JP2007027649A - 積層コイル部品及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 層間接続用貫通孔への導電ペーストの充填性を向上させ、かつ、帯状コイル導体パターンと層間接続用ビアホール導体との接続性を向上させることができるとともに、大きなインダクタンスを得ることができる積層コイル部品及びその製造方法を得る。
【解決手段】 帯状コイル導体パターン14が形成されているシート16に設けた層間接続用貫通孔21は、一方開口部21aの面積が他方開口部21bの面積より大きく、かつ、軸心が帯状コイル導体パターン14の他端側に傾いている。この貫通孔21に導電ペーストが充填され層間接続用ビアホール導体となる。貫通孔21は、平面視で、帯状コイル導体パターン配置領域内に存在している。また、貫通孔21は平面視で、一方開口部21aが略長円形状で、他方開口部21bが円形であり、他方開口部21bが一方開口部21aの内側に位置している。
【選択図】 図3
【解決手段】 帯状コイル導体パターン14が形成されているシート16に設けた層間接続用貫通孔21は、一方開口部21aの面積が他方開口部21bの面積より大きく、かつ、軸心が帯状コイル導体パターン14の他端側に傾いている。この貫通孔21に導電ペーストが充填され層間接続用ビアホール導体となる。貫通孔21は、平面視で、帯状コイル導体パターン配置領域内に存在している。また、貫通孔21は平面視で、一方開口部21aが略長円形状で、他方開口部21bが円形であり、他方開口部21bが一方開口部21aの内側に位置している。
【選択図】 図3
Description
本発明は、積層コイル部品及びその製造方法、特に、積層コイル部品における貫通孔の形状とその形成方法に関する。
従来より、積層コイル部品として、特許文献1に記載のものが知られている。図6に示すように、特許文献1の積層コイル部品は、積層体51の内部に、積層方向Xと直交するコイル軸を有するコイル52が配設され、かつ、積層体51の両端面に、コイル52の両端部と導通する入出力用外部電極53が配設された構造を有している。
そして、この積層コイル部品は、図7に示すように、帯状コイル導体パターン55及び層間接続用ビアホール導体59を設けたセラミックシート58と、層間接続用ビアホール導体59のみを設けたセラミックシート58と、無地の保護用セラミックシート58とを積層圧着し、焼成した後、入出力用外部電極53(図6)を形成する工程を経て製造される。
複数の帯状コイル導体パターン55の所定の端部どうしは、複数の層間接続用ビアホール導体59によって接続され、コイル軸がセラミックシート58の積み重ね方向Xと直交するコイル52を構成する。全ての層間接続用ビアホール導体59は、貫通孔に導電ペーストを充填することにより形成され、図8及び図9に示すように、通常、上側部59aの面積が下側部59bの面積より大きく、かつ、該ビアホール導体59の軸心Pは帯状コイル導体パターン55に対して直交している。
ところで、この積層コイル部品において、層間接続用貫通孔への導電ペーストの充填性を向上させたり、帯状コイル導体パターン55と層間接続用ビアホール導体59との接続性を向上させたりするには、貫通孔の上側開口部の面積をさらに大きくすることが考えられる。
しかし、図9に一点鎖線59’で表示するように、単純に上側部59aの円形面積を大きくすれば、コイル52の径が小さくなり、大きなインダクタンスを得ることができないという問題点が生じる。また、単純に上側部59aの円形面積を大きくすれば、隣接する帯状コイル導体パターン55どうしがショートし易くなる。
特開2002−252117号公報
そこで、本発明の目的は、層間接続用貫通孔への導電ペーストの充填性を向上させ、かつ、帯状コイル導体パターンと層間接続用ビアホール導体との接続性を向上させることができるとともに、大きなインダクタンスを得ることができる積層コイル部品及びその製造方法を提供することにある。
前記目的を達成するため、本発明に係る積層コイル部品は、
複数のセラミック層を積み重ねて構成した積層体と、
前記積層体の内部に、前記セラミック層に対してパターン面が平行に配置された複数の帯状コイル導体パターンと、
前記積層体の内部に、前記セラミック層の積み重ね方向に配置された複数の層間接続用貫通孔に充填されたビアホール導体と、
前記積層体の両端部に配設された入出力用外部電極と、を備え、
前記複数の帯状コイル導体パターンの所定の端部どうしを前記複数のビアホール導体によって接続して、コイル軸が前記セラミック層の積み重ね方向と直交するコイルを構成し、
前記帯状コイル導体パターンを配置したセラミック層に設けられた層間接続用貫通孔の一方開口部の面積が他方開口部の面積より大きく、かつ、該層間接続用貫通孔の軸心が帯状コイル導体パターンの他端側に傾いていること、
を特徴とする。
複数のセラミック層を積み重ねて構成した積層体と、
