JPH09202972A - 水冷式ガストラップ装置 - Google Patents
水冷式ガストラップ装置Info
- Publication number
- JPH09202972A JPH09202972A JP2867896A JP2867896A JPH09202972A JP H09202972 A JPH09202972 A JP H09202972A JP 2867896 A JP2867896 A JP 2867896A JP 2867896 A JP2867896 A JP 2867896A JP H09202972 A JPH09202972 A JP H09202972A
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- Japan
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- cartridge
- pipe
- cooled gas
- gas trapping
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 水冷式ガストラップ装置におけるメンテナン
スを容易にする。メンテナンスが容易で設計上の制約が
少ない構造の水冷式ガストラップ装置を提供する。 【解決手段】 排気配管の途中にガストラップ装置１２
を接続する。この装置１２は、装置本体１３の内部にカ
ートリッジ１４を着脱自在に挿入して構成する。高温排
気ガスは排気配管１１Ａからカートリッジ１４の捕集部
材１８内部に流れ込む。ガスは水冷パイプ２０・ウオー
タジャケット１３Ｃにより急冷され、捕集部材１８内壁
・水冷パイプ２０外面に反応生成物Ａが付着する。排気
ガスは清浄化されて排出される。付着した反応生成物Ａ
は捕集部材１８・水冷パイプ２０を清掃して除去する。
清掃は、カートリッジ１４全体を装置本体１３の直管部
１３Ａから抜き取って行う。水冷式ガストラップ装置の
メンテナンス作業を従来に比較して格段に容易化でき、
かつ、短時間で行える。
スを容易にする。メンテナンスが容易で設計上の制約が
少ない構造の水冷式ガストラップ装置を提供する。 【解決手段】 排気配管の途中にガストラップ装置１２
を接続する。この装置１２は、装置本体１３の内部にカ
ートリッジ１４を着脱自在に挿入して構成する。高温排
気ガスは排気配管１１Ａからカートリッジ１４の捕集部
材１８内部に流れ込む。ガスは水冷パイプ２０・ウオー
タジャケット１３Ｃにより急冷され、捕集部材１８内壁
・水冷パイプ２０外面に反応生成物Ａが付着する。排気
ガスは清浄化されて排出される。付着した反応生成物Ａ
は捕集部材１８・水冷パイプ２０を清掃して除去する。
清掃は、カートリッジ１４全体を装置本体１３の直管部
１３Ａから抜き取って行う。水冷式ガストラップ装置の
メンテナンス作業を従来に比較して格段に容易化でき、
かつ、短時間で行える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明はＣＶＤ（Ｃｈｅｍ
ｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）装置な
どの排気系に介装される水冷式ガストラップ装置に関す
る。
ｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）装置な
どの排気系に介装される水冷式ガストラップ装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の水冷式ガストラップ装置は、図２
に示すように、装置本体である管体自体が水冷ジャケッ
ト構造に構成されている。すなわち、装置本体１は、Ｏ
リング付きセンタリング２とクランプ３とにより排気配
管４の途中に連結・接続され、その内部をＣＶＤ装置か
らの高温のガスが通流する構造となっている。装置本体
である管体１はその管壁に水冷ジャケット（冷却水の通
路）５が埋設・形成され、さらに、その管体内部のガス
通路には水冷パイプ６が配設されていた。水冷ジャケッ
ト５とこの水冷パイプ６とは連通するように接続されて
おり、入り口から導入された冷却水は、水冷パイプ６、
水冷ジャケット５を順次流れて出口から水源に戻される
構成である。
に示すように、装置本体である管体自体が水冷ジャケッ
ト構造に構成されている。すなわち、装置本体１は、Ｏ
リング付きセンタリング２とクランプ３とにより排気配
管４の途中に連結・接続され、その内部をＣＶＤ装置か
らの高温のガスが通流する構造となっている。装置本体
である管体１はその管壁に水冷ジャケット（冷却水の通
