JP2007019525A - カートリッジ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】トラップ装置26に設けられるカートリッジ18であって、カートリッジ取付け蓋と、前記カートリッジ取付け蓋に挿通固定される媒体導入チューブ33及び媒体排出チューブ32と、前記挿通固定された媒体導入チューブ33及び媒体排出チューブ32に連結されるスパイラルチューブとを有する。
【選択図】図1
Description
(1)ガストラップ装置は、形状がまっすぐで、且つスパイラルチューブと内側パイプの内径との隙間が小さいため、スパイラルチューブの上流側で反応生成物等が析出しやすく、詰まりやすい。したがって、メンテナンスの周期が短くなり、半導体製造装置の稼働率が低下していた。
3SiH2Cl2+4NH3→Si3N4+6HCl+6H2
NH3+HCl→NH4Cl
6 ガス排気管
18 カートリッジ
26 ガストラップ装置
22 同一直線軸
Claims (1)
- トラップ装置に設けられるカートリッジであって、
カートリッジ取付け蓋と、
前記カートリッジ取付け蓋に挿通固定される媒体導入チューブ及び媒体排出チューブと、
前記挿通固定された媒体導入チューブ及び媒体排出チューブに連結されるスパイラルチューブと
を有するカートリッジ。
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JP2006214064A JP4502986B2 (ja) | 2006-08-07 | 2006-08-07 | 半導体製造装置、トラップ装置、および半導体製造装置のガス排気方法 |
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JP2006214064A JP4502986B2 (ja) | 2006-08-07 | 2006-08-07 | 半導体製造装置、トラップ装置、および半導体製造装置のガス排気方法 |
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Family Applications (1)
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JP2006214064A Expired - Lifetime JP4502986B2 (ja) | 2006-08-07 | 2006-08-07 | 半導体製造装置、トラップ装置、および半導体製造装置のガス排気方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08107070A (ja) * | 1994-09-30 | 1996-04-23 | Mitsumi Electric Co Ltd | 熱cvdにおける副生成物トラップ装置 |
JPH09202972A (ja) * | 1996-01-23 | 1997-08-05 | Kokusai Electric Co Ltd | 水冷式ガストラップ装置 |
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2006
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Patent Citations (2)
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JPH08107070A (ja) * | 1994-09-30 | 1996-04-23 | Mitsumi Electric Co Ltd | 熱cvdにおける副生成物トラップ装置 |
JPH09202972A (ja) * | 1996-01-23 | 1997-08-05 | Kokusai Electric Co Ltd | 水冷式ガストラップ装置 |
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