JPH1144601A - 圧力センサおよびこの圧力センサを用いた圧力計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 小型でも広範囲な圧力域の計測が可能な圧力
センサを得るるとともに、この圧力センサを用いること
により広範囲な圧力域の計測を正確に行うことができる
圧力計を得る。 【解決手段】 圧力センサ１０は、基板１１、発熱ヒー
トワイヤ１２および温度検出センサ１３によって構成さ
れている。発熱ヒートワイヤ１２は、基板１１に取り付
けられた発熱ヒートワイヤ支持部材１２ａにより基板１
１から離れた位置で支持され、温度検出センサ１３は、
基板１１に取り付けられた温度検出センサ支持部材１３
ａにより発熱ヒートワイヤ１２の上方で基板１１から離
れた位置で支持されており、発熱ヒートワイヤ１２の発
熱により加熱されて対流する雰囲気中の気体の温度を検
出するようになっている。なお、発熱ヒートワイヤ１２
および温度検出センサ１３は、くぼみ部１１ｂ上に位置
している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、真空域から加圧域
までの圧力を検出することができる圧力センサおよびこ
の圧力センサを用いた圧力計に関する。

【０００２】

【従来の技術】真空蒸着装置内等の真空度を計測するの
に適した小型の圧力計としては、ピラニー真空計が知ら
れている。ピラニー真空計は、ガスの熱伝導率が圧力
（真空度）によって変化することを利用してその圧力を
測るものであり、気体を熱する熱線（ヒートワイヤ）の
温度の変化を圧力として検出するようになっている。こ
のように構成されたピラニー真空計においては、正確に
計測できる圧力の範囲が１０〜０.１Torrと限られてい
る。

【０００３】従って、通常これ以外の真空域における真
空度を計測する場合には、他の構成の圧力計を用いるこ
ととしている。例えば、図５（Ａ）に示すように、１０
Torr以上の真空度が低い領域（圧力が高い領域）の計測
を行うのに適した圧力計としては、ダイヤフラム式圧力
計がある。

【０００４】ダイヤフラム式圧力計は、気密容器の中央
に金属薄膜の可動ダイヤフラム電極を設け、さらに中央
固定電極と外周固定電極とがそれぞれ可動ダイヤフラム
電極に対向して設けられている。そして、中央固定電極
と可動ダイヤフラム電極との間の静電容量と、外周固定
電極と可動ダイヤフラム電極との間の静電容量との差を
交流ブリッジ回路によって検出することにより、圧力の
検出を行うものである。このため、１つのダイヤフラム
では広い範囲の圧力の計測を行うことができない。

【０００５】そこで、小型でもピラニー真空計とダイヤ
フラム式圧力計との計測範囲を合わせ持つ圧力計とし
て、特開平６−１０９５６８号公報において開示されて
いるような真空計（真空センサ）がある。

【０００６】この真空センサは、絶対圧力の値を静電容
量の値の変化から検出するように構成されており、具体
的には、内部の空間を隔てて対向する一対の導電性薄膜
からなるダイヤフラム電極をそれらの周縁を基板に固定
して配置することにより形成されている。そして、導電
性薄膜の面積がそれぞれ異なる複数組のダイヤフラム電
極を、各ダイヤフラム電極の間の空間を相互に連通させ
て高真空に封止した状態で基板に電気的に絶縁させて連
接している。このように構成された真空計においては、
導電性薄膜の面積の大きなダイヤフラム電極により、真
空度の高い領域の測定を行うことができ、導電性薄膜の
面積の小さなダイヤフラム電極によって真空度の低い領
域の測定を行うことができる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うに構成された真空計においては、広範囲な領域の測定
を行うことができるが、その構造が複雑であるため、製
作が困難であるとともに、小型化することが困難である
という問題があった。

