JP2006522473A - 集積分布減結合コンデンサを有する電子パッケージング構造 - Google Patents
集積分布減結合コンデンサを有する電子パッケージング構造 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006522473A JP2006522473A JP2006506424A JP2006506424A JP2006522473A JP 2006522473 A JP2006522473 A JP 2006522473A JP 2006506424 A JP2006506424 A JP 2006506424A JP 2006506424 A JP2006506424 A JP 2006506424A JP 2006522473 A JP2006522473 A JP 2006522473A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electronic packaging
- substrate
- electrode layer
- packaging structure
- distributed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/498—Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
- H01L23/49822—Multilayer substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/58—Structural electrical arrangements for semiconductor devices not otherwise provided for, e.g. in combination with batteries
- H01L23/64—Impedance arrangements
- H01L23/642—Capacitive arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/30—Technical effects
- H01L2924/301—Electrical effects
- H01L2924/3011—Impedance
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Abstract
電子パッケージング構造は、基板と、この基板の第1面上の第1電極層と、第1電極層上で事前選択されたパターンに配置された誘電材料と、第1電極層と共に分布容量性構造を形成するように誘電材料の事前選択されたパターン上に配置された複数の第2電極を形成する第2電極層とを含み、第2減結合コンデンサ段が、第1面と反対の基板の第2面上に配置され、かつ分布容量性構造に電気的に接続され、第2減結合コンデンサ段が、分布容量性構造の容量よりも大きい容量を有することを特徴とする。
Description
本発明は、基板と、前記基板の第1面上の第1電極層と、前記第1電極層上に事前選択されたパターンで配置された誘電材料と、第1減結合段として前記第1電極層と共に分布容量性構造を形成するように誘電材料の前記事前選択されたパターン上に配置された複数の第2電極層を形成する第2の電極層とを備えた電子パッケージング構造に関する。本発明はさらに、本発明の電子パッケージング構造を組み込む集積回路に関する。
高電流および低電圧によって動作する高速デジタル・コアを組み込んだシステム・オン・チップの電力供給は、できるだけ広い範囲の雑音を避けるために電力分配ネットワーク(power delivering network)内に高速電力モジュールおよびその内部にある最低寄生受動素子(lowest parastic passive)の両方を必要とする。
関連する電圧ピンの間にディスクリート・コンデンサを配置することは、雑音のレベルを低減させるための良く知られた技法である。通常は半導体コアからある距離離れて取り付けられるディスクリート・コンデンサは、複数の電力導線または大電力バスによって半導体コアへ電気的に結合される。これらの電力線は、通常、半導体チップのできるだけ近くにディスクリート・コンデンサを移動させることによって低減されるべき高インダクタンス経路(high inductant path)を表している。コアの最も近くに取り付けられる高周波数減結合キャパシタンスに関していえば、その特性は寄生インピーダンスの点で、最大電流過渡、したがってシステム速度を決定する。このキャパシタンスが理想的に挙動するほど、より多くの電流過渡が、許容される電圧変動および高周波振動に対する所与の許容範囲のより高い値へシフトされる。
米国特許第4945399号は、複数の集積された分布減結合コンデンサを含む電子パッケージング構造を開示している。基板上に形成された金属の底層は、減結合コンデンサの第1面を形成する少なくとも1部分を含み、かつ半導体チップの取り付けのため少なくとも1つの電子接続部を含む。誘電材料の薄層がその底層を覆う。最上層が、コンデンサの第2面として誘電材料上に形成され、減結合コンデンサを形成するために第1面に対して配置される。この構造はチップのダイの下に配置することができる。接続部の長さは、それによって形成される任意のインダクタンスを最小にするため、および減結合コンデンサをできるだけダイに近づけるために最小に維持される。
