JP2007027700A - 配線基板および配線基板の製造方法 - Google Patents

配線基板および配線基板の製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2007027700A
JP2007027700A JP2006162126A JP2006162126A JP2007027700A JP 2007027700 A JP2007027700 A JP 2007027700A JP 2006162126 A JP2006162126 A JP 2006162126A JP 2006162126 A JP2006162126 A JP 2006162126A JP 2007027700 A JP2007027700 A JP 2007027700A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pin
back surface
spherical
substrate body
wiring board
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2006162126A
Other languages
English (en)
Inventor
Hajime Saiki
一 斉木
Hidekazu Hanaki
秀和 花木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Niterra Co Ltd
Original Assignee
NGK Spark Plug Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NGK Spark Plug Co Ltd filed Critical NGK Spark Plug Co Ltd
Priority to JP2006162126A priority Critical patent/JP2007027700A/ja
Publication of JP2007027700A publication Critical patent/JP2007027700A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/81Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/153Connection portion
    • H01L2924/1531Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
    • H01L2924/15312Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a pin array, e.g. PGA

Landscapes

  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

【課題】 ピンの姿勢変化を生じ難くする。
【解決手段】 基板本体101の裏面端子パッド111に半田ペースト13pを印刷する。ピン立て治具141に球面ピン121をセットする。ピン立て治具141と基板本体101との相対位置決めを行なう。ピン立て治具141と基板本体101とを加熱して、ピン立て治具141にセットした球面ピン121を基板本体101の裏面端子パッド111に半田付けする。半田付けのリフロー工程は、球面ピン121の鍔部123と、裏面端子パッド111とが加熱に応じて相対接近するように、表側から基板本体101に荷重をかけつつ行なう。
【選択図】図7