路）５が埋設・形成され、さらに、その管体内部のガス
通路には水冷パイプ６が配設されていた。水冷ジャケッ
ト５とこの水冷パイプ６とは連通するように接続されて
おり、入り口から導入された冷却水は、水冷パイプ６、
水冷ジャケット５を順次流れて出口から水源に戻される
構成である。
【０００３】したがって、この装置では、ＣＶＤ反応室
より排気配管４を通ってくるガスを冷却してその反応生
成物Ａを管体１内壁面および水冷パイプ６外面に付着さ
せてトラップし、この排気配管４より下流側に配設され
たバルブ、ポンプなどを保護することができる。
より排気配管４を通ってくるガスを冷却してその反応生
成物Ａを管体１内壁面および水冷パイプ６外面に付着さ
せてトラップし、この排気配管４より下流側に配設され
たバルブ、ポンプなどを保護することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の水冷式ガストラップ装置にあっては、装置本
体の管体内壁面などに付着した反応生成物を取り除くた
めのメンテナンスでは、以下の作業を行う必要があっ
た。すなわち、まず、排気配管４との連結部からクラン
プ３、Ｏリング付きセンタリング２を取り外し、さら
に、装置本体１を排気配管４から取り外さなければなら
なかった。よって、その作業が非常に面倒であった。ま
た、装置本体１を取り外し易くするためには、排気配管
との接続にベローズを使用する必要があった。換言すれ
ば、そのメンテナンスのためにその装置での設計上の制
約があった。また、たとえ排気配管との接続をベローズ
により構成したとしても、重い装置本体を取り外す必要
があるため、そのメンテナンスが容易ではなかった。
うな従来の水冷式ガストラップ装置にあっては、装置本
体の管体内壁面などに付着した反応生成物を取り除くた
めのメンテナンスでは、以下の作業を行う必要があっ
た。すなわち、まず、排気配管４との連結部からクラン
プ３、Ｏリング付きセンタリング２を取り外し、さら
に、装置本体１を排気配管４から取り外さなければなら
なかった。よって、その作業が非常に面倒であった。ま
た、装置本体１を取り外し易くするためには、排気配管
との接続にベローズを使用する必要があった。換言すれ
ば、そのメンテナンスのためにその装置での設計上の制
約があった。また、たとえ排気配管との接続をベローズ
により構成したとしても、重い装置本体を取り外す必要
があるため、そのメンテナンスが容易ではなかった。
【０００５】この発明の目的は、水冷式ガストラップ装
置におけるメンテナンスを容易にすることである。ま
た、この発明の別の目的は、メンテナンスが容易で設計
上の制約が少ない構造の水冷式ガストラップ装置を提供
することである。
置におけるメンテナンスを容易にすることである。ま
た、この発明の別の目的は、メンテナンスが容易で設計
上の制約が少ない構造の水冷式ガストラップ装置を提供
することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載した発明
は、筒状に形成されて内部をガスが通流する装置本体
と、この装置本体に着脱自在に挿入されたカートリッジ
と、を備えた水冷式ガストラップ装置であって、上記カ
ートリッジは、装置本体の内部を流れるガスを冷却する
水冷パイプと、このガスを冷却することによって生成さ
れた生成物を捕集する捕集部材と、を有する水冷式ガス
トラップ装置である。
は、筒状に形成されて内部をガスが通流する装置本体
と、この装置本体に着脱自在に挿入されたカートリッジ
と、を備えた水冷式ガストラップ装置であって、上記カ
ートリッジは、装置本体の内部を流れるガスを冷却する
水冷パイプと、このガスを冷却することによって生成さ
れた生成物を捕集する捕集部材と、を有する水冷式ガス
トラップ装置である。
【０００７】請求項１に記載した発明では、カートリッ
ジを装置本体に挿入した状態で、装置本体の内部にガス
を流すこととなる。このとき、カートリッジの水冷パイ
プによりガスは冷却され、冷却によって生成された生成
物は捕集部材によって捕集される。そして、この捕集部
材から生成物を除去する場合、また、水冷パイプに付着
した生成物を除去する場合などには、カートリッジを装
置本体から取り外して行う。このとき、装置本体自体は
排気配管から取り外すことなく、上記メンテナンスを行
うことができる。
ジを装置本体に挿入した状態で、装置本体の内部にガス
を流すこととなる。このとき、カートリッジの水冷パイ
プによりガスは冷却され、冷却によって生成された生成
物は捕集部材によって捕集される。そして、この捕集部
材から生成物を除去する場合、また、水冷パイプに付着
した生成物を除去する場合などには、カートリッジを装
置本体から取り外して行う。このとき、装置本体自体は
排気配管から取り外すことなく、上記メンテナンスを行
うことができる。
【０００８】以下、この発明の一実施例を図面を参照し
て説明する。図１は、この発明の一実施例に係る水冷式
ガストラップ装置を示す正面断面図である。
て説明する。図１は、この発明の一実施例に係る水冷式
ガストラップ装置を示す正面断面図である。
【０００９】この図において、１１Ａ、１１ＢはＣＶＤ
装置からの排気配管であって、この排気配管１１Ａと排
気配管１１Ｂとの間に水冷式ガストラップ装置１２が接
続されている。すなわち、水冷式ガストラップ装置１２
は、Ｔ字形状の円筒形状の管体で構成された装置本体１
３と、この装置本体１３の内部に挿入されるよう装置本
体１３に対して着脱自在に設けられた筒状のカートリッ
ジ１４と、を有して構成されている。
装置からの排気配管であって、この排気配管１１Ａと排
気配管１１Ｂとの間に水冷式ガストラップ装置１２が接
続されている。すなわち、水冷式ガストラップ装置１２
は、Ｔ字形状の円筒形状の管体で構成された装置本体１
３と、この装置本体１３の内部に挿入されるよう装置本
体１３に対して着脱自在に設けられた筒状のカートリッ
ジ１４と、を有して構成されている。
【００１０】装置本体１３は、所定長さに形成された直
管部１３Ａと、この直管部１３Ａの中間部分から直角に
分岐した分岐部１３Ｂと、を有している。分岐部１３Ｂ
の開口は上流側の排気配管１１Ａの下流端開口に、直管
部１３Ａの一端開口は上記下流側の排気配管１１Ｂの上
流端開口に、それぞれ接続・連結されている。そして、
これらの連結・接続部分は、いずれも、各管端に外方に
突出するフランジ１５を形成し、これらにフランジ１５
同士を対向させてリング状のクランプ１６で結合したも
のである。そして、これらのフランジ１５の間にはＯリ
ング付きのセンタリング１７が介装されている。このセ
ンタリング１７はガスシールを行うものである。また、
装置本体１３の直管部１３Ａはウオータジャケット構造
に形成され、冷却水がその管壁内水路１３Ｃを循環する
ように構成されている。
管部１３Ａと、この直管部１３Ａの中間部分から直角に
分岐した分岐部１３Ｂと、を有している。分岐部１３Ｂ
の開口は上流側の排気配管１１Ａの下流端開口に、直管
部１３Ａの一端開口は上記下流側の排気配管１１Ｂの上
流端開口に、それぞれ接続・連結されている。そして、
これらの連結・接続部分は、いずれも、各管端に外方に
突出するフランジ１５を形成し、これらにフランジ１５
同士を対向させてリング状のクランプ１６で結合したも
のである。そして、これらのフランジ１５の間にはＯリ
ング付きのセンタリング１７が介装されている。このセ
ンタリング１７はガスシールを行うものである。また、
装置本体１３の直管部１３Ａはウオータジャケット構造
に形成され、冷却水がその管壁内水路１３Ｃを循環する
ように構成されている。
【００１１】カートリッジ１４は、上記装置本体１３の
直管部１３Ａ内に挿入される構造に形成されており、直
管部１３Ａよりもわずかに小径で略同じ長さの円筒状の
捕集部材１８を有している。この捕集部材１８は一端が
開口しており、その他端は蓋１９で閉塞されている。さ
らに、この捕集部材１８の中間部分には上記分岐部１３
Ｂに対応して開口１８Ａが形成されている。すなわち、
この開口１８Ａを介して捕集部材１８の内部は分岐部１
３Ｂ内部に連通している。
直管部１３Ａ内に挿入される構造に形成されており、直
管部１３Ａよりもわずかに小径で略同じ長さの円筒状の
捕集部材１８を有している。この捕集部材１８は一端が
開口しており、その他端は蓋１９で閉塞されている。さ
らに、この捕集部材１８の中間部分には上記分岐部１３
Ｂに対応して開口１８Ａが形成されている。すなわち、
この開口１８Ａを介して捕集部材１８の内部は分岐部１
３Ｂ内部に連通している。
【００１２】蓋１９は外周縁が上記各フランジ１５と同
様に構成されており、装置本体１３の直管部１３Ａの他
端開口のフランジ１５に対向してリング状のクランプ１
６で結合されている。また、蓋１９とこのフランジ１５
との間には、上記クランプ１６と同様にセンタリング１
７が介装されている。さらに、この蓋１９の中央部に
は、水冷パイプ２０が片持ち梁形状に取り付け・支持さ
れている（例えば溶接されている）。すなわち、水冷パ
イプ２０は捕集部材１８の内部にその全長にわたって突
出しており、その内部の中央部分に水平に突出する一定
長さの直管部分２０Ａと、この直管部分２０Ａに巻き付
けられた形状のスパイラル部分２０Ｂとで構成されてい
る。これらのスパイラル部分２０Ｂおよび直管部分２０
Ａは相互に連通しており、それらの端部は蓋１９より外
部に突出し、この突出端が冷却水供給源に連通・接続さ
れている。冷却水はスパイラル部分２０Ｂより入って直
管部分２０Ａを経て供給源に循環する構成である。この
冷却水により捕集部材１８内を流れるガスが冷却され、
その反応生成物Ａが捕集部材１８の内壁面、および、水
冷パイプ２０の外周面に付着する。
様に構成されており、装置本体１３の直管部１３Ａの他
端開口のフランジ１５に対向してリング状のクランプ１
６で結合されている。また、蓋１９とこのフランジ１５
との間には、上記クランプ１６と同様にセンタリング１
７が介装されている。さらに、この蓋１９の中央部に
は、水冷パイプ２０が片持ち梁形状に取り付け・支持さ
れている（例えば溶接されている）。すなわち、水冷パ
イプ２０は捕集部材１８の内部にその全長にわたって突
出しており、その内部の中央部分に水平に突出する一定
長さの直管部分２０Ａと、この直管部分２０Ａに巻き付
けられた形状のスパイラル部分２０Ｂとで構成されてい
る。これらのスパイラル部分２０Ｂおよび直管部分２０
Ａは相互に連通しており、それらの端部は蓋１９より外
部に突出し、この突出端が冷却水供給源に連通・接続さ
れている。冷却水はスパイラル部分２０Ｂより入って直
管部分２０Ａを経て供給源に循環する構成である。この
冷却水により捕集部材１８内を流れるガスが冷却され、
その反応生成物Ａが捕集部材１８の内壁面、および、水
冷パイプ２０の外周面に付着する。
【００１３】以上の構成に係る水冷式ガストラップ装置
にあっては、ＣＶＤ装置からの高温の排気ガスは排気配
管１１Ａを通ってカートリッジ１４の捕集部材１８内部
に流れ込む。このとき、捕集部材１８内部は水冷パイプ
２０およびウオータジャケット１３Ｃによって冷却され
ているため、ガスは急冷されることとなる。よって、捕
集部材１８の内壁および水冷パイプ２０の外面には反応
生成物Ａが付着することとなり、排気ガスは清浄化され
て排気配管１１Ｂより下流側に送られて排出されること
となる。
にあっては、ＣＶＤ装置からの高温の排気ガスは排気配
管１１Ａを通ってカートリッジ１４の捕集部材１８内部
に流れ込む。このとき、捕集部材１８内部は水冷パイプ
２０およびウオータジャケット１３Ｃによって冷却され
ているため、ガスは急冷されることとなる。よって、捕
集部材１８の内壁および水冷パイプ２０の外面には反応
生成物Ａが付着することとなり、排気ガスは清浄化され
て排気配管１１Ｂより下流側に送られて排出されること
となる。
【００１４】このようにして付着した反応生成物Ａは捕
集部材１８および水冷パイプ２０を清掃することで、除
去される。この清掃は、クランプ１６を取り外し、カー
トリッジ１４全体を装置本体１３の直管部１３Ａから抜
き取って行う。このようにカートリッジ１４を取り外し
て洗浄することができ、かつ、カートリッジ１４のみの
洗浄で反応生成物Ａを完全に除去することができるた
め、装置全体としてのメンテナンス作業を従来に比較し
て格段に容易化することができる。また、従来の装置本
体を取り外す場合に比べてそのメンテナンスを短時間で
行える。
集部材１８および水冷パイプ２０を清掃することで、除
去される。この清掃は、クランプ１６を取り外し、カー
トリッジ１４全体を装置本体１３の直管部１３Ａから抜
き取って行う。このようにカートリッジ１４を取り外し
て洗浄することができ、かつ、カートリッジ１４のみの
洗浄で反応生成物Ａを完全に除去することができるた
め、装置全体としてのメンテナンス作業を従来に比較し
て格段に容易化することができる。また、従来の装置本
体を取り外す場合に比べてそのメンテナンスを短時間で
行える。
【００１５】
【発明の効果】この発明では、水冷式ガストラップ装置
を装置本体とカートリッジとの２つの部分で構成したた
め、メンテナンス時、重い装置本体を取り外す必要がな
くなり、メンテナンスが容易にしかも短時間で行うこと
ができる。また、排気管との接続にベローズなどを使用
する必要がなく、装置の設計上での制約を少なくするこ
とができる。
を装置本体とカートリッジとの２つの部分で構成したた
め、メンテナンス時、重い装置本体を取り外す必要がな
くなり、メンテナンスが容易にしかも短時間で行うこと
ができる。また、排気管との接続にベローズなどを使用
する必要がなく、装置の設計上での制約を少なくするこ
とができる。
【図１】この発明の一実施例に係る水冷式ガストラップ
装置の全体構成を示す正面断面図である。
装置の全体構成を示す正面断面図である。
