JP2000200977A - ハイブリッドモジュ―ル - Google Patents

ハイブリッドモジュ―ル

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JP2000200977A JP11262727A JP26272799A JP2000200977A JP 2000200977 A JP2000200977 A JP 2000200977A JP 11262727 A JP11262727 A JP 11262727A JP 26272799 A JP26272799 A JP 26272799A JP 2000200977 A JP2000200977 A JP 2000200977A
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circuit
electrode
heat
hybrid module
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Michio Muraida
道夫 村井田
Koichi Iguchi
巧一 井口
Kazutaka Suzuki
一高 鈴木
Naoto Narita
直人 成田
Hisashi Omotani
寿士 重谷
Noriyoshi Fujii
知徳 藤井
Kazuo Inaba
一夫 稲葉
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Taiyo Yuden Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 放熱性及び信頼性が高く高密度実装が可能な
ハイブリッドモジュールを提供する。 【解決手段】 回路基板11を複数の絶縁体層14及び
電極層15からなる多層プリント基板により形成し、回
路基板11の主面16に電極層15の放熱電極15aが
露出する凹部17を形成し、凹部17の底面に露出する
放熱電極15aに回路部品13を接着するとともに、回
路基板11の側面に放熱電極15aと接合する外部電極
23を形成してハイブリッドモジュール10を構成し
た。これにより、回路部品13に発生する熱は、回路基
板11の絶縁体層14を介することなく放熱電極15a
及び外部電極23から放熱されるので放熱性に優れたも
のとなる。また、回路部品13に親回路基板からの応力
が加わらないので信頼性が向上したものとなる。さら
に、回路部品13を回路基板11に形成した凹部17に
実装したので、実装密度が向上したものとなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、回路パターンが形
成された回路基板に、積層コンデンサや積層インダクタ
等のチップ部品や、半導体部品等の回路部品を実装して
電子回路を形成するハイブリッドモジュールに関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】従来、この種のハイブリッドモジュール
としては、図16に示すようなものが知られている。図
16は、従来のハイブリッドモジュールを示す側面断面
図である。
【0003】このハイブリッドモジュール100は、回
路基板101上にチップ状電子部品102及び発熱性を
有する半導体素子等の回路部品103を実装している。
【0004】回路基板101は、熱伝導性が良好な窒化
アルミニウム系のセラミックからなる。チップ状電子部
品102は、回路基板101上に形成された回路パター
ン106に半田付けされている。回路部品103は、半
田バンプ103aを介して回路パターン106上に接合
している。ここで、チップ状電子部品102は、例えば
積層コンデンサ等の受動部品である。また、回路部品1
03は、例えばFET等の能動部品である。
【0005】回路基板101の側面には、親回路基板2
00と接続するための端子電極101aが形成されてい
る。この端子電極101aは、親回路基板200に形成
された回路パターン201に半田付けされている。ま
た、回路基板101の親回路基板200と対向する主面
101bは、親回路基板200に形成された導体膜20
2を介して接合している。この導体膜202は、ハイブ
リッドモジュール100の熱を親回路基板200に効率
的に伝導するためのものであり、熱伝導性の良好な部材
からなる。
【0006】このような構成により、このハイブリッド
モジュール100では、回路基板101に実装された回
路部品103から発生する熱が、回路基板101及び導
体膜202を介して、親回路基板200或いはグランド
などの広いエリアを有する導体膜に放熱される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このハ
イブリッドモジュール100では、回路部品103に発
生する熱は、回路部品103の半田バンプ103aを介
して回路基板101に伝導する。そして、該熱は、回路
基板101及び導体膜202を介して親回路基板に伝導
する。このため、熱伝導が効率的でないという問題があ
った。また、熱伝導率を高めるために用いられる窒化ア
ルミニウム系セラミックは、一般的なアルミナ系の基板
材料に比べて高価であり、経済性に欠けるという問題が
あった。さらに、全ての部品を回路基板101の片面上
に実装するので、高密度化が困難であるという問題もあ
った。
【0008】このような問題を解決するために、図17
に示すようなハイブリッドモジュールが提案されてい
る。図17は従来の他のハイブリッドモジュールを示す
側面断面図である。
【0009】このハイブリッドモジュール110では、
回路基板101の底面側に凹部111を形成するととも
に、この凹部111に回路部品103を実装している。
具体的には、この凹部111は、底面に回路パターン1
06が露出するよう回路基板101の底面に形成され
る。回路部品103は、半田バンプ103aを介して凹
部111の回路パターン106に実装されている。回路
部品103の表面側には放熱板112が接着されてい
る。凹部111には回路部品103を封止する封止用樹
脂113が充填されている。
【0010】このような構成により、回路部品103か
ら発生する熱は、放熱板112に伝導し、この放熱板1
12を介して親回路基板に放熱される。これにより、高
い放熱効率を得ることができる。また、回路基板101
の両面に部品を配置できるので、高密度化を実現でき
る。
【0011】しかしながら、このハイブリッドモジュー
ル110では、回路部品103の一面側は回路基板10
1に実装されるとともに、他面側は放熱板112に接着
している。このため、ハイブリッドモジュール110の
実装時に発生する応力が回路部品103に集中する。こ
れによりハイブリッドモジュール110の信頼性を維持
するのが困難であるという問題があった。また、回路基