本発明の目的は、さらに改善された電子パッケージング構造を提供することである。
この目的は、前記第1面と反対の前記基板の第2面上に配置され、かつ前記分布容量性構造へ電気的に接続される高キャパシタンスの第2減結合コンデンサ段によって上記で定義されたような電子パッケージング構造において達成される。その第2減結合コンデンサ段のキャパシタンスは、電力シンクへの低インピーダンス接続を提供するのに十分なほど高く、前記第1減結合段のキャパシタンスよりも5倍から100倍、好ましくは約10倍だけ高いことがある。
誘電材料および第2電極のパターンが電力を供給されるチップへの接続部のピッチに依存することに留意されたい。
極端に低い直列インダクタンスを有する前記分布容量性構造および1000以上の極端に高い比誘電率の誘電材料は、ダイまたはその基板の下へ直接取り付けられてもよく、それと反対の面に次のフィルタ段を提供する要素を担持する。したがって分布電極構造は、最適な低インダクタンスな方法で電力シンクに結合され得るだけでなく、高周波数範囲において減結合にかなりの改善をもたらす第2減結合コンデンサ段にも結合され得る。
好ましい一実施形態では、前記分布容量性構造は、前記基板上の第1方向の複数の交番極性と、前記第1方向にほぼ直角である、前記基板上の第2方向の複数の交番極性とからなる。これにより、基板と誘電材料の間に取り付けられた共通電極からなる細かいメッシュ状のコンデンサ領域が提供される。分布容量性構造は、多数、たとえば100個の並列な個別のセルからなる。
これを効率的に実現するために、前記第1電極層へのコンタクト領域が、前記分布容量性構造の前記極性の1つを形成するために前記誘電材料の前記事前選択されたパターンの開口内に形成されることができる。交番極性が互いに隣接して近くに配置されるので、この配置が最小インダクタンスを示すことにより高周波ピークがフィルタ除去される。
好ましくは、前記基板は、前記分布容量性構造と前記第2減結合コンデンサ段とを接続するために設けられた貫通孔を備える。当業者は、前記貫通孔が前記第1電極層を通って均等に延在し、必要であれば、前記誘電材料の事前選択されたパターンの一部となることが理解されよう。
また、前記第2減結合コンデンサ段は複数のコンデンサで構成されてもよい。
前記基板は、導電性材料、たとえば導電性シリコン(Si)で形成されてもよい。
プロセッサと本発明の電子パッケージング構造とを含む集積回路が形成されてもよく、ここでは、好ましくは電子パッケージング構造の前記第2電極層が前記プロセッサと対向する。
本発明の電子パッケージング構造は、インダクタンスおよび抵抗の点で減少した寄生インピーダンスを有するモジュールを提供する。抵抗性およびインダクタンス性電圧降下による供給電圧変動が減少され印加電流過渡が高くなる。その結果、供給線では、周波数が高くなり、そして、振幅が小さくなったときのみ発振が励起される。EMIによって生じる信号インテグリティ(signal integrity)の問題は実質的に軽減されるであろう。
本発明の典型的用途は、電力供給ユニット、たとえば電圧制御モジュール(VRM)と負荷の間の接続としての電力分配ネットワークにある。通常、そのような電力分配ネットワークは、チップ自体の不可欠な構成要素として、ソケット用の複数の電力フィルタ段と、さらに減結合コンデンサとを備える。2つの傾向が、電圧制御モジュールからチップへの経路を進むときに観察される。コンデンサのキャパシタンスが小さくなると、インダクタンスと抵抗を接続するインピーダンスおよびコンデンサの寄生直列インダクタンスおよび抵抗も同様に小さくなる。これは、負荷への距離が減少するとコンデンサ内に蓄積され得るエネルギーが小さくなるが、このエネルギーは直近の非常に小さいインピーダンスにより迅速に利用できることを意味している。高周波負荷ステップは、その近傍の領域の構成要素によってフィルタリングされ、電流が長時間変化する必要性を表す低周波負荷ステップはさらなる周辺要素内の大きな容量によって主にカバーされる一方、電圧制御モジュール自体は負荷における遥かに遅い変化に追随できなければならない。したがって、電力分配ネットワークは、特に、そして、負荷に対しても細かく同調されるフィルタ段からなる構成を含み、その特性は寄生インピーダンスに対して恒久的に最適化される。本発明では、第1フィルタ段は、複数の容量、またはかなり低いインダクタンスでチップに接続され比較的低いキャパシタンスを含む分布キャパシタンスでさえも提供し、これは迅速に利用できる比較的低い蓄積可能エネルギーを意味する。さらに、モジュールは、それに隣接し、ディスクリート・コンデンサ、たとえば多層セラミック・コンデンサの形態をした、約5倍から100倍だけより大きいエネルギーの蓄積を有する第2フィルタ段(たとえば、第2減結合コンデンサ段)をすでに備える。これまでに知られている構造と比較すると、前記第2フィルタ段のこれらのコンデンサは、比較的低いインピーダンスで第1フィルタ段に接続されるが、貫通接触により、その接続はむしろ第1フィルタ段への高インピーダンス接続である。
本発明は、添付図面および以下の記載を参照することによって、より一層詳細に説明されるであろう。
