JP2007016317A - ナノ粒子分散溶液の製造方法及びこれを用いるナノ粒子薄膜の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ナノ粒子の欠陥及び凝集を減少させて分散効率を向上させることができ、面積に均一に塗布される2次元または3次元ナノ粒子薄膜の製造方法を提供する。
【解決手段】ナノ粒子の表面が電荷を帯びるように、ナノ粒子の表面を改質し、改質されたナノ粒子を真空乾燥し、乾燥したナノ粒子を溶媒に分散させてから遠心分離することによりナノ粒子を分散させ、ナノ粒子表面と反対電荷を帯びるように、2次元または3次元基板を前処理し、前記ナノ粒子分散溶液を前記前処理された2次元または3次元基板にコーティングする。
【選択図】図1
【解決手段】ナノ粒子の表面が電荷を帯びるように、ナノ粒子の表面を改質し、改質されたナノ粒子を真空乾燥し、乾燥したナノ粒子を溶媒に分散させてから遠心分離することによりナノ粒子を分散させ、ナノ粒子表面と反対電荷を帯びるように、2次元または3次元基板を前処理し、前記ナノ粒子分散溶液を前記前処理された2次元または3次元基板にコーティングする。
【選択図】図1
Description
本発明は、ナノ粒子表面を、電荷を帯びた物質で置換して改質し、真空乾燥した後、溶媒に分散させ遠心分離することで得られるナノ粒子分散溶液を利用して薄膜を形成することにより、大面積に均一に塗布される2次元または3次元ナノ粒子薄膜を得ることができるナノ粒子分散方法及びこれを用いるナノ粒子薄膜の製造方法に関する。
量子ドットは、量子閉じ込め(quantum confinement)効果を示すナノサイズの半導体物質であって、優れた物理的、化学的及び電気的特性により、多様な電気的、光学的デバイスに使用されている。このような量子ドットが各種電気的、光学的デバイスに利用される場合には、溶媒に分散して使用することが一般的である。
しかし、このような量子ドットは、ナノ粒子の特性上、粒子間の凝集力が非常に大きいため、凝集体を形成する傾向があるが、このように凝集すれば、それ自体の独特な特性が正常に発揮できない問題点が発生する。よって、基質中で互いに凝集しないように、ナノ粒子の分散性を向上させるための多くの試みがあった。
例えば、分散剤でキャッピング(capping)されているナノ粒子の表面を、電荷を帯びた物質で切り替えれば、水溶液でもよく分散するナノ粒子を製造することができる。このように、ナノ粒子の表面に配位された物質を切り替える技術を開発すれば、電子回路、高分子物質、生体分子などとも互換性が良くなるようにして、量子ドットの応用性を多様な範囲に拡大することができる。
これに関連し、ナノ粒子表面に帯電した物質を置換して分散性を向上させる技術として、超音波処理(sonication)で洗浄した後、カラム(column)またはフィルターでナノ粒子凝集体を分離する方法が知られている。しかし、超音波法は、強い超音波エネルギーで長期間反応させる場合、ナノ粒子が破壊されるか欠陥(defect)が生じる問題点がある。このような欠陥が発生することを防止するために、反応時間を減らす場合、未反応物が存在することになり、収率が低くなる問題点がある。また、超音波処理されたナノ粒子の中で、凝集した粒子を分離し出すために、従来はカラムまたはフィルターを利用する分離方法が使用されたが、これはナノ粒子を小気孔のフィルターで濾さなければならないため、強い水圧で長時間にわたって濾さなければならないのみならず、フィルターにナノ粒子が吸着して損失するなどの問題点のため、大量生産に適しない。
一方、分散剤によって分散した量子ドットを大部分の素子に適用可能にするためには、これを大面積に均一に配列させてナノ粒子薄膜を形成することが必須である。しかし、いまだに数ナノメートル程度の大きさの物質をミリメートル以上の2次元または3次元基板に整列構造を有するように配置する技術はあまり知られていない。
具体的に、ナノ粒子薄膜を形成する技術として、水溶液と空気層間の界面で薄膜を形成するラングミュアブロジェット法(Langmuir−Blodgett(LB)法)が知られているが、粒子と粒子間、または粒子と基板間の弱いファンデルワールス力を利用するため、基板に転移される割合の転移比(transfer ratio)が1以下になって、大面積に均一な単膜を製造することができない。
他の方法として、粒子の水溶液に連続して基板をつけてから除去する工程を繰り返すことで、基板に吸着された粒子のカバレージを高めるディッピング(Dipping)法が知られているが、ディッピングを数回繰り返してもカバレージ(coverage)が70%を超えることができない問題点がある。
さらに他の方法として、粒子と基板間に反対電荷を与えて薄膜を形成する静電自己組織(Electrostatic Self−Assembly)法が知られているが、実際の工程に利用する場合、ナノ粒子が凝集体を形成するため、欠陥(defect)が発生して完成度が低下する問題点がある。
その他にも、熱分解法(pyrolysis)またはレーザー融除法(laser ablation)、化学気相蒸着法(CVD)などのように、ガス形態で供給される原料から気相反応によって基板にナノ粒子を直接生成させて蒸着し、成長させてナノ粒子を配列する方法が知られているが、1011粒子/cm2(particles/cm2)以上の高密度を持つ大面積に均一に塗布される2次元単層(単一層)薄膜を製造することができない問題点を持つ。
最後に、特許文献1は、凹凸部の底に量子ドットを形成することで3次元ナノ粒子薄膜を製造する技術を開示しているが、この方法は化学気相蒸着法などの気相法によって3次元ナノ粒子薄膜を提供するため、高価装備の使用で製造費用が上昇する欠点がある。
特開2004−87615号公報
本発明は前述した従来技術の問題点を解決するためになされたもので、本発明の目的は、ナノ粒子の欠陥(defects)及び凝集(aggregation)を減少させて分散効率を向上させることができるナノ粒子分散方法を提供することである。
本発明の他の目的は、大面積に均一に塗布される2次元または3次元ナノ粒子薄膜の製造方法を提供することである。
前述した目的を達成するため、本発明の一形態によれば、
(a)ナノ粒子の表面が電荷を帯びるように、ナノ粒子の表面を改質する段階と;
(b)改質された前記ナノ粒子を真空乾燥する段階と;
(c)乾燥した前記ナノ粒子を溶媒に分散させてから遠心分離する段階と;
を含むナノ粒子分散溶液の製造方法が提供される。
(a)ナノ粒子の表面が電荷を帯びるように、ナノ粒子の表面を改質する段階と;
(b)改質された前記ナノ粒子を真空乾燥する段階と;
(c)乾燥した前記ナノ粒子を溶媒に分散させてから遠心分離する段階と;
を含むナノ粒子分散溶液の製造方法が提供される。
前述した目的を達成するための本発明の他の形態によれば、ナノ粒子表面と反対電荷を帯びるように前処理された基板に、本発明の方法によって得られたナノ粒子分散溶液をコーティングする段階、を含むナノ粒子薄膜の製造方法が提供される。