Description

本発明は、配線基板および配線基板の製造方法に関する。
いわゆるPGA(Pin Grid Array)型の配線基板は、一方の主面に集積回路チップとの接合用のパッド状の電極を備え、他方の主面にはマザーボードに設けられたソケットに差し込むリードピン(以下、単にピンともいう)を備えている。このピンは、たとえば軸部および鍔部を有するネイル形状をなすものであり、その鍔部を配線基板の裏面端子パッドにハンダ付けする。
特許第3585806号公報 特開平10−270144号公報
PGA型の配線基板においては、集積回路チップを実装する以前にはピンがピン接合部に高精度で半田付けされているにも関わらず、集積回路チップの実装工程を経ると、ピンの姿勢が変化する場合がある。
本発明の課題は、集積回路チップの実装工程を経ても、ピンの姿勢変化を生じ難いPGA型の配線基板を提供することにある。また、その配線基板の製造方法を提供する。
課題を解決するための手段および発明の効果
本発明者らは、ピンの半田付け自体には問題が無いにも関わらず、集積回路チップの実装時になぜピンの姿勢が変化するのかを詳細に検討した。その結果、配線基板の端子パッドとピンとを接合する半田内のボイドが深く関係していることを突き止めた。具体的には、集積回路チップ実装時のリフロー工程やアンダーフィル材のキュア工程で、半田内のボイドが膨張と収縮を繰り返すことにより、ピンの姿勢変化を招来していることが判明した。このような知見を得た本発明者らは、課題解決のために下記の配線基板を提案する。
すなわち、本発明は、集積回路チップを実装する側とは反対側に設けられた複数の裏面端子パッドに、棒状の軸部と該軸部より径大で半球状の鍔部とを有する複数の球面ピンがそれぞれ半田付けされているピングリッドアレー型の配線基板において、複数の球面ピンの鍔部と複数の裏面端子パッドとがそれぞれ接触していることを主要な特徴とする。
球面ピンの半田付けは、基板の端子パッドに半田ペーストを印刷し、印刷された半田ペーストに球面ピンを接触させた状態でリフローするという方法による。半田ペーストは有機系のフラックスを含有するため、リフローを行なうとフラックスは蒸発する。しかしながら、フラックスの蒸発は常に不完全である。そのため、半田内にはフラックスが気体のまま残存することに基づくボイド(空孔)が不可避的に生ずる。
上記本発明においては、球面ピンの鍔部と裏面端子パッドを接触させたので、球面ピンの軸線に交差するボイドが存在しない。したがって、球面ピンの姿勢変化を招来しにくい。また、鍔部が半球状である球面ピンを採用することにより、半田内のボイド発生度合いをフラットピン(軸部が円盤状のピン)よりも改善することができる。ピンを半田付けする際のリフロー工程において、フラックスが球面ピンのカーブに沿ってスムーズに移動し、半田内からフラックスが抜けやすいからである。
球面ピンの鍔部と裏面端子パッドとを接触状態で半田付けするために、下記の方法を採用することができる。すなわち、課題を解決するために本発明の配線基板の製造方法は、棒状の軸部と半球状の鍔部とを有する球面ピンが裏面側に半田付けされたピングリッドアレー型の配線基板の製造方法であって、配線基板の本体部分である基板本体の裏面端子パッドに半田ペーストを印刷する印刷工程と、ピン立て治具のピン孔に球面ピンを軸部側から挿入し、ピン孔から鍔部が突出した状態となるように球面ピンをピン立て治具にセットするピン立て工程と、ピン立て治具にセットした球面ピンの鍔部が裏面端子パッドに印刷された半田ペーストに接触する、または向かい合う位置関係となるように、ピン立て治具と基板本体との相対位置決めを行なう位置決め工程と、ピン立て治具と基板本体とを加熱して、ピン立て治具にセットした球面ピンを基板本体の裏面端子パッドに半田付けするリフロー工程とを含み、リフロー工程は、球面ピンの鍔部と、裏面端子パッドとが加熱に応じて相対接近するように、表側から基板本体に荷重をかけつつ行なうとともに、少なくとも球面ピンの鍔部と裏面端子パッドとが接触するまで加熱を継続することを主要な特徴とする。
上記本発明によれば、鍔部が球面状である球面ピンを採用しているので、半田内のボイドの発生度合いをフラットピン(軸部が円盤状のピン)よりも改善することができる。そして、基板本体に荷重をかけながらリフロー工程を行なうので、球面ピンの鍔部と裏面端子パッドとを確実に接触させることができる。
また、リフロー工程において基板本体にかける荷重を、加熱による球面ピンの鍔部と裏面端子パッドとの接近に応じて減衰させることが望ましい。このようにすれば、球面ピンを徐々に裏面端子パッドに近づけることができる。すると、半田ペーストに含まれるフラックスが、球面ピンの鍔部に沿ってゆっくり移動する。つまり、半田ペーストに含まれるフラックスの蒸発を促すことができ、サイズの大きいボイドの発生を防止するとともに、その数量を低減することが可能となる。
具体的には、ピン立て治具と基板本体とをクリップで固定することにより両者の相対位置決めを行ない、基板本体とピン立て治具との両者が互いに接近する方向に弾性付勢された状態を保持するとよい。このようにすれば、基板本体に荷重をかけると同時に、基板本体が面内方向にずれることを防止する効果も見込める。
また、位置決め工程においては、基板本体の表面上に重石の役割を担う板状体を載置し、その板状体を載置した状態でリフロー工程を行なうことができる。このようにすれば、基板本体の面内に均一な荷重をかけることができる。面内に均一な荷重をかけるようにすれば、リフロー工程において、ピン立て治具にセットした全ての球面ピンを確実に基板本体の裏面端子パッドに接触させることができる。また、基板本体を板状体で覆うことにより、基板本体へのコンタミ付着を防止できるという効果もある。