【０００８】本発明は、このような問題に鑑みてなされ
たものであり、小型でも広範囲な圧力域の計測が可能な
圧力センサを提供するとともに、この圧力センサを用い
ることにより広範囲な圧力域の計測を正確に行うことが
できる圧力計を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】このような目的達成のた
め、本発明に係る圧力センサは、基板、電熱線および、
温度検出手段によって構成されている。電熱線は、基板
に取り付けられた電熱線支持部材により基板から離れた
位置で支持されている。また、温度検出手段は、基板に
取り付けられた温度検出手段支持部材により電熱線の上
方で基板から離れた位置で支持されており、電熱線の発
熱により加熱されて対流する雰囲気中の気体の温度を検
出するようになっている。

【００１０】このように構成された圧力センサにおいて
は、雰囲気中の気体の種類に応じて雰囲気圧と電熱線の
温度の変化との関係を予め求めておけば、電熱線の温度
の変化から雰囲気圧を計測することができる。また、雰
囲気中の気体の種類に応じて雰囲気圧と電熱線によって
加熱された気体の温度との関係を予め求めておけば、温
度検出手段によって検出した気体の温度から雰囲気圧を
計測することができる。

【００１１】なお、この圧力センサにおいては、基板に
おける電熱線の発熱の影響を受けない位置において雰囲
気温度を検出する補正温度検出手段を設けることが好ま
しい。このように構成された圧力センサによれば、雰囲
気温度が変化することにより計測した雰囲気圧に誤差が
生じるおそれがある場合にも、補正温度検出手段によっ
て検出した検出温度に基づいて雰囲気圧を補正すること
が可能となる。

【００１２】また、上記の目的達成のため、本発明に係
る圧力計は、上記の圧力センサを用いて構成され、さら
には、第一圧力算出手段と第二圧力算出手段とからなる
２つの圧力算出手段が設けられている。第一圧力算出手
段は、雰囲気中の気体の種類に応じて予め求められてい
る雰囲気圧と電熱線の温度の変化との関係に基づいて、
電熱線の温度の変化から雰囲気圧を計測するように構成
されている。また、第二圧力算出手段は、雰囲気中の気
体の種類に応じて予め求められている雰囲気圧と電熱線
によって加熱された気体の温度との関係に基づいて、温
度検出手段によって検出した気体の温度から雰囲気圧を
計測するように構成されている。

【００１３】このように構成された圧力計によれば、電
熱線の温度の変化から雰囲気圧を計測するのに適した圧
力域である比較的真空度の高い圧力域においても正確な
雰囲気圧の計測を行うことができるとともに、温度検出
手段によって検出した気体の温度から雰囲気圧を計測す
るのに適した圧力域である比較的真空度の低い圧力域か
ら加圧域にかけての圧力域においても正確な雰囲気圧の
計測を行うことができる。

【００１４】なお、上記の圧力計においては、補正温度
検出手段を設けた圧力センサを用いることが好ましく、
この補正温度検出手段によって検出した検出温度に基づ
いて計測された雰囲気圧を補正する補正手段を設けるこ
とが好ましい。このように構成された圧力計によれば、
雰囲気温度が変化することにより計測した雰囲気圧に誤
差が有る場合でも、補正温度検出手段によって検出した
検出温度に基づいて雰囲気圧を補正することができる。

【００１５】また、上記の圧力計においては、電熱線の
温度の変化から第一圧力算出手段によって算出された雰
囲気圧を計測値として用いるか、温度検出手段によって
検出した気体の温度から第二圧力算出手段によって算出
された雰囲気圧を計測値として用いるかの選択を行う選
択手段を設けることが好ましい。そして、算出された雰
囲気圧が予め定められた基準圧以下のときは第一圧力算
出手段によって算出された雰囲気圧を選択し、算出され
た雰囲気圧が基準圧より高いときは第二圧力算出手段に
よって算出された雰囲気圧を選択する。

