42に順方向電流により放電する。
【0113】(15)出力パッド1’が正に帯電し、グ
ランドGNDへサージ電流が流れる場合には、保護回路
31を通し、ダイオード46を通して放電する、あるい
は、ダイオード41を通し、内部回路12を通して放電
する。
【0114】(16)出力パッド1’が負に帯電し、グ
ランドGNDからサージ電流が流れる場合には、ダイオ
ード47、42がともに順バイアスされ、放電する。
【0115】以上のようにして、サージ電流を放電し、
入力回路11、出力回路11’、内部回路12のサージ
保護を行う。なお、以上において、内部回路12にサー
ジ電流が流れても、多数のゲートにより電流が分散され
るため、瞬時の破壊ばかりでなく信頼性上も問題が生じ
ないことは既知である。
【0116】次に、半導体集積回路S3を動作させる状
態では、上述した個々のサージ保護回路10、10’、
30、31の動作により、パッド1、1’に接続された
トランジスタが、そのソース電位をゲート電位であるV
dd電位にクランプすることにより、保護回路を構成す
る2個のトランジスタに印加される電圧をVdd以下に
保持し、正規のハイレベル信号の入出力を可能とする。
【0117】以上のようにして、この第3実施例に示す
構成により、半導体集積回路S3の保護に必要な全ての
端子、全ての極性でESD耐性を得ることが可能であ
る。
【0118】なお、以上の半導体集積回路S3におい
て、ダイオード44、45、46、47は、ラテラルダ
イオードに限らず、MOSダイオードで構成することが
可能である。また、ダイオード43、44、45、4
6、47で構成される回路部分(図中破線fにて示す)
は、図6に示すような、MOSTr21〜26による回
路で構成することが可能である。
【0119】また、以上の各サージ保護回路10、1
0’、30、31は、各トランジスタをMOSFETで
構成した例について説明したが、他のFETで構成する
ことも可能である。
【0120】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
高電圧高電位電源VDDOと低電圧高電位電源VDDと
の2つの電源で動作する半導体集積回路において、電源
と入力回路または出力回路の間に設けられるサージ保護
回路を2つのPチャネルトランジスタの縦列接続により
構成し、入力回路または出力回路側の第1のPチャネル
トランジスタのゲートを電源VDDに、電源VDDまた
はVDDO側の第2のPチャネルトランジスタのゲート
をVDDOに接続したことにより、電源VDDの電圧値
をVddとすると、2Vddの電位の信号が入力または
出力された場合でも、各Pチャネルトランジスタのゲー
ト・ドレイン間電圧、ゲート・ソース間電圧、ドレイン
・ソース間電圧を電源電圧Vdd以下にすることができ
る。
【0121】したがって、回路を構成する全トランジス
タの信頼性を保証しつつ、電源電圧Vdd以上の高い電
位をもつ信号を入力または出力することが可能なサージ
保護回路を提供できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例のサージ保護回路10を有
する半導体集積回路S1を示すブロック図である。
【図2】上記第1実施例におけるサージ保護回路10の
ブレークダウン電圧を示す説明図である。
【図3】上記第1実施例におけるサージ保護回路10の
各トランジスタのソース・ドレイン電圧、ゲート・ドレ
イン電圧、ゲート・ソース電圧を示す説明図である。
【図4】本発明の第2実施例のサージ保護回路10’を
有する半導体集積回路S2を示すブロック図である。
【図5】本発明の第3実施例のサージ保護回路10、1
0’、30、31を有する半導体集積回路S3を示すブ
ロック図である。
【図6】本発明の第3実施例の半導体集積回路S3にお
ける変形部分の回路構成を示すブロック図である。
【図7】従来のサージ保護回路20を有する半導体集積
回路S4の一例を示すブロック図である。
【符号の説明】
S1、S2、S3…半導体集積回路、 VDD…低電圧高電位電源、 VDDO…高電圧高電位電源、 1、1’…パッド、 2、2’…PMOSTr(第2のPチャネルトランジス
タ)、 3、3’…PMOSTr(第1のPチャネルトランジス
タ)、 7、7’、8、8’…NMOSTr、 10、10’、30、31…サージ保護回路、 11…入力回路、 11’…出力回路、 12…内部回路。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平2−70231(JP,A) 特開 昭53−110382(JP,A) 特開 昭62−287659(JP,A) 特開 平4−248322(JP,A) 特開 平8−331749(JP,A) 特開 平9−139466(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H02H 9/04 H02H 7/20

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 高電位電源として、高電圧高電位電源お
    よび低電圧高電位電源の2つの電源で動作する半導体集
    積回路の入力端子に接続されるサージ保護回路におい
    て、 第1のPチャネルトランジスタと第2のPチャネルトラ
    ンジスタとを有し、 前記第1のPチャネルトランジスタのドレインを前記入
    力端子に接続し、ゲートを前記低電圧高電位電源に接続
    し、また、ソースを前記第2のpチャネルトランジスタ
    のドレインに接続し、 前記第2のPチャネルトランジスタのソースを前記低電
    圧高電位電源に接続し、また、ゲートを前記高電圧高電
    位電源に接続したことを特徴とする入力端子のサージ保
    護回路。
  2. 【請求項2】 高電位電源として、高電圧高電位電源お
    よび低電圧高電位電源の2つの電源で動作する半導体集
    積回路の出力端子に接続されるサージ保護回路におい
    て、 第1のPチャネルトランジスタと第2のPチャネルトラ
    ンジスタとを有し、 前記第1のPチャネルトランジスタのドレインを前記出
    力端子に接続し、ゲートを前記低電圧高電位電源に接続
    し、また、ソースを前記第2のPチャネルトランジスタ
    のドレインに接続し、 前記第2のPチャネルトランジスタのソースおよびゲー
    トを前記高電圧高電位電源に接続したことを特徴とする
    出力端子のサージ保護回路。
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