JP2007017809A - 光モジュール - Google Patents

光モジュール Download PDF

Info

Publication number
JP2007017809A
JP2007017809A JP2005200916A JP2005200916A JP2007017809A JP 2007017809 A JP2007017809 A JP 2007017809A JP 2005200916 A JP2005200916 A JP 2005200916A JP 2005200916 A JP2005200916 A JP 2005200916A JP 2007017809 A JP2007017809 A JP 2007017809A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical
alignment
optical element
transmission line
fixing member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2005200916A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4744211B2 (ja
Inventor
Hiroshi Nakagawa
博 仲川
Katsuya Kikuchi
克弥 菊地
Yoshitsugu Wakazono
芳嗣 若園
Kenji Suzuki
健司 鈴木
Atsushi Suzuki
敦 鈴木
Takayuki Yamaguchi
隆行 山口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ibiden Co Ltd
Mitsui Chemicals Inc
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Ricoh Co Ltd
Niterra Co Ltd
Original Assignee
Ibiden Co Ltd
Mitsui Chemicals Inc
NGK Spark Plug Co Ltd
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Ricoh Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ibiden Co Ltd, Mitsui Chemicals Inc, NGK Spark Plug Co Ltd, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST, Ricoh Co Ltd filed Critical Ibiden Co Ltd
Priority to JP2005200916A priority Critical patent/JP4744211B2/ja
Publication of JP2007017809A publication Critical patent/JP2007017809A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4744211B2 publication Critical patent/JP4744211B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)

Abstract


【課題】 光伝送路からの光信号を光素子により電気信号に変換する、または電気信号を光素子により光信号に変換して光伝送路へ送る光モジュールにおいて、光素子と光伝送路間の光軸および距離のアライメントを同時に且つ高精度で実現することのできる光モジュールおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 上記の光モジュール1において、光素子2および光伝送路固定部材3に第一および第二のアライメント用穴21、31を設け、これら第一および第二のアライメント用穴21、31の開口部211、311に嵌まるようにして光素子2および光伝送路固定部材3間にアライメント用ボール4を設ける。
【選択図】 図1