また、裏面端子パッドに印刷した半田ペーストをリフロー工程の加熱温度よりも低い加熱温度で乾燥させる乾燥工程を、位置決め工程よりも前に行なうことができる。リフロー工程を行なう前に半田ペーストを一旦乾燥させることにより、半田ペーストに含有されるフラックスの蒸発を促すことができるため、サイズの大きいボイドの発生を防止するとともに、その数量を低減することが可能となる。
また、リフロー工程において半田ペーストをリフローした後で加熱をしながら基板本体に荷重をかけてピンを基板本体の裏面端子パッドに設置することが望ましい。このようにすれば、球面ピンの鍔部と裏面端子パッドとが接触した後さらに加熱および加圧されるので、半田ペーストに含まれるフラックスの蒸発を促すことができ、サイズの大きいボイドの発生を防止するとともに、接触した状態で保持することができる。
また、本発明の配線基板の製造方法は、
棒状の軸部と該軸部より径大で先端に向かい先細る形状または該軸部より径大でその端面が膨出してなる鍔部とを有するピンが裏面側に半田付けされたピングリッドアレー型の配線基板の製造方法であって、配線基板の本体部分である基板本体の裏面端子パッドに半田ペーストを印刷する印刷工程と、ピン立て治具のピン孔にピンを軸部側から挿入し、ピン孔から鍔部が突出した状態となるようにピンをピン立て治具にセットするピン立て工程と、ピン立て治具にセットしたピンの鍔部が裏面端子パッドに印刷された半田ペーストに接触する、または向かい合う位置関係となるように、ピン立て治具と基板本体との相対位置決めを行なう位置決め工程と、ピン立て治具と基板本体とを加熱して、ピン立て治具にセットしたピンを基板本体の裏面端子パッドに半田付けするリフロー工程とを含み、リフロー工程は、ピンの鍔部と、裏面端子パッドとが加熱に応じて相対接近するように、表側から基板本体に荷重をかけつつ行なうとともに、少なくともピンの鍔部と裏面端子パッドとが接触するまで加熱を継続することを特徴とする。
上記本発明によれば、鍔部が凸(特には半球状)であるピンを採用しているので、半田内のボイドの発生度合いをフラットピンよりも改善することができる。そして、基板本体に荷重をかけながらリフロー工程を行なうので、ピンの鍔部と裏面端子パッドとを確実に接触させることができる。
ここで、ピンは、棒状の軸部と、該軸部より径大の鍔部とを有して構成することができ、その鍔部は、先端にむかい先細る形状とすることができる。或いは、その鍔部の端面が膨出した形状とすることができる。すなわち、鍔部が先端にむかい凸(特には半球状)であるピンを採用することにより、フラットピンに比してフラックスが凸状ピンのカーブまたは傾斜に沿ってスムーズに移動し、半田内からフラックスが抜けやすくなり、半田内のボイド発生度合いを低減することができる。
以下、添付の図面を参照しつつ本発明の実施形態について説明する。
図1は本発明の配線基板の側面図であり、図2はピンの接合構造を示す拡大断面図である。配線基板100は、コア基板上に、エポキシ樹脂を主成分とする樹脂絶縁層と、Cuメッキからなる内部配線層とを交互に積層した構造の基板本体101を備える。基板本体101の第一主面103には、集積回路チップICに接続する半田バンプ102が多数形成されている。基板本体101の第二主面104には、平面視で円形の多数の裏面端子パッド111が格子状に分散形成されている。裏面端子パッド111は、表面がNi/Auメッキによって形成されおり、ピン121が半田により接合されるピン接合部をなしている。第一主面103側の半田バンプ102と、第二主面104側の裏面端子パッド111とは、基板本体101の内部配線層同士を接続するビア、ならびにコア基板の表裏を貫くメッキスルーホールによって導通接続している。
図2に示すごとく、基板本体101の第一主面103および第二主面104には、その略全面を覆うようにエポキシ樹脂からなるソルダーレジスト層115が被覆形成されている。ソルダーレジスト層115は、裏面端子パッド111の表面周縁を所定の幅で覆って開口し、裏面端子パッド111の中心寄り部位を同心状に露出させるように形成されている。また、裏面端子パッド111に接合されているピン121は、断面円形の丸棒状の軸部122と、該軸部122の一端において半径方向に突出する円形の鍔部123とを同心状で備えたネイル形状のものである。ピン121の鍔部123は、裏面端子パッド111に対向する接合面124の全体が凸である球面状となっている。つまり、ピン121は球面ピン121である。
球面ピン121の材質としては、アロイ194が好適に使用できる。アロイ194に代えて、42アロイなどの他の鉄−ニッケル系合金またはコバールなどの銅合金を好適に採用できる。また、球面ピン121の表面には、ニッケルメッキおよび金メッキがかけられている。球面ピン121は、軸部122の軸線が円形の裏面端子パッド111の中心に一致し、かつ鍔部123が裏面端子パッド111に接した状態で半田付けされている。
図3に示すごとく、配線基板100の各部分の寸法比は、球面ピン121の鍔部123の径をD1、ソルダーレジスト層115の開口径をW1、球面ピン121の鍔部123の高さをH1としたとき、たとえば下記の範囲に調整することができる。球面ピン121の鍔部123の径D1は、基板本体101の主面と平行な方向の最大長さで定義するものとする。
1/2≦D1/W1≦1/1
1/4≦H1/D1≦1/2
球面ピン121と裏面端子パッド111とに介在する半田131は、集積回路チップICの半田付け温度より融点が高い組成を有するものである。具体的には、Sn−xSb(3≦x≦7)などの錫系鉛フリー半田、または、Pb−xSn−ySb(8≦x≦12、6≦y≦10)などの鉛系高温半田を使用することができる。
また、本発明にかかる配線基板100は、半田131内に存在するボイドが十分に小さい。具体的には、図4に示すごとく、球面ピン121と裏面端子パッド111とを接合する半田131内に存在するボイドBDの最大径をD2としたとき、(D2/D1)≦1/2を充足している)。寸法D1は、球面ピン121の鍔部123の径を示す。ボイドBDは鍔部123の脇の方に逸れて生じてはいるものの、軸線Oと交差するものはない。換言すれば、軸部122の延長上に大きなボイドBDが存在しない。少なくとも、基板厚さ方向に投影したときに球面ピン121の鍔部123と重なり合うボイドBDについて、(D2/D1)≦1/2という条件を満足すれば、球面ピン121がボイドBDの膨張収縮の影響をダイレクトに受けにくい。