図1では、誘電材料1が第1電極2と複数の第2電極3の間に配置されている。この誘電材料は、たとえば1000以上の比誘電率を有する薄いセラミックである。誘電材料の厚さの典型的値は50nm〜500nmである。誘電材料1は、コンタクト領域6が形成され得るように、第1電極層2へのアクセスが可能なように構成される。これにより、交番極性5aおよび5bのコネクタ・フィールドが形成される。たとえばフリップ・チップ半田バンプにより、コンタクト領域6を介して第2電極3の各々と共通の第1電極層2への接触が行われる。この配置は、第1電極2の抵抗とインダクタンスとを減少させ、電極10への貫通接続を確保するために導電性であってもよい基板4上で実行される。複数のディスクリート・コンデンサ9は、第2減結合コンデンサ段を提供するために基板4の下に配置される。交番極性は、前記基板4の下面上の電極10と、基板4、第1電極層2、および誘電材料1に設けられた貫通孔11の内壁にある導電性貫通メッキ8により与えられる。絶縁ライニング7が、第1電極層2および導電性基板4とのメッキの接触を避けるために各貫通孔に設けられる。
図2は図1の構成の上面図を示している。交番極性5a、5bのメッシュ状領域は、互いに直角な2つの方向へ延びて形成される。個々のコンデンサ・セルのサイズはピッチ12によって画定され、その結果個々のコンデンサ・セルのサイズはそのピッチ(電力が供給されるチップコネクタ間の距離)に依存する。
一方、大幅により大きいピッチを示す同様のチェッカ・パターンも、基板4の底部側にある前記ディスクリート・コンデンサ9(第2減結合フィルタ段)に接触するための電極接続部によって形成される。
Claims (9)
- 基板と、前記基板の第1面上の第1電極層と、前記第1電極層上で事前選択されたパターンに配置された誘電材料と、第1減結合段として前記第1電極層と共に分布容量性構造を形成するように誘電材料の前記事前選択されたパターン上に配置された複数の第2電極を形成する第2電極層とを含む電子パッケージング構造であって、
第2減結合コンデンサ段が、前記第1面と反対の前記基板の第2面上に配置され、かつ前記分布容量性構造に電気的に接続され、前記第2減結合コンデンサ段が、前記分布容量性構造の容量よりも大きい容量を有することを特徴とする、電子パッケージング構造。 - 前記分布容量性構造が、前記基板上の第1方向の複数の交番極性と、前記第1方向にほぼ直角である、前記基板上の第2方向の複数の交番極性とからなることを特徴とする、請求項1に記載の電子パッケージング構造。
- 前記第1電極層へのコンタクト領域が、前記分布容量性構造の前記極性の1つを提供するために前記誘電材料の前記事前選択されたパターンの開口内に形成されていることを特徴とする、請求項2に記載の電子パッケージング構造。
- 前記基板が、前記分布容量性構造と前記第2減結合段を接続するために設けられた貫通孔を備えることを特徴とする、請求項1に記載の電子パッケージング構造。
- 前記高キャパシタンス減結合段が、複数のコンデンサからなることを特徴とする、請求項1に記載の電子パッケージング構造。
- 前記第2減結合段の前記容量が、前記分布容量性構造の容量と比較して5倍から100倍、好ましくは約10倍だけ大きいことを特徴とする、請求項1に記載の電子パッケージング構造。
- 前記基板が導電性材料で形成されることを特徴とする、請求項1に記載の電子パッケージング構造。
- プロセッサと前記請求項のいずれかに記載の電子パッケージング構造とを含む集積回路。
- 前記電子パッケージング構造の前記第2電極層が前記プロセッサに面している請求項7に記載の集積回路。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP03100921 | 2003-04-07 | ||
PCT/IB2004/000992 WO2004090981A1 (en) | 2003-04-07 | 2004-03-31 | Electronic packaging structure with integrated distributed decoupling capacitors |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006522473A true JP2006522473A (ja) | 2006-09-28 |
Family
ID=33155210
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006506424A Pending JP2006522473A (ja) | 2003-04-07 | 2004-03-31 | 集積分布減結合コンデンサを有する電子パッケージング構造 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP1614157A1 (ja) |
JP (1) | JP2006522473A (ja) |
CN (1) | CN1771601A (ja) |
WO (1) | WO2004090981A1 (ja) |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4494172A (en) * | 1982-01-28 | 1985-01-15 | Mupac Corporation | High-speed wire wrap board |
