JP2006351952A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】
小型化を図りつつも、設計の自由度を制限されることなく優れた放熱性を有する半導体装置を提供すること。
【解決手段】
半導体装置1は、実装される実装基板に面する第1面側に凹部5を有すると共に、凹部5の底面に搭載される半導体素子6を有する半導体装置であって、凹部5の底面の配線層4c’から凹部5の側面の配線層4eを経由して第1面上の配線層4d’まで延在する一連の導体層15を有し、半導体素子6は、導体層15上に搭載されている。
【選択図】
図3
小型化を図りつつも、設計の自由度を制限されることなく優れた放熱性を有する半導体装置を提供すること。
【解決手段】
半導体装置1は、実装される実装基板に面する第1面側に凹部5を有すると共に、凹部5の底面に搭載される半導体素子6を有する半導体装置であって、凹部5の底面の配線層4c’から凹部5の側面の配線層4eを経由して第1面上の配線層4d’まで延在する一連の導体層15を有し、半導体素子6は、導体層15上に搭載されている。
【選択図】
図3
Description
本発明は、多層配線基板に半導体素子を実装した半導体装置に関し、特に高周波電力増幅器に適した半導体装置に関する。
半導体装置においては、モジュール型パッケージとして、半導体素子と周辺回路とを1つのパッケージに組み込むことで、小型化及び集積化を図っている。例えば、携帯電話等において使用される高周波電力増幅器においては、比較的安価な多層配線基板に整合回路を組み込んだ小型化モジュールの開発が進められている。しかしながら、小型化が進むにつれて、放熱性が悪化する。半導体素子が正常に動作する温度には上限があり、その温度を超える条件においては、半導体素子において誤動作や破壊が発生するおそれがある。半導体装置において消費される電力は熱に変換されるため、高出力素子を搭載した高周波電力増幅器モジュールのような半導体装置においては、放熱性を考慮して設計する必要があり、そのため、設計の自由度が制限される。
特許文献1に記載の高周波用電力増幅器においては、多層配線基板の表面に形成した凹部内に電力用トランジスタを実装し、放熱用のスルーホールを電力用トランジスタの真下に形成している。これにより、放熱用スルーホールを通して高周波用電力増幅器が実装されるマザーボード等の外部回路基板に、電力用トランジスタが発生した熱を逃がしている。
特許文献2に記載の電力増幅器においては、受動素子を多層配線基板の表面に実装し、能動素子(トランジスタ)を、多層配線基板の裏面に形成した凹部内にバンプを用いて実装している。能動素子は、電力増幅器を実装する実装基板に半田接続されており、能動素子において発生した熱は、半田を介して熱伝導によって実装基板に直接的に放熱される。
特許文献3に記載の半導体装置においては、多層基板に形成した凹部内の底面に露出した内層接地金属面上に半導体素子を実装し、多層基板の側面に基板側面導電部を形成し、多層基板の下面に放熱部を形成している。半導体素子で発生した熱は、内層接地金属面から基板側面導電部を介して放熱部で放熱される。
特許文献4に記載の半導体集積回路装置においては、パッケージ基板の一方の側に形成した凹部に半導体素子を実装し、パッケージ基板の他方の側に、凹部を覆う全面領域に亘って、配線層の一部を放熱・シールド層として形成している。半導体素子において発生した熱は、放熱・シールド層によってパッケージ基板の略全面に拡大され、パッケージ基板の他方の側から放熱される。
特許文献1に記載の高周波用電力増幅器においては、電力用トランジスタの下部領域を内層配線層として使用できないので、設計の自由度が制限される。また、装置の小型化を図ることも難しくなる。
特許文献2に記載の電力増幅器においては、半導体素子の実装手段がバンプ接続に限られ、ワイヤボンディング接続を適用することができない。
特許文献3に記載の半導体装置においては、半導体素子で発生した熱は、半導体装置側面の導体層を経由して放熱部へ伝導するので、半導体装置のサイズが大きい場合には、半導体素子から放熱部までの距離が長くなり、放熱部における放熱効率が悪くなる。
特許文献4に記載の半導体集積回路装置においても、半導体素子で発生した熱は、半導体装置側面を経由して放熱・シールド層へ伝導するので、半導体装置のサイズが大きい場合には、半導体素子から放熱・シールド層までの距離が長くなり、放熱・シールド層における放熱効率が悪くなる。