前述した目的を達成するための本発明のさらに他の形態によれば、基板上にナノ粒子が均一に配列された2次元または3次元ナノ粒子薄膜を形成し、前記2次元薄膜は、1mm×1mm以上の面積で欠陥密度(defect density)が5%未満であり、パッキング密度(packing density)が1011粒子/cm2以上である。前記3次元薄膜は、1mm×1mm以上の面積で欠陥密度が5%未満であり、パッキング密度が1011粒子/cm2以上であり、前記のような物性を持ちながらも多様な大きさ及び形態を持つ単層または多層であるナノ粒子薄膜が提供される。
本発明によれば、穏やかな反応条件の下でナノ粒子表面を改質することにより、ナノ粒子の不安定性または欠陥の問題を解決することができ、洗浄されたナノ粒子を真空乾燥することにより、残留溶媒を除去してナノ粒子凝集体の形成を減少させることができ、遠心分離によってナノ粒子凝集体を除去することにより、分散効率を向上させることができ、ナノ粒子薄膜形成の時、凝集体及び不純物の吸着量を減少させることができる。
また、前記のような方法によって得られたナノ粒子分散溶液を基板にコーティングする場合、1mm×1mm以上の面積に均一に塗布される2次元単層ナノ粒子薄膜を製造することができるだけではなく、多様な大きさ及び形態を持つ3次元構造物の表面に単層または多層の薄膜を形成することができるので、より多様な電気的、光学的デバイスに適用することができる。
以下、添付図面に基づいて本発明をより詳細に説明する。本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施することができるように詳細に説明する。しかし、本発明は多様に相異した形態で実現でき、ここで説明する実施例に限定されない。
本発明によるナノ粒子分散溶液の製造方法は、穏やかな反応条件で、ナノ粒子表面が電荷を帯びるように、ナノ粒子表面を改質した後、ナノ粒子を真空乾燥して残留溶媒を除去し、水溶液に分散した後、改質されたナノ粒子溶液を遠心分離して残留物及び不純物を除去することを特徴とする。これを各段階別に詳細に説明すれば下記のようである。
(a)ナノ粒子の表面を改質する段階
本発明の分散方法は、先に、電荷を帯びた物質、例えばメルカプト酢酸(mercaptoacetic acid、MAA)をクロロホルム等の適当な溶媒に入れて加熱した後、これにナノ粒子を入れて混合溶液を製造することを含む。
本発明の分散方法は、先に、電荷を帯びた物質、例えばメルカプト酢酸(mercaptoacetic acid、MAA)をクロロホルム等の適当な溶媒に入れて加熱した後、これにナノ粒子を入れて混合溶液を製造することを含む。
このように混合溶液が製造されれば、穏やかな反応槽で、すなわち還流条件下で撹拌しながら前記混合溶液を反応させる。従来は、超音波処理(sonication)技術を利用してナノ粒子表面を改質したため、前述したように、ナノ粒子が破壊されるなど不安定であるという問題点があった。よって、本発明では、従来とは違い、超音波技術を用いず、還流条件下で撹拌させることにより、改質された粒子の安全性及び収率を向上させることができる。
具体的に、本発明に使用されるナノ粒子は特に制限されるものではなく、市販の製品を購入して使用することができ、公知な合成法、例えば有機化学気相蒸着(Organometallic Chemical Vapor Deposition)、分子線エピタキシー(Molecular Beam Epitaxy)または化学的湿式合成法等によって合成されるすべての種類のナノ粒子を使用することができる。
具体的に、前記ナノ粒子としては、II−VI族化合物半導体、III−V族化合物半導体、IV−VI族化合物半導体、IV族化合物半導体、金属及び磁性粒子からなる群から選択される少なくとも一種を含みうる。望ましい例としては、CdS、CdSe、CdTe、ZnS、ZnSe、ZnTe、GaN、GaP、GaAs、GaSb、AlN、AlP、AlAs、AlSb、InP、InAs、InSb、SiC、Fe、Pt、Ni、Co、Al、Ag、Au、Cu、FePt、Fe2O3、Fe3O4、Si、およびGeからなる群から選択される少なくとも一種を含みうるが、これらに限定されるものではない。また、本発明では、コア−シェル構造(コア−シェル合金構造)のナノ粒子も使用することができる。本発明で使用可能なナノ粒子の大きさは特に制限されないが、望ましくは、特に、2〜30nmの範囲である。
このようなナノ粒子表面を改質するために使用される電荷を帯びた物質としては、具体的にメルカプト酢酸(mercaptoacetic acid、MAA)、3−メルカプトプロピオン酸(3−mercaptopropionic acid)、システアミン(cysteamine)、アミノエタンチオール(aminoethanethiol)、N,N−ジメチル−2−メルカプトエチルアンモニウム(N,N−dimethyl−2−mercaptoethyl ammonium)、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド(tetramethylammonium hydroxide、TMAH)、グルタミン酸(glutamic acid)、グルタル酸(glutaric acid)、グルタミン(glutamine)、L−リシンモノヒドロクロリド(L−Lysine monohydrochloride)、およびリシン(Lysine)からなる群から選択される少なくとも一種でありうるが、これらに制限されるものではない。
この場合、均一な混合溶液を製造するために、50〜150℃の温度範囲で30分〜10時間、より望ましくは1時間〜10時間行うことが望ましい。
(b)表面改質されたナノ粒子を真空乾燥する段階
前記の反応が完了した後、残留物質及び不純物を除去するために、沈澱及び遠心分離を繰り返すことでナノ粒子溶液を洗浄する。具体的に、前記洗浄工程は、有機溶媒に分散させて沈澱させる過程が繰り返され、十分な洗浄を行うためには、3〜10回繰り返すことが望ましい。
前記の反応が完了した後、残留物質及び不純物を除去するために、沈澱及び遠心分離を繰り返すことでナノ粒子溶液を洗浄する。具体的に、前記洗浄工程は、有機溶媒に分散させて沈澱させる過程が繰り返され、十分な洗浄を行うためには、3〜10回繰り返すことが望ましい。
前記のような洗浄が完了すれば、洗浄されたナノ粒子を真空乾燥して残留溶媒を除去する。空気中で乾燥させる場合には、溶媒が完全に除去されずにナノ粒子の酸化が進行する場合があるから、本発明では、真空乾燥して残留有機溶媒を除去することが望ましい。前記のように真空乾燥によって残留溶媒を除去することにより、ナノ粒子凝集体が形成することをより効果的に防止することができる。残留溶媒を充分に除去するためには、1〜12時間、真空乾燥させることが望ましい。
(c)改質されたナノ粒子溶液を遠心分離する段階
次いで、残留溶媒が除去されれば、ナノ粒子を、使用溶媒、例えば水またはトリス緩衝液(Tris buffer)に分散させる。前記ナノ粒子分散溶液には、表面改質されたナノ粒子だけでなく、ナノ粒子凝集体及び不純物が存在しうるため、これを遠心分離によって除去する。従来は、ナノ粒子凝集体を除去するために、カラム(column)またはフィルターを利用して分離していたため、長時間が要求されるだけでなく、フィルター等に多量に吸着され、落ちないで凝集するかまたは収率が低いという問題点があり、しかも大量生産に適しなかった。よって、本発明では、遠心分離法を利用してこのような問題点を解決した。この場合、前記ナノ粒子分散溶液に分散した粒子の中でナノ粒子凝集体のみを選別して沈澱させるために、望ましくは前記ナノ粒子が4000〜50,000Gで、1分〜3時間、より望ましくは前記ナノ粒子が4000〜30,000Gで、1分〜1時間進行することが望ましい。