【００１６】このように構成された圧力計によれば、電
熱線の温度の変化から雰囲気圧を計測する場合には、真
空度が低くなると正確な検出を行うことができくなる
が、比較的真空度が高い圧力域では正確な雰囲気圧の計
測を行うことができる。また、温度検出手段によって検
出した気体の温度から雰囲気圧を計測する場合には、真
空度が高くなると正確な検出を行うことができなくなる
が、比較的真空度が低い圧力域から加圧域にかけては正
確な雰囲気圧の計測を行うことができる。

【００１７】このため、電熱線の温度の変化から雰囲気
圧を計測した場合および、温度検出手段によって検出し
た気体の温度から雰囲気圧を計測した場合のいずれの場
合においても比較的正確に雰囲気圧の計測を行うことが
できる雰囲気圧を基準圧として定めておけば、算出され
た雰囲気圧が予め定められた基準圧以下のときは第一圧
力算出手段によって算出された雰囲気圧を用い、算出さ
れた雰囲気圧が基準圧より高いときは第二圧力算出手段
によって算出された雰囲気圧を用いれば、常に正確な雰
囲気圧の計測を行うことができる。

【００１８】さらに上記の圧力センサおよび圧力計にお
いては、圧力センサに設けられた電熱線を、白金、タン
グステン、モリブデンのいずれかによって形成すること
が好ましい。このような材質によって電熱線を形成すれ
ば、高温でも形態が安定しているため変形することがな
く、常に正確な計測を行うことができる。また、圧力セ
ンサの基板は珪素かガラスを用いることが好ましい。珪
素やガラスは加工性が良いため、小型でも正確な圧力計
測を行うことができる圧力センサを安価に得ることがで
きる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明に係
る圧力センサおよびこの圧力センサを用いて構成された
圧力計について説明する。まず、図１および図２を参照
して圧力センサ１０について説明する。圧力センサ１０
は、基板１１と、発熱ヒートワイヤ（電熱線）１２と、
温度検出センサ（温度検出手段）１３とから構成されて
いる。基板１１は、矩形状に形成されており、その中央
部には表面１１ａ側から凹状に形成されたくぼみ部１１
ｂが形成されている。

【００２０】発熱ヒートワイヤ１２および温度検出セン
サ１３は、くぼみ部１１ｂの周囲から内側に伸びて形成
された発熱ヒートワイヤ支持部材１２ａおよび温度検出
センサ支持部材１３ａによって支持され、くぼみ部１１
ｂ上に位置して（基板１１に接触することなく、基板１
１から離れて）基板１１に支持されている。

【００２１】基板１１の表面１１ａには、温度検出セン
サ１３とは別に構成された補正温度検出センサ（補正温
度検出手段）１４が、発熱ヒートワイヤ１２の発熱の影
響を受けない位置である発熱ヒートワイヤ１２の下方に
配設されている。補正温度検出センサ１４は、雰囲気の
温度を検出することにより、雰囲気温度変化により生じ
る計測誤差の補正を行うことができるようになってい
る。なお、温度検出センサ１３および補正温度検出セン
サ１４は、温度によって電気抵抗が変化する抵抗体を用
いた温度検出センサ（熱電対）によって形成されてい
る。

【００２２】上記の圧力センサ１０においては、基板１
１が珪素（Ｓｉ）の板材によって、幅Ｗが２ｍｍ、高さ
Ｈが２ｍｍ、奥行Ｄが０.５ｍｍに形成されている。ま
た、発熱ヒートワイヤ１２は、白金（Ｐｔ）によって形
成されている。なお、発熱ヒートワイヤ１２と温度検出
センサ１３との間隔Ｌは、０.２５〜０.５ｍｍとなるよ
うに取り付けられる。

【００２３】このように構成された圧力センサ１０は、
図３に示すような圧力計１に用いられる。この圧力計１
においては、圧力センサ１０はコントローラ２０に繋が
れており、このコントローラ２０によって各センサ１
２，１３，１４からの検出信号が処理されて雰囲気圧が
算出され、出力手段３０において雰囲気圧として表示し
たり、電気信号として出力したりされる。