Description

本願発明は、光通信に有用な、光伝送路からの光信号を光素子により電気信号に変換する、または電気信号を光素子により光信号に変換して光伝送路へ送る光/電気変換デバイスとも呼べる光モジュールに関するものである。
上記の光モジュールについては、光信号を誤りなく伝搬させるために、モジュール組み立て時に、レーザダイオード(LD)、垂直共振器表面発光レーザ(VCSEL)、フォトダイオード(PD)などの光素子と光ファイバや光導波路などの光伝送路との位置を設計値にしたがって適切に固定し、両者を光学的に高効率に結合させる必要がある。
一般に、光素子と光伝送路路との位置合わせ方法として、アクティブアライメントおよびパッシプアライメントの2つの方法が知られているが、費用を考慮すると、光素子を駆動させることなく位置合わせを実現するパッシプアライメントを採用することが望ましい。光モジュールは、近年の光通信技術の発達に伴い需要が高まりつつあり、より安価なモジュール提供が求められているため、モジュール作製費用の低減は必須なのである。
このパッシブアライメントによる位置合わせ方法に関しては、半田の溶融時の表面張力によるセルフアライメントを利用した技術が盛んに研究開発されている(たとえば特許文献1〜4参照)。
特開2003−110245号公報 特開2003−110121号公報 特開2004−4195号公報 特開2000−56189号公報 特開2004−12803号公報
ところで、光路における光結合効率は、光結合する2者間の光軸のずれ量だけでなく、2者間の距離にも大きく依存する。このため、効率的な光結合を実現するには、光軸のみならず、光伝播方向の距離も適切に制御されなければならない。
しかしながら、上記特許文献1〜4では、半田のセルフアライメントを利用した光軸方向の位置合わせのみが行われるだけであって、光伝播方向の位置合わせに関しては全く開示されていない。これらに基づいた場合、光伝播方向の距離を規定値に設定するには、半田の塗布量や塗布位置を検討しなければならず、モジュール設計および製造工程の両方が煩雑になる。
しかも、上記特許文献1、2では、セルフアライメントによって位置合わせが実現するのは、半田によって直接固定されるプリント配線板間であって、光素子−光伝送路間ではない。
上記特許文献3も、光素子の電極パッドを基板の電極パッド上に接合する際に両電極パッドの位置合わせを行うだけである。
上記特許文献4では、半田バンプの大きさに起因して光部品の光軸と光ファイバのコアとの間で生じる高さ方向の差Δhを問題視し、基板に設けた溝に半田バンプを形成させ、その上に搭載した光部品を半田バンプを押し潰すように垂直に押し下げることで、Δhをなくすことが開示されているが、このΔhは光の伝播方向の距離ではなく、溝内の半田バンプの押し潰しでは距離制御はできない。
一方、上記特許文献5では、受発光素子を光導波路基板に実装する際の素子と基板との間隙距離について考慮しており、受発光素子を搭載したサブマウントチップと光導波路基板との間を位置決め用の半田バンプを介して接合するとともに、受発光素子と光導波路基板との間に間隙規制用の剛性ポストを設けて、半田バンプのセルフアライメント機能と剛性ポストのスタンドオフ機能により、位置制御と高さ制御を同時に実現することが開示されている。しかし、半田バンプと剛性ポストという2種類の部材を、素子と基板との間に別々に配設しなければならない。
以上のとおりの事情に鑑み、本願発明は、これら従来のパッシブアライメントとは全く技術思想を異にした、光素子と光伝送路間の光軸および距離のアライメントを同時に且つ高精度で実現することのできる光モジュールおよびその製造方法を提供することを課題としている。
本願発明は、上記の課題を解決するものとして、第1には、光伝送路からの光信号を光素子により電気信号に変換する、または電気信号を光素子により光信号に変換して光伝送路へ送る光モジュールであって、第一のアライメント用穴を有する光素子と、第二のアライメント用穴を有する光伝送路固定部材と、第一および第二のアライメント用穴の開口部に嵌まるようにして光素子および光伝送路固定部材間に設けられたアライメント用ボールとを備えていることを特徴とする。
また、第2には、光伝送路からの光信号を光素子により電気信号に変換する、または電気信号を光素子により光信号に変換して光伝送路へ送る光モジュールの製造方法であって、第一のアライメント用穴を有する光素子および第二のアライメント用穴を有する光伝送路固定部材間に、アライメント用ボールを、第一および第二のアライメント用穴の開口部に嵌まるように設けることを特徴とする。
第3には、前記光モジュールの製造方法であって、光素子が実装されている電気配線基板および光伝送路固定部材間に接着剤を注入することを特徴とする。
第4には、前記光モジュールの製造方法であって、光素子が実装されている電気配線基板および光伝送路固定部材間を半田リフローすることを特徴とする。
上記第1の発明によれば、光素子および光伝送路固定部材に設けられた第一および第二のアライメント用穴とこれらに嵌まるように設けられたアライメント用ボールの存在によって、光素子と光伝送路間の光軸および距離が同時に高精度でパッシブアライメントされた光モジュールが提供される。
しかも、モジュール構成要素としては、通常必要な光素子および光伝送路固定部材以外に、アライメント用ボールのみが新たに必要となるものであり、第一および第二のアライメント用穴を予め形成した光素子および光伝送路固定部材間にアライメント用ボールを介在させるだけの簡単な製造工程によって上記光モジュールが実現されることとなる。
