JP2006510223A - 基板の面曲がりを使用する倍率補正 - Google Patents
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Abstract
Description
1.A=Φr
上式で、rは表面32が曲げられた球体の半径、Φは表面32が曲げられた角度である。エリアdAの変化は、以下の通りに定めることができることがわかる。
2.dA=Φdr
したがって、エリアAの変化は、最終的に以下の通りに定めることができる。
3.dA=As/2r
上式で、sは、表面32と面33の間で測定されたウエハ30の厚さである。したがって、表面32を凹形状にすると、エリアAが減少、縮小する。反対に、表面32を凸形状にすると、エリアAが増大、拡大する。同様に、テンプレート26を曲げると、式1〜3に従ってモールド28の寸法が変化し、したがって、モールド28上のパターンを拡大または縮小することができる。
Claims (20)
- モールド内に存在する原パターンとウエハの表面内に形成される記録されたパターンの間の相対寸法を制御する方法であって、
前記記録されたパターンを作製する領域を前記層上で決めること、
変化したパターンを形成するように、前記モールドに引張応力をかけることによって前記原パターン内に寸法変化を生じさせること、
前記層内に前記変化したパターンを記録すること
を含む、方法。 - 前記表面に輪郭を形成するために前記ウエハに引張応力をかけることをさらに含む請求項1に記載の方法。
- 前記輪郭が形成される表面と前記モールドが同様の曲率半径を有するように、前記領域内に輪郭が形成される表面を作製するめに前記ウエハを曲げることをさらに含む請求項1に記載の方法。
- 前記ウエハを曲げることが、前記輪郭が形成された表面に一定の曲率半径を有する弓形の形状を与えることをさらに含み、前記モールドが前記弓形の形状と一致している請求項3に記載の方法。
- 前記決めることが、前記記録されたパターンを作製する前記層上に複数の領域を決めることをさらに含み、曲げることが、輪郭が形成された複数の表面であって、それらの中央に配置されたそれらに関連する法線をそれぞれが有する輪郭が形成された複数の表面を設けるために前記ウエハを曲げることをさらに含み、前記生じさせることが、軸の周りに放射状かつ対称的に配置された湾曲したプロファイルを前記モールドに与えこと、前記複数の領域のそれぞれに関連する前記各法線と平行に延びるように前記軸を連続的に位置合わせすることをさらに含む請求項3に記載の方法。
- 生じさせることが、前記モールドに第1の曲率半径を有する湾曲したプロファイルを与えることをさらに含み、曲げることが、前記輪郭が形成された表面に第2の曲率半径を有する弓形の形状を与えることをさらに含む請求項1に記載の方法。
- 前記モールドが、第1の表面と、それから第1の距離隔たった第1の中立軸とを含み、前記ウエハが、第2の表面と、それから第2の距離隔たった第2の中立軸とを含み、前記寸法変化の制御が、前記第1、第2の距離の大きさによって支配される請求項1に記載の方法。
- 前記生じさせることが、前記モールドに第1の曲率半径を有する湾曲したプロファイルを与えることをさらに含み、前記曲げることが、前記輪郭が形成された表面に第2の曲率半径を有する弓形の形状を与えることをさらに含み、前記第2の曲率半径が前記第1の曲率半径と一致している請求項3に記載の方法。
- 前記生じさせることが、第1の曲率半径を定めるために、軸の周りに放射状かつ対称的に配置された湾曲したプロファイルを前記モールドに与えることをさらに含み、前記曲げることが、第2の曲率半径を定めるために、前記軸の周りに放射状かつ対称的に配置された弓形の形状を前記輪郭が形成された表面に与えることをさらに含む請求項3に記載の方法。
- 前記生じさせることが、第1の曲率半径を定めるために、軸の周りに放射状かつ対称的に配置された湾曲したプロファイルを前記モールドに与えることをさらに含み、前記曲げることが、第2の曲率半径を定めるために、前記軸の周りに放射状かつ対称的に配置された弓形の形状を前記輪郭が形成された表面に与えることをさらに含み、前記第2の曲率半径が前記第1の曲率半径と一致している請求項3に記載の方法。
- 前記生じさせることが、前記ウエハ上の剪断力を最小にしながら、前記モールドに湾曲したプロファイルを与えることをさらに含み、前記曲げることが、前記ウエハ上の剪断力を最小にしながら、前記輪郭が形成された表面を弓形にすることをさらに含む請求項3に記載の方法。
- モールド内に存在する原パターンとウエハの層内に形成される記録されたパターンの間の相対寸法を制御する方法であって、
前記記録されたパターンを作製する領域を前記層上で決めること、
前記領域内に輪郭が形成された表面を作製するために前記ウエハを曲げること、
前記モールドを曲げることによって前記原パターン内に寸法変化を生じさることであって、それにより変化したパターンを形成し、前記輪郭が形成された表面と前記モールドが同様の曲率半径を有する、生じさること、
前記層内に前記変化したパターンを記録することを含む、方法。 - 前記ウエハを曲げることが、前記輪郭が形成された表面に一定の曲率半径を有する弓形の形状を与えることをさらに含み、前記モールドが前記弓形の形状と一致している請求項12に記載の方法。
- 前記決めることが、前記記録されたパターンを作製する前記層上に複数の領域を決めることをさらに含み、前記曲げることが、輪郭が形成された複数の表面であって、それらの中央に配置されたそれらに関連する法線をそれぞれが有する輪郭が形成された複数の表面を設けるために前記ウエハを曲げることをさらに含み、前記生じさせることが、軸の周りに放射状かつ対称的に配置された湾曲したプロファイルを前記モールドに与えこと、および前記複数の領域のそれぞれに関連する前記各法線と平行に延びるように前記軸を連続的に位置合わせすることをさらに含む請求項12に記載の方法。
- 前記生じさせることが、前記モールドに第1の曲率半径を有する湾曲したプロファイルを与えることをさらに含み、前記曲げることが、前記輪郭が形成された表面に第2の曲率半径を有する弓形の形状を与えることをさらに含む請求項12に記載の方法。
- 前記モールドが、第1の表面と、それから第1の距離隔たった第1の中立軸とを含み、前記ウエハが、第2の表面と、それから第2の距離隔たった第2の中立軸とを含み、倍率の制御が、前記第1、第2の距離の大きさによって規制される請求項12に記載の方法。
- 前記生じさせることが、前記モールドに第1の曲率半径を有する湾曲したプロファイルを与えることをさらに含み、前記曲げることが、前記輪郭が形成された表面に第2の曲率半径を有する弓形の形状を与えることをさらに含み、前記第2の曲率半径が前記第1の曲率半径と一致している請求項12に記載の方法。
- 前記生じさせることが、第1の曲率半径を定めるために、軸の周りに放射状かつ対称的に配置された湾曲したプロファイルを前記モールドに与えることをさらに含み、前記曲げることが、第2の曲率半径を定めるために、前記軸の周りに放射状かつ対称的に配置された弓形の形状を前記輪郭が形成された表面に与えることをさらに含む請求項12に記載の方法。
- 前記生じさせることが、第1の曲率半径を定めるために、軸の周りに放射状かつ対称的に配置された湾曲したプロファイルを前記モールドに与えることをさらに含み、前記曲げることが、第2の曲率半径を定めるために、前記軸の周りに放射状かつ対称的に配置された弓形の形状を前記輪郭が形成された表面に与えることをさらに含み、前記第2の曲率半径が前記第1の曲率半径と一致している請求項12に記載の方法。
- 前記生じさせることが、前記ウエハ上の剪断力を最小にしながら、前記モールドに湾曲したプロファイルを与えることをさらに含み、前記曲げることが、前記ウエハ上の剪断力を最小にしながら、前記輪郭が形成された表面を弓形にすることをさらに含む請求項12に記載の方法。
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