次いで、残留溶媒が除去されれば、ナノ粒子を、使用溶媒、例えば水またはトリス緩衝液(Tris buffer)に分散させる。前記ナノ粒子分散溶液には、表面改質されたナノ粒子だけでなく、ナノ粒子凝集体及び不純物が存在しうるため、これを遠心分離によって除去する。従来は、ナノ粒子凝集体を除去するために、カラム(column)またはフィルターを利用して分離していたため、長時間が要求されるだけでなく、フィルター等に多量に吸着され、落ちないで凝集するかまたは収率が低いという問題点があり、しかも大量生産に適しなかった。よって、本発明では、遠心分離法を利用してこのような問題点を解決した。この場合、前記ナノ粒子分散溶液に分散した粒子の中でナノ粒子凝集体のみを選別して沈澱させるために、望ましくは前記ナノ粒子が4000〜50,000Gで、1分〜3時間、より望ましくは前記ナノ粒子が4000〜30,000Gで、1分〜1時間進行することが望ましい。
一方、本発明の他の形態によれば、前記のような方法によって得られたナノ粒子分散溶液を2次元または3次元基板にコーティングすることによるナノ粒子薄膜を製造する方法である。本発明によって得られたナノ粒子分散溶液は、分散性に優れ、薄膜形成の時、凝集体形成または不純物の吸着量が減少するので、本発明の方法によれば、1mm×1mm以上の面積に均一に配列された2次元単層ナノ粒子薄膜を形成するか、あるいは多様な大きさ及び形態を持つ3次元構造物表面に単層または多層のナノ粒子薄膜を形成することができる。
ただ、本発明の分散方法によって得られたナノ粒子分散溶液を利用して下記のようにナノ粒子薄膜を製造することが最も望ましいが、得られたナノ粒子分散溶液を利用して、その他の公知の方法によってナノ粒子薄膜を製造する場合にも、本発明で得ようとする効果を得ることができる場合もある。
具体的に、本発明のナノ粒子薄膜の製造方法は、ナノ粒子表面と反対電荷を帯びるように2次元または3次元基板を前処理する段階と、本発明の方法によって得られたナノ粒子分散溶液を前処理された2次元または3次元基板にコーティングする段階と、を含む。
これを各段階別に詳細に説明すれば下記のようである。
(第1段階)ナノ粒子表面と反対電荷を帯びるように2次元または3次元基板を前処理する第1段階
本発明のナノ粒子薄膜の製造は、先に、ナノ粒子が配列される基板を前処理する。前記基板前処理工程は、薄膜が形成される基板とナノ粒子が互いに反対電荷を帯びるように、基板の表面を改質するためのもので、改質すべき基板を洗浄した後、例えばアミノシランまたはカルボン酸シランと反応させてアミン基またはカルボン酸基が基板表面に形成されるように進行される。
本発明のナノ粒子薄膜の製造は、先に、ナノ粒子が配列される基板を前処理する。前記基板前処理工程は、薄膜が形成される基板とナノ粒子が互いに反対電荷を帯びるように、基板の表面を改質するためのもので、改質すべき基板を洗浄した後、例えばアミノシランまたはカルボン酸シランと反応させてアミン基またはカルボン酸基が基板表面に形成されるように進行される。
より具体的に、本発明の基板前処理工程は、ピラナ溶液(pirana solution)、続いてRCA溶液(例えば、NH4OH/H2O2/H2O=1/1/5)で処理して洗浄し、基板に吸着させようとする官能基を有する物質を含む反応溶液、例えばアミノシラン/トルエン溶液に、基板を浸漬することにより反応させる。
前記において、「吸着させようとする官能基」は、基板表面がナノ粒子表面と反対電荷を帯びるようにするすべての官能基を意味し、具体的には、3−アミノプロピルメチルジエトキシシラン(3−aminopropylmethyldiethoxysilane)(APS)、メルカプト酢酸(mercaptoacetic acid、MAA)、3−メルカプトプロピオン酸(3−mercaptopropionic acid)、システアミン(cysteamine)、アミノエタンチオール(aminoethanethiol)、N,N−ジメチル−2−メルカプトエチルアンモニウム(N,N−dimethyl−2−mercaptoethyl ammonium)、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド(tetramethylammonium hydroxide、TMAH)、グルタミン酸(glutamic acid)、グルタル酸(glutaric acid)、グルタミン(glutamine)、L−リシンモノヒドロクロリド(L−Lysine monohydrochloride)、及びリシン(Lysine)からなる群から選択される少なくとも一種の物質の官能基でありうるが、これらに限定されるものではない。
また、本発明において、2次元基板と言うのは、例えば、図1に示すような平らな形態を持つ基板を意味し、3次元基板と言うのは、例えば、図2に示すような立体的な凹凸構造形態を持つ基板を意味するが、これらに限定されるものではない。
一方、2次元基板の場合、特別に条件を付加しないでディッピング(dipping)すれば、充分に反応溶液が接触されうるが、3次元基板の場合、常圧、減圧、真空、または加圧条件下でディッピングして接触することができ、好ましくは、減圧、真空、または加圧条件下で接触する。ただ、2次元基板の場合も同様に、常圧、減圧、真空、または加圧条件下でディッピングして接触することもできる。
3次元基板の場合、減圧、真空、または加圧条件下でディッピングして接触すること好ましい理由としては、前記方法において、反応溶液と使用する基板の接触角が90゜以下の場合、湿潤性が良いので、3次元基板全体に反応溶液を接触して真空及び加圧をかけなくてもよい。しかし、反応溶液と使用基板間の接触角が90゜以上で湿潤性が良くない時には、3次元基板全体に反応溶液が円滑に接触されにくいので、この場合、真空または加圧をかけることにより、3次元基板全体に反応溶液を接触することができる。
具体的に、前記真空条件は101,324.7200[Pa](760[Torr])未満、加圧条件は101,324.7200[Pa](760[Torr])以上に設定することが基板全体に対する反応溶液の十分な接触の観点から望ましい。前記真空条件は101,324.7200[Pa]未満、1.0[Pa]以上で、前記加圧条件は101,324.7200[Pa]超、10,000,000[Pa]以下が、より好ましい。また、本発明において、前記ディッピングは0.5〜12時間、望ましくは5時間行うことができる。
このように、基板に反応溶液が接触されれば、反応溶液中に溶けている官能基と基板間の物理的吸着及び化学反応によって、官能基が基板表面に吸着される。
ついで、基板改質反応が完了すれば、残留する溶媒を除去する。この時、2次元基板の場合、特別な溶媒除去(evacuation)工程なしに、後述する洗浄によって前処理工程が仕上げられるが、3次元基板の場合、常圧、真空、加圧、または遠心力の条件下で溶媒を除去することができ、好ましくは、減圧、真空、加圧条件下または遠心力の条件下で除去する。ただ、2次元基板の場合も同様に、真空、加圧、または遠心力の条件下で溶媒を除去することもできる。
