JP2005340713A - マルチチップモジュール - Google Patents
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Abstract
【課題】 マルチチップモジュールの小型化、薄型化及び放熱性、組立品質を改善する。
【解決手段】 多層基板2には半導体チップ1やチップ部品3といった各実装部品の縦、横、高さに略等しい形状のキャビティ6が個々に形成され、キャビティ6の下面と同一の面には半導体チップ1及びチップ部品3を搭載するための部品実装用パッドが形成され、さらに多層基板2の層間には回路パターンが形成されている。
半導体チップ1及びチップ部品3は、多層基板2に設けられたキャビティ6内に載置され、それぞれバンプ5及びハンダを介してキャビティ下面の接続用パッドに電気的に接続され、アンダーフィル7で半導体チップ1とバンプ5を埋めて保護し、その上に金属カバー8が多層基板2のキャビティ6以外の部分の上面にハンダ9を介して接合されている。
【選択図】 図1
【解決手段】 多層基板2には半導体チップ1やチップ部品3といった各実装部品の縦、横、高さに略等しい形状のキャビティ6が個々に形成され、キャビティ6の下面と同一の面には半導体チップ1及びチップ部品3を搭載するための部品実装用パッドが形成され、さらに多層基板2の層間には回路パターンが形成されている。
半導体チップ1及びチップ部品3は、多層基板2に設けられたキャビティ6内に載置され、それぞれバンプ5及びハンダを介してキャビティ下面の接続用パッドに電気的に接続され、アンダーフィル7で半導体チップ1とバンプ5を埋めて保護し、その上に金属カバー8が多層基板2のキャビティ6以外の部分の上面にハンダ9を介して接合されている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、配線基板上に能動素子,受動素子等を複数搭載し高周波信号の増幅に適したマルチチップモジュールの構造に関するものである。
近年、携帯電話は、小型、薄型化が要求され、その中でも形状の大きな送信用高周波(RF)信号増幅器をはじめとする種々の半導体チップを含むマルチチップモジュールは一層の小型・薄型化が要求されている。従来のマルチチップモジュール200の一例を図3を参照して説明する。
図において、21は高周波パワー素子としての半導体チップ、22は導体層とセラミック製誘電体層が積層された多層基板、23はチップコンデンサ、チップ抵抗又はチップインダクタ等のチップ部品、24は外部接続用の電極、25は半導体チップ1をフリップチップボンディングにするためのバンプ、26は多層基板2表面に設けられたキャビティ、27は保護層、28は金属塗布膜である。
多層基板22の表面上にはチップ部品23を搭載するための部品実装用ランドが形成され、多層基板表面上又は層間には回路パターンが形成されている。半導体チップ21は多層基板22表面に設けられたキャビティ26内に載置され、バンプ25を介してキャビティ26下面の接続用パッドに電気的に接続され、さらにチップ部品23も所定の位置にハンダにより実装されている。
そして、保護層27で半導体チップ21とバンプ25を埋めて保護し、保護層27が厚く形成されて表面が平坦化され、その上に金属塗布膜28が形成されている。
また、キャビティ26下面の半導体チップ21の接続用パッドは、多層基板22を貫通する放熱ビアホールにより基板下面に形成されている外部接続用電極24に電気的経路及び放熱経路として接続されている。
さらに、多層基板22裏面の外部接続用電極24は、多層基板22を貫通するビアホールにより基板の層間に形成されている回路パターンや部品実装用ランドに電気的に接続されている。
こうして、半導体チップ21にガリウム砒素電界効果トランジスタを用い、チップ部品23や層間に形成されている回路パターンを用いて高周波入出力マッチング回路や半導体チップ21のバイアス回路を構成し携帯電話等の送信モジュールとしてのマルチチップモジュール200を構成している。
本構造のマルチチップモジュールにより、半導体チップ21のワイヤーボンディングの工程が不要であると同時に、キャビティ26の占める面積を小さくすることができ、実装密度をワイヤーボンディングするときよりもさらに高くすることができる。