したがって、従来の多層配線基板を用いた半導体装置においては、設計自由度の制限、小型化への困難性、低効率の放熱性等の問題を有している。
本発明においては、実装基板に面する側に形成した凹部に半導体素子を搭載し、半導体素子において発生した熱を凹部の底面及び側面の導体層を介して実装基板へ放熱可能に構成することにより、優れた放熱性を有する半導体装置を提供する。
本発明の第1視点の基本形態によれば、実装される実装基板に面する第1面側に凹部を有すると共に、凹部の底面に搭載される半導体素子を有する半導体装置において、凹部の底面から凹部の側面を経由して第1面上まで延在する導体層を有し、半導体素子は、導体層上に搭載されていることを特徴とする半導体装置を提供する。
本発明の第1視点の好ましい形態によれば、半導体素子は、凹部に設けられたボンディングパッドとワイヤボンディングによって電気的に接続されている。さらに好ましい形態によれば、凹部の底面及び側面は、導体層とボンディングパッドとを絶縁する絶縁領域を有し、導体層は、底面及び側面においてボンディングパッド及び絶縁領域を除く領域を覆うように延在している。さらに好ましい形態によれば、ボンディングパッドは、凹部の底面の縁の一部と接しており、絶縁領域の一部は、凹部の側面に配されている。
本発明の第1視点の好ましい形態によれば、半導体装置は、複数の誘電体層と複数の配線層が積層した多層配線基板であり、凹部の底面の下方領域に、配線層の一部が配されている。
本発明の第1視点の好ましい形態によれば、半導体装置は、凹部の底面と、第1面の反対側にある第2面とを貫通する第1スルーホールを有し、導体層は、第1スルーホールの内面にも連続して延在する。
本発明の第1視点の好ましい形態によれば、半導体装置は、第1面と、第1面の反対側にある第2面とを貫通する第2スルーホールを有し、導体層は、第2スルーホールの内面にも連続して延在する。
本発明の第1視点の好ましい形態によれば、導体層は端面にも連続して延在する。別の好ましい形態によれば、半導体装置は、端面上に内面を露出する第3スルーホールを有し、導体層は、第3スルーホールの内面にも連続して延在する。さらに好ましい形態によれば、半導体装置は、第1面の反対側にある第2面側及び端面側の一部を覆うカバーを有し、カバーは、金属材料から作製されると共に、導体層と接触している。
本発明の第1視点の好ましい形態によれば、実装基板に実装される場合、半導体素子は、実装基板と接触しないように配置されている。
本発明の第1視点の好ましい形態によれば、半導体装置は、実装基板と接続するための接続部を第1面に有する。
本発明の第1視点の好ましい形態によれば、半導体装置は、第1面の反対側にある第2面上に搭載された電子部品を有する。
本発明の半導体装置においては、実装基板に面する側に形成した凹部に半導体素子を搭載するので、半導体素子が発生した熱を効率よく実装基板に放熱することができる。また、放熱経路として、主に凹部底面及び側面を使用するので、放熱経路が、放熱用スルーホールのように内層配線層の障害となることがなく、半導体装置の設計の自由度が制限されない。さらに、放熱経路用の大きなスペースを要することもなく、また装置内部を放熱経路に使用しないため、放熱経路が半導体装置の小型化の障害となることもない。
本発明の好ましい形態によれば、半導体素子の搭載にバンプ接続のみならずワイヤボンディング接続を利用することができる。ワイヤボンディング接続では、半導体素子を搭載する際のアライメント精度が不要である。また、ワイヤの引っ張り強度などの検査によって、接続を容易に確認することができる。
本発明の好ましい形態によれば、半導体素子(凹部)下方領域も配線領域に使用することができるので、設計の自由度及び装置の小型化を確保することができる。
本発明の好ましい形態によれば、導体層をスルーホール及び/又は端面にも配すること、さらに好ましくはカバーを使用すること、によって、熱の一部を大気中及び/又は第2面側へも放熱して、放熱効果をさらに高めることもできる。
本発明の好ましい形態によれば、半導体素子を実装基板に直接接触させる必要がないので、クラック等の半導体素子の欠陥の発生を防止することができる。
