JP2007024842A - 赤外線センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板たるSOI基板1の一表面側において赤外線を吸収して熱に変換する赤外線吸収部10と赤外線吸収部10の温度変化を検出する感温部20とがSOI基板1の厚み方向に離間して配置され、赤外線吸収部10が赤外線吸収部10と感温部20とを熱的に結合する熱伝達部40を介して感温部20に支持されている。赤外線吸収部10は、赤外線の入射面に平行な2次元面内に屈折率周期構造を有し赤外線を吸収する単層の吸収構造体からなり、検出対象の赤外線の波長に共振し当該赤外線を定在させる共振器を構成している。吸収構造体は、赤外線吸収材料からなるスラブ11に複数の円形状の空孔12を周期的に設けることで屈折率周期構造が形成されている。
【選択図】 図1
Description
1a 支持基板
1b 埋込酸化膜
1c シリコン層
1d 熱絶縁層
2 凹所
4 表面保護層
10 赤外線吸収部
11 スラブ
12 空孔
20 感温部
30 支持梁部
40 熱伝達部
Claims (2)
- 半導体基板の一表面側において赤外線を吸収して熱に変換する赤外線吸収部と赤外線吸収部の温度変化を検出する感温部とが半導体基板の厚み方向に離間して配置され、赤外線吸収部が赤外線吸収部と感温部とを熱的に結合する熱伝達部を介して感温部に支持された赤外線センサであって、赤外線吸収部は、赤外線の入射面に平行な2次元面内に屈折率周期構造を有し赤外線を吸収する単層の吸収構造体からなり、検出対象の赤外線の波長に共振し当該赤外線を定在させる共振器を構成していることを特徴とする赤外線センサ。
- 前記吸収構造体は、赤外線吸収材料からなるスラブに複数の空孔を周期的に設けることで前記屈折率周期構造が形成されてなることを特徴とする請求項1記載の赤外線センサ。
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