また、この構造によれば、ポッティング樹脂による損失や、ワイヤーが無いためワイヤーのインダクタンスによる利得低下を回避できる(例えば、特許文献1参照。)。
特開平8−321567号公報(第7、8頁、図6)
上記の構成によれば、保護層27が厚く形成されて表面が平坦化され、その上に金属塗布膜28が形成されているため、半導体チップ21の上面と金属塗布膜28との間やチップ部品23の上面と金属塗布膜28との間の部分が無駄な高さとなっており、小型・薄型化の要求には不利である。
本発明は上記課題の解決を目的として提案されたもので、小型・薄型化でき、半導体チップの放熱性を改善すると共に組み立て品質向上に寄与できるマルチチップモジュールを提供する。
請求項1記載の発明は、半導体チップと、表面実装用のチップ部品と、半導体チップとチップ部品が実装される多層基板と、多層基板の上面に接合される導電部材からなるカバーとを備えたマルチチップモジュールにおいて、
多層基板には半導体チップやチップ部品といった各実装部品の縦、横、高さに略等しい形状のキャビティが部品毎にそれぞれ形成され、各実装部品の上面とカバーの裏面及び各実装部品の側面と各キャビティの側面が所定の間隙を形成し、各キャビティに載置された各実装部品の上面が略面一であることを特徴とするマルチチップモジュールである。
多層基板には半導体チップやチップ部品といった各実装部品の縦、横、高さに略等しい形状のキャビティが部品毎にそれぞれ形成され、各実装部品の上面とカバーの裏面及び各実装部品の側面と各キャビティの側面が所定の間隙を形成し、各キャビティに載置された各実装部品の上面が略面一であることを特徴とするマルチチップモジュールである。
請求項2記載の発明は、各キャビティの深さが、各キャビティの縦、横に等しい穴を有する所定厚さの誘電体層が複数積層されて調整されていることを特徴とする請求項1記載のマルチチップモジュールである。
請求項3記載の発明は、少なくとも各キャビティが形成されている誘電体層が、低温焼成ガラスセラミックであることを特徴とする請求項2記載のマルチチップモジュールである。
請求項4記載の発明は、半導体チップがフリップチップであることを特徴とする請求項1記載のマルチチップモジュールである。
請求項5記載の発明は、半導体チップがガリウム砒素電界効果トランジスタを用いた高周波増幅素子あることを特徴とする請求項1記載のマルチチップモジュールである。
請求項6記載の発明は、チップ部品や多層基板に形成される回路パターンにより高周波入出力マッチング回路や半導体チップのバイアス回路を構成していることを特徴とする請求項1記載のマルチチップモジュールである。
請求項7記載の発明は、カバーの裏面の各キャビティに対面する部分には電気絶縁性レジストがコーティングされていることを特徴とする請求項1記載のマルチチップモジュールである。
請求項8記載の発明は、電気絶縁性レジストのうち少なくとも半導体チップに対応する部分のレジストが外周部分にのみコーティングされ、半導体チップ及びチップ部品とカバーとの間に熱伝導率の高い電気絶縁性接着剤が塗布されていることを特徴とする請求項1記載のマルチチップモジュールである。
本発明の構成によれば、半導体チップやチップ部品といった各部品の立体形状に応じたキャビティを設け、実装時の上面高さの差を小さくしたため、マルチチップモジュールの薄型化を実現できる。
そして、半導体チップと金属カバーとの間が接近すると共に熱伝導部材で接続されるため、半導体チップの放熱をその両面から実現でき、放熱性を改善することができる。
また、チップ部品が金属カバーと接着剤を介して固着されているため、マルチチップモジュールを別の基板に面実装する際のリフロー工程などによる加熱において位置ずれ等による接合不良を防止でき、マルチチップモジュールの組み立て品質向上に寄与できる。
マルチチップモジュールの小型・薄型化という目的を、半導体チップやチップ部品といった各部品の実装時の上面高さの差を小さくすること及び各搭載部品と略同形状の穴を多層基板に設け、その穴の中に部品を搭載し接続することで実現した。
以下、本発明の実施例1のマルチチップモジュール100を、図1を参照し説明する。図1はマルチチップモジュール100の断面図である。