また、このときの光軸精度および距離精度は、第一および第二のアライメント用穴の位置と大きさ、ならびにアライメント用ボールの大きさによって規定されるが、製造工程つまりモジュール構成要素のアセンブリ工程中に半田塗布量や塗布位置を微調整するよりも、予め設計値に従って穴形成およびボール形成しておき、それらをアセンブリする方が遥かに簡単である。
したがって、光素子と光伝送路との実装精度は、上記第一および第二のアライメント用穴ならびにアライメント用ボールの作製精度に規定されるため、光素子や光伝送路固定部材の実装位置精度を向上させる必要がなく、この結果、従来の汎用実装機によるモジュール製造工程を構築でき、全体の費用を低減できる。
このように、汎用の部品実装機を使用して、光軸方向および光伝播方向の2方向に関して、光素子を駆動させることなく固定できる、つまりパッシブアライメントできるので、光モジュールの製造工程が簡易且つ安価になる。
上記第2の発明によれば、上記第1の発明と同様に、光素子および光伝送路固定部材に第一および第二のアライメント用穴を設けておき、これらの間にアライメント用ボールを設けるだけで、光素子と光伝送路間の光軸および距離のパッシブアライメントを同時に且つ高精度で実現した光モジュールを製造することができる。
上記第3および第4の発明によれば、上記第2の発明と同様な効果が得られ、さらには、光素子が実装されている電気配線基板および光伝送路固定部材間での接着剤注入や半田リフローによって、前記光軸および距離がアライメントされた状態のまま、アライメント用ボール、光素子、光伝送路固定部材および電気配線基板を固定し一体化することができる。
[第一の実施形態]
図1は、上記のとおりの特徴を有する本願発明の一実施形態を示したものである。
本実施形態の光モジュール1は、光伝送路固定部材3に固定される光伝送路(図示なし)からの光信号を光素子2により電気信号に変換して電気配線基板5に送る、または電気配線基板5からの電気信号を光素子2により光信号に変換して光伝送路へ送るものであり、これにおいて、光素子2および光伝送路固定部材3は、第一のアライメント用穴21および第二のアライメント用穴31を有しており、これらの間にアライメント用ボール4が設けられている。
第一および第二のアライメント用穴21、31は、光素子2の受発光点22との相対的位置関係および光伝送路固定部材3の光出入射口32との相対的位置関係を同じにした条件で形成され、アライメント用ボール4を介在させた際に互いに対向して中心位置がパッシブアライメントにより揃うようになっている。
たとえば、第一のアライメント用穴21は、横一列に並んだ複数個の受発光点22からなる受発光点アレイ220から見て右上、右下、左上、左下の4箇所に設けられ、上下位置は、受発光点アレイ220の中心を通る横方向直線c1と直交する縦方向直線c2上にて直交点から等分距離に合わされ、左右位置は、上下位置から延びる横方向直線c3上にて同一間隔に合わされる。第二のアライメント用穴31は、第一のアライメント用穴21と同様にしてつまり同じ相対的位置関係を持つように、横一列に並んだ複数個の光出入射口32からなる光出入射口アレイ320から見て右上、右下、左上、左下の4箇所に設けられ、上下位置は、光出入射口アレイ320の中心を通る横方向直線c1と直交する縦方向直線c2上にて直交点から等分距離に合わされ、左右位置は、上下位置から延びる横方向直線c3上にて同一間隔に合わされる。もちろん、受発光点アレイ220における各受発光点22の間隔および光出入射口アレイ320における各光出入射口32の間隔は、予め同じ寸法となっている。
これにより、アライメント用ボール4の上部および下部が第一および第二のアライメント用穴21、31の開口部211、311に嵌まることで、アライメント用ボール4ならびに第一および第二のアライメント用穴21、31が同一中心線上に並び、よって光素子2の各受発光点22および光伝送路固定部材3の各光出入射光32の中心位置つまり光軸が揃うようになる。図1中の拡大図では、先にアライメント用ボール4が光素子2上に搭載されてその下部が第一のアライメント用穴21の開口部211に嵌まっており、その上に光伝送路固定部材3が実装される際に上部が第二のアライメント用穴31に嵌まるように光伝送路固定部材3が移動して、三者の中心位置がパッシブアライメントされている。
そして同時に、第一および第二のアライメント用穴21、31の開口部211、311間の距離、つまり光素子2と光伝送路固定部材3間の距離が、第一および第二のアライメント用穴21、31の大きさならびにアライメント用ボール4の大きさの相互関係によって規定される距離に固定される。
たとえば、図2(a)に例示したように、第一および第二のアライメント用穴21、31の直径をある寸法に固定したまま、アライメント用ボール4の直径を増減させることで、距離を増減でき、またその逆に、図2(b)に例示したように、アライメント用ボール4の直径をある寸法に固定したまま、第一および第二のアライメント用穴21、31の直径を増減させることで、距離を調整できる。もちろん両者の寸法を増減させて調整してもよい。このことは、アライメント用ボール4が第一および第二のアライメント用穴21、31にどの程度嵌まり込むかによって距離が規定されるとも言える。
