JP2006524317A - 走査プローブ型顕微鏡用の迅速走査ステージ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】走査型プローブ顕微鏡用の迅速平行移動ステージが提供される。該ステージは、平行移動ステージの自然の共振周波数にて駆動される少なくとも1つの平行移動の軸線を有し、走査方向の急速な変化に関係した歪みが回避される。1つの実施の形態において、該ステージは、好ましくは1つ又はより多くのピエゾアクチュエータ要素により駆動され、その共振周波数にて迅速走査周波数に沿って平行移動する試料板又は支持体を有している。
Description
Claims (15)
- プローブを有する走査型プローブ顕微鏡用の迅速走査ステージにおいて、少なくとも1つの平行移動の軸線を有する試料ステージと、前記ステージを前記プローブに対して変位させる手段とを備える、迅速走査ステージ。
- 請求項1に記載の迅速走査ステージにおいて、前記試料を変位させる前記手段は、前記ステージを支持する少なくとも1つのアクチュエータ要素と、該少なくとも1つのアクチュエータ要素を作動させる正弦波形発生器とを備える、迅速走査ステージ。
- 請求項2に記載の迅速走査ステージにおいて、前記試料を変位させる前記手段は、前記ステージを支持する4つのアクチュエータ要素を備える、迅速走査ステージ。
- 請求項2に記載の迅速走査ステージにおいて、前記プローブに対する前記試料の平行移動に対応する共振振動周波数にて駆動されることにより変位されるようになされている、迅速走査ステージ。
- 請求項3に記載の迅速走査ステージにおいて、四角形又は矩形の形態を有し、その隅部の各々が、前記アクチュエータ要素の1つにより支持されている、迅速走査ステージ。
- 請求項5に記載の迅速走査ステージにおいて、前記アクチュエータ要素が、平行四辺形の走査要素を形成している、迅速走査ステージ。
- 請求項6に記載の迅速走査ステージにおいて、前記アクチュエータ要素が、電気的に並列に接続されている、迅速走査ステージ。
- 請求項2に記載の迅速走査ステージにおいて、前記少なくとも1つのアクチュエータ要素が、積み重ねられた曲げ要素を備えている、迅速走査ステージ。
- 請求項2に記載の迅速軸走査ステージにおいて、前記少なくとも1つのアクチュエータ要素が、PZTバイモルフを備えている、迅速軸走査ステージ。
- 請求項3に記載の迅速軸走査ステージにおいて、前記少なくとも1つのアクチュエータ要素が、PZTバイモルフを備えている、迅速軸走査ステージ。
- 請求項1に記載の迅速軸走査ステージにおいて、セラミック、耐熱性ポリマー及び陽極処理したアルミニウムから成る群から選ばれた材料から成る、迅速軸走査ステージ。
- プローブと、迅速走査ステージとを有する走査型プローブ顕微鏡において、前記迅速走査ステージは、少なくとも1つの平行移動の軸線を有する試料ステージと、該ステージを支持して該ステージを前記プローブに対して変位させる少なくとも1つのアクチュエータ要素とを備えている、走査型プローブ顕微鏡。
- プローブを有する走査型プローブ顕微鏡用の迅速走査ステージを作動させる方法において、試料を有する試料ステージを提供するステップと、前記ステージを前記プローブに対して変位させるステップとを備える、方法。
- 請求項13に記載の方法において、前記変位は、前記ステージをその共振周波数にて駆動することにより行われる、方法。
- 請求項14に記載の方法において、前記ステージの共振周波数は、前記プローブの共振周波数の約1/100である、方法。
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