JP2007007776A

JP2007007776A - アライメントマークの形成方法

Info

Publication number: JP2007007776A
Application number: JP2005191707A
Authority: JP
Inventors: Seigo Takahashi; 省悟高橋; Kiyoshi Tohara; 精刀原
Original assignee: Alps Engineering Co Ltd
Current assignee: Alps Engineering Co Ltd
Priority date: 2005-06-30
Filing date: 2005-06-30
Publication date: 2007-01-18

Abstract

【課題】形状精度に優れたアライメントマークを効率良く形成させる。
【解決手段】複数のキャビティ１１の形成されたガラス基板（プレート）１において、最外郭部に形成されたキャビティ１１の数ヶ所を測定し、その外側の隔壁１５との境界線（１１X，１１Y）を基準にして所定の距離だけ隔たった点（位置）ＰをＣＣＤカメラ３を用いて計測するとともに、この計測データを基に所定の演算処理を行ない、上記境界線からｘ、ｙの距離だけ隔たった位置（Ｐ）をアライメントマーク位置として定める位置決め工程（Ａ）と、位置決め工程（Ａ）にて位置決めされた点(Ｐ)に所定の機械加工手段２を用いて所定の形態からなるアライメントマーク１９を形成するアライメントマーク形成工程（Ｂ）と、からなる。
【選択図】図１

Description

本発明は、有機ＥＬディスプレイパネルおけるＥＬパネルと封止ガラスとの重ね合わせを初めとした各種ディスプレイを形成する、その基礎となる各プレートの重ね合わせ作業の際に必要とされる位置合わせ用目印（アライメントマーク）の形成方法に関するものである。

一般に、この種のディスプレイパネルにおける隔壁の形成方法としては、サンドブラスト法、型プレス法、エッチング法等が挙げられる。そして、このような各種方法にて形成された隔壁にて区画される複数のキャビティを有する複数枚のプレートが、上記隔壁を基準にして重ね合されることによって各種ディスプレイパネルが形成されることとなる。この重合せ作業の際、上下に相接するプレート間において、隔壁のところでずれが生じてはならない。このようなずれを無くするために、プレートの重合わせ作業の際の目印となるアライメントマークを上記プレートの一部に予め設けておく必要がある。このアライメントマークの形成作業を、上記プレートにおける隔壁の形成方法が、例えばフッ酸液を主としたエッチング法による場合、このエッチング法による隔壁の形成と同時に行わせる方法が考えられる。しかしながら、このエッチング法に基づくアライメントマークの形成方法では、アライメントマークを正確に（精度良く）形成させることが難しいと言う問題点がある。すなわち、エッチング法による場合、アライメントマーク形成用のマスキング被膜の裏面側へエッチング液が廻り込んで浸入してしまい、マスキング被膜にて形成されたアライメントマーク用パターンの形状とは異なった形態のアライメントマークが形成されてしまうと言う問題点がある。このような問題点を解決するために、例えば特開平８−１１５６５８号公報記載のものの如く、アライメントマークの形成を蒸着法またはスパッタリング法を用いて行せるようにしたものが挙げられる。
特開平８−１１５６５８号公報

ところで、このような蒸着法あるいはスパッタリング法によるアライメントマークの形成方法は、その工程が複雑となり、アライメントマーク形成のために要する費用（コスト）も高くならざるを得ないと言う問題点がある。このような問題点を解決するために、隔壁の形成は、エッチング法を初めとした各種工法にて行わせる一方、アライメントマークの形成は、別工程にて、ダイヤモンド等の超砥粒を用いたドリル等による機械研削加工等にて行わせるようにした、精度向上が図られるとともに効率性においても優れたアライメントマークの形成方法を提供しようとするのが、本発明の目的（課題）である。