これにより、予め設計した穴径およびボール径に第一および第二のアライメント用穴21、31ならびにアライメント用ボール4を形成させておくだけで、製造工程中での位置調整などを行うことなく、光素子2と光伝送路固定部材3間の光の伝播方向の距離を規定値に正確に且つ簡単に設定できるようになる。
したがって、以上のとおりの第一および第二のアライメント用穴21、31ならびにアライメント用ボール4の存在により、光軸制御および距離制御の両方をパッシブアライメントにより同時に、高精度で、且つ安価に実現することができる。
なお、第一および第二のアライメント用穴21、31の形状は、少なくともアライメント用ボール4の上部および下部が嵌まる深さを持つ開口であればよいので、光素子2および光伝送路固定部材3を上下に貫通した形状でも貫通していない形状でもよい。前者の場合は貫通スルーホール、後者の場合は非貫通スルーホールとすることができる。その個数についても、4つ設けた本実施形態に限定されるものではなく、位置制御および距離制御を実現できる個数であればよい。
また、アライメント用ボール4については、ある程度の剛性、つまり少なくとも第一および第二のアライメント用穴21、31間に嵌まる際に破損せず且つ押し潰されない程度の剛性を持つことのできるSiOなどの物質を用いて、球状に作製したものであればよい。
光素子2そのものについては、発光素子または受光素子として機能するレーザダイオード(LD)や垂直共振器表面発光レーザ(VCSEL)、フォトダイオード(PD)などの従来公知のものを用いることができる。
この光素子2が実装される電気配線基板5についても、従来公知のものを用いることができ、光素子2に設けられた電極23を介して光素子2との間で電気信号を送受可能となっている。
光伝送路固定部材3そのものについては、Si等の半導体物質によりなる基板状のものなどを用いることができる。
この光伝送路固定部材3に固定される光伝送路(光伝送媒体とも呼べる)については、従来公知の光ファイバや光導波路などを用いることができる。上記図1および図2の実施形態における光伝送路固定部材3は、多芯の光ファイバを用いる場合のものであり、光ファイバが挿入される光ファイバ用穴33を有し、その光素子2側の開口端が光出入射口32となっている。
[第二の実施形態]
ここで、上記光モジュール1の製造工程について、図3(a)〜(e)を参照しながら説明する。
<ステップ1−図3(a)>
まず、電気配線基板5に光素子2を実装する。光素子2には、上述したとおりの予め規定された受発光点22(図1参照)との相対的位置関係および穴径を持つ第一のアライメント用穴21が形成されている。この実装にはフリップチップ実装などの従来公知の手法を用いることができる。
<ステップ2−図3(b)>
続いて、光素子2の第一のアライメント用穴21上にアライメント用ボール4を搭載する。このとき、アライメント用ボール4の下部が第一のアライメント用穴21の開口部211に嵌まる(図1中の拡大図参照)。
<ステップ3−図3(c)>
次に、アライメント用ボール4上に光伝送路固定部材3を実装する。光伝送路固定部材3には、上述したとおりの予め規定された光出入射口32との相対的位置関係および穴径を持つ第二のアライメント用穴31が形成されおり、この第二のアライメント用穴31の開口部311にアライメント用ボール4の上部が嵌まる(図1中の拡大図参照)。
このとき、第一および第二のアライメント用穴21、31の中心位置と間隔がアライメント用ボール4の存在により同時にアライメントされて、光素子2の受発光点22(図1参照)と光伝送路固定部材3の光出入射口32との光軸が揃うとともに距離が規定値に固定されることとなる。
<ステップ4−図3(d)>
そして、電気配線基板5および光伝送路固定部材3間に形成されている空間に接着剤6を注入し、硬化させて、光軸および距離のアライメント状態を保ったまま、アライメント用ボール4、光素子2、光伝送路固定部材3および電気配線基板5を互いに固定し一体化させる。
<ステップ5−図3(e)>
後は、光伝送路7としての光ファイバ70を光伝送路固定部材3の光ファイバ用穴33に挿入して固定すればよい。
ここで、光ファイバ70を挿入する前の状態を一つの光モジュール1として提供することも、光ファイバ70を挿入した後の状態を一つの光モジュール1として提供することも可能であることは言うまでもない。後者の場合では、上記接着剤処理は光ファイバ70を挿入させた状態のものに施してもよい。
[第三の実施形態]
次に、別の製造工程について、図4(a)〜(f)を参照しながら説明する。上記図3の製造工程では接着剤を用いた固定手法を採用しているが、ここでは半田ボール(半田バンプとも呼べる)およびそのリフローを用いた固定手法を採用している。
<ステップ1−図4(a)>
まず、電気配線基板5に半田ボール8を形成する。半田ボール8は、半田印刷などの従来公知の手法を用いて形成できる。
<ステップ2、3、4−図4(b)(c)(d)>
続いて、前述の製造工程と同様に電気配線基板5に光素子2を実装し、光素子2の第一のアライメント用穴21上にアライメント用ボール4を搭載し、さらにアライメント用ボール4上に光伝送路固定部材3を実装した後、半田ボール8を加熱して溶かし、光伝送路固定部材3と光素子2とを接合する。
この半田ボール8のリフローによって、前述と同様に光軸制御および距離制御が達成された状態で、アライメント用ボール4、光素子2、光伝送路固定部材3および電気配線基板5が一体化される。
<ステップ5、6−図4(e)(f)>