具体的に、前記真空条件は101,324.7200[Pa]未満、加圧条件は101,324.7200[Pa]以上、遠心力条件は1G以上で実施することが、十分な溶媒除去の観点から望ましい。前記真空条件は101,324.7200[Pa]未満、1.0[Pa]以上で、前記加圧条件は101,324.7200[Pa]超、10,000,000[Pa]以下がより好ましい。また、本発明で前記溶媒除去は1〜3600秒、望ましくは20秒間実施することができる。
このように、溶媒除去が完了すれば、基板を洗浄及び乾燥することで基板前処理工程を仕上げる。
ただ、前記では、ディッピングのような湿式工程によって基板表面を前処理するものとして記述したが、E−ビーム(E−beam)、イオンビーム(Ion beam)、原子間力顕微鏡(AFM)のような方法によっても基板表面に電荷を形成して使用することもできる。
(第2段階)本発明の方法によって得られたナノ粒子分散溶液を前処理された2次元または3次元基板にコーティングする第2段階
前記のように前処理された基板に、本発明のナノ粒子分散溶液を利用してナノ粒子をコーティングする。
前記のように前処理された基板に、本発明のナノ粒子分散溶液を利用してナノ粒子をコーティングする。
2次元基板の場合、ドロップキャスティング(drop casting)、スピンコーティング(spin coating)、ディップコーティング(dip coating)、スプレーコーティング(spray coating)、フローコーティング(flow coating)、スクリーンプリンティング(screen printing)、インクジェットプリンティング(inkjet printing)などの湿式方法でコーティングすることができる。
しかし、3次元基板の場合、図2に示すように、基板全体に充分にナノ粒子分散溶液を接触するために、常圧、減圧、真空、または加圧の条件で、前記湿式方法でコーティングすることができ、好ましくは、減圧、真空、または加圧条件下でコーティングする。
すなわち、前記方法において、ナノ粒子分散溶液と使用基板間の接触角が90゜以下の場合には湿潤性が良くて、3次元基板全体にナノ粒子分散溶液が接触されるので、真空及び加圧をかける必要がない。しかし、ナノ粒子分散溶液と使用基板間の接触角が90゜以上で湿潤性が良くない時には、3次元基板全体にナノ粒子分散溶液が円滑に接触されにくいので、この場合、真空または加圧をかけることにより、3次元基板全体に溶液を接触することができる。ただ、2次元基板の場合も同様に、常圧、減圧、真空、または加圧条件下でコーティングすることもできる。
具体的に、前記真空条件は101,324.7200[Pa]未満、加圧条件は101,324.7200[Pa]以上で実施することが、基板の良好な湿潤性(wetting)の観点から、望ましい。前記真空条件は101,324.7200[Pa]未満、1.0[Pa]以上で、前記加圧条件は101,324.7200[Pa]超、10,000,000Pa以下がより好ましい。また、本発明において、前記ナノ粒子コーティングは0.1〜12時間、望ましくは1時間実行することができる。
このように、基板にナノ粒子分散溶液が接触されれば、ナノ粒子表面と基板表面の電荷が反対なので、静電気力によってナノ粒子が基板表面に吸着される。
ついで、不純物が含まれた残留溶媒を除去することになるが、2次元基板の場合、特別な溶媒除去(evacuation)工程なしに後述する洗浄及び乾燥によってナノ粒子コーティング工程が仕上げられ、3次元基板の場合、常圧、真空、加圧、または遠心力の条件下で溶媒を除去することができるが、十分な溶媒除去の観点から、好ましくは、減圧、真空、または加圧条件下で除去する。ただ、2次元基板の場合も同様に、常圧、減圧、真空、または加圧条件下で、溶媒を除去することができる。
具体的に、前記真空条件は101,324.7200[Pa]未満、加圧条件は101,324.7200[Pa]以上、遠心力条件は1G以上で実行することが、十分な溶媒除去の観点から、望ましい。前記真空条件は101,324.7200[Pa]未満、1.0[Pa]以上で、前記加圧条件は101,324.7200[Pa]超、10,000,000[Pa]以下がより好ましい。また、本発明においては、前記溶媒除去は1〜3600秒、望ましくは20秒間実施することができる。
このように、溶媒除去が完了すれば、基板をスピンウォッシング(spin washing)などで洗浄し、真空乾燥などで乾燥することで、ナノ粒子コーティング工程を仕上げる。
本発明において、ナノ粒子薄膜が形成される基板としては、ガラス(glass)、ITOガラス、水晶(quartz)、シリコンウェーハ(Si wafer)、シリカ塗布基板、アルミナ塗布基板、ポリマー基板などを使用することができる。
本発明のさらに他の形態は、基板上にナノ粒子が均一に配列されたナノ粒子薄膜に係る。具体的に、本発明のナノ粒子薄膜は、2次元単層薄膜または多様な大きさ及び形態を持つ3次元単層または多層薄膜を例として挙げることができる。
図1は、本発明の一実施例による2次元ナノ粒子薄膜の模式図である。図1を参考すれば、ナノ粒子表面がマイナス電荷を持つ物質で置換され、基板上に均一に配列されて単層に形成されている。
このような本発明の2次元ナノ粒子薄膜は、薄膜内でのナノ粒子安全性が高いだけでなく、ナノ粒子凝集体も少ないため、1mm×1mm以上の面積に均一に単層に形成されることができ、半導体の製造工程に使用される300mm以上のウェーハ大きさにも適用することが可能であり、カバレージが95%以上、すなわち欠陥密度(defect density)が5%未満、パッキング密度(packing density)が1011粒子/cm2以上、より望ましくは1011〜1013粒子/cm2の特性を表す。
また、本発明の3次元ナノ粒子薄膜は、前記のような物性を持ちながらも、既存の気相法がコーティングナノ粒子の種類が多様でないことに対し、多様な物質をコーティングすることができ、また気相法のように、高価の装備と工程を使用せずに単純な装備を使用してナノ粒子薄膜を形成するため、経済的な方法でナノ粒子薄膜を形成することができるだけでなく、製膜時間を短縮することができる特性を表す。
したがって、このような本発明の2次元または3次元ナノ粒子薄膜はフラッシュメモリ、DRAM、ハードディスク、及び有機発光素子に関して、有用に適用可能である。
以下、実施例に基づいて本発明をより詳細に説明するが、下記実施例は単に説明の目的のためのものであり、本発明を制限するためのものではない。
実施例1:ナノ粒子の分散
1.8424gのメルカプト酢酸(MAA)を8mlのクロロホルムに溶解させた後、70℃となるように加熱した。70℃に加熱された前記溶液を素早く掻きまぜながら3mlのCdSeナノ粒子を徐々に添加した。次いで、70℃の還流条件下で3時間撹拌しながら反応させた。反応が完了すれば、3000rpmで遠心分離して沈澱させた後、沈殿物をさらにクロロホルムに分散させ、ついで3000rpmで5分間遠心分離し、さらに沈澱させる過程を7回繰り返した。洗浄完了したナノ粒子を6時間真空乾燥し、TRIS緩衝溶液(0.1M、pH=9)に分散させた後、ナノ粒子分散溶液を15000Gで10分間遠心分離することで、凝集したナノ粒子を除去することにより、ナノ粒子分散溶液を製造した。