US4945399A (en) * | 1986-09-30 | 1990-07-31 | International Business Machines Corporation | Electronic package with integrated distributed decoupling capacitors |
US6411494B1 (en) * | 2000-04-06 | 2002-06-25 | Gennum Corporation | Distributed capacitor |
JP3455498B2 (ja) * | 2000-05-31 | 2003-10-14 | 株式会社東芝 | プリント基板および情報処理装置 |
US6532143B2 (en) * | 2000-12-29 | 2003-03-11 | Intel Corporation | Multiple tier array capacitor |
-
2004
- 2004-03-31 JP JP2006506424A patent/JP2006522473A/ja active Pending
- 2004-03-31 EP EP04724654A patent/EP1614157A1/en not_active Withdrawn
- 2004-03-31 CN CN200480009395.6A patent/CN1771601A/zh active Pending
- 2004-03-31 WO PCT/IB2004/000992 patent/WO2004090981A1/en not_active Application Discontinuation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1614157A1 (en) | 2006-01-11 |
CN1771601A (zh) | 2006-05-10 |
WO2004090981A1 (en) | 2004-10-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6191479B1 (en) | Decoupling capacitor configuration for integrated circuit chip | |
JP3995596B2 (ja) | 多段アレイキャパシター及びその製造方法 | |
US6724611B1 (en) | Multi-layer chip capacitor | |
US6370010B1 (en) | Multi-layer capacitor, wiring board, and high-frequency circuit | |
US6327134B1 (en) | Multi-layer capacitor, wiring board, and high-frequency circuit | |
KR100367859B1 (ko) | 적층 커패시터와 감결합 커패시터의 배선접속구조, 및배선기판 | |
TWI397089B (zh) | 電容器、包含該電容器之電路板及積體電路承載基板 | |
US6801422B2 (en) | High performance capacitor | |
EP1273017B1 (en) | Distributed capacitor | |
US7403370B2 (en) | Capacitor parts | |
KR101218988B1 (ko) | 반도체 집적회로 칩, 적층형 칩 커패시터 및 반도체 집적회로 칩 패키지 | |
JP2001326305A (ja) | 半導体装置用インターポーザー、その製造方法および半導体装置 | |
JP5124150B2 (ja) | 多層プリント配線板 | |
US8547681B2 (en) | Decoupling capacitor | |
KR20030063433A (ko) | 확장 표면 랜드를 갖는 커패시터 및 그 제조 방법 | |
US6545346B2 (en) | Integrated circuit package with a capacitor | |
JPH0536857A (ja) | 半導体集積回路実装基板 | |
JP2001060664A (ja) | 半導体装置 | |
JP4280179B2 (ja) | 積層型半導体装置 | |
US8848386B2 (en) | Electronic circuit | |
JP4338545B2 (ja) | コンデンサシート | |
JP2006522473A (ja) | 集積分布減結合コンデンサを有する電子パッケージング構造 | |
KR100669963B1 (ko) | 다층배선기판 및 그 제조 방법 | |
JP2001015885A (ja) | 高周波用電子回路及び高周波用電子回路へのチップ三端子コンデンサの実装構造 | |
US6285070B1 (en) | Method of forming semiconductor die with integral decoupling capacitor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20070518 |