後は、光ファイバ70を光伝送路固定部材3の光ファイバ用穴33に挿入すればよいのであるが、ここではさらに、光伝送路固定部材3を一層安定させ、また埃等の侵入を防ぐために、電気配線基板5および光伝送路固定部材3間の空間に封止樹脂9を注入することが好ましい。もちろん、この封止樹脂処理は光ファイバ70を挿入させる前に施してもよい。
[第四の実施形態]
以上の実施形態では、光モジュール1に対する光ファイバ70の接続は、光ファイバ70の端部を光伝送路固定部材3の光ファイバ用穴33に挿入させることにより行われるが、この他にも、たとえば図5(a)〜(e)に例示したように、光モジュール1をソケット型モジュールとし、これに光ファイバ70端部に設けたコネクタ71を接続するソケット/コネクタ形態を採用することもできる。
<ステップ1〜4−図5(a)〜(d)>
まず、前述の製造工程と同様に、電気配線基板5に光素子2を実装し、光素子2の第一のアライメント用穴21上にアライメント用ボール4を搭載し、アライメント用ボール4上に光伝送路固定部材3を実装して、電気配線基板5と光伝送路固定部材3間の空間に接着剤6を注入し硬化する。半田ボール8のリフローでも良いことは言うまでもない。
このときに用いる光伝送路固定部材3が、アライメント用穴31および光ファイバ用穴33とともにソケット穴34を備えたソケット形態を有しており、これにより光モジュール1全体がソケット型モジュールとなる。光ファイバ用穴33には、予め光伝送路固定部材3の厚さ寸法に合わせてカットされた光ファイバ70が挿入されている。
<ステップ5−図5(e)>
そして、このソケット型の光モジュール1に、それとは別体として用意されたコネクタ71を接続することで、光モジュール1と光ファイバ70とのソケット/コネクタ接続が実現される。コネクタ71については、光伝送路固定部材3のソケット穴34に嵌入されるコネクタピン711を備え、多芯の光ファイバ70の接続端が固定されたMT(Mechanically Transferable)光コネクタとなっている。
[第五の実施形態]
ところで、上記光モジュール1における光素子2とそれが実装される電気配線基板5は、光素子2の電極23を介して互いに電気信号を送受可能に接続されるが、その電極23については、たとえば、図6(a)および図6(b)に例示したような裏面電極231やワイヤボンディング232の形態の他に、図6(c)に例示したようにアライメント用ボール4そのものを電極とする形態も考慮できる。
より具体的には、たとえば、アライメント用ボール4を導電性物質で形成し、あるいは表面を導電性物質で被覆してボール電極40とし、さらにそれが設置される第一のアライメント用穴21を貫通電極233とする。当然、ボール電極40と貫通電極233とは電気的に接続されている。
これにより、裏面電極231やワイヤボンディング233といった別途の電極23を設けることなく、アライメント用ボール4および第一のアライメント用穴21そのものを電極23として用いることができ、光モジュール1のさらなる小型化が可能になる。
[第六の実施形態]
以上のとおりの光モジュール1については、たとえば図7(a)〜(c)に例示したように、光素子2の駆動ICチップ10をも一緒に実装させてモジュール化した実施形態も可能である。
図7(a)では、駆動ICチップ10を光素子2とともに電気配線基板5上に実装させている。図7(b)では、光伝送路固定用部材3上に実装させており、図7(a)よりも、駆動ICチップ10が発する熱をより効果的に放熱できる。図7(c)では、電気配線基板5における光素子2とは反対側の面に実装させており、光素子2と駆動ICチップ10とを電気配線基板5を間にして熱的に分離でき、且つ、図7(b)よりも、駆動ICチップ10と電気配線基板5との配線を短くすることができる。
また、これらの実施形態では、たとえば図7(c)に例示したように、さらに必要に応じてインターフェイスボード11などを電気配線基板5に接合させたモジュール化も可能である。
[他の実施形態]
図3〜図5に示した実施形態では、アライメント用ボール4を光素子2上に搭載させた後に、光伝送路固定用部材3を実装させているが、この他にも、たとえば、アライメント用ボール4を接着剤等の何等かの手段で光伝送路固定用部材3側に固定させておき、これを光素子2のアライメント用穴21に載置する実施形態も可能である。
本願発明の一実施形態について説明するための図。 (a)(b)は本願発明の一実施形態について説明するための図。 (a)〜(e)は本願発明の一実施形態について説明するための工程図。 (a)〜(f)は本願発明の一実施形態について説明するための工程図。 (a)〜(e)は本願発明の一実施形態について説明するための工程図。 (a)〜(c)は光素子の電極構成の一実施形態を示した断面図。 (a)〜(c)は駆動ICチップを実装した光モジュールの一実施形態を示した断面図。
符号の説明
1 光モジュール
2 光素子
21 第一のアライメント用穴
211 開口部
22 受発光点
220 受発光点アレイ
23 電極
231 裏面電極
232 ワイヤボンディング
233 貫通電極
3 光伝送路固定部材
31 第二のアライメント用穴
311 開口部
32 光出入射口
320 光出入射口アレイ
33 光ファイバ用穴
34 ソケット穴
4 アライメント用ボール
40 ボール電極
5 電気配線基板
6 接着剤
7 光伝送路
70 光ファイバ
71 コネクタ体
711 コネクタピン
8 半田ボール