【００２４】コントローラ２０には、発熱ヒートワイヤ
用算出回路（第一圧力算出手段）２２と、温度検出セン
サ用算出回路（第二圧力算出手段）２３と、補正温度検
出センサ用算出回路（補正手段）２４とが設けられてい
る。発熱ヒートワイヤ１２からの信号は発熱ヒートワイ
ヤ用算出回路２２に送信され、温度検出センサ１３から
の検出信号は温度検出センサ用算出回路２３に送信さ
れ、補正温度検出センサ１４からの検出信号は補正温度
検出センサ用算出回路２４に送信される。

【００２５】発熱ヒートワイヤ用算出回路２２は、雰囲
気中の気体の種類に応じて予め求められている雰囲気圧
と発熱ヒートワイヤ１２の温度の変化との関係に基づい
て、発熱ヒートワイヤ１２の温度の変化から雰囲気圧を
算出する。

【００２６】具体的には、発熱ヒートワイヤ１２に発熱
ヒートワイヤ用算出回路２２から通電され、発熱ヒート
ワイヤ１２が加熱される。ここで、雰囲気中の気体の圧
力（ガス圧）が変化すると、気体の分子が発熱ヒートワ
イヤ１２から熱を奪う量が変化するので、発熱ヒートワ
イヤ１２の温度を一定温度保つための電力が発熱ヒート
ワイヤ用算出回路２２にフィードバックされる。そし
て、フィードバックされたフィードバック量に基づいて
発熱ヒートワイヤ用算出回路２２が雰囲気圧を算出す
る。すなわち、前記のピラニー真空計による圧力検出と
同原理によって雰囲気圧の計測を行う。

【００２７】なお、雰囲気温度が変化すると雰囲気中の
気体の分子が発熱ヒートワイヤ１２から熱を奪う量が変
化するので、発熱ヒートワイヤ用算出回路２２によって
算出された雰囲気圧は、補正温度検出センサ用算出回路
２４によって算出された補正圧力に基づいて補正された
後に、出力装置３０に出力される。また、雰囲気中の気
体の種類が変化しても発熱ヒートワイヤ１２から熱を奪
う量が変化するため、切替手段（図示せず）を予め切り
替えておくことによって気体の種類に応じた補正を行
う。

【００２８】温度検出センサ用算出回路２３は、雰囲気
中の気体の種類に応じて予め求められている雰囲気圧と
発熱ヒートワイヤ１２によって加熱された気体の温度と
の関係に基づいて、温度センサ１３によって検出した気
体の温度から雰囲気圧を算出する。

【００２９】なお、雰囲気温度が変化すると雰囲気圧と
発熱ヒートワイヤ１２によって加熱された気体の温度と
の関係が変化するので、温度検出センサ用算出回路２３
によって算出された雰囲気圧は、補正温度検出センサ用
算出回路２４によって算出された補正圧力に基づいて補
正された後に、出力装置３０に出力される。また、この
場合にも雰囲気中の気体の種類が変化した場合、雰囲気
圧と気体の温度との関係が変化するため、切替手段（図
示せず）を予め切り替えることによって気体の種類に応
じた補正を行う。

【００３０】ここで、図４を参照して発熱ヒートワイヤ
１２のみを用いた場合と、温度検出センサ１３を併せ用
いた場合の圧力検出域について説明する。まず、発熱ヒ
ートワイヤ１２のみを用いた圧力検出領域について説明
する。前記のように発熱ヒートワイヤ１２を用いた圧力
検出の原理はピラニー真空計の圧力検出の原理と同一で
あるため、その圧力検出領域はピラニー真空計による圧
力検出領域と同一である。

