JP2007009242A - 構造物製造方法及び構造物製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 測定部20、記憶部22及び制御部24は、基板36上に形成された構造物(膜)の表面(成膜面)の物理特性をモニタし、このモニタ結果に基づいて、装置のパラメータを制御するブロックである。本実施形態では、例えば、メカノケミカル反応を発生させながら成膜(メカノケミカル成膜)が行われるようにすることにより、硬度が高い膜を成膜することができる。なお、本実施形態の構造物製造装置10は、メカノケミカル成膜が行われているかどうかについて、成膜面において黒色化の傾向が観察されるかどうかによって判断する。ここで、成膜面の黒色化とは、例えば、成膜面のSCE値が35%以下の状態をいう。
【選択図】 図1
Description
Claims (9)
- 基板に向けて原料の粉体を噴射する構造物製造手段により前記基板上に構造物を製造するステップと、
前記噴射された原料の粉体が前記基板の表面に堆積してなる構造物の物理特性をモニタするステップと、
前記モニタされた構造物の物理特性に基づいて前記構造物製造手段を制御するステップと、
を備えることを特徴とする構造物製造方法。 - 基板を保持する保持手段と、前記保持された基板に向けて原料の粉体を噴射する噴射手段とを備える構造物製造手段と、
前記噴射された原料の粉体が前記基板の表面に堆積してなる構造物の物理特性をモニタするモニタ手段と、
前記モニタされた構造物の物理特性に基づいて前記構造物製造手段を制御する制御手段と、
を備えることを特徴とする構造物製造装置。 - 前記モニタ手段は、前記構造物の表面の反射率を測定することを特徴とする請求項2記載の構造物製造装置。
- 前記モニタ手段は、前記構造物の表面の画像を撮像する撮像手段と、前記撮像された構造物の表面の画像を解析する画像解析手段とを備えることを特徴とする請求項2記載の構造物製造装置。
- 前記構造物製造手段は、前記保持された基板又は前記噴射手段の少なくとも一方を駆動して相対位置を変化させる駆動手段を更に備え、
前記制御手段は、前記相対位置を変化させる速度を制御することを特徴とする請求項2から4のいずれか1項記載の構造物製造装置。 - 前記噴射手段は、原料の粉体を収める容器と、前記容器内にキャリアガスを導入して、前記原料の粉体を噴き上げるガス導入手段と、前記噴き上げられた原料の粉体を前記基板に向けて噴射するノズルとを備えることを特徴とする請求項2から5のいずれか1項記載の構造物製造装置。
- 前記制御手段は、前記ガス導入手段によって前記容器内に導入されるキャリアガスの流量又は流速のうち少なくとも一方を制御することを特徴とする請求項6記載の構造物製造装置。
- 前記構造物製造手段は、前記容器を駆動して、所定の運動又は振動のうち少なくとも一方を加える容器駆動手段を更に備え、
前記制御手段は、前記容器に加えられる所定の運動又は振動のうち少なくとも一方を制御することを特徴とする請求項6又は7記載の構造物製造装置。 - 前記制御手段は、前記構造物の表面の反射率が35%以下となるように前記構造物製造手段を制御することを特徴とする請求項2から8のいずれか1項記載の構造物製造装置。
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