本発明の実施形態を、図面を用いて説明する。本発明の半導体装置においては、実装基板に実装する際に、実装基板に面する面を第1面、実装基板に面しない面(第1面の反対側にある面)を第2面と表記する。本発明の第1〜第2の実施形態を図1〜図4に示す。図1は、本発明の半導体装置の第2面の一例を示す平面図である。図2及び図4は、図1のII−II断面の断面図であって、図2は本発明の第1の実施形態の半導体装置、図4は本発明の第2の実施形態の半導体装置を示す。図3は、本発明の半導体装置を第1面側から見た斜視図である。なお、図3、図5及び図7〜図10に示す斜視図においては、スルーホール10a〜10d及び封止樹脂9の図示は省略してある。また、同図において、半導体素子6で発生した熱が伝導する主経路(放熱経路に利用される導体層15)には、模様を付してある。
図2及び図4に示す半導体装置1は、多層配線基板2、半導体素子6及び受動素子7を有する。多層配線基板2は、誘電体層3a〜3c及び各誘電体層の上面及び/又は下面に形成された配線層4a〜4dを備える。誘電体層3cには、半導体素子6を搭載するための孔が開けられており、積層されることによって凹部5が半導体装置1の第1面側に形成されている。配線層4aには、受動素子7を搭載するための配線及び伝送線路が形成され、配線層4bには、主として伝送線路をマイクロストリップ線路として使用するためのグランド電極が形成され、配線層4cには、伝送線路が形成され、配線層4dには、実装基板(マザーボード)に実装するための実装電極及びグランド電極が形成されている。図3を参照すると、配線層4cの一部は、凹部5底面に露出しており、半導体素子6が搭載されてグランド電極を形成する配線層4c’と半導体素子6とワイヤボンディング接続するボンディングパッド4c”に分けられている。配線層4c’とボンディングパッド4c”は、凹部5底面の絶縁領域3b’によって、凹部5底面(及び側面)上において絶縁されている。また、配線層4dは、配線層4d’(グランド電極)と半導体装置1を実装基板に実装するための配線層4d”(実装電極(接続部))とに分けられている。
半導体素子6は、凹部5底面の配線層4c’上にダイボンディングによって搭載されると共に、ボンディングワイヤ12を介してボンディングパッド4c”と接続されている。また、半導体素子6は、封止樹脂9で封止されている。半導体装置1の第2面(配線層4a)上には、受動素子7、例えばチップコンデンサ、チップインダクタ、チップ抵抗等の電子部品、が半田、銀ペーストなどの導電ペーストを介して搭載されている。
凹部5の側面には、配線層4c’と配線層4d’とを接続する配線層4eが形成されており、配線層4c’、配線層4e及び配線層4d’は、連続して延在して一連の導体層15を形成している。
半導体装置1には、各配線層間を電気的に接続するために、及び/又は半導体素子6の熱を第2面側へ放熱するために、内面に配線層4fを施したスルーホール10a〜10dが形成されている。例えば、スルーホール10b(第1スルーホール)は、凹部5底面の配線層4c’及び/又はボンディングパッド4c”と半導体装置第2面の配線層4aとを接続し、スルーホール10c及び10d(第2スルーホール)は、半導体装置第1面の配線層4d’及び/又は配線層4d”と第2面の配線層4aとを接続している。半導体素子6の熱を第2面側へ放熱するために、好ましくは、図2及び図4に示すように、配線層4fと配線層4d’(及び/又は配線層4c’)とを接続して、配線層4fも一連の導体層15を形成するようにする。
図2に示す本発明の第1の実施形態においては、多層配線基板2上の受動素子7は、封止樹脂11で被覆されている。図4に示す本発明の第2の実施形態においては、受動素子7を被覆する別の形態として、封止樹脂11の代わりに、金属、樹脂等からなるカバー14が使用されている。
以上のような構成を有する半導体装置1によれば、半導体素子6で発生した熱は、凹部5の底部の配線層4c’から、凹部5の側面に配された配線層4eを介して、半導体装置1の第1面の配線層4d’(グランド電極)に伝導される。配線層4d’は、実装基板等の外部回路基板に接しているので、半導体素子6で発生した熱を最終的に外部回路基板へ放熱することができる。また、スルーホール10b〜10cの配線層4fが導体層15を形成している場合、凹部5底面及び/又は半導体装置1の第1面に伝導した熱の一部を、配線層4fを介して第2面側へ放熱することもできる。