前記積層体の内部に、前記セラミック層に対してパターン面が平行に配置された複数の帯状コイル導体パターンと、
前記積層体の内部に、前記セラミック層の積み重ね方向に配置された複数の層間接続用貫通孔に充填されたビアホール導体と、
前記積層体の両端部に配設された入出力用外部電極と、を備え、
前記複数の帯状コイル導体パターンの所定の端部どうしを前記複数のビアホール導体によって接続して、コイル軸が前記セラミック層の積み重ね方向と直交するコイルを構成し、
前記帯状コイル導体パターンを配置したセラミック層に設けられた層間接続用貫通孔の一方開口部の面積が他方開口部の面積より大きく、かつ、該層間接続用貫通孔の軸心が帯状コイル導体パターンの他端側に傾いていること、
を特徴とする。
本発明に係る積層コイル部品においては、帯状コイル導体パターンを配置したセラミック層に設けられた層間接続用貫通孔の一方開口部の面積が他方開口部の面積より大きく、かつ、該貫通孔の軸心が帯状コイル導体パターンの他端側に傾いているので、つまり、大きなテーパを有するので、導電ペーストを充填する際に、層間接続用貫通孔に導電ペーストが流入し易い。また、貫通孔の軸心が帯状コイル導体パターンの他端側に傾いていることにより、他方開口部を側面寄りに形成できることになる。この結果、コイルの径を大きく形成でき、単純に一方開口部を円形状に大きくした場合に比べて大きなインダクタンスを得ることができる。
本発明に係る積層コイル部品において、帯状コイル導体パターンを配置したセラミック層に設けられた層間接続用貫通孔が、平面視で、帯状コイル導体パターン配置領域内に存在していることが好ましい。これにより、隣接した帯状コイル導体パターンどうしのショートを防止できる。
また、平面視で、帯状コイル導体パターンを配置したセラミック層に設けられた層間接続用貫通孔の一方開口部が略長円形状で、他方開口部が円形であり、他方開口部が一方開口部の内側に位置していてもよい。これにより、一方開口部の面積が他方開口部の面積より大きく、軸心が帯状コイル導体パターンの他端側に傾いており、さらに、平面視で帯状コイル導体パターンの配置領域内に存在している層間接続用貫通孔を容易に形成することができる。
また、ビアホール導体が設けられたセラミック層の厚みが、帯状コイル導体パターン及びビアホール導体が設けられたセラミック層の厚みより厚く構成されていてもよい。これにより、積層枚数が少なくなり、積層コイル部品を簡易に製造できる。
本発明に係る積層コイル部品の製造方法は、レーザ光を少なくとも2回照射することにより、帯状コイル導体パターンを配置したセラミック層に、一方開口部の面積が他方開口部の面積より大きく、かつ、軸心が帯状コイル導体パターンの他端側に傾いている層間接続用貫通孔を形成することを特徴とする。
本発明によれば、層間接続用ビアホール導体を形成する際に、層間接続用貫通孔に導電ペーストが流入し易くなるため、該貫通孔への導電ペーストの充填性が向上し、帯状コイル導体パターンとビアホール導体との接続性が向上するとともに、大きなインダクタンスを得ることができる。また、ビアホール導体は帯状コイル導体パターン方向以外のテーパが小さいので、隣接した帯状コイル導体パターンどうしのショートを防止できる。
以下に、本発明に係る積層コイル部品及びその製造方法の実施例について添付図面を参照して説明する。
図1は積層コイル部品1の外観を示し、図2はそれを分解した状態を示す。この積層コイル部品1は、積層体2の内部に、積層方向Xと直交するコイル軸を有するコイル4が配設され、かつ、積層体2の両端面に、コイル4の両端部と導通する入出力用外部電極18が配設された構造を有している。
この積層コイル部品1は以下のような製造工程によって製作される。図2に示すように、帯状コイル導体パターン14及び層間接続用貫通孔21に充填されたビアホール導体3を設けたセラミックシート16と、帯状コイル導体パターン15及び層間接続用貫通孔21に充填されたビアホール導体3を設けたセラミックシート16と、層間接続用貫通孔22に充填されたビアホール導体3を設けたセラミックシート16と、無地の保護用セラミックシート16を用意する。
セラミックシート16としては、例えば、Ni−Cu−ZnフェライトやNi−Znフェライトなどの磁性体セラミック材料、あるいは、ガラスセラミックからなる非磁性体の絶縁体セラミック材料などをドクターブレード法などの方法で成形したものが用いられる。なお、ビアホール導体3が設けられたセラミックシート16の厚み(代表厚:50μm)を、帯状コイル導体パターン14,15及びビアホール導体3が設けられたセラミックシート16の厚み(代表厚:25μm)より厚く設定する。これにより、積層枚数が少なくなり、積層コイル部品を簡易に製造できる。
帯状コイル導体パターン14,15は、Ag,Pd,Cu,Auやこれらの合金などからなり、スクリーン印刷などの方法により形成される。帯状コイル導体パターン14,15はシート16上に略平行に配置されている。