【００３１】例えば、白金製の発熱ヒートワイヤ１２に
数ｍＡの電流を流し、１Torrの真空度において約２００
°Ｃとなるように加熱すると、図４においてＨＷで示す
ように１０〜０.１Torrの真空度の範囲においては発熱
ヒートワイヤ１２の温度が±１００°Ｃ程度変化するた
め、この範囲の真空度を精度よく検出することができ
る。従って、１０〜０.１Torrの真空度の範囲において
は、発熱ヒートワイヤ１２を用いて雰囲気圧の計測を行
う。

【００３２】しかしながら、圧力が１０Torr以上になる
と、圧力の変化に対する発熱ヒートワイヤ１２の温度変
化が少ないため正確な圧力検出を行うことができない。
このため、１０Torr以上の雰囲気圧の計測は温度検出セ
ンサ１３を併せ用いて行う。

【００３３】温度検出センサ１３は、発熱ヒートワイヤ
１２の上方に位置して配設されている。このため、発熱
ヒートワイヤ１２を加熱すると、この加熱によって生じ
る雰囲気中の気体の対流により温度検出センサ１３の回
りを取り囲む気体が熱せられ、温度検出センサ１３によ
る検出温度が高くなる。ここで、対流する気体の温度上
昇は圧力が高いほど大きくなる。

【００３４】例えば、前記と同様に発熱ヒートワイヤ１
２を１Torrの真空度において約２００°Ｃとなるように
加熱した場合、図４にＳで示すように１Torr前後の真空
度においては圧力が変化しても温度検出センサ１３の温
度は約３０°Ｃを維持して、あまり変化しない。しかし
ながら、圧力が１０Torr以上になると圧力の上昇に伴っ
て温度検出センサ１３の温度も上昇し、約７６００Torr
では温度検出センサ１３の温度が約８０°Ｃとなり変化
量が大きくなるため、この範囲の圧力の変化を精度よく
検出することができる。

【００３５】従って、１０Torr以上の圧力域において
は、発熱ヒートワイヤ１２を併せ用いて雰囲気圧の計測
を行うことにより、真空度のみならず加圧域（大気圧以
上の圧力）における雰囲気圧の計測を行うことができ
る。

【００３６】このようにして、発熱ヒートワイヤ用算出
回路２２および、温度検出センサ用算出回路２３によっ
て算出された雰囲気圧は、コントローラ２０内の選択回
路２５によっていずれか一方に選択されて出力装置３０
に出力される。すなわち、前記のように１０〜０.１Tor
rの真空度の範囲においては発熱ヒートワイヤ用算出回
路２２によって算出された雰囲気圧の方が精度がよく、
１０Torrより高い圧力域においては温度検出センサ用算
出回路２３によって算出された雰囲気圧の方が精度がよ
い。

【００３７】従って、上記の圧力センサ１においては、
１０Torrを基準圧と定め、算出された雰囲気圧が１０To
rr以下のヒートワイヤ温度検出域である場合には、発熱
ヒートワイヤ用算出回路２２によって算出された雰囲気
圧を選択して出力装置３０に出力し、算出された雰囲気
圧が１０Torrより大きい対流温度検出域である場合に
は、温度検出センサ用算出回路２３によって算出された
雰囲気圧を選択して出力装置３０に出力する。

【００３８】このように構成された圧力センサ１０によ
れば、図１および図２に示すように基板１１を垂直に設
置することにより、温度検出センサ１２が発熱ヒートワ
イヤ１３の真上に位置し、基板１１の表面１１ａ側とく
ぼみ部１１ｂとにおいてスムーズな対流が生じる。この
ため、図５および図６（Ｂ）に示すように、約０.１Tor
rの真空域から７６００Torr以上の加圧域にかけて、精
度よく雰囲気圧の計測を行うことができる。

【００３９】また、圧力センサ１０において用いられる
基板１１や、発熱ヒートワイヤ１２、温度検出センサ１
３および補正温度検出センサ１４の製作は、ＩＣやＬＳ
Ｉにおける基板の製作に用いられる、いわゆる半導体マ
イクロマシン技術を用いて容易に行うことができる。従
って、高い精度で大量に生産することができるため、小
型でも高精度の圧力センサを安価に製作することができ
る。