誘電体層3a〜3cの材料としては、樹脂とガラス織布又はガラス不織布とを主成分とする有機材料、ガラス、アルミナ等のセラミックスを主成分とする無機材料、又はこれらの複合材を使用することができる。配線層4a〜4fの材料としては、熱伝導性に優れる金属材料(銅等)が好ましい。また、配線層4a〜4fには、酸化防止のため、ニッケル、金等のメッキを施すことが好ましい。多層配線基板2は、構成基板間に、ガラス繊維、アラミド繊維の充填材に未硬化のエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂を含浸させたプリプレグを配置して積層した所望枚数の構成基板を圧着して形成されている。多層配線基板2の第2面は、受動素子7を搭載するため、絶縁性樹脂(不図示)で孔を埋められており、その表面は、金等の金属材料でメッキされている。図2及び図4に示す第1及び第2の実施形態においては、4層の配線層4a〜4dを有する多層配線基板2を示したが、配線層及び誘電体層の層数は目的や設計に応じて適宜変更することができる。
本発明の第3の実施形態を図5に示す。図5は、本発明の半導体装置1を第1面側から見た斜視図である。第3の実施形態においては、半導体素子6とワイヤボンディングしている配線層(ボンディングパッド)4c”は、凹部5底面の縁に接するように配されている。配線層4c”と凹部5側面の配線層4eとを絶縁するため、凹部5側面には、絶縁領域3c’が設けられている。
第3の実施形態によれば、放熱経路は、第1及び第2実施形態と同様に、導体層15によって構成されるので、第1及び第2の実施形態と同様の放熱効果が得られる。また、ボンディングパッド4c”を凹部5側面に接するように配置することにより、凹部5の底面積を縮小することができる。これにより、半導体装置のさらなる小型化が可能になる。また、大きな半導体素子6を搭載する場合であっても、多層配線基板2の大きさを変えることなく半導体素子6を搭載させることができる。
本発明の第4の実施形態を図6及び図7に、本発明の第5の実施形態を図8に示す。図6は、本発明の半導体装置1の断面図であり、図7及び図8は、本発明の半導体装置1を第1面側から見た斜視図である。なお、図7においては、図6に示すカバー14は図示されていない。第4及び第5の実施形態においては、半導体装置1の端面(側面)に内面を露出するようにスルーホール10eが形成されており、スルーホール10eの内面(露出面)には配線層が配されている。配線層4g’は、配線層4d’と連続して延在して導体層15を形成している。図7に示す第4の実施形態においては、配線層4c”と導体層15を絶縁する領域は、凹部5底面の絶縁領域3b’に形成されているが、図8に示す第5の実施形態においては、配線層4c”が凹部5底面の縁に接しているため、絶縁領域は、凹部5底面の絶縁領域3b’のほかに凹部5側面の絶縁領域3c’にも形成されている。
本発明の第6の実施形態を図9に、本発明の第7の実施形態を図10に示す。図9及び図10は、本発明の半導体装置1を第1面側から見た斜視図である。第6及び第7の実施形態においては、半導体装置1の端面(側面)に配線層4hが配されており、配線層4hは、配線層4d’と連続して延在して一連の導体層15を形成している。図9に示す第6の実施形態においては、配線層4c”と導体層15を絶縁する領域は、凹部5底面の絶縁領域3b’に形成されているが、図10に示す第7の実施形態においては、配線層4c”が凹部5底面の縁に接しているため、絶縁領域は、凹部5底面の絶縁領域3b’のほかに凹部5側面の絶縁領域3c’にも形成されている。
本発明の第4〜第7の実施形態によれば、半導体素子6が発生した熱は、配線層4d’を介して実装基板へ放熱することができるだけでなく、熱の一部を配線層4g’及び/又は配線層4hを介して、半導体装置1の端面及び/又は第2面側から大気中へ放熱することができる。
また、本発明の第4〜第7の実施形態においては、図6に示すような、半導体装置1の第2面及び端面を覆うカバー14を設けることができる。好ましくは、カバー14は、金属材で作製し、半導体装置1端面の配線層4g’及び/又は配線層4hと接するように、半田等を用いて固定する。カバー14を用いれば、半導体装置1の端面側及び/又は第2面側へ熱を伝導する表面積が増大するため、配線層4g’及び/又は配線層4hに伝導した熱を広範囲に分散させることができ、より効率的に放熱することができる。
1 半導体装置
2 多層配線基板
3a〜3c 誘電体層
3b’、3c’ 絶縁領域
4a〜4h 配線層
4c’ 配線層(導体層の一部)
4c” ボンディングパッド
4d’ 配線層(導体層の一部)
4d” 接続部(実装電極)
4g’ 配線層(導体層の一部)
4g” 配線層
5 凹部
