JP2007001785A - 精製筒及び空気又は不活性ガスの循環精製装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】循環精製装置は、精製筒31を備えている。精製筒31は、筒本体32における不活性ガスの流通方向上流側に触媒層36を有するとともに、触媒層36よりも流通方向下流側に吸着剤層38を有している。さらに、精製筒31は、触媒層36及び吸着剤層38を加熱するためのヒータ43を筒本体32内に備えている。また、精製筒31は、ヒータ43による触媒層36の加熱温度を吸着剤層38の加熱温度よりも低くなるように調整する温度調整手段を備えている。そして、精製筒31において、触媒層36と、吸着剤層38と、ヒータ43とは1つの筒本体32内に収容配置されている。
【選択図】 図4
Description
請求項6に記載の発明は、空気又は不活性ガスの供給先に往路及び復路を介して接続され、前記往路と復路との間に配設される請求項1〜請求項5のうちいずれか一項に記載の精製筒を備え、前記供給先から排出された前記空気又は不活性ガスを前記復路を通じて受け入れ、該空気又は不活性ガスを前記精製筒で精製し、その精製後の空気又は不活性ガスを前記往路を介して前記供給先へ再供給し、循環させることを要旨とする。
(1)精製筒31(第1及び第2精製筒31A,31B)は、1つの筒本体32内に触媒層36及び吸着剤層38を有し、さらに、触媒層36及び吸着剤層38の内側から両層36,38を加熱可能とするヒータ43を備えており、触媒層36、吸着剤層38及びヒータ43は1つの筒本体32内に収容配置されている。このため、例えば、精製筒31の外側にヒータを備えた背景技術の精製筒とは異なり、ヒータ43を精製筒31の外側に取り付けるための取付構造を必要とせず精製筒31の構造を簡易化して小型化することができる。
○ ヒータ43の周面と、吸着剤層38の内周面との間に温度調整手段としての空洞Tを介在させてもよい。この場合、筒本体32の径方向へのヒータ43の周面と触媒層36の内周面との間の距離を、ヒータ43の周面と吸着剤層38の内周面との間の距離より長くして、触媒層36の加熱温度が吸着剤層38の加熱温度より低くなるようにする。
○ 実施形態の循環精製装置11は、精製部22を4つ備える構成としたが、精製部22を2つ又は3つ備える構成としてもよく、精製部22を5つ以上備える構成としてもよい。
○実施形態では、吸着剤として合成ゼオライトを用いたが、合成ゼオライトの他にアルミナやシリカゲルを用いてもよい。
○ ケース27の前後両側に閉鎖部材としての開閉扉を設けてもよい。
○ 不活性ガスの供給先を金属チャンバとしてもよい。
Claims (9)
- 空気又は不活性ガスを筒本体内を流通させ、該空気又は不活性ガスに含まれる酸素及び水分を除去し、精製する精製筒であって、
前記筒本体における前記空気又は不活性ガスの流通方向上流側に酸素捕捉能を有する触媒が充填された触媒層を有するとともに、前記筒本体における前記触媒層よりも前記流通方向下流側に水除去能を有する吸着剤が充填された吸着剤層を有し、さらに、前記触媒層及び吸着剤層を加熱するための加熱手段を前記筒本体内に配設し、前記加熱手段による前記触媒層の加熱温度を前記吸着剤層の加熱温度よりも低くなるように調整する温度調整手段を備えており、前記触媒層と、吸着剤層と、加熱手段とを1つの筒本体内に収容配置したことを特徴とする精製筒。 - 前記温度調整手段は、前記筒本体の径方向に沿って触媒層と前記加熱手段とを離間させる空洞、及び吸着剤層と加熱手段とを離間させる空洞又は吸着剤層と加熱手段との間の距離をゼロとすることであり、筒本体の径方向に沿った前記触媒層と前記加熱手段との間の距離は、前記吸着剤層と前記加熱手段との間の距離よりも長く設定されている請求項1に記載の精製筒。
- 前記筒本体内における前記触媒層の内側には区画筒が配設され、該区画筒内に前記加熱手段としてのヒータが収容されて該ヒータの周面とヒータの周面に対向する触媒層の周面との間に前記空洞が設けられている請求項2に記載の精製筒。
- 前記筒本体は円筒状をなすとともに、前記筒本体内には、該筒本体の周面と同心円状に収容筒が配設され、該収容筒内に前記ヒータが収容されている請求項3に記載の精製筒。
- 前記触媒層と前記吸着剤層との間には、該触媒層と吸着剤層を離間させる空隙が設けられている請求項1〜請求項4のうちいずれか一項に記載の精製筒。
- 空気又は不活性ガスの供給先に往路及び復路を介して接続され、前記往路と復路との間に配設される請求項1〜請求項5のうちいずれか一項に記載の精製筒を備え、前記供給先から排出された前記空気又は不活性ガスを前記復路を通じて受け入れ、該空気又は不活性ガスを前記精製筒で精製し、その精製後の空気又は不活性ガスを前記往路を介して前記供給先へ再供給し、循環させることを特徴とする空気又は不活性ガスの循環精製装置。
- 前記往路にて前記供給先への入口側と、復路にて前記供給先からの出口側との間には前記供給先を迂回して連通するバイパス通路が設けられ、該バイパス通路には該バイパス通路を開閉可能とする開閉弁が設けられている請求項6に記載の空気又は不活性ガスの循環精製装置。
- 前記供給先から排出された空気又は不活性ガスの精製筒への供給と、精製筒で精製された空気又は不活性ガスの供給先への再供給は循環ポンプを用いて行われ、該循環ポンプ及び前記精製筒は、前後両面が閉鎖部材によって開閉可能に構成されたケース内に収容されており、該ケースの後面側に前記精製筒が配設されているとともに、ケースの前面側に前記循環ポンプが配設され、前記ケースの前面側で作業者による作業が行われる請求項6又は請求項7に記載の空気又は不活性ガスの循環精製装置。
- 前記往路にて前記供給先への入口側には前記供給先内を不活性ガス雰囲気から大気圧雰囲気へと置換するための大気圧置換ラインが接続され、前記復路には前記供給先から排出された不活性ガスを排出するための排出機構が設けられている請求項6〜請求項8のうちいずれか一項に記載の空気又は不活性ガスの循環精製装置。
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