1.8424gのメルカプト酢酸(MAA)を8mlのクロロホルムに溶解させた後、70℃となるように加熱した。70℃に加熱された前記溶液を素早く掻きまぜながら3mlのCdSeナノ粒子を徐々に添加した。次いで、70℃の還流条件下で3時間撹拌しながら反応させた。反応が完了すれば、3000rpmで遠心分離して沈澱させた後、沈殿物をさらにクロロホルムに分散させ、ついで3000rpmで5分間遠心分離し、さらに沈澱させる過程を7回繰り返した。洗浄完了したナノ粒子を6時間真空乾燥し、TRIS緩衝溶液(0.1M、pH=9)に分散させた後、ナノ粒子分散溶液を15000Gで10分間遠心分離することで、凝集したナノ粒子を除去することにより、ナノ粒子分散溶液を製造した。
実施例2:2次元単層ナノ粒子薄膜の製造
12”のシリコンウェーハ基板をピラナ溶液(1:3v/vのH2SO4/H2O2)に入れて15分間加熱した後、メタノール/トルエンで洗浄した。RCA溶液(NH4OH/H2O2/H2O=1/1/5)によって70℃で1時間超音波処理(sonication)を行い、メタノールで超音波処理した。ついで、5volume%アミノシラン/トルエン溶液にディッピングして5時間反応させてアミンを吸着させた後、脱イオン水で洗浄して乾燥させた。ついで、前記実施例1で得られたナノ粒子分散溶液に基板を1時間ディップコーティングし、洗浄及び乾燥して薄膜を形成した。ついで、得られたナノ粒子薄膜の原子間力顕微鏡写真をデジタルインストルメント(Digital Instrument)社のナノスコープ(nanoscope)IV機器を使用して測定した後、その結果を図3〜図5に示した。
12”のシリコンウェーハ基板をピラナ溶液(1:3v/vのH2SO4/H2O2)に入れて15分間加熱した後、メタノール/トルエンで洗浄した。RCA溶液(NH4OH/H2O2/H2O=1/1/5)によって70℃で1時間超音波処理(sonication)を行い、メタノールで超音波処理した。ついで、5volume%アミノシラン/トルエン溶液にディッピングして5時間反応させてアミンを吸着させた後、脱イオン水で洗浄して乾燥させた。ついで、前記実施例1で得られたナノ粒子分散溶液に基板を1時間ディップコーティングし、洗浄及び乾燥して薄膜を形成した。ついで、得られたナノ粒子薄膜の原子間力顕微鏡写真をデジタルインストルメント(Digital Instrument)社のナノスコープ(nanoscope)IV機器を使用して測定した後、その結果を図3〜図5に示した。
図3は、前記実施例で得られたナノ粒子薄膜に対して、500nm×500nm及び20μm×20μmの面積で測定した原子間力顕微鏡写真であって、粒子のカバレージが95%以上、すなわち欠陥密度(defect density)が5%未満であり、パッキング密度(packing density)が1012粒子/cm2であることを確認することができた。
左側イメージ(image)はハイトイメージ(height image)であり、右側は位相画像(フェーズイメージ)(phase image)であるが、位相画像を見ると、基板表面がすべてナノ粒子で覆われていることが分かる。
図4は、前記実施例によって得られたナノ粒子薄膜に対して、1インチ×1インチの面積の多数地点で測定した原子間力顕微鏡写真であって、従来技術では、最大1μm×1μmの大きさの薄膜しか形成することができなかったが、本発明では、ナノ粒子が均一に配列された1インチ×1インチの面積の薄膜を得ることができることを確認することができた。
図5aは、前記実施例によって得られたナノ粒子薄膜に対して、1μm×1μmの面積で測定した原子間力顕微鏡写真、図5bは、図5aに示す前記ナノ粒子薄膜の断面分析グラフであって、ステップ高さ(step height)から単層(monolayer)であることを確認することができ、基板の一部をレーザーブレード(laser blade)で除去した後、除去されなかった部分と比べて見た時、ナノ粒子が均一な5nm程度の単層のみが存在することを確認することができた。
実施例3:400nm直径×400nm深さの3次元単層ナノ粒子薄膜の製造
400nm直径×400nm深さの12”のシリコンウェーハ基板をピラナ溶液(1:3v/vのH2SO4/H2O2)に入れて15分間加熱した後、メタノール/トルエンで洗浄した。RCA溶液(NH4OH/H2O2/H2O=1/1/5)によって70℃で1時間超音波処理(sonication)を行い、メタノールで超音波処理した。ついで、常圧で5volume%アミノシラン/トルエン溶液にディッピングして5時間反応させてアミンを吸着させた後、3000rpmで5秒間スピニングして、遠心力によって反応溶液を除去した。反応溶液の除去された基板を脱イオン水に5秒間ディッピングしてから3000rpmでスピニングして洗浄し、洗浄後に得られた基板はpH=1のHCl水溶液に浸漬して保管した。ついで、前記実施例1で得られたナノ粒子分散溶液に、基板を1時間、常圧及び0.3066[Pa](2.3×10−3[Torr])の真空チャンバー(chamber)でディップコーティングし、3000rpmで5秒間スピニングを行ってナノ粒子溶液を除去した。ナノ粒子溶液の除去された基板を脱イオン水に5秒間ディッピングしてから3000rpmでスピニングして洗浄し、洗浄後に得られた基板は乾燥して薄膜を形成した。
400nm直径×400nm深さの12”のシリコンウェーハ基板をピラナ溶液(1:3v/vのH2SO4/H2O2)に入れて15分間加熱した後、メタノール/トルエンで洗浄した。RCA溶液(NH4OH/H2O2/H2O=1/1/5)によって70℃で1時間超音波処理(sonication)を行い、メタノールで超音波処理した。ついで、常圧で5volume%アミノシラン/トルエン溶液にディッピングして5時間反応させてアミンを吸着させた後、3000rpmで5秒間スピニングして、遠心力によって反応溶液を除去した。反応溶液の除去された基板を脱イオン水に5秒間ディッピングしてから3000rpmでスピニングして洗浄し、洗浄後に得られた基板はpH=1のHCl水溶液に浸漬して保管した。ついで、前記実施例1で得られたナノ粒子分散溶液に、基板を1時間、常圧及び0.3066[Pa](2.3×10−3[Torr])の真空チャンバー(chamber)でディップコーティングし、3000rpmで5秒間スピニングを行ってナノ粒子溶液を除去した。ナノ粒子溶液の除去された基板を脱イオン水に5秒間ディッピングしてから3000rpmでスピニングして洗浄し、洗浄後に得られた基板は乾燥して薄膜を形成した。
実施例4:200nm直径×400nm深さの3次元単層ナノ粒子薄膜の製造
200nm直径×400nm深さの12”のシリコンウェーハ基板を使用することを除き、前記実施例3と同様に実施して3次元単層ナノ粒子薄膜を形成した。
200nm直径×400nm深さの12”のシリコンウェーハ基板を使用することを除き、前記実施例3と同様に実施して3次元単層ナノ粒子薄膜を形成した。