板101への回路部品103への実装はフェイスダウン
で搭載するフリップチップ方式等を用いるため、実装コ
ストが高いものとなる。また、同じ理由により、回路部
品103の接続部を直視できないので製造歩留まりが低
下するという問題もある。
【0012】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であり、その目的とするところは、放熱性及び信頼性が
高く高密度実装が可能なハイブリッドモジュールを提供
することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1では、凹部が形成された回路基板と、該回
路基板の凹部内に実装された発熱性を有する回路部品と
を備え、回路基板の前記凹部が形成された側を親回路基
板に対向させて実装されるハイブリッドモジュールにお
いて、前記回路基板は、導体層を有する多層基板からな
るとともに、前記導体層が前記凹部の底面に露出し、前
記回路部品は、凹部の底面に露出する前記導体層に接着
されていることを特徴とするものを提案する。
【0014】本発明によれば、回路基板は多層構造の基
板により形成され、また、回路部品は回路基板に形成し
た凹部に実装されるので、実装密度が向上する。また、
回路部品は回路基板の凹部に露出する導体層に接着され
ているので、回路部品から発生した熱は導体層に伝導す
る。したがって、回路部品から発生する熱を効率的に放
熱することができる。さらに、回路部品は片面側のみが
導体層に接着されているので、回路部品に親回路基板か
らの応力が加わることがない。
【0015】また、請求項2では、請求項1記載のハイ
ブリッドモジュールにおいて、回路基板の側面に形成さ
れた外部電極を備えるとともに、前記回路部品が接着す
る導体層は、回路基板の側面において前記外部電極と接
続していることを特徴とするものを提案する。
【0016】本発明によれば、回路部品から導体層に伝
導した熱が外部電極を介して親回路基板側又は空気中に
放出される。したがって、回路部品から発生する熱を効
率的に放熱することができる。
【0017】さらに、請求項3では、請求項1記載のハ
イブリッドモジュールにおいて、回路基板を被装するケ
ースを備えるとともに、前記回路部品が接着する導体層
は、回路基板の側面において前記ケースと接続している
ことを特徴とするものを提案する。
【0018】本発明によれば、回路部品から導体層に伝
導した熱がケースを介して空気中に放出される。したが
って、回路部品から発生する熱を、効率的に放熱するこ
とができる。
【0019】さらに、請求項4では、請求項1記載のハ
イブリッドモジュールにおいて、回路基板の前記凹部が
形成された面には放熱用導体が形成されているととも
に、該放熱用導体は前記回路部品が接着する導体層と接
続していることを特徴とするものを提案する。
【0020】本発明によれば、回路部品から導体層に伝
導した熱が、回路基板の凹部形成面に形成された放熱用
導体に伝導する。この放熱用導体は、実装時に親回路基
板に接するので、回路部品から発生する熱を効率的に放
熱することができる。
【0021】さらに、請求項5では、請求項4記載のハ
イブリッドモジュールにおいて、前記導体層と放熱用導
体は、凹部が形成された面から凹部の内壁面に亘り形成
されていることを特徴とするものを提案する。
【0022】本発明によれば、放熱用導体が凹部の内壁
面にも形成されているので、回路部品から発生する熱が
凹部内をとおって直接放熱用導体に伝導する。したがっ
て、さらに放熱性が向上する。
【0023】さらに、請求項6では、請求項4記載のハ
イブリッドモジュールにおいて、前記導体層と放熱用導
体は、回路基板内に形成されたビアホールにより接続さ
れていることを特徴とするものを提案する。
【0024】本発明によれば、前記導体層から放熱用導
体への放熱経路が回路基板内に埋設されるので、高密度
化が容易となる。
【0025】さらに、請求項7では、請求項4記載のハ
イブリッドモジュールにおいて、回路基板の側面に形成
された外部電極を備えるとともに、前記回路部品が接着
する導体層は、回路基板の側面において前記外部電極と
接続し、前記放熱用導体は外部電極と接続していること
を特徴とするものを提案する。
【0026】本発明によれば、回路部品から導体層に伝
導した熱が外部電極を介して親回路基板側又は空気中に
放出されるとともに、放熱用導体を介して親回路基板に
伝導する。したがって、回路部品から発生する熱を効率
的に放熱することができる。
【0027】さらに、請求項8では、請求項1乃至7何
れか1項記載のハイブリッドモジュールにおいて、前記
回路部品が接着する導体層は、多層基板における他の導
体層より厚く形成されていることを特徴とするものを提
案する。
【0028】本発明によれば、前記回路部品が接着する
導体層は、多層基板の他の導体層より厚く形成されてい
るので、回路部品に発生する熱を高い熱伝導率で伝導さ
せることができる。
【0029】
【発明の実施の形態】(第1の実施の形態)本発明の第
1の実施の形態にかかるハイブリッドモジュールについ
て図1〜図4を参照して説明する。図1は第1の実施の
形態にかかるハイブリッドモジュールを主面側からみた
外観斜視図、図2は封止樹脂を取り除いた第1の実施の
形態にかかるハイブリッドモジュールの主面側の平面
図、図3は図2のA−A’線についての断面図、図4は
図2のB−B’線についての断面図である。
【0030】このハイブリッドモジュール10は、親回
路基板(図示省略)に実装されて使用されるものであ
る。このハイブリッドモジュール10は、回路パターン
が形成された回路基板11と、回路基板11に実装され
た複数のチップ状電子部品12と、回路基板11に実装
された発熱性を有する半導体素子等の回路部品13とを
主たる構成要素とする。
【0031】回路基板11は、複数の絶縁体層14と導
体層である電極層15により形成された矩形の多層プリ
ント基板である。多層プリント基板としては、例えば、
絶縁体層14がガラスエポキシ等のエポキシ系の材料か
らなり、電極層15がCu等からなるものである。
【0032】回路基板11の底面、すなわち、親回路基
板への実装時に親回路基板と対向する主面16には、回
路部品13を搭載するための凹部17が形成されてい
る。この凹部17の深さは、少なくとも回路部品13が
収容できる大きさとなっている。
【0033】前記回路基板11の電極層15は、主とし
て回路部品13の放熱用である放熱電極15aと、主と
して回路部品13やチップ状電子部品12と接続して電
気回路を形成するための回路電極15bとからなる。こ
こで、放熱電極15aは、熱伝導性を考慮して回路電極
15bよりも層厚を大きく設定してある。具体的には、
放熱電極15aの層厚は30μm〜100μm以上が好
