JP2006522226A - 輸送中の反応性化合物の劣化を低減する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
2NF3 → N2F4 + F2
2NF3 + M → N2F4+ MF2
SA=2πrl
ここで、r=内部表面の半径、l=長さである。該管材料または配管の内容積(V)は、次のように定義される。
V=πr2l
Claims (15)
- 反応性化合物を第1の場所から第2の場所まで輸送する間の該反応性化合物の劣化を低減する方法であって、輸送の前に、輸送中の反応性化合物と接触する表面の少なくとも一部を電解研磨するステップを含んでなることを特徴とする方法。
- 反応性化合物を第1の場所から第2の場所まで輸送する間の該反応性化合物の劣化を低減する方法であって、反応性化合物の輸送に使われるあらゆる装置の体積に対する内部表面積の比を最小にするステップを含んでなることを特徴とする方法。
- 反応性化合物を第1の場所から第2の場所まで輸送する間の該反応性化合物の劣化を低減する方法であって、反応性化合物の輸送に使われるあらゆる装置内のあらゆる死容積を最小または除去するステップを含んでなることを特徴とする方法。
- 前記反応性化合物が、三フッ化窒素、六フッ化タングステン、三フッ化塩素、フッ素、一フッ化塩素、四フッ化二窒素、二フッ化二窒素、テトラフルオロシラン、一酸化フッ素、および三フッ化ホウ素よりなる群から選択されるフッ化反応性ガスであることを特徴とする請求項1、2、または3のいずれかに記載の方法。
- 前記反応性化合物が、三フッ化窒素であることを特徴とする請求項4に記載の方法。
- 前記第2の場所が、分析測定装置であることを特徴とする請求項1、2、または3のいずれかに記載の方法。
- 前記電解研磨した金属表面が、アルミニウム、クロム、コバルト、銅、金、鉄、ニッケル、白金、銀、スズ、チタン、および亜鉛よりなる群から選択される金属を含んでなることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記電解研磨した金属表面が、洋銀、モネル(登録商標)、ハステロイ(登録商標)、インコネル(登録商標)、コバール(登録商標)、低および高炭素鋼、並びにステンレス鋼よりなる群から選択される金属合金を含んでなることを特徴とする請求項1、2、または3のいずれかに記載の方法。
- 前記電解研磨した金属表面が、316ステンレス鋼から製造されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記反応性化合物と接触する表面が、加熱されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記反応性化合物の輸送に使われるあらゆる装置の内部表面が、ガス状混合物であるヘリウム中のフッ素で前処理されることを特徴とする請求項1、2、または3のいずれかに記載の方法。
- 反応性化合物の輸送に使われるあらゆる装置の体積に対する内部表面積の比を最小にするステップをさらに含んでなることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 反応性化合物の輸送に使われるあらゆる装置内のあらゆる死容積を最小または除去するステップをさらに含んでなることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 反応性化合物の輸送に使われるあらゆる装置内のあらゆる死容積を最小または除去するステップをさらに含んでなることを特徴とする請求項12に記載の方法。
- 反応性化合物の輸送に使われるあらゆる装置の体積に対する内部表面積の比を最小にするステップをさらに含んでなることを特徴とする請求項13に記載の方法。
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