図6aは、前記実施例3に使用された3次元基板に対して400nm直径×400nm深さの面積で測定した走査電子顕微鏡写真(SEM)、図6bは図6aの部分拡大図であって、400nm×400nm(直径×深さ)の孔が均一に配列されているものを表す。
図7aは、前記実施例3によって得られた3次元構造のシリコン基板上の400nm直径×400nm深さの孔に吸着されているナノ粒子を示す走査電子顕微鏡(SEM)写真、図7bは図7aの部分拡大図であって、常圧及び真空でともにナノ粒子が基板の表面、孔の壁、孔底に均一に吸着されているものを示す。本実施例の場合、実施例1で得られたナノ粒子分散溶液の3次元構造のシリコン基板への接触角が50゜程度であって湿潤性が良いことから、常圧及び真空でともに3次元基板の孔内部へのナノ粒子分散溶液の浸透が容易であるので、コーティングがなされたものである。
図8aは前記実施例4で使用された3次元構造のシリコン基板の形状を示す走査電子顕微鏡(SEM)写真、図8bは図8aの部分拡大図であって、200nm×400nm(直径×深さ)の孔が均一に配列されているものを示す。
図9aは前記実施例4によって得られた3次元構造のシリコン基板上の200nm直径×400nm深さの孔に吸着されているナノ粒子を示す走査電子顕微鏡(SEM)写真、図9bは図9aの部分拡大図であって、常圧及び真空でともにナノ粒子が基板の表面、孔の壁、孔底に均一に吸着されているものを示す。
図10は前記実施例によって得られたナノ粒子薄膜に対して、400nm直径×400nm深さの面積で測定した透過電子顕微鏡写真(TEM)であって、ナノ粒子が孔の壁及び底に単層で均一に吸着されていることを確認することができる。
以上に具体的な実施例に基づいて本発明を詳細に説明したが、本発明は前述した実施例に限定されなく、本発明の技術的思想の範囲内で、本発明が属する技術分野の当業者によって多くの変形が可能であることは自明であろう。
このように、本発明は、大面積に均一に塗布される2次元または3次元ナノ粒子薄膜を製造することができるから、本発明によって製造されるナノ粒子薄膜は、フラッシュメモリ(flash memory)、DRAM、ハードディスク(hard disk)、発光素子及びOLED(Organic Light Emitting Diode)に効果的に適用可能である。
Claims (20)
- (a)ナノ粒子の表面が電荷を帯びるようにナノ粒子の表面を改質する段階と;
(b)改質された前記ナノ粒子を真空乾燥する段階と;
(c)乾燥した前記ナノ粒子を溶媒に分散させた後、遠心分離する段階と;
を含むことを特徴とする、ナノ粒子分散溶液の製造方法。 - 前記(a)の表面改質の段階は、電荷を帯びた物質を入れた溶液にナノ粒子を添加し、還流条件下で撹拌することを含むことを特徴とする、請求項1に記載のナノ粒子分散溶液の製造方法。
- 前記段階(a)において、表面改質は、50〜150℃の温度範囲で1〜10時間行うことを特徴とする、請求項1または2に記載のナノ粒子分散溶液の製造方法。
- 前記段階(a)の電荷を帯びた物質は、メルカプト酢酸、3−メルカプトプロピオン酸、システアミン、アミノエタンチオール、N,N−ジメチル−2−メルカプトエチルアンモニウム、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、グルタミン酸、グルタル酸、グルタミン、L−リシンモノヒドロクロリド、及びリシンからなる群から選択される少なくとも一種であることを特徴とする、請求項2または3に記載のナノ粒子分散溶液の製造方法。
- 前記段階(b)において、真空乾燥は、1〜12時間行われることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載のナノ粒子分散溶液の製造方法。
- 前記段階(c)において、遠心分離は、4000〜50,000Gで、1分〜3時間行われることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載のナノ粒子分散溶液の製造方法。
- 前記段階(c)において、遠心分離は、4000〜30,000Gで、1分〜1時間行われることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載のナノ粒子分散溶液の製造方法。
- 前記(a)段階のナノ粒子は、II−VI族化合物半導体、III−V族化合物半導体、IV−VI族化合物半導体、IV族化合物半導体、金属及び磁性粒子からなる群から選択される少なくとも一種であることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一項に記載のナノ粒子分散溶液の製造方法。
- 前記(a)段階のナノ粒子は、CdS、CdSe、CdTe、ZnS、ZnSe、ZnTe、GaN、GaP、GaAs、GaSb、AlN、AlP、AlAs、AlSb、InP、InAs、InSb、SiC、Fe、Pt、Ni、Co、Al、Ag、Au、Cu、FePt、Fe2O3、Fe3O4、Si、及びGeからなる群から選択される少なくとも一種であることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一項に記載のナノ粒子分散溶液の製造方法。
- 前記段階(a)のナノ粒子は、コア−シェル構造であることを特徴とする、請求項1〜9のいずれか一項に記載のナノ粒子分散溶液の製造方法。
- ナノ粒子表面と反対電荷を帯びるように、2次元基板または3次元基板を前処理する第1段階と;
請求項1〜10のいずれか一項に記載の方法によって得られたナノ粒子分散溶液を、前記第1段階により前処理された前記2次元または前記3次元基板にコーティングする第2段階と;
を含むことを特徴とする、ナノ粒子薄膜の製造方法。 - 前記第1段階において、前処理は、前記2次元基板または3次元基板を洗浄した後、3−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、メルカプト酢酸、3−メルカプトプロピオン酸、システアミン、アミノエタンチオール、N,N−ジメチル−2−メルカプトエチルアンモニウム、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、グルタミン酸、グルタル酸、グルタミン、L−リシンモノヒドロクロリド、及びリシンからなる群から選択される少なくとも一種の物質の官能基が、前記基板表面に吸着されるように、前記物質で、前記洗浄基板を処理することを含むことを特徴とする、請求項11に記載のナノ粒子薄膜の製造方法。
- 前記第1段階において、前記3次元基板の前処理は、真空、または加圧条件で反応溶液に接触させ、基板表面を改質させた後、真空、加圧、または遠心力の条件下で残留溶媒を除去し、洗浄及び乾燥することを特徴とする、請求項11または12に記載のナノ粒子薄膜の製造方法。
- 前記第2段階において、2次元または3次元基板へのコーティングは、ドロップキャスティング、スピンコーティング、ディップコーティング、スプレーコーティング、フローコーティング、スクリーンプリンティング、及びインクジェットプリンティングからなる群から選択される少なくとも一種の方法によって行われることを特徴とする、請求項11〜13のいずれか一項に記載のナノ粒子薄膜の製造方法。