ましい。本実施の形態では50μmとした。また、回路
電極15bの層厚は、10μm程度とした。
【0034】放熱電極15aは、回路基板11の内部に
埋設されており、回路基板11の一側面から該側面に対
向する側面に亘って横長矩形に形成されている。また、
放熱電極15aは、前記凹部17の底面に露出してい
る。さらに、放熱電極15aには、凹部17の底面にお
いて開口する接続口18が形成されている。この接続口
18の内側には、前記回路部品13と接続するための接
続端子25が形成されている。
【0035】回路電極15bは、回路基板11の上面及
び内部において所定パターンに形成されている。この回
路電極15bは、必要に応じてビアホール19により相
互に接続されている。また、回路電極15bは、ビアホ
ール19を介して前記接続端子25と接続している。
【0036】回路部品13は、凹部17に露出する放熱
電極15aに接着されている。回路部品13は、上面側
に複数の端子電極20を備えており、背面側が放熱電極
15aに接着されている。回路部品13と放熱電極15
aとの接着は、例えば導電性樹脂接着法や高温半田接着
法などが用いられる。この回路部品13は、例えばGa
AsMES型FET等の発熱性を有するチップである。
回路部品13の端子電極20は、放熱電極15aの接続
口18の内側に形成されている接続電極25及び放熱電
極15aと、Au線やAl線等の導電部材21を用いて
電気的に接続している。この接続は、ワイヤボンディン
グ法が用いられる。ここで、回路部品13の端子電極2
0と放熱電極15aとの接続は、放熱電極15aを放熱
用として用いるとともに電気回路のアースとしても用い
るためである。
【0037】回路基板11の凹部17には、回路部品1
3を封止するための絶縁性樹脂22が充填されている。
絶縁性樹脂22は、高い熱伝導性を有するものが好まし
い。この絶縁性樹脂22としては、例えばエポキシ系や
アクリル系のものが用いられる。
【0038】回路基板11の側面には、前記放熱電極1
5a又は回路電極15bと接続する外部電極23が形成
されている。この外部電極23のうち前記放熱電極15
aと接続するものは、放熱効率を考慮して回路基板11
の側面に幅広に形成されている。また、回路基板11の
上面側の回路電極15bには、チップ状電子部品12が
半田付けされている。さらに、回路基板11の上面側に
は、金属製のケース24が被装されている。
【0039】このようなハイブリッドモジュール10に
よれば、回路基板11は多層構造のプリント基板により
形成され、また、回路部品13は回路基板11の主面1
6に形成した凹部17に実装されるので、実装密度が向
上する。
【0040】また、回路部品13は回路基板11の凹部
17に露出する放熱電極15aに接着されているので、
回路部品13から発生した熱は放熱電極15aに効率的
に伝導する。さらに、放熱電極15aは回路基板11側
面に形成された外部電極23に接続しているので、回路
部品13からの熱は放熱電極15a及び外部電極23を
介して親回路基板へ放熱される。
【0041】このように、このハイブリッドモジュール
10によれば、回路部品13から発生する熱を、層厚が
厚く高い熱伝導特性を有する放熱電極15aを介して放
熱することができるので、放熱性に優れたものとなる。
【0042】また、回路部品13は片面側のみが放熱電
極15aに接着されているので、該回路部品13に親回
路基板からの応力が加わることがない。したがって、該
応力による回路部品13の破損を防止できるので、信頼
性が向上する。さらに、回路基板11としてプリント基
板を使用しているので、任意の層を厚く形成でき、熱伝
導率の高い放熱電極15aを容易に形成することができ
る。
【0043】さらに、ハイブリッドモジュール10を構
成する電気回路において、放熱電極15aをアースとし
て用いているので、実装時に放熱電極15aと接続する
外部電極23を親回路基板のアースに接続することで、
シールド効果が高く、電気的特性に優れたものとなる。
なお、ケース24の端部を放熱用の外部電極23に接続
すると、放熱性及び電気的特性がさらに向上する。
【0044】(第2の実施の形態)次に、本発明の第2
の実施の形態にかかるハイブリッドモジュールについて
図5を参照して説明する。図5は第2の実施の形態にか
かるハイブリッドモジュールの断面図である。なお、図
中、第1の実施の形態と同一の部材・要素については同
一の符号を付した。
【0045】このハイブリッドモジュール30が第1の
実施の形態にかかるハイブリッドモジュール10と相違
する主な点は、回路基板31に形成した凹部を2段構造
とした点にある。以下、その内容を詳述する。
【0046】この回路基板31は、第1の実施の形態と
同様に、複数の絶縁体層34と導体層である電極層35
により形成された矩形の多層のプリント基板である。回
路基板31の底面、すなわち、親回路基板への実装時に
親回路基板と対向する主面36には、回路部品13を搭
載するための凹部37が形成されている。この凹部37
は、第1の凹部37aの底面に第2の凹部37bが形成
された2段構造となっている。第2の凹部37bは、少
なくとも回路部品13が収容できる大きさとなってい
る。
【0047】回路基板31の電極層35は、主として回
路部品13の放熱用である放熱電極35aと、主として
回路部品13やチップ状電子部品12と接続して電気回
路を形成するための回路電極35bとからなる。ここ
で、放熱電極35aは、熱伝導性を考慮して回路電極3
5bよりも層厚を大きく設定してある。具体的には、放
熱電極35aの層厚は30μm〜100μm以上が好ま
しい。本実施の形態では50μmとした。また、回路電
極35bの層厚は、10μm程度とした。
【0048】放熱電極35aは、回路基板31の内部に
埋設されており、回路基板31の一側面から該側面に対
向する側面に亘って横長矩形に形成されている。また、
放熱電極35aは、前記第2の凹部37bの底面に露出
している。なお、この放熱電極35aには、第1の実施
の形態にかかる放熱電極15aと異なり、接続口18は
形成されていない。
【0049】回路電極35bは、回路基板31の上面及
び内部において所定パターンに形成されている。この回
路電極35bは、必要に応じてビアホール19により相
互に接続されている。また、回路電極35bは、第1の
凹部37aの底面に露出している。
【0050】回路部品13は、第2の凹部37bに露出
する放熱電極35aに接着されている。回路部品13
は、上面側に複数の端子電極20を備えており、背面側
が放熱電極35aに接着されている。回路部品13と放
熱電極35aとの接着は、例えば導電性樹脂接着法や高
温半田接着法などが用いられる。この回路部品13は、
例えばGaAsMES型FET等の発熱性を有するチッ
プである。回路部品13の端子電極20は、第1の凹部