さらに、配線基板100においては、半田131内に存在する直径10μm以上30μm以下のボイドBDがゼロ個または1個以上30個以下とされている。このようにすれば、図4に示すごとく、集積回路チップICの実装時のリフロー工程等で球面ピン121がボイドBDの膨張収縮の影響を受け難くなるので、球面ピン121の姿勢変化が生じない。なお、半田131内に存在するボイドBDの数としては、好ましくは10μm以上100μm以下のものが30個以下である。下限値の“10μm”は、X線による観察限界なので、観察不能レベルでは上記個数以上のボイドが存在するが、過度に大きくなければ球面ピン121に悪影響をおよぼす可能性は極めて小さい。
これに対し、図5に示すごとく、鍔部222が円盤状であるピン221、いわゆるフラットピン221の場合、鍔部222と裏面端子パッド111とが離間した状態で半田付けがなされている。すると、半田231内には、フラットピン221の軸線O’に交差するボイドBD’が存在し得る。しかもそのボイドBD’は、鍔部222の半分以上を包含する程度の大きさと、鍔部222と裏面端子パッド111との間隔に一致する厚さとを持ち、裏面端子パッド111と鍔部222とに半田231が介在することを妨害する場合がある。このような場合、集積回路チップICの実装時のリフロー工程等において、フラットピン221はボイドBD’の膨張収縮の影響をダイレクトに受けて姿勢変化を生ずる。具体的には浮き上がりや傾斜を生ずる場合がある。本発明によれば、こうした現象が起こらないようにすることができる。
次に、配線基板100の製造方法について説明する。
配線基板100は、その本体部分である基板本体101を先ず作製し、その基板本体101の裏面端子パッド111に球面ピンを半田付けすることにより得られる。基板本体101は、公知のビルドアップ法等により、板状コアの両主面に樹脂誘電体層と導体層とを交互に形成することにより作製することができる。基板本体101の裏面端子パッド111への球面ピン121の半田付けは、以下の方法にて行なうことができる。
まず、図6の上段図に示すごとく、基板本体101の裏面端子パッド111上に半田ペースト13pを印刷する(印刷工程)。ソルダーレジスト層115の開口115pに印刷パターンMSPが一致するように、基板本体101をメタルマスクMSで被覆するとともに、メタルマスクMSの印刷パターンMSPを通じてソルダーレジスト層115の開口115p内に半田ペースト13pを充填する。これにより、ソルダーレジスト層115の開口115p内に臨む裏面端子パッド111上に半田ペースト13pを配置することができる。使用する半田ペースト13pは、Sn−5Sbなど組成を持つ半田粒子とフラックスとを含有するものである。フラックスには、ロジン系フラックスを使用することができる。また、半田ペースト13p中のフラックス含有率は、たとえば5wt%以上25wt%以下とすることができる。フラックス含有量が少なすぎる場合には、ソルダーレジスト115の開口115p内への半田ペースト13pの充填が不十分となって、ボイド発生の原因となる恐れがある。他方、フラックス含有量が多すぎる場合には、半田量が不足し、球面ピン121と裏面端子パッド111との接合強度が不足する恐れがある。
また、半田ペースト13pに含有させる半田粒子は、粒径がたとえば15μm以上55μm以上(好ましくは25μm以上35μm以下)のものが好適である。小さい粒径の半田粒子は、大きいボイドの発生を抑制する効果が期待できるものの、高コストである。他方、半田粒子の粒径が過度に大きい場合には、発生するボイドもそれに応じて大きくなる恐れがある。なお、半田粒子の粒径は、レーザー回折式粒度計にて測定した50%粒径(平均粒径)をいうものとする。
また、図9に示すごとく、裏面端子パッド111の一部を半田ペースト133が印刷された被印刷部とし、残部を露出させたまま残す露出部とする一方、リフロー工程時には裏面端子パッド111の全部を被覆してピンを半田付けするのに十分な量の半田ペースト133を、裏面端子パッド111とソルダーレジスト層115とに跨って印刷する、いわゆるオフセット印刷を行なうようにしてもよい。このオフセット印刷という手法によれば、リフロー工程を行なった場合に、半田が球面ピン121の鍔部123に沿って濡れ拡がる作用と、裏面端子パッド111に向かって濡れ拡がる作用とが協奏的に働くので、フラックスの蒸発が活発になることを期待でき、サイズの大きいボイドの発生防止、ならびにボイド数の低減に寄与する。
図6に戻って説明を続ける。半田ペースト13pの印刷工程に続き、印刷した半田ペースト13pを乾燥させる乾燥工程を行なう。この乾燥工程は、球面ピン121を裏面端子パッド111に半田付けするためのリフロー工程の加熱温度よりも低い温度にて行なうことができる。具体的には、たとえば40℃以上100℃以下の温度条件にて0.5時間以上4時間以下の範囲内で行なうとよい。この乾燥工程を行なうことにより、印刷時の半田ペースト13pよりもフラックス含有率が低減された半田ペースト131pが裏面端子パッド111上に残存する。印刷した半田ペースト13pに含有されるフラックスの蒸発をある程度まで進行させておくことにより、球面ピン121を半田付けするリフロー工程で半田内ボイドBDの大きさと個数とを低減する効果を期待できる。
また、基板本体101に半田ペースト13pを印刷する一方で、図7の上段図に示すごとく、基板本体101に半田付けするべき球面ピン121をピン立て治具141にセットする工程(ピン立て工程)を行なう。ピン立て治具141は、球面ピン121を軸部122側から挿入するための複数のピン孔141pが、基板本体101の端子パッド111の配列に一致する格子状に形成された、金属製の器具である。球面ピン121は、ピン孔141pから鍔部123が突出した状態でピン孔141pにまっすぐ立てられている。なお、球面ピン121には、ピン立て治具141にセットする前に予めNi/Auメッキを施している。