- 前記第2段階において、前記3次元基板と、反応溶液との接触は、前記3次元基板を、常圧、真空、または加圧の条件で請求項1〜10のいずれか一項に記載の製造方法によって得られたナノ粒子分散溶液に接触させ、ナノ粒子をコーティングした後、真空、加圧、または遠心力の条件下で残留溶媒を除去し、洗浄及び乾燥することによって行われることを特徴とする、請求項11〜14のいずれか一項に記載のナノ粒子薄膜の製造方法。
- 前記基板は、ガラス、ITOガラス、水晶、シリコンウェーハ、シリカ塗布基板、アルミナ塗布基板及びポリマー基板からなる群から選択される少なくとも一種であることを特徴とする、請求項11〜15のいずれか一項に記載のナノ粒子薄膜の製造方法。
- ナノ粒子が均一に配列された2次元単層ナノ粒子薄膜であって、前記薄膜が1mm×1mm以上の面積で欠陥密度が5%未満であり、パッキング密度が1011粒子/cm2以上であることを特徴とする、ナノ粒子薄膜。
- 前記薄膜のパッキング密度は、1011〜1013粒子/cm2であることを特徴とする、請求項17に記載のナノ粒子薄膜。
- ナノ粒子が均一に配列された3次元単層または多層薄膜であって、前記薄膜が1mm×1mm以上の面積で欠陥密度が5%未満であり、パッキング密度が1011粒子/cm2以上であることを特徴とする、ナノ粒子薄膜。
- 前記薄膜のパッキング密度が1011〜1013粒子/cm2であることを特徴とする、請求項19に記載のナノ粒子薄膜。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009212181A (ja) * | 2008-03-03 | 2009-09-17 | Toshiba Corp | ナノ粒子薄膜、ナノ粒子薄膜の製造方法、ナノ粒子薄膜パターン形成方法および回路パターン形成方法 |
JP2009267190A (ja) * | 2008-04-28 | 2009-11-12 | National Institute For Materials Science | ナノ結晶粒子分散液と電子デバイス並びにその製造方法 |
WO2010010220A1 (es) | 2008-07-22 | 2010-01-28 | Consejo Superior De Investigaciones Científicas (Csic) | Procedimiento para la dispersión de nanopartículas en seco y la obtención de estructuras jerárquicas y recubrimientos |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007120877A2 (en) * | 2006-04-14 | 2007-10-25 | Qd Vision, Inc. | Transfer surface for manufacturing a light emitting device |
WO2008105792A2 (en) * | 2006-06-24 | 2008-09-04 | Qd Vision, Inc. | Methods for depositing nanomaterial, methods for fabricating a device, methods for fabricating an array of devices and compositions |
WO2008108798A2 (en) | 2006-06-24 | 2008-09-12 | Qd Vision, Inc. | Methods for depositing nanomaterial, methods for fabricating a device, and methods for fabricating an array of devices |
WO2008111947A1 (en) * | 2006-06-24 | 2008-09-18 | Qd Vision, Inc. | Methods and articles including nanomaterial |
KR100768632B1 (ko) * | 2006-10-30 | 2007-10-18 | 삼성전자주식회사 | 나노입자의 분산방법 및 이를 이용한 나노입자 박막의제조방법 |
US20080218068A1 (en) * | 2007-03-05 | 2008-09-11 | Cok Ronald S | Patterned inorganic led device |
US8179034B2 (en) * | 2007-07-13 | 2012-05-15 | 3M Innovative Properties Company | Light extraction film for organic light emitting diode display and lighting devices |
US8530000B2 (en) * | 2007-09-19 | 2013-09-10 | Micron Technology, Inc. | Methods of forming charge-trapping regions |
CN101874286B (zh) * | 2007-11-27 | 2012-07-25 | 纳米晶公司 | 通过纳米或微米颗粒膜生长的超低位错密度的第三族-氮化物半导体衬底及其制备方法 |
TWI377247B (en) * | 2007-12-28 | 2012-11-21 | Epoch Material Co Ltd | Aqueous cleaning composition |
WO2009116829A1 (en) * | 2008-03-20 | 2009-09-24 | Seoul National University Industry Foundation | Method for dispersing nanostructures and method for adsorbing nanostructures on the surface of solid using the dispersed nanostructures |
US20100110551A1 (en) * | 2008-10-31 | 2010-05-06 | 3M Innovative Properties Company | Light extraction film with high index backfill layer and passivation layer |
US7957621B2 (en) * | 2008-12-17 | 2011-06-07 | 3M Innovative Properties Company | Light extraction film with nanoparticle coatings |
US9107895B2 (en) * | 2009-07-24 | 2015-08-18 | The University Of Chicago | Methods and compositions for imaging cancer cells |
