JP4772294B2 - 排気捕集装置及びガス反応装置 - Google Patents
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- ガスの排気経路途中に配置され、該排気経路を通過する排ガスからの析出物を捕集する排気捕集装置であって、
第1のケーシング、ガス導入口及びガス導出口を有し、前記第1のケーシングの内部に排ガスを通過させる排気通路が構成された排気捕集部と、該排気捕集部の温度を調整するための、第2のケーシングを有する温度調整部とを設け、
前記排気捕集部の前記第1のケーシングと前記温度調整部の前記第2のケーシングの対向部分の間に、前記排気通路の延長方向に沿って熱伝導率が変化する熱伝導構造が構成され、
前記熱伝導構造は、前記対向部分に沿って延在して若しくは分散して配置された、前記第1のケーシングと前記第2のケーシングの双方に接触した1の若しくは複数の熱伝導部材によって構成されるとともに、前記熱伝導部材の構成材質又は前記対向部分の間に介在する前記熱伝導部材の面積率の変化により熱伝導率を変化させたものであり、
前記排気捕集部と前記温度調整部は、前記第1のケーシングと前記第2のケーシングにより前記熱伝導部材を挟んだ状態で密着固定されることを特徴とする排気捕集装置。 - 前記熱伝導部材は前記対向部分に沿って延在して配置されるシート部材であり、前記熱伝導構造は、前記排気通路に沿って順に配置された、異なる熱伝導率を有する複数の前記シート部材で構成されることを特徴とする請求項1に記載の排気捕集装置。
- 前記熱伝導部材は前記対向部分に沿って延在して配置され複数の孔を有するシート部材であり、前記排気通路に沿って前記孔の大きさ若しくは形成密度が変化することを特徴とする請求項1に記載の排気捕集装置。
- 前記熱伝導構造は前記対向部分に沿って分散して配置された複数の前記熱伝導部材で構成され、前記排気通路に沿って前記熱伝導部材の断面積若しくは配置密度が変化することを特徴とする請求項1に記載の排気捕集装置。
- 前記排気捕集部と前記温度調整部とが着脱可能に構成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の排気捕集装置。
- 前記熱伝導構造が分離可能に構成されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の排気捕集装置。
- ガス供給部と、該ガス供給部から供給されるガスを反応させるガス反応室と、前記ガス供給部若しくは前記ガス反応室の排気経路と、該排気経路途中に配置される請求項1乃至6のいずれか一項に記載の排気捕集装置とを具備することを特徴とするガス反応装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004141805A JP4772294B2 (ja) | 2004-05-12 | 2004-05-12 | 排気捕集装置及びガス反応装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2005324075A JP2005324075A (ja) | 2005-11-24 |
JP4772294B2 true JP4772294B2 (ja) | 2011-09-14 |
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JP2004141805A Expired - Fee Related JP4772294B2 (ja) | 2004-05-12 | 2004-05-12 | 排気捕集装置及びガス反応装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP4772294B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6371738B2 (ja) * | 2015-05-28 | 2018-08-08 | 株式会社東芝 | 成膜装置 |
KR102306675B1 (ko) * | 2017-05-19 | 2021-09-28 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 액체 및 고체 유출물의 수집 및 가스 유출물로의 후속 반응을 위한 장치 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3540064B2 (ja) * | 1995-09-04 | 2004-07-07 | 株式会社アルバック | ドライ真空ポンプ前段用のトラップ |
JP2000045073A (ja) * | 1998-07-29 | 2000-02-15 | Kokusai Electric Co Ltd | 排気トラップ及び処理装置 |
JP2000256856A (ja) * | 1999-03-11 | 2000-09-19 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置及び処理装置用真空排気システム及び減圧cvd装置及び減圧cvd装置用真空排気システム及びトラップ装置 |
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Publication number | Publication date |
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JP2005324075A (ja) | 2005-11-24 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080919 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R250 | Receipt of annual fees |
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