次に、図7の中段図に示すごとく、球面ピン121をセットしたピン立て治具141に基板本体101を対向配置する。具体的には、ピン立て治具141にセットした球面ピン121の鍔部123が裏面端子パッド111に印刷された半田ペースト131pに正対するように、ピン立て治具141と基板本体101との相対位置決めを行なう。そして、基板本体101とピン立て治具141との両者をゆっくりと相対接近させて、基板本体101を球面ピン121で直接支持させる(位置決め工程)。基板本体101に面内方向の位置ズレが生ずることを防止する目的で、ピン立て治具141の付属部品である囲い143を基板本体101の周りに配置する。
また、図7の中段図に示すごとく、基板本体101の第一主面103上に、重石の役割を担う板状体151を載置する。板状体151は、外形を基板本体101に略一致する大きさに調整したガラス板である。板状体151で基板本体101を球面ピン121に向けて付勢することにより、図8に示すごとく、リフロー工程において、球面ピン121の鍔部123をスムーズかつ確実に裏面端子パッド111に接触させることが可能となる。リフロー温度を上昇させたとき、基板本体101が板状体151から受ける荷重により球面ピン121は半田131内にゆっくりと埋まっていく。一方、半田131は鍔部123の接合面124に沿って濡れ拡がり、接合面124とは反対側にある反対面126に到達する。半田131が鍔部123の接合面124に沿って濡れ拡がるとき、フラックスの蒸発が活発に起こる。この結果、サイズの大きいボイドの発生を防止するとともに、その数量を低減することが可能となる。また、板状体151によれば、リフロー工程で基板本体101にコンタミが付着することを防止する効果もある。なお、板状体151としては、ガラス板に代えてプラスチック板、金属板またはセラミック板を使用することができる。
図10に示すごとく、板状体151だけでも基板本体101を付勢する効果はあるが、図7の下段図に示すごとく、基板本体101とピン立て治具141とをクリップ145で固定し、基板本体101とピン立て治具141との両者が互いに接近する方向に弾性付勢された状態を保持するようにしてもよい。この場合、基板本体101にかかる荷重は、リフロー工程時の加熱による球面ピン121の鍔部123と裏面端子パッド111との接近に応じて減衰する。球面ピン121は、ゆっくりと徐々に裏面端子パッド111に近づく。すると、半田ペースト131pに含まれるフラックスが、球面ピン121の鍔部123に沿ってゆっくり移動する。つまり、半田ペースト131pに含まれるフラックスの蒸発を促すことができる。
上記のようにして基板本体101とピン立て治具141とを固定したら、基板本体101の上に板状体151を載置したままでリフロー工程を行なう。すなわち、ピン立て治具141ごと基板本体101をリフロー炉に導入し、ピン立て治具141にセットした球面ピン121を基板本体101の裏面端子パッド111に半田付けする(リフロー工程)。リフロー工程の最中、基板本体101は板状体151ならびにクリップ145からの荷重を受け続ける。したがって、球面ピン121の鍔部123と、裏面端子パッド111とが加熱に応じて相対接近する。リフロー工程は、球面ピン121の鍔部123と裏面端子パッド111とが接触するまで継続する。リフロー条件は使用する半田の種類にもよるが、たとえばSn−5Sbの場合で240℃20秒保持、Pb−10Sn−8Sbの場合で260℃20秒保持とすることができる。具体的には、例えば、230℃以上270℃以下の温度条件にて、10秒以上180秒以下の範囲内で保持すればよい。
また、リフローした後で、そのリフロー工程の加熱温度よりも低い温度にて加熱をしながら、基板本体101とピン立て治具141とをクリップ145で固定したまま、基板本体101とピン立て治具141との両者が互いに接近する方向に弾性付勢された状態を保持するようにしてもよい。なお、板状体151だけでも基板本体101を付勢するようにしてもよい。具体的には、たとえば40℃以上100℃以下の温度条件にて0.5時間以上4時間以下の範囲内で行なうとよい。この工程を行なうことにより、リフロー工程における不完全なフラックスの蒸発をある程度さらに進行させることになり、半田内ボイドBDの大きさと個数とを低減する効果を期待できる。ひいては、球面ピン121の鍔部123と裏面端子パッド111とが接触した状態で加熱および加圧(付勢)されるので、安定して接触状態が保持される。
次に上記実施例の変形例を説明する。図11ないし図14に変形例における配線基板の断面図(図2に対応)を示す。なお、変形例において上記実施例と同様な部分の説明は同一の符号を付して詳細な説明を省略又は簡略化する。変形例1として、図11に示すように、裏面端子パッド111に接合されているピン220は、断面円形の丸棒状の軸部122と、該軸部122の一端において半径方向に突出する断面円形の鍔部223とを同心状で備えたネイル形状のものである。ピン220の鍔部223は、裏面端子パッド111に対向する接合面224の全体が凸であり、軸部122の軸線上に先端が位置する先細り形状となっている。すなわち、鍔部223は円錐形状であり、接合面224の先端が裏面端子パッド111と接触している。これにより、ピン220と裏面端子パッド111とを接合する半田131内にボイドが存在するものの(図示せず)鍔部223の脇の方へ逸れて生じ、軸部122の軸線上と交差するボイドが存在しないため、つまりボイドが十分に小さいため、そのボイドの膨張収縮の影響をダイレクトに受け難く、姿勢変化等を生じない良好なピンを得ることができる。なお、変形例1のピン220は、上記実施例における球面ピンと同様にアロイ194を好適に使用できる。