37aの底面に露出している回路電極35b及び第2の
凹部37bの底面に露出している放熱電極35aと、A
u線やAl線等の導電部材21を用いて電気的に接続し
ている。この接続は、ワイヤボンディング法が用いられ
る。ここで、回路部品13の端子電極20と放熱電極3
5aとの接続は、放熱電極35aを放熱用として用いる
とともに電気回路のアースとして用いるためである。
【0051】回路基板31の凹部36には、回路部品1
3を封止するための絶縁性樹脂22が充填されている。
絶縁性樹脂22は、高い熱伝導性を有するものが好まし
い。この絶縁性樹脂22としては、例えばエポキシ系や
アクリル系のものが用いられる。
【0052】回路基板31の側面には、前記放熱電極3
5a又は回路電極35bと接続する外部電極23が形成
されている。この外部電極23のうち前記放熱電極35
aと接続するものは、放熱効率を考慮して回路基板31
の側面に幅広に形成されている。また、回路基板31の
上面側の回路電極35bにはチップ状電子部品12が半
田付けされている。さらに、回路基板31の上面側には
金属製のケース24が被装されている。
【0053】このようなハイブリッドモジュール30に
よれば、第1の実施の形態のものと同様に、回路基板3
1は多層構造のプリント基板により形成され、また、回
路部品13は回路基板31の主面36に形成した凹部3
7に実装されるので、実装密度が向上する。
【0054】また、回路部品13は回路基板31の第2
の凹部37bに露出する放熱電極35aに接着されてい
るので、回路部品13から発生した熱は放熱電極35a
に伝導する。さらに、放熱電極35aは回路基板31の
側面に形成された外部電極23に接続しているので、回
路部品13からの熱は放熱電極35a及び外部電極23
を介して親回路基板へ放熱される。
【0055】このように、このハイブリッドモジュール
30によれば、回路部品13から発生する熱を、層厚が
厚く高い熱伝導性を有する放熱電極35aを介して放熱
することができるので、放熱性に優れたものとなる。
【0056】また、回路部品13は片面側のみが放熱電
極35aに接着されているので、回路部品13に親回路
基板からの応力が加わることがない。したがって、該応
力による回路部品13の破損を防止できるので、信頼性
が向上する。さらに、回路基板31としてプリント基板
を使用しているので、任意の層を厚く形成でき、熱伝導
率の高い放熱電極35aを容易に形成することができ
る。
【0057】さらに、ハイブリッドモジュール30を構
成する電気回路において、放熱電極35aをアースとし
て用いているので、実装時に放熱電極35aと接続する
外部電極23を親回路基板のアースに接続することで、
シールド効果が高く、電気的特性に優れたものとなる。
【0058】(第3の実施の形態)次に、本発明の第3
の実施の形態にかかるハイブリッドモジュールについて
図6及び図7を参照して説明する。図6は第3の実施の
形態にかかるハイブリッドモジュールを主面側からみた
外観斜視図、図7は第3の実施の形態にかかるハイブリ
ッドモジュールの断面図である。なお、図中、第1〜第
2の実施の形態と同一の部材・要素については同一の符
号を付した。
【0059】このハイブリッドモジュール40が第1の
実施の形態にかかるハイブリッドモジュール10と相違
する点は、回路部品13に生じた熱を外部電極23を介
して親回路基板に放熱するのではなく、ケースを介して
空気中に放熱する点にある。
【0060】すなわち、このハイブリッドモジュール4
0は、回路基板11の側面において電極層15の放熱電
極15bとケース41が接合している。ケース41は、
一側面及びこれに対向する側面の下縁部が下方に張り出
した接合部41aを備えている。この接合部41aは、
回路基板11の側面において放熱電極15bと半田付け
により接合している。このケース41の材料としては、
熱伝導率が高いものが好ましい。例えば、CuやAl等
の金属部材により形成される。本実施の形態ではCu製
のケースを用いた。
【0061】このようなハイブリッドモジュール40に
よれば、第1の実施の形態のものと同様に、回路基板1
1は多層構造のプリント基板により形成され、また、回
路部品13は回路基板11の主面16に形成した凹部1
7に実装されるので、実装密度が向上する。
【0062】また、回路部品13は回路基板11の凹部
17に露出する電極層15の放熱電極15aに接着され
ているので、回路部品13から発生した熱は放熱電極1
5aに伝導する。さらに、放熱電極15aは回路基板1
1の側面においてケース41と接合しているので、回路
部品13からの熱は放熱電極15a及びケース41を介
して空気中へ放熱される。
【0063】このように、このハイブリッドモジュール
40によれば、回路部品13から発生する熱を、層厚が
厚く高い熱伝導率を有する放熱電極15aにより放熱す
ることができるので、放熱性の向上したものとなる。
【0064】また、回路部品13は片面側のみが放熱電
極15aに接着されているので、回路部品13に親回路
基板からの応力が加わることがない。したがって、該応
力による回路部品13の破損を防止できるので、信頼性
の高いものとなる。さらに、回路基板11としてプリン
ト基板を使用しているので、任意の層を厚く形成でき、
熱伝導率の高い放熱電極15aを容易に形成することが
できる。
【0065】(第4の実施の形態)次に、本発明の第4
の実施の形態にかかるハイブリッドモジュールについて
図8〜図11を参照して説明する。図8は第4の実施の
形態にかかるハイブリッドモジュールを主面側からみた
外観斜視図、図9は封止樹脂を取り除いた第4の実施の
形態にかかるハイブリッドモジュールの主面側の平面
図、図10は図9のC−C’線についての断面図、図1
1は図9のD−D’線についての断面図である。なお、
図中、第1〜第3の実施の形態と同一の部材・要素につ
いては同一の符号を付した。
【0066】このハイブリッドモジュール50が第1の
実施の形態にかかるハイブリッドモジュール10と相違
する主な点は、回路基板51の主面52に放熱用導体5
3を形成するとともに、この放熱用導体53と回路基板
51の放熱電極54aを接続したことにある。以下、そ
の内容を詳述する。
【0067】この回路基板51は、第1の実施の形態と
同様に、複数の絶縁体層55と導体層である電極層54
とにより形成された矩形の多層プリント基板である。回
路基板51の底面、すなわち、親回路基板への実装時に
親回路基板と対向する主面52には、回路部品13を搭
載するための凹部56が形成されている。凹部56の底
面には、配線用の接続孔57が形成されている。
【0068】回路基板51の電極層54は、主として回
路部品13の放熱用である放熱電極54aと、主として
回路部品13やチップ状電子部品12と接続して電気回
路を形成するための回路電極54bとからなる。ここ