【００４０】なお、上記の検出センサ１０においては、
温度検出センサ１２、発熱ヒートワイヤ１３および補正
温度検出センサ１４等が露出して形成されているが、外
力による各センサ１２等の損傷を防止するために、対流
を阻害しない範囲でガード部材を設けるようにしてもよ
い。また、所定の雰囲気温度における雰囲気圧の計測を
行う場合には、補正温度検出センサ１４は必ずしも設け
る必要はない。

【００４１】さらに、選択回路２５も必ずしも設ける必
要はなく、発熱ヒートワイヤ用算出回路２２と、温度検
出センサ用算出回路２３とによって算出された雰囲気圧
をそれぞれ出力したり、両者の平均値を出力したりする
ようにしてもよい。

【００４２】基板１１の材質は、珪素（Ｓｉ）に限られ
るものではなく、加工性のよい材質であれば、ガラス等
他の材質を用いてもよい。さらに、発熱ヒートワイヤ１
３の材質も白金（Ｐｔ）以外に、タングステン（Ｗ）や
モリブデン（Ｍｏ）等高温でも変化しない（安定な）材
質であれば、他の材質を用いてもよい。

【００４３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の圧力セン
サは、電熱線とこの電熱線によって加熱された気体の温
度検出を行う温度検出手段とを設けている。これによ
り、電熱線の温度の変化を、予め求めておいた雰囲気圧
と電熱線の温度の変化との関係に当てはめれば雰囲気圧
の計測を行う圧力センサを得ることができる。また、温
度検出手段によって検出した気体の温度を、予め求めて
おいた雰囲気圧と電熱線によって加熱された気体の温度
との関係に当てはめれば、電熱線の温度の変化に基づく
計測圧力域と異なる圧力域の雰囲気圧の計測を行うこと
が可能な圧力センサを得ることができる。

【００４４】なお、この圧力センサにおいては、温度検
出手段とは別に、雰囲気温度を検出するための補正温度
検出手段を設けることが好ましい。このように構成され
た圧力センサによれば、雰囲気温度の変化に伴う計測誤
差が発生するおそれがあっても補正温度検出手段によっ
て検出した検出温度に基づいて雰囲気圧を補正すること
が可能となる。

【００４５】また、上記の目的達成のため、本発明に係
る圧力計は、上記の圧力センサを用いて構成され、さら
には、電熱線の温度の変化から雰囲気圧を算出する第一
圧力算出手段と温度検出手段によって検出した気体の温
度から雰囲気圧を算出する第二圧力算出手段とを設けて
いる。このため、電熱線の温度の変化から雰囲気圧を計
測するのに適した圧力域である比較的真空度の高い圧力
域においても正確な雰囲気圧の計測を行うことができる
とともに、温度検出手段によって検出した気体の温度か
ら雰囲気圧を計測するのに適した圧力域である比較的真
空度の低い圧力域から加圧域にかけての圧力域において
も正確な雰囲気圧の計測を行うことができる。

【００４６】なお、上記の圧力計においては、補正温度
検出手段によって検出した検出温度に基づいて雰囲気圧
を補正する補正手段を設けることが好ましい。このよう
に構成された圧力計によれば、雰囲気温度の変化によ
り、計測した雰囲気圧に誤差が生じた場合でも、補正温
度検出手段によって検出した検出温度に基づいて計測さ
れた雰囲気圧を補正することができるため、常に正確な
雰囲気圧の計測を行うことができる。

【００４７】また、上記の圧力計においては、第一圧力
算出手段によって算出された雰囲気圧を計測値として用
いるか、第二圧力算出手段によって算出された雰囲気圧
を計測値として用いるかを基準圧を境にして選択手段で
選択するように構成ことが好ましい。これにより、誤差
の少ないいずれか一方の圧力算出手段による算出結果の
みを用いて雰囲気圧の計測を行うことができるため、広
範囲の圧力域おいて常に正確な雰囲気圧の計測を行うこ
とができる。