図12に変形例2の配線基板の断面図を示す。図12に示すように、ピン321は、変形例1の鍔部の先端を丸めた先細り形状となっている。これにより、ピン321と裏面端子パッド111とを接合する半田131内に存在するボイドが小さいものとなり、そのボイドの膨張収縮の影響をダイレクトに受けないため、姿勢変化等を生じない良好なピンを得ることができる。
図13に変形例3の配線基板の断面図、図14に変形例4の配線基板の断面図を示す。図13に示すように、ピン421は、断面円形の丸棒状の軸部122と該軸部122の一端において半径方向に突出する断面円形の鍔部423aとを同心状で備えたネイル形状(フラットピン)のもので、その鍔部423aの端面(裏面端子パッド111と対向する面)の全面から球面状(半球状)に膨出する膨出部423bを備えており、この膨出部423bの接合面424が裏面端子パッド111と接触している。これにより、ピン421と裏面端子パッド111とを接合する半田131内に存在するボイドが小さいものとなり、そのボイドの膨張収縮の影響をダイレクトに受けないため、姿勢変化等を生じない良好なピンを得ることができる。
ここで、膨出部423bは共晶銀ロウ等からなり、半田131を半田付け(リフロー)する際の加熱で再溶融しない融点を有するものを用いることができる。このように、ピン421の鍔部423aの端面に銀ロウ材を半球状に溶着させて膨出部423bを形成するには、例えば、鍔部423aの端面に銀ロウ片を載置して、その銀ロウ片を加熱して溶融させ、表面張力で半球状にした後、冷却して得ることができる。
図14に示すように、変形例4は、変形例3に示すピン421を一旦形成し、銀ロウからなる膨出部423bの部分のみ、銀ロウを溶解するエッチング液で溶解することにより得ることができる。すなわち、変形例3の膨出部423bと異なり鍔部523aの一部、具体的にはその端面の略中央部から膨出して形成されている。そして、この膨出部523bの接合面524が裏面端子パッド111と接触している。これにより、ピン521と裏面端子パッド111とを接合する半田131内に存在するボイドが小さいものとなり、そのボイドの膨張収縮の影響をダイレクトに受けないため、姿勢変化等を生じない良好なピンを得ることができる。
なお、変形例3及び4における膨出部は球面状のもので例示したが、変形例1及び2のように先細り形状の膨出部とすることもできる。
実験例
本発明の効果を確かめるために、製造条件を相違させたサンプル1〜5のPGA型の配線基板(6層板、700ピン品)を作製した。ピンの半田付けは、図7で説明したピン立て治具141を用いて行なった。
ピンの全長:2.07mm(球面ピン)、2.14mm(フラットピン)
鍔部の径:0.7mm(球面ピン)、0.75mm(フラットピン)
鍔部の高さ:0.24mm(球面ピン)、0.15mm(フラットピン)
軸部の径:0.305mm(球面ピンとフラットピンに共通)
ピン材質:アロイ194(球面ピンとフラットピンに共通)
半田の種類:Pb−10Sn−8Sb
半田ペーストのフラックス含有率:10wt
印刷した半田ペーストの乾燥条件(サンプル5のみ):60℃−1hr
リフロー条件:260℃−20秒
サンプル1:フラットピン+ガラス板+クリップ止め
サンプル2:球面ピン+ガラス板+クリップ止め
サンプル3:球面ピン+ガラス板
サンプル4:球面ピン(荷重なし)
サンプル5:球面ピン+ガラス板+クリップ止め+リフロー前に乾燥工程
作製したサンプル1〜5の任意位置のピン(10ピン)について、X線観察(名古屋電気社製NLX−3500)を行なって半田内ボイドの最大径を計測するとともに、半田内のボイドの個数を計数した(検出限界10μm)。結果を表1に示す。
Figure 2007027700
表1から分かるように、フラットピンを用いたサンプル1や荷重をかけずにリフローを行なったサンプル4については、大きな径のボイドが発生した。また、ボイド数も全体的に多かった。また、サンプル4は球面ピンを用いているが、裏面端子パッドと鍔部とが離間した状態で半田付けされているものが見つかった。これに対し、荷重をかけながらリフローを行なった球面ピンは、ボイドも少量かつ小径であり、裏面端子パッドと鍔部とを確実に接触させることができた。
次に、サンプル1〜5の配線基板について、集積回路チップを実装する際のリフロー条件(225℃20秒保持)にて熱処理を行ない、ピンの姿勢に変化が生じたかどうかを確かめた。結果を表1にあわせて示す。
表1に示すごとく、フラットピン(サンプル1)は姿勢変化の発生確率が球面ピンに比して全体的に高かった。また、D2/D1≧1/10という条件を満足する球面ピンについて、姿勢変化が生じない良好な実験結果を得た。さらに、鍔部の径をD1、半田内に存在するボイドの最大径をD2としたとき(D2/D1)≦1/2という条件を満足する球面ピンについては姿勢変化を確認しないが、この条件を満足しない大きなボイドが観察された球面ピンは姿勢変化の生ずる確率が高かった。
本発明の配線基板の側面図。 図1の配線基板の断面図。 図2に続く断面図。 本発明の配線基板における半田内ボイドの説明図。 大きいボイドがピンにおよぼす作用の説明図。 半田ペーストの印刷工程および熱処理工程の説明図。 球面ピンと基板本体とを位置決めする工程の説明図。 リフロー工程時の作用説明図。 オフセット印刷による半田付けの説明図。 ガラス板だけで基板本体を球面ピンに向けて付勢する態様の説明図。 変形例1の配線基板の断面図 変形例2の配線基板の断面図 変形例3の配線基板の断面図 変形例4の配線基板の断面図
符号の説明
100 配線基板
101 基板本体
111 裏面端子パッド
121 ピン(球面ピン)
122 軸部
123 鍔部
124 接合面
131 半田
13p,131p 半田ペースト
141 ピン立て治具
145 クリップ
151 板状体
BD ボイド