で、放熱電極54aは、熱伝導性を考慮して回路電極5
4bよりも層厚を大きく設定してある。具体的には、放
熱電極54aの層厚は30μm〜100μm以上が好ま
しい。本実施の形態では50μmとした。また、回路電
極54bの層圧は、10μm程度とした。
【0069】放熱電極54aは、回路基板51の内部に
埋設されており、回路基板51の一側面から該側に対向
する側面に亘って横長矩形に形成されている。また、放
熱電極54aは、前記凹部56の底面に露出している。
【0070】回路電極54bは、回路基板51の上面及
び内部において所定パターンに形成されている。回路電
極54bは、必要に応じてビアホール19を介して相互
に接続している。また、回路電極54bは、前記凹部5
6内に形成された接続孔57の底面に露出している。
【0071】回路部品13は、前記凹部56の底面に露
出する放熱電極54aに接着されている。回路部品13
は、上面側に複数の端子電極20を備えており、背面側
が放熱電極54aに接着されている。回路部品13と放
熱電極35aとの接着は、例えば導電性樹脂接着法や高
温半田接着法などが用いられる。端子電極20は、前記
接続孔57の底面に露出している回路電極54b及び凹
部56の底面に露出している放熱電極54aと、Au線
やAl線等の導電部材21を用いて電気的に接続してい
る。この接続は、ワイヤボンディング法が用いられる。
ここで、端子電極20と放熱電極54aとの接続は、放
熱電極54aを放熱用として用いるとともに電気回路の
アースとして用いるためである。
【0072】回路基板51の凹部56には、回路部品1
3を封止するための絶縁性樹脂22が充填されている。
絶縁性樹脂22は、高い熱伝導性を有するものが好まし
い。この絶縁性樹脂22としては、例えばエポキシ系や
アクリル系のものが用いられる。
【0073】回路基板51の側面には、前記放熱電極5
4a又は回路電極54bと接続する外部電極23が形成
されている。この外部電極23のうち前記放熱電極54
aと接続するものは、放熱効率を考慮して回路基板51
の側面に幅広に形成されている。
【0074】回路基板51の主面52には、前記凹部5
6を囲むように外形が矩形の放熱用導体53が形成され
ている。この放熱用導体53は、回路基板51の縁部方
向に延びる張出部53aを備えている。この張出部53
aは、回路基板51の側面に形成されている外部電極2
3と接続している。また、放熱用導体53は、回路基板
51に形成された放熱用ビアホール58を介して放熱電
極54aと接続している。この放熱用ビアホール58
は、放熱効率を向上させるために通常のビアホール19
よりも径を大きく形成されている。
【0075】回路基板51の上面には、前記回路電極5
4bにチップ状電子部品12が半田付けされている。さ
らに、回路基板51の上面側には、金属製のケース24
が被装されている。
【0076】このようなハイブリッドモジュール50に
よれば、第1の実施の形態のものと同様に、回路基板5
1は多層構造のプリント基板により形成され、また、回
路部品13は回路基板51の主面52に形成した凹部5
6に実装されるので、実装密度が向上する。
【0077】また、回路部品13は回路基板51の凹部
56に露出する放熱電極54aに接着されているので、
回路部品13から発生した熱は放熱電極54aに伝導す
る。さらに、放熱電極54aは回路基板51の側面に形
成された外部電極23に接続しているので、回路部品1
3からの熱は外部電極23に伝導する。外部電極23に
伝導した熱は、実装先の親回路基板に直接放熱されると
ともに、回路基板51の主面52に形成された放熱用導
体53を介して親回路基板に放熱される。一方、放熱電
極54aに伝導した熱は、放熱用ビアホール58を介し
て放熱用導体53にも伝導し、該放熱用導体53から親
回路基板に放熱される。
【0078】このように、本実施の形態にかかるハイブ
リッドモジュール50では、回路部品13から発生する
熱を、層厚が厚く高い熱伝導性を有する放熱電極54a
を介して放熱することができるので、放熱性に優れたも
のとなる。また、回路基板51の主面52には、放熱用
導体53が形成されており、この放熱用導体53は前記
放熱電極54aと外部電極23及び放熱用ビアホール5
8を介して接続しているので、親回路基板への放熱を効
率的に行うことができる。その他の作用及び効果につい
ては第1の実施の形態と同様である。
【0079】(第5の実施の形態)次に、本発明の第5
の実施の形態にかかるハイブリッドモジュールについて
図12〜図14を参照して説明する。図12は封止樹脂
を取り除いた第5の実施の形態にかかるハイブリッドモ
ジュールの主面側の平面図、図13は図12のE−E’
線についての断面図、図14は第5の実施の形態にかか
るハイブリッドモジュールの凹部の斜視図である。な
お、図中、第1〜第4の実施の形態と同一の部材・要素
については同一の符号を付した。
【0080】このハイブリッドモジュール60が第4の
実施の形態にかかるハイブリッドモジュール40と相違
する主な点は、回路基板61の主面62に形成された第
1放熱用導体63と放熱電極54aの接続手段、及び、
回路基板61の主面62に形成された凹部66の構造に
ある。以下、その内容を詳述する。
【0081】この回路基板61は、第4の実施の形態と
同様に、複数の絶縁体層65と導体層である電極層64
とにより形成された矩形の多層プリント基板である。回
路基板61の底面、すなわち、親回路基板への実装時に
親回路基板と対向する主面62には、回路部品13を搭
載するための凹部66が形成されている。
【0082】回路基板61の凹部66は、2段構造を有
している。すなわち、第1凹部66aの底面に該第1凹
部66aよりも開口面積の小さい第2凹部66bを形成
した構造となっている。また、第1凹部66aの内壁面
には、第2放熱用導体67が形成されている。この第2
放熱用導体67は、図14に示すように、第1凹部66
aの壁面に形成された溝68に金属部材を充填して形成
されている。したがって、第2放熱用導体67の厚みは
溝68の深さと等しい。また、第1凹部66aの底面の
縁部(壁際)には、放熱用ビアホール69が形成されて
いる。この放熱用ビアホール69は、前記溝68が形成
されている部位に設けられている。したがって、このビ
アホール69は、第1凹部66aの底面縁部において前
記第2放熱用導体67と接続している。
【0083】回路基板61の電極層64は、主として回
路部品13の放熱用である放熱電極64aと、主として
回路部品13やチップ状電子部品12と接続して電気回
路を形成するための回路電極64bとからなる。ここ
で、放熱電極64aは、熱伝導性を考慮して回路電極6
4bよりも層厚を大きく設定してある。具体的には、放
熱電極64aの層厚は30μm〜100μm以上が好ま