DE102009053314A1 (de) * | 2009-11-06 | 2011-05-12 | Ringo Grombe | Mechanische Funktionalisierung von Polymeroberflächen mittels funktionalisierter Festkörperteilchen |
US8969827B2 (en) * | 2012-07-09 | 2015-03-03 | Materials Analysis Technology (Us) Corp. | Specimen preparation for transmission electron microscopy |
EP3347432B1 (de) * | 2015-09-10 | 2019-11-27 | Merck Patent GmbH | Lichtkonvertierendes material |
CN109202059B (zh) * | 2017-07-05 | 2020-01-03 | Tcl集团股份有限公司 | 金属纳米颗粒及其制备方法、qled器件 |
CN108844943B (zh) * | 2018-01-30 | 2024-02-06 | 苏州纳微生命科技有限公司 | Sers单元及其制备方法与应用 |
CN108264360B (zh) * | 2018-01-31 | 2020-05-29 | 北京化工大学 | 一种高性能碳化硅改性粉体的制备方法 |
CN109719293B (zh) * | 2018-12-21 | 2021-04-13 | 南京明瑞光电技术有限公司 | 一种机械性强度高的硒化锌混合膜料及其制备工艺 |
CN109811315A (zh) * | 2019-02-02 | 2019-05-28 | 江苏新思达电子有限公司 | 一种在硬盘上真空电镀ni的增强表面粗糙度的工艺 |
CN114452837B (zh) * | 2022-03-02 | 2023-01-17 | 重庆工商大学 | 一种MXene二维薄片膜缺陷修复的方法 |
CN116251951B (zh) * | 2023-03-10 | 2023-11-10 | 清华大学 | 一种基于界面张力梯度-静电引力复合制备金属纳米颗粒自组装层的方法及其应用 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4336694A1 (de) * | 1993-10-27 | 1995-05-04 | Inst Neue Mat Gemein Gmbh | Verfahren zur Herstellung von Metall- und Keramiksinterkörpern und -schichten |
JP3847424B2 (ja) | 1997-09-12 | 2006-11-22 | 明石 満 | 高分子超微粒子吸着構造体及びその製造方法 |
JP2000126681A (ja) * | 1998-10-21 | 2000-05-09 | Mitsubishi Chemicals Corp | ナノ粒子薄膜の作製方法 |
US6194213B1 (en) * | 1999-12-10 | 2001-02-27 | Bio-Pixels Ltd. | Lipophilic, functionalized nanocrystals and their use for fluorescence labeling of membranes |
US6918946B2 (en) * | 2001-07-02 | 2005-07-19 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Applications of light-emitting nanoparticles |
US20040007169A1 (en) * | 2002-01-28 | 2004-01-15 | Mitsubishi Chemical Corporation | Semiconductor nanoparticles and thin film containing the same |
US6805904B2 (en) * | 2002-02-20 | 2004-10-19 | International Business Machines Corporation | Process of forming a multilayer nanoparticle-containing thin film self-assembly |
WO2005015792A2 (en) * | 2003-08-06 | 2005-02-17 | Purdue Research Foundation | Fabrication of nanoparticle arrays |
US7212284B2 (en) * | 2004-05-12 | 2007-05-01 | General Electric Company | Method for forming nanoparticle films and application thereof |
KR100640595B1 (ko) * | 2004-11-09 | 2006-11-01 | 삼성전자주식회사 | 높은 파티클 밀도를 가지는 균일한 나노파티클 모노레이어필름의 형성방법 및 그 나노파티클 모노레이어 필름을구비하는 소자 |
KR100768632B1 (ko) * | 2006-10-30 | 2007-10-18 | 삼성전자주식회사 | 나노입자의 분산방법 및 이를 이용한 나노입자 박막의제조방법 |
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009212181A (ja) * | 2008-03-03 | 2009-09-17 | Toshiba Corp | ナノ粒子薄膜、ナノ粒子薄膜の製造方法、ナノ粒子薄膜パターン形成方法および回路パターン形成方法 |
JP4734360B2 (ja) * | 2008-03-03 | 2011-07-27 | 株式会社東芝 | ナノ粒子薄膜、ナノ粒子薄膜の製造方法、ナノ粒子薄膜パターン形成方法および回路パターン形成方法 |
JP2009267190A (ja) * | 2008-04-28 | 2009-11-12 | National Institute For Materials Science | ナノ結晶粒子分散液と電子デバイス並びにその製造方法 |
WO2010010220A1 (es) | 2008-07-22 | 2010-01-28 | Consejo Superior De Investigaciones Científicas (Csic) | Procedimiento para la dispersión de nanopartículas en seco y la obtención de estructuras jerárquicas y recubrimientos |
Also Published As
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