層間接続用ビアホール導体3は、シート16の積み重ね方向(X方向)に配設されており、平面視で所定位置に重ねて連接されている。そして、帯状コイル導体パターン14の端部が、これらのビアホール導体3を介して他の層の帯状コイル導体パターン15の端部に電気的に接続することにより、帯状コイル導体パターン14と帯状コイル導体パターン15が交互に電気的に直列に接続して螺旋状コイル4を形成している。
また、層間接続用ビアホール導体3は、貫通孔21,22をレーザ光などを用いて形成し、該貫通孔21,22にAg,Pd,Cu,Auやこれらの合金などの導電ペーストを充填することによって形成される。
より詳細に層間接続用貫通孔21について説明する。なお、ビアホール導体3の形状は貫通孔21の形状と同一である。図3及び図4に示すように、帯状コイル導体パターン14が形成されているシート16に設けた貫通孔21は、上側開口部21aの面積が下側開口部21bの面積より大きく、かつ、軸心P(図4(a)参照)が帯状コイル導体パターン14の他端側に傾いている。図4(a)は図3のIV(a)−IV(a)断面図であり、図4(b)は図3のIV(b)−IV(b)断面図である。
層間接続用貫通孔21は、図3に示すように平面視で、帯状コイル導体パターン14の配置領域内に存在している。これにより、隣接した帯状コイル導体パターン14どうしのショートを防止できる。さらに、帯状コイル導体パターン14を近接して配置できるので、帯状コイル導体パターン14の本数を増やして大きなインダクタンスを得たり、積層コイル部品1の小型化を図ることができる。なお、帯状コイル導体パターン15に関しても同様である。
また、層間接続用貫通孔21は平面視で、上側開口部21aが略長円形状で、下側開口部21bが円形であり、下側開口部21bが上側開口部21aの内側に位置している。これにより、コイル4の内径が小さくならず、大きなインダクタンスを得ることができる。本実施例の場合、上側開口部21aを長径方向が115μmで短径方向が70μmの略長円形状とし、下側開口部21bを直径が50μmの円形とした。
この層間接続用貫通孔21は、以下の方法により形成される。まず、図5(a)に示すように、CO2レーザなどの1回目のレーザ光L1でセラミックシート16に貫通孔31を形成する。レーザ光L1のエネルギー強度は、中央部を強くし、端部を弱くしている。次に、図5(b)に示すように、2回目のレーザ光L2で貫通孔31の内側にセラミックシート16を貫通しない凹部32を形成する。2回目のレーザ光L2は1回目よりも全体のエネルギー強度を約1/3〜1/4に低下させている。これにより、帯状コイル導体パターン14,15を配置したセラミックシート16に貫通孔21を簡易に形成することができる。
なお、層間接続用貫通孔21の形成に際して、レーザ光を必ずしも2回照射する必要はなく、1回照射で照射条件を連続的に変化させて形成してもよく、3回以上照射して形成してもよい。また、貫通孔21はレーザ光に限らず、パンチングなどの他の加工方法で形成することもできる。さらに、貫通孔21の形状は円形に限られず、角形などにも形成することができる。
一方、層間接続用貫通孔22については、図8及び図9で説明した従来の層間接続用ビアホール導体59が充填されたのと同様の形状である。従って、この貫通孔22に充填されたビアホール導体3は上側部の面積が下側部の面積より大きく、かつ、軸心が帯状コイル導体パターン14,15に対して直交している。貫通孔22を前記貫通孔21と同様の形状にすると、コイル4の内径が小さくなり、インダクタンスが小さくなってしまうからである。
さらに、層間接続用貫通孔22への導電ペーストの充填性は、以下のことから確保されている。(1)貫通孔22を形成するシート16の厚みが、帯状コイル導体パターン14,15を形成したシート16より厚いので、薄いシートに形成された貫通孔よりも上側開口部が若干大きくなる。(2)帯状コイル導体パターン14,15を同時に印刷しないので、貫通孔22への充填においてスクリーン印刷版の開口部を大きくできる(帯状コイル導体パターン14,15を同時に印刷する場合には、滲みを抑えるためにスクリーン印刷版の開口部を小さくして印刷する必要がある)。
次に、各シート16は積み重ねられて圧着された後、一体的に焼成されて直方体形状を有する積層体2(図1参照)とされる。そして、積層体2の左右の端面には入出力用外部電極18が形成され、該外部電極18はそれぞれコイル4の両端部に電気的に接続される。外部電極18は、塗布焼付、スパッタリング、あるいは蒸着などの方法により形成される。
こうして得られた積層コイル部品1は、積層体2の内部に、コイル軸がセラミックシート16の積み重ね方向Xと直交する螺旋状コイル4を有している。そして、積層コイル部品1の左右の両端面に、螺旋状コイル4の両端部に接続された入出力用外部電極18が配設されている。