【００４８】さらに上記の圧力センサおよび圧力計にお
いては、圧力センサの電熱線を、白金、タングステン、
モリブデンのいずれかによって形成することが好まし
い。これらの材質は、高温でも形態が安定しているた
め、常に正確な圧力検出を行うことができる。また、圧
力センサの基板は珪素かガラスを用いることが好まし
い。珪素やガラスは加工性が良く、マイクロマシン技術
を用いて小さく形成することができるため、小型でも正
確な圧力計測を行うことができる圧力センサを安価に得
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る圧力センサの斜視図である。

【図２】上記圧力センサの図１におけるＩ−Ｉ断面図で
ある。

【図３】上記圧力センサを用いた圧力検出装置を示すブ
ロック図である。

【図４】上記圧力センサにおける温度検出センサによっ
て検出された温度および発熱ヒートワイヤの温度と圧力
との関係を示す図である。

【図５】従来の圧力計によって検出可能な圧力範囲を
（Ａ）に示し、本発明に係る圧力計によって検出可能な
圧力範囲を（Ｂ）に示す。

【符号の説明】

１ 圧力計 １０ 圧力センサ １１ 基板 １２ 発熱ヒートワイヤ（電熱線） １３ 温度検出センサ（温度検出手段） １４ 補正温度検出センサ（補正温度検出手段） ２２ 発熱ヒートワイヤ用算出回路（第一圧力算出手
段） ２３ 温度検出センサ用算出回路（第二圧力算出手段） ２４ 補正温度検出センサ用算出回路（補正手段）

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板と、 この基板に取り付けられた電熱線支持部材により前記基
   板から離れた位置で支持された電熱線と、 前記基板に取り付けられた温度検出手段支持部材により
   前記電熱線の上方で前記基板から離れた位置で支持さ
   れ、前記電熱線の発熱により加熱されて対流する雰囲気
   中の気体の温度を検出する温度検出手段とからなること
   を特徴とする圧力センサ。
2. 【請求項２】 前記基板に、前記電熱線の発熱の影響を
   受けない位置において雰囲気温度を検出する補正温度検
   出手段が設けられていることを特徴とする請求項１に記
   載の圧力センサ。
3. 【請求項３】 請求項１に記載の圧力センサと、 雰囲気中の気体の種類に応じて予め求められている雰囲
   気圧と前記電熱線の温度の変化との関係に基づいて、前
   記電熱線の温度の変化から雰囲気圧を算出する第一圧力
   算出手段と、 雰囲気中の気体の種類に応じて予め求められている雰囲
   気圧と前記電熱線によって加熱された気体の温度との関
   係に基づいて、前記温度検出手段によって検出した気体
   の温度から雰囲気圧を算出する第二圧力算出手段とから
   なることを特徴とする圧力計。
4. 【請求項４】 前記基板に、前記電熱線の発熱の影響を
   受けない位置において雰囲気温度を検出する補正温度検
   出手段が設けられ、 この補正用温度検出センサによって検出した検出温度に
   基づいて、計測された雰囲気圧を補正する補正手段を有
   していることを特徴とする請求項３に記載の圧力計。
5. 【請求項５】 算出された雰囲気圧が予め定められた基
   準圧以下のときは前記第一圧力算出手段によって算出さ
   れた雰囲気圧を選択し、算出された雰囲気圧が前記基準
   圧より高いときは前記第二圧力算出手段によって算出さ
   れた雰囲気圧を選択する選択手段を有することを特徴と
   する請求項３もしくは請求項４に記載の圧力計。
6. 【請求項６】 前記電熱線が、白金、タングステン、モ
   リブデンのいずれかによって形成され、 前記基板が珪素もしくはガラスによって形成されている
   ことを特徴とする請求項１もしくは請求項２に記載の圧
   力センサおよび請求項３から請求項５のいずれかに記載
   の圧力計。