しい。本実施の形態では50μmとした。また、回路電
極64bの層圧は、10μm程度とした。
【0084】放熱電極64aは、回路基板61の内部に
埋設されており、回路基板61の一側面から該側面に対
向する側面に亘って横長矩形に形成されている。また、
放熱電極64aは、第2凹部66bの底面に露出してい
る。さらに、この放熱電極64aは、前記ビアホール6
9を介して第1凹部66a壁面に形成された前記第2放
熱用導体67と接続している。
【0085】回路電極64bは、回路基板61の上面及
び内部において所定パターンに形成されており、必要に
応じて電極間をビアホール19により接続されている。
また、回路電極64bは、第1凹部66aの底面に露出
している。
【0086】回路部品13は、第2凹部66bの底面に
形成されている放熱電極64aに接着されている。回路
部品13は、上面側に複数の端子電極20を備えてお
り、背面側が放熱電極64aに接着されている。回路部
品13と放熱電極64aとの接着は、例えば導電性樹脂
接着法や高温半田接着法などが用いられる。端子電極2
0は、第1凹部66aの底面に露出している回路電極6
4b及び第2凹部66bの底面に露出している放熱電極
64aと、Au線やAl線等の導電部材21を用いて電
気邸に接続している。この接続は、ワイヤボンディング
法が用いられる。ここで、端子電極20と放熱電極64
aとの接続は、放熱電極64aを放熱用として用いると
ともに電気回路のアースとして用いるためである。
【0087】回路基板61の凹部66には、回路部品1
3を封止するための絶縁性樹脂22が充填されている。
絶縁性樹脂22は、高い熱伝導性を有するものが好まし
い。この絶縁性樹脂22としては、例えばエポキシ系や
アクリル系のものが用いられる。
【0088】回路基板61の側面には、前記放熱電極6
4a又は回路電極64bと接続する外部電極23が形成
されている。この外部電極23のうち前記放熱電極64
aと接続するものは、放熱効率を考慮して回路基板61
の側面にやや幅広に形成されている。
【0089】回路基板61の主面62には、前記凹部6
6を囲むように外形が矩形の第1放熱用導体63が形成
されている。この第1放熱用導体63は、回路基板61
の縁部方向に延びる張出部63aを備えている。この張
出部63aは、回路基板51の側面に形成されている外
部電極23と接続している。また、第1放熱用導体63
は、凹部66との境界部において前記第1凹部66aの
壁面に形成された第2放熱用導体67と接続している。
【0090】回路基板61の上面には、前記回路電極6
4bにチップ状電子部品12が半田付けされている。さ
らに、回路基板61の上面側には、金属製のケース24
が被装されている。
【0091】このようなハイブリッドモジュール60に
よれば、第1の実施の形態のものと同様に、回路基板6
1は多層構造のプリント基板により形成され、また、回
路部品13は回路基板61の主面62に形成した凹部6
6に実装されるので、実装密度が向上する。
【0092】また、回路部品13は回路基板61の第2
凹部66bに露出する放熱電極64aに接着されている
ので、回路部品13から発生した熱は放熱電極64aに
伝導する。さらに、放熱電極64aは回路基板61の側
面に形成された外部電極23に接続しているので、回路
部品13からの熱は外部電極23に伝導する。外部電極
23に伝導した熱は、実装先の親回路基板に直接放熱さ
れるとともに、回路基板61の主面62に形成された第
1放熱用導体63を介して親回路基板に放熱される。一
方、放熱電極64aに伝導した熱は、放熱用ビアホール
69を介して第1凹部66aの壁面に形成された第2放
熱用導体67に伝導する。この第2放熱用導体67は前
記第1放熱用導体63に接続しているので、回路部品1
3に生じる熱は該経路からも親回路基板に放熱される。
【0093】このように、本実施の形態にかかるハイブ
リッドモジュール60では、回路部品13から発生する
熱を、層厚が厚く高い熱伝導性を有する放熱電極64a
を介して放熱することができるので、放熱性に優れたも
のとなる。また、回路基板61の主面62には、第1放
熱用導体63が形成されており、この第1放熱用導体6
3は前記放熱電極64aに対して、外部電極23並びに
第2放熱用導体67及び放熱用ビアホール69を介して
接続しているので、親回路基板への放熱を効率的に行う
ことができる。その他の作用及び効果については第1の
実施の形態と同様である。
【0094】(第6の実施の形態)次に、本発明の第6
の実施の形態にかかるハイブリッドモジュールについて
図15を参照して説明する。図15は第6の実施の形態
にかかるハイブリッドモジュールの断面図である。な
お、図中、第1〜第5の実施の形態と同一の部材・要素
については同一の符号を付した。
【0095】このハイブリッドモジュール70が第5の
実施の形態にかかるハイブリッドモジュールと相違する
主な点は、凹部内の放熱用導体の形成構造、及び、回路
基板の放熱電極の構造にある。以下、その内容を詳述す
る。
【0096】この回路基板71は、第5の実施の形態と
同様に、複数の絶縁体層75と導体層である電極層74
とにより形成された矩形の多層プリント基板である。回
路基板71の底面、すなわち、親回路基板への実装時に
親回路基板と対向する主面72には、回路部品13を搭
載するための凹部76が形成されている。
【0097】回路基板71の凹部76は、2段構造を有
している。すなわち、第1凹部76aの底面に該第1凹
部76aよりも開口面積の小さい第2凹部76bを形成
した構造となっている。この凹部76の内面には、第2
放熱用導体77が形成されている。第2放熱用導体77
は、第1凹部76aの内壁面及び底面から第2凹部76
bの壁面に亘って形成されている。この第2放熱用導体
77は、第4の実施の形態と同様に、第1凹部76a及
び第2凹部76bの壁面においては、該壁面に形成され
た溝に金属部材を充填して形成されている。したがっ
て、第2放熱用導体77の厚みはこの溝の深さと等し
い。
【0098】回路基板71の電極層74は、主として回
路部品13の放熱用である放熱電極74a及び74b
と、主として回路部品13やチップ状電子部品12と接
続して電気回路を形成するための回路電極74cとから
なる。ここで、放熱電極74a及び74bは、熱伝導性
を考慮して回路電極74cよりも層厚を大きく設定して
ある。具体的には、放熱電極74a及び74bの層厚は
30μm〜100μm以上が好ましい。本実施の形態で
は50μmとした。また、回路電極74cの層圧は、1
0μm程度とした。
【0099】放熱電極74aは、回路基板71の内部に
埋設されており、回路基板71の一側面から該側面に対
向する側面に亘って横長矩形に形成されている。また、
放熱電極74aは、第2凹部76bの底面に露出してい