Claims (8)

  1. 集積回路チップを実装する側とは反対側に設けられた複数の裏面端子パッドに、棒状の軸部と該軸部より径大で半球状の鍔部とを有する複数の球面ピンがそれぞれ半田付けされているピングリッドアレー型の配線基板において、前記複数の球面ピンの前記鍔部と前記複数の裏面端子パッドとがそれぞれ接触していることを特徴とする配線基板。
  2. 棒状の軸部と半球状の鍔部とを有する球面ピンが裏面側に半田付けされたピングリッドアレー型の配線基板の製造方法であって、
    前記配線基板の本体部分である基板本体の裏面端子パッドに半田ペーストを印刷する印刷工程と、
    ピン立て治具のピン孔に前記球面ピンを前記軸部側から挿入し、前記ピン孔から前記鍔部が突出した状態となるように前記球面ピンを前記ピン立て治具にセットするピン立て工程と、
    前記ピン立て治具にセットした前記球面ピンの前記鍔部が前記裏面端子パッドに印刷された半田ペーストに接触する、または向かい合う位置関係となるように、前記ピン立て治具と前記基板本体との相対位置決めを行なう位置決め工程と、
    前記ピン立て治具と前記基板本体とを加熱して、前記ピン立て治具にセットした前記球面ピンを前記基板本体の前記裏面端子パッドに半田付けするリフロー工程とを含み、
    前記リフロー工程は、前記球面ピンの前記鍔部と、前記裏面端子パッドとが前記加熱に応じて相対接近するように、表側から前記基板本体に荷重をかけつつ行なうとともに、少なくとも前記球面ピンの前記鍔部と前記裏面端子パッドとが接触するまで前記加熱を継続することを特徴とする配線基板の製造方法。
  3. 前記リフロー工程において前記基板本体にかける荷重を、前記加熱による前記球面ピンの前記鍔部と前記裏面端子パッドとの接近に応じて減衰させる請求項2記載の配線基板の製造方法。
  4. 前記リフロー工程において、前記半田ペーストをリフローした後で前記加熱をしながら前記基板本体に荷重をかけて前記ピンを前記基板本体の前記裏面端子パッドに設置する請求項2に記載の配線基板の製造方法。
  5. 前記位置決め工程においては、前記ピン立て治具と前記基板本体とをクリップで固定することにより両者の相対位置決めを行ない、前記基板本体と前記ピン立て治具との両者が互いに接近する方向に弾性付勢された状態を保持する請求項3又は4に記載の配線基板の製造方法。
  6. 前記位置決め工程において、前記基板本体の表面上に重石の役割を担う板状体を載置し、その板状体を載置した状態で前記リフロー工程を行なう請求項2ないし5のいずれか1項に記載の配線基板の製造方法。
  7. 前記裏面端子パッドに印刷した前記半田ペーストを前記リフロー工程の加熱温度よりも低い加熱温度で乾燥させる乾燥工程を、前記位置決め工程よりも前に行なう請求項2ないし6のいずれか1項に記載の配線基板の製造方法。
  8. 棒状の軸部と該軸部より径大で先端に向かい先細る形状または該軸部より径大でその端面が膨出してなる鍔部とを有するピンが裏面側に半田付けされたピングリッドアレー型の配線基板の製造方法であって、
    前記配線基板の本体部分である基板本体の裏面端子パッドに半田ペーストを印刷する印刷工程と、
    ピン立て治具のピン孔に前記ピンを前記軸部側から挿入し、前記ピン孔から前記鍔部が突出した状態となるように前記ピンを前記ピン立て治具にセットするピン立て工程と、
    前記ピン立て治具にセットした前記ピンの前記鍔部が前記裏面端子パッドに印刷された半田ペーストに接触する、または向かい合う位置関係となるように、前記ピン立て治具と前記基板本体との相対位置決めを行なう位置決め工程と、
    前記ピン立て治具と前記基板本体とを加熱して、前記ピン立て治具にセットした前記ピンを前記基板本体の前記裏面端子パッドに半田付けするリフロー工程とを含み、
    前記リフロー工程は、前記ピンの前記鍔部と、前記裏面端子パッドとが前記加熱に応じて相対接近するように、表側から前記基板本体に荷重をかけつつ行なうとともに、少なくとも前記ピンの前記鍔部と前記裏面端子パッドとが接触するまで前記加熱を継続することを特徴とする配線基板の製造方法。
JP2006162126A 2005-06-13 2006-06-12 配線基板および配線基板の製造方法 Pending JP2007027700A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006162126A JP2007027700A (ja) 2005-06-13 2006-06-12 配線基板および配線基板の製造方法

