JP2006503290A - 熱損失式圧力測定装置および方法 - Google Patents
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Abstract
Description
is=i2 (1)
i4=i3 (2)
isRS=i4R4 (3)
および、
i2R2=i3R3 (4)
RSに入力される電力エネルギ = RSから放射されるエネルギ + RSの両端部で失われるエネルギ + RSから気体に奪われるエネルギ (7)
端部から失われるエネルギ = kγ (9)
ここで、kは定数であり、
左側端において、
右側端において、
が上昇する。TAVGの上昇は、ブリッジの平衡時、TXLおよびTXRの上昇を引き起こし、γLおよびγRの変化を生じさせる。γLおよびγRにおけるこれらの変化が、式(7)の端部損失項を変化させ、圧力測定においてγLおよびγRの変化の大きさに応じた誤差を生じる。
R2=RC+R (12)
であると仮定する。
RS=β(RC+R) (13)
と書くことができる。ここでβは前記式(6)で定義されている。
TAMBIENT=T1 (14)
のとき、式(13)は、
TAMBIENT=T2
のとき、式(13)は、
TC2−T2=TC1−T1
または、
TC2−TC1=T2−T1 (20)
である。
1.物理的寸法、熱特性および抵抗特性がほぼ同一である検出素子および補償素子を使用する。
2.物理的寸法、熱特性および抵抗特性がほぼ同一である検出素子および補償素子接続を使用する。
3.すべての接続について、ほぼ均一温度の領域に対してほぼ同一の、大きい伝導性を有する素子接続を使用する。
4.検出素子および補償素子を同一真空環境内に配置する。
RC(TA)=RS(TA) (23)
ここで、TAは周囲温度であり、かつ
αC=αS (24)
β=1 (25)
である。
P=f(VS,IS) (26)
ここで、VSは検出素子両端の電圧降下であり、ISは検出素子を流れる電流である。式(26)の各項目は、3次元曲線フィッティング・ソフトウェアを使用して、測定対象の圧力および温度範囲全体にわたる複数の既知の圧力値PCおよび周囲温度について校正方法によって得られた対をなすVSCおよびISCの値から導き出される。未知のPXについて、ブリッジ平衡状態でのVSXおよびISXが測定され、式(26)に代入される。次いで、PXがマイクロプロセッサなどを用いて計算される。
第1の種類の改良を、図4Aおよび4Bを参照して説明する。図4Aは、改良された熱損失式ゲージの一部10の側面図である(縮尺比通りではない)。図4Bは、図4Aの線4B‐4Bに沿って切断された一部分10の断面図である。図4Aおよび4Bに示すように、抵抗性検出素子である細線ワイヤの検出素子12が、抵抗性補償素子である細線ワイヤの補償素子14と同一平面に位置し、距離dだけ間隔を空けている。検出素子12と補償素子14との間の間隔dは、好ましくは約0.030インチであるが、0.010インチ〜0.200インチまでの範囲であってもよい。平行な板16および16’が、検出素子12および補償素子14に近接して平行に設けられている。
本発明の第2の大きな特徴として、検出および補償素子に対して、改良された取付け機構が提供される。ほぼ同一の物理的寸法、熱特性、および抵抗特性を有する検出素子および補償素子の接続を使用することによって、またすべての接続について、温度がほぼ均一の領域に対してほぼ同一かつ大きな熱伝導を有する素子接続を使用することによって、低圧測定の正確さが大幅に改良される。
本発明の第3の大きな特徴は、検出素子12を独立に加熱する装置および方法である。この改良が図6に示されており、ホイートストン・ブリッジ30は、検出素子12を独立して加熱できるように変更されている。本発明と同様に検出素子と同一の物理的寸法を有し、かつ同一材料で作られた補償素子を使用する従来技術の回路は、補償素子を、周囲温度ではなく検出素子と同一温度で動作させるようにしている。すなわち、前述の本発明の改良を備えるピラニゲージは、従来技術の加熱回路を使用したのでは、その正確さの潜在能力を達成できない。
第4の改良を、再度、図6を参照して説明する。この改良においては、改良された装置および方法は、本発明に従ってピラニゲージを校正し、作動するために提供される。
P=f(VS,IS) (26)
PX=f(VSX,ISX) (27)