る。さらに、放熱電極74aは、第2凹部76bの壁面
に形成された第2放熱用導体77と接続している。一
方、放熱電極74bは、前記放熱電極74aよりも主面
72側の層に形成されている。この放熱電極74bは、
回路基板71の一側面から該側面に対向する側面に亘っ
て横長矩形に形成されている。また、放熱電極74b
は、中央部において第2凹部76bが貫通している。こ
れにより、放熱電極74bは、第2凹部76bの壁面に
形成された第2放熱用導体77と接続している。
【0100】回路電極74cは、回路基板71の上面及
び内部において所定パターンに形成されており、必要に
応じて電極間をビアホール19により接続されている。
また、回路電極74bは、第1凹部76aの底面に露出
している。
【0101】回路部品13は、第2凹部76bの底面に
形成されている放熱電極74aに接着されている。回路
部品13は、上面側に複数の端子電極20を備えてお
り、背面側が放熱電極74aに接着されている。回路部
品13と放熱電極74aとの接着は、例えば導電性樹脂
接着法や高温半田接着法などが用いられる。端子電極2
0は、第1凹部76aの底面に露出している回路電極7
4c及び第2凹部76bの底面に露出している放熱電極
74aと、Au線やAl線等の導電部材21を用いて電
気邸に接続している。この接続は、ワイヤボンディング
法が用いられる。ここで、端子電極20と放熱電極74
aとの接続は、放熱電極74aを放熱用として用いると
ともに電気回路のアースとして用いるためである。
【0102】回路基板71の凹部76には、回路部品1
3を封止するための絶縁性樹脂22が充填されている。
この絶縁性樹脂22としては、例えばエポキシ系やアク
リル系のものが用いられる。また、この絶縁性樹脂22
は、高い熱伝導性を有するものが好ましい。
【0103】回路基板71の側面には、前記放熱電極7
4a及び74b又は回路電極74cと接続する外部電極
23が形成されている。この外部電極23のうち前記放
熱電極74a及び74bと接続するものは、放熱効率を
考慮して回路基板71の側面にやや幅広に形成されてい
る。
【0104】回路基板71の主面72には、前記凹部7
6を囲むように外形が矩形の第1放熱用導体73が形成
されている。この第1放熱用導体73は、回路基板71
の縁部方向に延びる張出部を備えている。この張出部
は、回路基板71の側面に形成されている外部電極23
と接続している。また、第1放熱用導体73は、凹部7
6との境界部において前記第2放熱用導体77と接続し
ている。
【0105】回路基板71の上面には、前記回路電極7
4cにチップ状電子部品12が半田付けされている。さ
らに、回路基板71の上面側には、金属製のケース24
が被装されている。
【0106】このようなハイブリッドモジュール70に
よれば、第1の実施の形態のものと同様に、回路基板7
1は多層構造のプリント基板により形成され、また、回
路部品13は回路基板71の主面72に形成した凹部7
6に実装されるので、実装密度が向上する。
【0107】また、回路部品13は回路基板71の第2
凹部76bに露出する放熱電極74aに接着されている
ので、回路部品13から発生した熱は放熱電極74aに
伝導する。放熱電極64aは回路基板61の側面に形成
された外部電極23に接続しているので、回路部品13
からの熱は外部電極23に伝導する。一方、回路部品1
3から発生した熱は、絶縁性樹脂22を介して第2放熱
用導体77にも伝導する。また、第2放熱用導体77に
は前記放熱電極74aからも熱が伝導する。第2放熱用
導体77に伝導した熱は、放熱電極74bを介して外部
電極23に伝導するとともに、第1放熱用導体73にも
伝導する。また、外部電極23に伝導した熱も、回路基
板71の主面72の縁部側から第1放熱用導体73に伝
導する。外部電極23及び第1放熱用導体73に伝導し
た熱は、実装先の親回路基板に放熱される。
【0108】このように、本実施の形態にかかるハイブ
リッドモジュール70では、回路部品13から発生する
熱を、層厚が厚く高い熱伝導性を有する放熱電極74a
及び74bを介して放熱することができるので、放熱性
の向上したものとなる。また、回路基板71の主面72
には、第1放熱用導体73が形成されており、この第1
放熱用導体73は前記放熱電極74a及び74bに対し
て、外部電極23及び第2放熱用導体77を介して接続
しているので、親回路基板への放熱を効率的に行うこと
ができる。その他の作用及び効果については第1の実施
の形態と同様である。
【0109】以上、本発明の実施の形態について説明し
たが、本発明はこれに限定されるものではない。例え
ば、上記実施の形態では、回路部品としてGaAsFE
Tを例示したが、これに限定されるものでない。尤も、
本発明は、回路部品として高い発熱性を有する半導体素
子である場合に特に有効である。また、上記実施の形態
では、一つの回路部品を凹部に実装したものを例示した
が、本発明はこれに限定されるものでない。すなわち、
複数の回路部品を凹部に実装してもよい。
【0110】また、上記実施の形態では、回路基板とし
てエポキシ系のプリント基板を例示したが、本発明はこ
れに限定されるものではない。例えば、フェノール系、
ポリエステル系、フッ素樹脂系等の有機材料系の基板、
ガラスやセラミック等の無機材料系の基板であってもよ
い。なお、無機材料系の基板の場合には、電極層の厚み
を大きくするのが比較的困難であるので、例えば窒化ア
ルミニウム系のセラミック等のように熱伝導性が良好な
基板材料を選択するのが好ましい。また、上記実施の形
態では、回路基板の電極層(導体層)としてCuを用い
たが、他の材料を用いてもよい。例えば、Alや他の貴
金属を主成分とするものである。なお、この電極層とし
ては、熱伝導性が良好なものが好ましい。
【0111】さらに、上記実施の形態では、回路部品の
実装方法としてワイヤボンディングについて説明した
が、本発明はこれに限定されるものではない。すなわ
ち、CSP(Chip Size Package)やBGA(Ball Grid
Array)等の回路部品をフェースダウン実装してもよ
い。
【0112】
【発明の効果】以上詳述したように、請求項1の発明に
よれば、回路基板は多層構造の基板により形成され、ま
た、回路部品は回路基板に形成した凹部に実装されるの
で、実装密度が向上する。また、回路部品は回路基板の
凹部に露出する導体層に接着されているので、回路部品
から発生した熱は導体層に伝導する。したがって、回路
部品から発生する熱を効率的に放熱することができる。
さらに、回路部品は片面側のみが導体層に接着されてい
るので、回路部品に親回路基板からの応力が加わること
がない。これにより、該応力による回路部品の破損を防
止できるので、信頼性が向上する。
【0113】また、請求項2の発明によれば、回路部品
から導体層に伝導した熱が外部電極を介して親回路基板