また、帯状コイル導体パターン14,15を配置したセラミックシート16に設けられた層間接続用貫通孔21は、その上側開口部21aの面積が下側開口部21bの面積より大きく、かつ、軸心Pが帯状コイル導体パターン14,15の他端側に傾いているので、つまり、大きなテーパを有するので、導電ペーストが流入し易くなる。この結果、導電ペーストの充填性が向上し、帯状コイル導体パターン14,15と層間接続用ビアホール導体3との接続性が向上し、直流抵抗が低下する。
具体的には、図6〜図9に示した従来の積層コイル部品の直流抵抗値の平均値が0.126Ω(ばらつき:σ=0.011)であったのに対して、本実施例の積層コイル部品1の直流抵抗値の平均値は0.121Ω(ばらつき:σ=0.004)であった。サンプル数はそれぞれ100個である。
また、層間接続用貫通孔21は帯状コイル導体パターン方向に大きなテーパを有するので、上側開口部21aが帯状コイル導体パターン他端方向に大きく形成されることになり、下側開口部21bを積層体2の側面寄りに形成できることになる。この結果、コイル4の径を大きく形成することができ、単純に上側開口部21aを円形状に大きくした場合に比べて大きなインダクタンスを得ることができる。
なお、本発明に係る積層コイル部品及びその製造方法は前記実施形態に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更することができる。
例えば、前記実施例では、帯状コイル導体パターン14,15がそれぞれ複数層で形成されているが、1層で形成することも可能である。
1…積層コイル部品
2…積層体
3…層間接続用ビアホール導体
4…螺旋状コイル
14,15…帯状コイル導体パターン
16…セラミックシート
18…入出力用外部電極
21,22…層間接続用貫通孔
21a…上側開口部
21b…下側開口部
P…軸心
2…積層体
3…層間接続用ビアホール導体
4…螺旋状コイル
14,15…帯状コイル導体パターン
16…セラミックシート
18…入出力用外部電極
21,22…層間接続用貫通孔
21a…上側開口部
21b…下側開口部
P…軸心
Claims (5)
- 複数のセラミック層を積み重ねて構成した積層体と、
前記積層体の内部に、前記セラミック層に対してパターン面が平行に配置された複数の帯状コイル導体パターンと、
前記積層体の内部に、前記セラミック層の積み重ね方向に配置された複数の層間接続用貫通孔に充填されたビアホール導体と、
前記積層体の両端部に配設された入出力用外部電極と、を備え、
前記複数の帯状コイル導体パターンの所定の端部どうしを前記複数のビアホール導体によって接続して、コイル軸が前記セラミック層の積み重ね方向と直交するコイルを構成し、
前記帯状コイル導体パターンを配置したセラミック層に設けられた層間接続用貫通孔の一方開口部の面積が他方開口部の面積より大きく、かつ、該層間接続用貫通孔の軸心が帯状コイル導体パターンの他端側に傾いていること、
を特徴とする積層コイル部品。 - 前記帯状コイル導体パターンを配置したセラミック層に設けられた層間接続用貫通孔が、平面視で、帯状コイル導体パターン配置領域内に存在していることを特徴とする請求項1に記載の積層コイル部品。
- 平面視で、前記帯状コイル導体パターンを配置したセラミック層に設けられた層間接続用貫通孔の一方開口部が略長円形状で、他方開口部が円形であり、他方開口部が一方開口部の内側に位置していることを特徴とする請求項2に記載の積層コイル部品。
- 前記ビアホール導体が設けられたセラミック層の厚みが、前記帯状コイル導体パターン及びビアホール導体が設けられたセラミック層の厚みより厚いことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の積層コイル部品。
- 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の積層コイル部品の製造方法であって、
レーザ光を少なくとも2回照射することにより、前記帯状コイル導体パターンを配置したセラミック層に、一方開口部の面積が他方開口部の面積より大きく、かつ、軸心が帯状コイル導体パターンの他端側に傾いている層間接続用貫通孔を形成すること、
を特徴とする積層コイル部品の製造方法。
Priority Applications (1)
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JP2005211591A JP2007027649A (ja) | 2005-07-21 | 2005-07-21 | 積層コイル部品及びその製造方法 |
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2005
- 2005-07-21 JP JP2005211591A patent/JP2007027649A/ja active Pending
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