が与えられる。好都合には、式(27)をプロセッサ51に格納でき、次いでVSXおよびISXがプロセッサ51に入力されたときに、この式を用いて自動的にPXを計算できる。
P=h(X,Y)
ここで、Xは第1の入力パラメータであり、Yは第2の入力パラメータであり、Pは第1のパラメータXおよび第2のパラメータYに対応する圧力である。次いで、この式を多次元校正幾何面の代用として用いて、圧力が計算される。
図7を参照すると、ゲージ60は、ホイートストン・ブリッジを使用しない点で図6に示したものと相違しているゲージの1つの実施形態である。図6と同様、ゲージ60は、検出素子12(抵抗値RSを有している)、非感温性の抵抗素子15(抵抗Rを有している)、および温度補償素子14(抵抗RCを有している)を含んでおり、素子12および14は、同様の方法または構成で真空環境34内に配置されている。ゲージ60の素子12、14および15を接続する回路は図6の回路と異なっているが、素子12、14および15は、図6と同様の方法で利用される。例えば、検出素子12が加熱されるが、非感温性の抵抗素子15および温度補償素子14はほとんど加熱されない。さらに、検出素子12の両端電圧VSおよび検出素子12を流れる電流ISが測定され、これを利用して同様の方法で圧力が決定される。
Claims (14)
- ある環境における気体圧力を測定する熱損失式ゲージであって、
抵抗性検出素子と、
前記検出素子と共に回路を形成し、ほぼ一致する環境に露出される抵抗性補償素子と、
前記検出素子および前記補償素子に接続されて前記各素子を流れる電流を供給する電源と、
前記検出素子および補償素子の電気的応答に基づいて、この検出素子および補償素子が露出されている前記環境の気体圧力を決定するための、前記検出素子および前記補償素子に接続された測定回路とを備え、
前記検出素子を流れる電流が前記補償素子を流れる電流より大幅に大きく、前記検出素子および前記補償素子の長さが異なっているゲージ。 - 請求項1において、前記補償素子の長さが前記検出素子よりも短いゲージ。
- 請求項2において、前記検出素子および前記補償素子は、補償素子の抵抗が検出素子よりも約5%〜8%低い抵抗を有するように構成されているゲージ。
- 請求項3において、前記検出素子および前記補償素子は、補償素子の抵抗が検出素子よりも約6%〜7%低い抵抗を有するように構成されているゲージ。
- 請求項2において、前記補償素子の長さは前記検出素子よりも約5%〜8%短いゲージ。
- 請求項5において、前記補償素子の長さは前記検出素子よりも約6%〜7%短いゲージ。
- 請求項1において、前記補償素子の抵抗をより低くするため、並列抵抗が前記検出素子および前記補償素子の一方の両端に配置されているゲージ。
- ある環境における気体圧力を測定する方法であって、
抵抗性検出素子を設け、
前記検出素子と共に回路を形成し、ほぼ一致する環境に露出される抵抗性補償素子を設け、
前記検出素子を流れる電流が前記補償素子を流れる電流よりも大幅に大きい状態で、電源から前記検出素子および前記補償素子を流れる電流を供給し、
前記検出素子および前記補償素子の長さが異なるように構成し、
前記検出素子および前記補償素子に接続された測定回路によって、この検出素子および補償素子の電気的応答に基づいて、前記検出素子および前記補償素子が露出されている前記環境の気体圧力を測定することを含む、気体圧力測定方法。 - 請求項8において、さらに、前記補償素子の長さを前記検出素子よりも短くなるように構成することを含む、気体圧力測定方法。
- 請求項9において、さらに、前記検出素子および前記補償素子を、前記補償素子が前記検出素子よりも約5%〜8%低い抵抗を有するように構成することを含む、気体圧力測定方法。
- 請求項10において、さらに、前記検出素子および前記補償素子を、前記補償素子が前記検出素子よりも約6%〜7%低い抵抗を有するように構成することを含む、気体圧力測定方法。
- 請求項9において、さらに、前記補償素子の長さを前記検出素子よりも約5%〜8%短くすることを含む、気体圧力測定方法。
- 請求項12において、さらに、前記補償素子の長さを前記検出素子よりも約6%〜7%短くすることを含む、気体圧力測定方法。
- 請求項12において、さらに、前記検出素子および前記補償素子の一方の両端に並列抵抗を配置して、前記補償素子の抵抗を低くすることを含む、気体圧力測定方法。
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