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005172962 2005-06-13
JP2006162126A JP2007027700A (ja) 2005-06-13 2006-06-12 配線基板および配線基板の製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2007027700A true JP2007027700A (ja) 2007-02-01

Family

ID=37787998

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006162126A Pending JP2007027700A (ja) 2005-06-13 2006-06-12 配線基板および配線基板の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2007027700A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101003684B1 (ko) 2008-07-03 2010-12-23 삼성전기주식회사 패키지 기판용 리드핀
JP2011100836A (ja) * 2009-11-05 2011-05-19 Shinko Electric Ind Co Ltd リードピン及びリードピン付き配線基板とリードピン付き配線基板の製造方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101003684B1 (ko) 2008-07-03 2010-12-23 삼성전기주식회사 패키지 기판용 리드핀
JP2011100836A (ja) * 2009-11-05 2011-05-19 Shinko Electric Ind Co Ltd リードピン及びリードピン付き配線基板とリードピン付き配線基板の製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH09134934A (ja) 半導体パッケージ及び半導体装置
TWI549204B (zh) Manufacturing method of semiconductor device
JP2001217341A (ja) リードピン付き配線基板
JP2006344621A (ja) リードピン付き配線基板およびリードピン
TWI232072B (en) Method and structure for printed circuit board assembly and jig for assembling structure
JP6492768B2 (ja) 電子装置及びはんだ実装方法
JP2007251053A (ja) 半導体装置の実装構造及びその実装構造の製造方法
JP2010278139A (ja) 半導体装置及びその製造方法
TWI502666B (zh) Electronic parts mounting body, electronic parts, substrate
JP3550355B2 (ja) ピン立設基板
JP2007027701A (ja) 配線基板
JP2007027700A (ja) 配線基板および配線基板の製造方法
JP2006344624A (ja) 電子部品の製造方法
JP4364991B2 (ja) リードピン付き配線基板
JP3180041B2 (ja) 接続端子及びその形成方法
JP4267549B2 (ja) 半導体装置およびその製造方法ならびに電子機器
JPH10209591A (ja) 配線基板
TWI220304B (en) Flip-chip package substrate and flip-chip bonding process thereof
JP3585806B2 (ja) ピン付き配線基板
JP3859963B2 (ja) 半導体装置及びその製造方法
JP2009043844A (ja) リードピン付き配線基板およびリードピン
JP3178401B2 (ja) パッケージのbga型電極の形成および接続方法
JP2008218483A (ja) 半導体装置及びその製造方法
JP2856197B2 (ja) Bga接続構造
JP2005093872A (ja) リードピン及びリードピン付き配線基板

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080325

A871 Explanation of circumstances concerning accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871

Effective date: 20080909

A975 Report on accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005

Effective date: 20081002

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20081031

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20081225

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090203

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20090715