上記課題を解決するために、本発明においては次のような手段を講ずることとした。すなわち、請求項１記載の発明である第一の発明においては、ディスプレイパネルを形成する基礎とされるガラス基板に設けられるアライメントマークの形成方法に関して、隔壁の形成されたプレートにおいて、上記隔壁にて区画形成されるキャビティであって上記プレートの最外郭部に形成されるものの、その外側の隔壁との境界線を基準にして、平面視において所定の距離だけ隔たったところに、ドリルを用いた機械加工手段または超音波加工手段にて、所定の平面形態からなるアライメントマークを形成させるようにした工程を採ることとした。

また、請求項２記載の発明である第二の発明においては、上記請求項１記載のアライメントマークの形成方法に関して、上記ドリルの先端部に設けられる砥粒として、ダイヤモンドまたは立方晶窒化ホウ素（ＣＢＮ）からなる超砥粒を用いるようにした。

第一の発明によれば、アライメントマークの形成方法として上記のような工法を採ることによって、形状精度に優れたアライメントマークを、比較的簡単な工程にて、短時間の内に効率良く形成させることができるようになる。これによって、キャビティの形成及び隔壁の形成は効率性に優れたエッチング法等を用いて行わせるとともに、このようにしてキャビティの成形加工等の済んだ状態のものを、別工程にて、ドリル加工等の機械加工手段を用いてアライメントマークの形成を効率良く行なわせることができるようになる。そして、このようにして形成されたアライメントマークの形状は、機械加工手段にて形成されることより、その形状精度等も十分に高い精度が確保されることとなる。

また、第二の発明のものにおいては、アライメントマークが、ダイヤモンドを初めとした超砥粒にて形成される工具（ドリル）による研削加工によって形成されることより、アライメントマークの形成（加工）は効率良く進められることとなり、アライメントマークの形成を含めた本ディスプレイパネル全体の生産性の向上が図られることとなる。

本発明を実施するための最良の形態について、図１及び図２を基に説明する。本実施の形態にかかるものは、有機ＥＬディスプレイパネルを初めとした各種ディスプレイパネルを形成する各プレートの重ね合わせ作業の際に基礎とされる位置合せ用目印（アライメントマーク）の形成方法に関するものである。すなわち、本形成方法は、図１に示す如く、複数のキャビティ１１の形成されたガラス基板（プレート）１において、最外郭部に形成されたキャビティ１１の、その外側の隔壁１５との境界線（１１X，１１Y）を基準にして所定の距離だけ隔たった点（位置）Ｐを設定する位置決め工程（Ａ）と、当該位置決め工程（Ａ）にて位置決めされた点(Ｐ)に所定の機械加工手段２を用いて所定の形態からなるアライメントマーク１９を設けるアライメントマーク形成工程（Ｂ）と、からなることを基本とするものである。なお、このアライメントマーク１９は２ヶ所あるいは４ヶ所または各キャビティに対応した状態で複数個設けられる場合がある。

このような基本工程からなるものにおいて、上記位置決め工程（Ａ）は、ＣＣＤカメラ３等による計測工程（Ａ1）と、当該計測工程（Ａ1）にて計測されたデータを基に所定の演算処理を行ない、アライメントマークの位置（Ｐ点）を算出する演算処理工程（Ａ2）と、からなるものである。具体的には、上記計測工程（Ａ1）においては、複数のキャビティ１１の設けられたガラス基板等からなるプレート１において、ＣＣＤカメラ等からなる計測手段３を用いてプレート１の最外郭部に形成されたキャビティ１１の外側の隔壁１５との境界線（１１X，１１Y）を基準線（Ｘ，Ｙ）として定めるとともに、この基準線（Ｘ，Ｙ）を基準としてＣＣＤカメラ３にてＸ方向にｘの距離だけ、及びＹ方向にｙの距離だけ隔たった位置を記録（計測）する。そして、この計測データを基に所定のコンピュータ機構４にて演算処理を行ない、アライメントマークの位置（Ｐ点）を算出する。このようにして演算処理工程（Ａ2）が行われることとなる。