9 封止樹脂
10 駆動ICチップ
11 インターフェイスボード

Claims (4)

  1. 光伝送路からの光信号を光素子により電気信号に変換する、または電気信号を光素子により光信号に変換して光伝送路へ送る光モジュールであって、
    第一のアライメント用穴を有する光素子と、
    第二のアライメント用穴を有する光伝送路固定部材と、
    第一および第二のアライメント用穴の開口部に嵌まるようにして光素子および光伝送路固定部材間に設けられたアライメント用ボールとを備えていることを特徴とする光モジュール。
  2. 光伝送路からの光信号を光素子により電気信号に変換する、または電気信号を光素子により光信号に変換して光伝送路へ送る光モジュールの製造方法であって、
    第一のアライメント用穴を有する光素子および第二のアライメント用穴を有する光伝送路固定部材間に、アライメント用ボールを、第一および第二のアライメント用穴の開口部に嵌まるように設けることを特徴とする光モジュールの製造方法。
  3. 光素子が実装されている電気配線基板および光伝送路固定部材間に接着剤を注入することを特徴とする請求項2記載の光モジュールの製造方法。
  4. 光素子が実装されている電気配線基板および光伝送路固定部材間を半田リフローすることを特徴とする請求項2記載の光モジュールの製造方法。
JP2005200916A 2005-07-08 2005-07-08 光モジュール Expired - Fee Related JP4744211B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005200916A JP4744211B2 (ja) 2005-07-08 2005-07-08 光モジュール

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005200916A JP4744211B2 (ja) 2005-07-08 2005-07-08 光モジュール

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007017809A true JP2007017809A (ja) 2007-01-25
JP4744211B2 JP4744211B2 (ja) 2011-08-10

Family

ID=37755019

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005200916A Expired - Fee Related JP4744211B2 (ja) 2005-07-08 2005-07-08 光モジュール

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4744211B2 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012128233A (ja) * 2010-12-16 2012-07-05 Nec Corp 光モジュール及びその実装方法
WO2016088349A1 (ja) * 2014-12-01 2016-06-09 古河電気工業株式会社 光モジュール
JP2017195250A (ja) * 2016-04-19 2017-10-26 株式会社リコー 光源デバイス
JP7456294B2 (ja) 2020-06-01 2024-03-27 株式会社リコー 可動装置、偏向装置、距離測定装置、画像投影装置、及び車両

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02220013A (ja) * 1989-02-21 1990-09-03 Nec Corp 並列伝送光モジュール
JPH0682661A (ja) * 1992-01-10 1994-03-25 American Teleph & Telegr Co <Att> 自動整合光部品
JPH0688925A (ja) * 1991-08-30 1994-03-29 American Teleph & Telegr Co <Att> 光学組立体とその形成方法
JPH06167641A (ja) * 1992-08-21 1994-06-14 American Teleph & Telegr Co <Att> 光学組立体
JPH07235566A (ja) * 1994-02-22 1995-09-05 Nec Corp 光素子の実装構造
JP2000206376A (ja) * 1999-01-08 2000-07-28 Furukawa Electric Co Ltd:The 受発光素子モジュ―ルおよびその作製方法
JP2002182088A (ja) * 2000-10-13 2002-06-26 Agilent Technol Inc 光学部品の受動的位置合わせのための装置および方法
JP2003207694A (ja) * 2002-01-15 2003-07-25 Nec Corp 光モジュール
JP2004012803A (ja) * 2002-06-06 2004-01-15 Fujitsu Ltd 光伝送用プリント板ユニット及び実装方法