【図２】従来の水冷式ガストラップ装置の全体構成を示
す正面断面図である。
す正面断面図である。
１３ 装置本体、 １４ カートリッジ、 １８ 捕集部材、 ２０ 水冷パイプ、
Claims (1)
- 【請求項１】 筒状に形成されて内部をガスが通流する
装置本体と、 この装置本体に着脱自在に挿入されたカートリッジと、
を備えた水冷式ガストラップ装置であって、 上記カートリッジは、装置本体の内部を流れるガスを冷
却する水冷パイプと、このガスを冷却することによって
生成された生成物を捕集する捕集部材と、を有する水冷
式ガストラップ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2867896A JPH09202972A (ja) | 1996-01-23 | 1996-01-23 | 水冷式ガストラップ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2867896A JPH09202972A (ja) | 1996-01-23 | 1996-01-23 | 水冷式ガストラップ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09202972A true JPH09202972A (ja) | 1997-08-05 |
Family
ID=12255165
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2867896A Pending JPH09202972A (ja) | 1996-01-23 | 1996-01-23 | 水冷式ガストラップ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09202972A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006092550A1 (en) * | 2005-03-02 | 2006-09-08 | Edwards Limited | Trap device |
| JP2007019525A (ja) * | 2006-08-07 | 2007-01-25 | Hitachi Kokusai Electric Inc | カートリッジ |
| US8172946B2 (en) | 2005-03-02 | 2012-05-08 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Semiconductor device manufacturing apparatus and manufacturing method of semiconductor device |
-
1996
- 1996-01-23 JP JP2867896A patent/JPH09202972A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006092550A1 (en) * | 2005-03-02 | 2006-09-08 | Edwards Limited | Trap device |
| US8172946B2 (en) | 2005-03-02 | 2012-05-08 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Semiconductor device manufacturing apparatus and manufacturing method of semiconductor device |
| JP2007019525A (ja) * | 2006-08-07 | 2007-01-25 | Hitachi Kokusai Electric Inc | カートリッジ |
| JP4502986B2 (ja) * | 2006-08-07 | 2010-07-14 | 株式会社日立国際電気 | 半導体製造装置、トラップ装置、および半導体製造装置のガス排気方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20051216 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060808 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061006 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070206 |