次に、このようにしてアライメントマーク位置（Ｐ点）が設定された状態において、この位置において、所定のドリル等からなる機械加工手段２によるアライメントマーク形成工程（Ｂ）が進められることとなる。このアライメントマーク形成工程（Ｂ）に用いられる工具（ドリル）２としては、本実施の形態においては、図２に示すような各種刃先形態を有するものが採用されるようになっている。具体的には、図２の（Ｈ）に示すように、先端部２１の形状が平面状の平型の形態からなるものであって、その先端面２１１には小粒の超砥粒２５が複数個設けられるようになっているものである。なお、上記超砥粒２５としては、本実施の形態においては、ダイヤモンド粒あるいは立方晶窒化ホウ素（ＣＢＮ）粒が用いられ、これらが電着手段等の各種接合手段を介して取付けられるようになっているものである。次に、図２の（Ｉ）に示すようなものが挙げられる。このものは、先端部２１の形状が半球状の形態からなるものであって、その先端面２１１のところには上記（Ｈ）の形態のものと同様、ダイヤモンド粒等からなる超砥粒２５が電着手段等の接合手段を介して取付けられるようになっているものである。次に、図２の（Ｊ）に示すものは、先端部２１の形状が円筒状（パイプ状）の形態からなるものであって、その先端面２１１のところに、上記のものと同様、ダイヤモンド粒等からなる超砥粒２５が、同じく電着手段等の接合手段を介して取付けられるようになっているものである。次に、図２の（Ｋ）に示すものは、ドリル２の先端部２１のところに、比較的大粒の形態からなるものであって４角錐状に成形された単体のダイヤモンドチップ２５等が、例えば所定のロー付け手段２５５等を介して取付けられるようになっているものである。

このような各種形態からなる先端部２１を有するドリル２等を用いた機械加工手段を、上記位置決め点（Ｐ）に施すことによって、例えば図２の（Ｃ）に示す如く、所定の平面形態、本実施の形態においては真円形またはリング状のアライメントマーク１９が精度良く形成されることとなる。なお、本実施の形態においては、その一例として、先端部２１に超砥粒２５の設けられたドリル２を用いた機械加工手段にて平面形態が真円形のアライメントマーク１９が形成されるものについて述べて来たが、この外に、超音波加工手段を用いて所定の平面形態を有するアライメントマーク１９を形成させるようにする方法も考えられる。

このような機械加工手段または超音波加工手段を用いることによって、形状精度に優れたアライメントマーク１９を、比較的簡単な工程にて、短時間の内に、効率良く形成させることができるようになった。また、このように、例えばキャビティ１１の形成及び隔壁１５の形成は、効率性に優れたエッチング法等を用いて行わせるとともに、このようにしてキャビティ１１の成形加工等の済んだ状態のものを、別工程にて、ドリル加工等の機械加工手段２を用いて効率良く行なわせることができるようになり、その結果、アライメントマーク１９の形成を含めた本ディスプレイパネル全体についての生産性の向上を図ることができるようになった。

本発明の全体構成を示す工程説明図である。本発明におけるアライメントマーク形成工程に用いられるドリルの各種形態を示す縦断面図である。

符号の説明

１プレート（ガラス基板）
１１キャビティ
１１X 基準線Ｘ
１１Y 基準線Ｙ
１５隔壁
１９アライメントマーク
２ドリル（機械加工手段）
２１先端部
２１１先端面
２５超砥粒
２５５ロー付け手段
３ＣＣＤカメラ（計測手段）
４コンピュータ機構

Claims

隔壁の形成されたプレートにおいて、上記隔壁にて区画形成されるキャビティであって上記プレートの最外郭部に形成されるものの、その外側の隔壁との境界線を基準にして、平面視において所定の距離だけ隔たったところに、ドリルを用いた機械加工手段または超音波加工手段にて、所定の平面形態からなるアライメントマークを形成させるようにしたことを特徴とするアライメントマークの形成方法。
請求項１記載のアライメントマークの形成方法において、上記ドリルの先端部に設けられる砥粒に、ダイヤモンドまたは立方晶窒化ホウ素（ＣＢＮ）からなる超砥粒を用いるようにしたことを特徴とするアライメントマークの形成方法。