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02220013A (ja) * 1989-02-21 1990-09-03 Nec Corp 並列伝送光モジュール
JPH0688925A (ja) * 1991-08-30 1994-03-29 American Teleph & Telegr Co <Att> 光学組立体とその形成方法
JPH0682661A (ja) * 1992-01-10 1994-03-25 American Teleph & Telegr Co <Att> 自動整合光部品
JPH06167641A (ja) * 1992-08-21 1994-06-14 American Teleph & Telegr Co <Att> 光学組立体
JPH07235566A (ja) * 1994-02-22 1995-09-05 Nec Corp 光素子の実装構造
JP2000206376A (ja) * 1999-01-08 2000-07-28 Furukawa Electric Co Ltd:The 受発光素子モジュ―ルおよびその作製方法
JP2002182088A (ja) * 2000-10-13 2002-06-26 Agilent Technol Inc 光学部品の受動的位置合わせのための装置および方法
JP2003207694A (ja) * 2002-01-15 2003-07-25 Nec Corp 光モジュール
JP2004012803A (ja) * 2002-06-06 2004-01-15 Fujitsu Ltd 光伝送用プリント板ユニット及び実装方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012128233A (ja) * 2010-12-16 2012-07-05 Nec Corp 光モジュール及びその実装方法
WO2016088349A1 (ja) * 2014-12-01 2016-06-09 古河電気工業株式会社 光モジュール
JP2017195250A (ja) * 2016-04-19 2017-10-26 株式会社リコー 光源デバイス
JP7456294B2 (ja) 2020-06-01 2024-03-27 株式会社リコー 可動装置、偏向装置、距離測定装置、画像投影装置、及び車両

Also Published As

Publication number Publication date
JP4744211B2 (ja) 2011-08-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5493744B2 (ja) 光電気混載基板、および、光電気混載基板の製造方法
JP4882644B2 (ja) 光電気変換装置
WO2009090988A1 (ja) 光モジュール
JP2008053423A (ja) 接続体および光送受信モジュール
US20110170831A1 (en) Optical module and manufacturing method of the module
KR20140016993A (ko) 다이 내에 미세 제작된 정렬 피처에 부착되는 광학 프레임
JP2009139412A (ja) 光配線基板及び光結合方法
US20130182394A1 (en) Electronic module packages and assemblies for electrical systems
US20040190831A1 (en) Optical devices and methods to construct the same
US7500792B2 (en) Optoelectronic transmitting and/or receiving arrangement
JP4744211B2 (ja) 光モジュール
US20030081911A1 (en) Optical module and production method therefor
JP4397735B2 (ja) 光モジュール、光モジュール用セラミック基板、光モジュールと光ファイバコネクタのプラグとの結合構造
JP6460130B2 (ja) コネクタ及びコネクタセット
EP2169437A1 (en) Optical module, optical transmission device, and surface optical device
JP5078021B2 (ja) 光導波路モジュール、光導波路モジュールの製造方法
JP2006133763A (ja) Lsiパッケージの光電気配線板への実装構造、実装方法、情報処理装置、光インタフェース、光電気配線板
JP2007057976A (ja) 光モジュール
JP2008197173A (ja) 光通信モジュール、電子機器、光通信モジュールの製造方法および電子機器の製造方法
JP2009199037A (ja) 光モジュール
JP2007114583A (ja) 光素子モジュール、光電気配線基板、および光電子複合組立体
US20190011650A1 (en) Optical coupling member and optical module
TWI451147B (zh) 光電模組
WO2014141458A1 (ja) 光モジュールおよび伝送装置
KR20150067009A (ko) 수동광정렬을 위한 결합구조를 갖는 광커넥터리셉터클 및 이를 포함하는 광커넥터어셈블리, 광전송부재커넥터모듈

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080702

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711

Effective date: 20080818

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20080818

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100414

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100420

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100615

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110419

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110510

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140520

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees