JP2006503410A - 基板上に機能材料をパターン形成する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
I.好ましくは透明な正孔移送層で覆われた基板上に、第1の有機光放出材料の堆積、
II.前記第1の有機層上に電子注入材料(MgAg)の堆積、
III.第1の色の光を放出するピクセルを得るために、基板の望ましくない領域から電子注入材料及び第1の有機光放出材料の両方の選択的なレーザ・アブレーション、
IV.前記基板上への第2の光放出材料の堆積、
V.前記第2の有機層上への電子注入材料(MgAg)の堆積、
VI.第1の色の光を放出するピクセルを保持し、かつ第2の色の光を放出するピクセルを作るために、基板の望ましくない領域から電子注入材料及び第1の有機光放出材料の両方の選択的なレーザ・アブレーション、
VII.上述のような同一のプロセス・ステップが、第3の色の光を放出するピクセルを得るために繰り返される。
Claims (33)
- 基板上に機能材料をパターン形成する方法であって、(a)前記機能材料が不溶である溶剤に溶解可能な保護材料の層を、前記基板の少なくとも1つの主面に付けるステップと、(b)良好に画定された領域で前記基板に対するアクセスを得るように前記層の領域を取り除くステップと、(c)前記良好に画定された領域で少なくとも前記基板上に前記機能材料を堆積するステップと、(d)前記溶剤で溶解することによって、前記基板から前記保護材料の残る層を取り除くステップとを含む方法。
- 前記基板がガラスを含む請求項1に記載の方法。
- 前記基板がシリコンを含む請求項1に記載の方法。
- 前記基板がプラスチック材料を含む請求項1に記載の方法。
- 前記基板が電荷注入層を含む請求項1から4のいずれか一項に記載の方法。
- 前記保護材料が有機材料を含む請求項1から5のいずれか一項に記載の方法。
- 前記保護材料の層が、ポリ(ビニルアルコール)、ポリメチル・エーテル、ポリメチルアクリルアミド、ドープされたポリチオフェン、ポリエチレン・グリコール、及びドープされたポリアニリンから選択された水に溶解可能なポリマーを含む請求項6に記載の方法。
- 前記保護材料の層が、アルコールに溶解可能なポリマーを含む請求項6に記載の方法。
- 前記保護材料が、無機材料を含む請求項1から8のいずれか一項に記載の方法。
- 前記保護材料が、シリコン、窒化シリコン、及び酸化シリコンから選択される請求項9に記載の方法。
- 第2の保護材料の層が、ステップ(a)の後で付けられ、ステップ(b)で前記良好に画定された領域で取り除かれ、かつ前記良好に画定された領域より後で取り除かれる請求項1から10のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第2の保護材料の層が、無機層を含む請求項11に記載の方法。
- 前記第2の保護材料の層が、シリコン、窒化シリコン、及び酸化シリコンから選択される請求項12に記載の方法。
- 前記第2の保護材料の層が、金属層を含む請求項11に記載の方法。
- 前記第2の保護材料の層が、ニッケル、アルミニウム、及びクロムから選択される請求項14に記載の方法。
- ステップ(b)において、前記保護材料が、レーザ・アブレーションによって前記良好に画定された領域から取り除かれる請求項1から15のいずれか一項に記載の方法。
- ステップ(b)において、前記保護材料が、リフト・オフ・プロセスを使用して前記良好に画定された領域から取り除かれる請求項1から16のいずれか一項に記載の方法。
- ステップ(b)において、前記第2の保護材料の層が、前記保護材料の前記領域を露出するために第1のプロセスを使用して前記良好に画定された領域から取り除かれ、前記保護材料の前記領域が、前記基板に対するアクセスを得るために第2のプロセスを使用して取り除かれる請求項11から15のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第1のプロセスが、レーザ・アブレーションを含む請求項18に記載の方法。
- 前記第1のプロセスが、スタンピング又は穿孔プロセスを含む請求項18に記載の方法。
- 前記第1のプロセスが、前記良好に画定された領域で前記第2の保護材料の層を画定しかつ露出するためのフォトリソグラフィ・ステップからなり、前記第2のプロセスが、前記良好に画定された領域における前記第2の保護材料を取り除くためのエッチング・ステップを含む請求項18に記載の方法。
- ステップ(c)において、前記機能材料が、スピン・コーティング、蒸着、及びスパッタリングから選択された方法で堆積される請求項1から21のいずれか一項に記載の方法。
- ステップ(c)の後で、保護材料のさらなる層が、前記機能材料を上に付けられ、前記さらなる層は、ステップ(d)で取り除かれる請求項1から22のいずれか一項に記載の方法。
- 前記さらなる層が、前記機能材料が不溶である溶剤で溶解可能な同じ保護材料を含む請求項23に記載の方法。
- 前記機能材料が、有機電子光学活性材料を含む請求項1から24のいずれか一項に記載の方法。
- 前記機能材料が、生化学又は生物学試薬を含む請求項1から24のいずれか一項に記載の方法。
- 前記基板にさらなる機能材料をパターン形成するさらなるステップを含み、前記さらなるステップが、前記さらなる機能材料に関してステップ(a)から(d)を繰り返すことを含む請求項1から26のいずれか一項に記載の方法。
- ステップ(c)の後に、保護材料のさらなる層を付けるステップと、さらなる良好に画定された領域で前記基板に対するアクセスを得るために、前記さらなる層の領域を取り除くステップと、前記さらなる良好に画定された領域で少なくとも前記基板上にさらなる機能材料を堆積するステップとを含む請求項1から26のいずれか一項に記載の方法。
- パターン形成されたエレクトロルミネッセンス材料を担持する基板を備えるデバイスであって、前記基板及び前記エレクトロルミネッセンス材料が、保護材料の第1及び/又は第2の層によって被覆され、前記層が、前記基板の良好に画定された領域に対するアクセスを与える開口を有するデバイス。
- 光電子デバイスであって、基板と、異なる色の光を放出するように配置されたポリマー発光ダイオードを備える複数のサブ・ピクセルとを備え、前記サブ・ピクセル間の間隔が、15μmよりも小さい光電子デバイス。
- 前記間隔が、10μmよりも小さい請求項30に記載の光電子デバイス。
- 前記間隔が、5μmよりも小さい請求項31に記載の光電子デバイス。
- クォータ・ビデオ・グラフィック・アレイ(QVGA)デバイスを備える請求項30、31、又は32に記載の光電子デバイス。
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