6 半導体素子
7 受動素子
9 封止樹脂
10a スルーホール
10b スルーホール(第1スルーホール)
10c スルーホール(第2スルーホール)
10d スルーホール(第2スルーホール)
10e スルーホール(第3スルーホール)
11 封止樹脂
12 ボンディングワイヤ
13 導電ペースト
14 カバー
15 導体層
2 多層配線基板
3a〜3c 誘電体層
3b’、3c’ 絶縁領域
4a〜4h 配線層
4c’ 配線層(導体層の一部)
4c” ボンディングパッド
4d’ 配線層(導体層の一部)
4d” 接続部(実装電極)
4g’ 配線層(導体層の一部)
4g” 配線層
5 凹部
6 半導体素子
7 受動素子
9 封止樹脂
10a スルーホール
10b スルーホール(第1スルーホール)
10c スルーホール(第2スルーホール)
10d スルーホール(第2スルーホール)
10e スルーホール(第3スルーホール)
11 封止樹脂
12 ボンディングワイヤ
13 導電ペースト
14 カバー
15 導体層
Claims (13)
- 実装される実装基板に面する第1面側に凹部を有すると共に、前記凹部の底面に搭載される半導体素子を有する半導体装置において、
前記凹部の底面から前記凹部の側面を経由して前記第1面上まで延在する導体層を有し、
前記半導体素子は、前記導体層上に搭載されていることを特徴とする半導体装置。 - 前記半導体素子は、前記凹部に設けられたボンディングパッドとワイヤボンディングによって電気的に接続されていることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記凹部の前記底面及び前記側面は、前記導体層と前記ボンディングパッドとを絶縁する絶縁領域を有し、
前記導体層は、前記底面及び前記側面において前記ボンディングパッド及び前記絶縁領域を除く領域を覆うように延在していることを特徴とする請求項2記載の半導体装置。 - 前記ボンディングパッドは、前記凹部の前記底面の縁の一部と接しており、
前記絶縁領域の一部は、前記凹部の前記側面に配されていることを特徴とする請求項3記載の半導体装置。 - 複数の誘電体層と複数の配線層が積層した多層配線基板であり、
前記凹部の前記底面の下方領域に、前記配線層の一部が配されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記凹部の前記底面と、前記第1面の反対側にある第2面とを貫通する第1スルーホールを有し、
前記導体層は、前記第1スルーホールの内面にも連続して延在することを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記第1面と、前記第1面の反対側にある第2面とを貫通する第2スルーホールを有し、
前記導体層は、前記第2スルーホールの内面にも連続して延在することを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記導体層は端面にも連続して延在することを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 端面上に内面を露出する第3スルーホールを有し、
前記導体層は、前記第3スルーホールの内面にも連続して延在することを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記第1面の反対側にある第2面側及び端面側の一部を覆うカバーを有し、
前記カバーは、金属材料から作製されると共に、前記導体層と接触していることを特徴とする請求項8又は9のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記実装基板に実装される場合、前記半導体素子は、前記実装基板と接触しないように配置されていることを特徴とする請求項1〜10のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記実装基板と接続するための接続部を前記第1面に有することを特徴とする請求項1〜11のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記第1面の反対側にある第2面上に搭載された電子部品を有することを特徴とする請求項1〜12のいずれか一項に記載の半導体装置。
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