側又は空気中に放出される。したがって、回路部品から
発生する熱を効率的に放熱することができる。
【0114】さらに、請求項3の発明によれば、回路部
品から導体層に伝導した熱がケースを介して空気中に放
出される。したがって、回路部品から発生する熱を効率
的に放熱することができる。
【0115】さらに、請求項4の発明によれば、回路部
品から導体層に伝導した熱が、回路基板の凹部形成面に
形成された放熱用導体に伝導する。この放熱用導体は、
実装時に親回路基板に接するので、回路部品から発生す
る熱を効率的に放熱することができる。
【0116】さらに、請求項5の発明によれば、放熱用
導体が凹部の内壁面にも形成されているので、回路部品
から発生する熱が凹部内をとおって直接放熱用導体に伝
導する。したがって、さらに放熱性が向上する。
【0117】さらに、請求項6の発明によれば、前記導
体層から放熱用導体への放熱経路が回路基板内に埋設さ
れるので、高密度実装が可能となる。
【0118】さらに、請求項7の発明によれば、回路部
品から導体層に伝導した熱が外部電極を介して親回路基
板側又は空気中に放出されるとともに、放熱用導体を介
して親回路基板に効率的に伝導する。したがって、回路
部品から発生する熱を効率的に放熱することができる。
【0119】さらに、請求項8の発明によれば、前記回
路部品が接着する導体層は、多層プリント基板の他の導
体層より厚く形成されているので、回路部品に発生する
熱を高い熱伝導率で放熱することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施の形態にかかるハイブリッドモジュ
ールを主面側からみた外観斜視図
【図2】封止樹脂を取り除いた第1の実施の形態にかか
るハイブリッドモジュールの主面側の平面図
【図3】図2のA−A’線についての断面図
【図4】図2のB−B’線についての断面図
【図5】第2の実施の形態にかかるハイブリッドモジュ
ールの断面図
【図6】第3の実施の形態にかかるハイブリッドモジュ
ールを主面側からみた外観斜視図
【図7】第3の実施の形態にかかるハイブリッドモジュ
ールの断面図
【図8】第4の実施の形態にかかるハイブリッドモジュ
ールを主面側からみた外観斜視図
【図9】封止樹脂を取り除いた第4の実施の形態にかか
るハイブリッドモジュールの主面側の平面図
【図10】図9のC−C’線についての断面図
【図11】図9のD−D’線についての断面図
【図12】封止樹脂を取り除いた第5の実施の形態にか
かるハイブリッドモジュールの主面側の平面図
【図13】図12のE−E’線についての断面図
【図14】第5の実施の形態にかかるハイブリッドモジ
ュールの凹部の斜視図
【図15】第6の実施の形態にかかるハイブリッドモジ
ュールの断面図
【図16】従来のハイブリッドモジュールを示す側面断
面図
【図17】従来の他のハイブリッドモジュールを示す側
面断面図
【符号の説明】
10,30,40,50,60,70…ハイブリッドモ
ジュール、11,31,51,61,71…回路基板、
12…チップ状電子部品、13…回路部品、14,3
4,55,65,74…絶縁体層、15,35,54,
64,74…電極層、15a,35a,54a,64
a,74a,74b…放熱電極、15b,35b,54
b,64b,74c…回路電極、16,36,52,6
2,72…主面、17,37,56,66,76…凹
部、37a,66a,76a…第1の凹部、37b,6
6b,76b…第2の凹部、19…ビアホール、22…
絶縁性樹脂、23…端子電極、24,41…ケース、2
5…接続電極,53…放熱用導体、63,73…第1放
熱用導体、67,77…第2放熱用導体、58,69…
放熱用ビアホール、
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 一高 東京都台東区上野6丁目16番20号 太陽誘 電株式会社内 (72)発明者 成田 直人 東京都台東区上野6丁目16番20号 太陽誘 電株式会社内 (72)発明者 重谷 寿士 東京都台東区上野6丁目16番20号 太陽誘 電株式会社内 (72)発明者 藤井 知徳 東京都台東区上野6丁目16番20号 太陽誘 電株式会社内 (72)発明者 稲葉 一夫 東京都台東区上野6丁目16番20号 太陽誘 電株式会社内

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 凹部が形成された回路基板と、該回路基
    板の凹部内に実装された発熱性を有する回路部品とを備
    え、回路基板の前記凹部が形成された側を親回路基板に
    対向させて実装されるハイブリッドモジュールにおい
    て、 前記回路基板は、導体層を有する多層基板からなるとと
    もに、前記導体層が前記凹部の底面に露出し、 前記回路部品は、凹部の底面に露出する前記導体層に接
    着されていることを特徴とするハイブリッドモジュー
    ル。
  2. 【請求項2】 回路基板の側面に形成された外部電極を
    備えるとともに、 前記回路部品が接着する導体層は、回路基板の側面にお
    いて前記外部電極と接続していることを特徴とする請求
    項1記載のハイブリッドモジュール。
  3. 【請求項3】 回路基板を被装するケースを備えるとと
    もに、 前記回路部品が接着する導体層は、回路基板の側面にお
    いて前記ケースと接続していることを特徴とする請求項
    1記載のハイブリッドモジュール。
  4. 【請求項4】 回路基板の前記凹部が形成された面には
    放熱用導体が形成されているとともに、 該放熱用導体は前記回路部品が接着する導体層と接続し
    ていることを特徴とする請求項1記載のハイブリッドモ
    ジュール。
  5. 【請求項5】 前記放熱用導体は、凹部が形成された面
    から凹部の内壁面に亘り形成されていることを特徴とす
    る請求項4記載のハイブリッドモジュール。
  6. 【請求項6】 前記導体層と放熱用導体は、回路基板内
    に形成されたビアホールにより接続されていることを特
    徴とする請求項4記載のハイブリッドモジュール。
  7. 【請求項7】 回路基板の側面に形成された外部電極を
    備えるとともに、 前記回路部品が接着する導体層は、回路基板の側面にお
    いて前記外部電極と接続し、 前記放熱用導体は外部電極と接続していることを特徴と
    する請求項4記載のハイブリッドモジュール。
  8. 【請求項8】 前記回路部品が接着する導体層は、多層
    基板における他の導体層より厚く形成されていることを
    特徴とする請求項1乃至7何れか1項記載のハイブリッ
    ドモジュール。
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