図において、1は高周波パワー素子としての半導体チップ、2は導体層とセラミック製誘電体層が積層された多層基板、3はチップコンデンサ、チップ抵抗又はチップインダクタ等のチップ部品、4は外部接続用の電極、5は半導体チップ1をフリップチップボンディングにするためのバンプ、6は多層基板2に設けられたキャビティ、7は熱伝導性絶縁樹脂としてのアンダーフィル、8は多層基板2の大きさと略等しい金属カバーである。
多層基板2には半導体チップ1やチップ部品3といった各実装部品の縦、横、高さに略等しい形状のキャビティ6が個々に形成されている。異なる深さのキャビティ6は、所定厚さのキャビティを有する誘電体層が複数積層されて形成されている。
各キャビティ6の下面と同一の面にはそれぞれ半導体チップ1及びチップ部品3を搭載するための部品実装用パッドが形成され、さらに多層基板2の層間には回路パターンが形成されている。回路パターンには、ストリップ線路や接地されたべたパターン等も含まれる。
半導体チップ1及びチップ部品3は、多層基板2に設けられたキャビティ6内に載置され、それぞれバンプ5及びハンダを介してキャビティ下面の接続用パッドに電気的に接続されている。
そして、アンダーフィル7で半導体チップ1とバンプ5を埋めて保護し、その上に金属カバー8が多層基板2のキャビティ6以外の部分の表面に設けられたパターンにハンダ9を介して接合されている。金属カバー8の裏面のキャビティ6に対面する部分には絶縁レジスト10がコーティングされている。
さらに多層基板2裏面の外部接続用電極4は、多層基板2の層間を接続するビアホールにより基板の層間に形成されている回路パターンや部品実装用パッドに電気的に接続されている。また、半導体チップ1の下方の多層基板2裏面には放熱機能を持ち合わせた外部接続用の電極4も形成されている。
こうして、半導体チップ1にガリウム砒素電界効果トランジスタを用い、チップ部品3や層間に形成されている回路パターンを用いて高周波入出力マッチング回路や半導体チップ1のバイアス回路を構成し携帯電話等の送信モジュールとしてのマルチチップモジュール100を構成している。
本構造のマルチチップモジュールにより、半導体チップ1と各チップ部品3の上面がほぼ面一となるため、各搭載部品と金属カバー8との間の部分の無駄なスペースを省くことができ、低背化を達成できる。
また、金属カバー8が多層基板2に形成されたキャビティ6以外の部分に支持される形で接合されているため、マルチチップモジュール100の金属カバー8の上面を面実装機械等で吸着し、実装する際の外力がマルチチップモジュール内の半導体チップ1やチップ部品3に加わることがなく、マルチチップモジュールのハンドリング性や組み立て品質向上に寄与できる。
また、キャビティ6及び金属カバー8の絶縁レジスト10によりチップ部品3が3次元的にガイドされている構造となっているため、マルチチップモジュール100を別の基板に面実装する際のリフロー工程などによる加熱において位置ずれ等による接合不良を防止でき、マルチチップモジュールの組み立て品質向上に寄与できる。
さらに、半導体チップ1直下の接地されたべたパターンやキャビティ6及び金属カバー8によりチップ部品3が高周波的にシールドされている構造となっているため、マルチチップモジュール100内の他の半導体チップやマッチング回路等との高周波の不要な輻射を抑制できる。
尚、他の半導体チップやマッチング回路等との高周波の不要な輻射の抑制効果を高めるために、キャビティ6の内周壁を金属コーティングしてもよい。
また、半導体チップ1と各チップ部品3との高さが略同一の高さであれば、同一深さのキャビティでよく、多層基板2のキャビティ6を形成する層を共通にできる。
次に、本発明の実施例2のマルチチップモジュール110を、図2を参照し説明する。尚、図1と同一部分には同一符号を付してその説明を省略する。図1と異なる点は、半導体チップ1及びチップ部品3と金属カバー8との間に熱伝導率の高い接着剤を塗布している点である。図2はマルチチップモジュール110の断面図である。
図において、11は例えば、シリコンゴムなどの柔軟性、電気絶縁性、耐水性、熱伝導性に優れている接着剤である。
接着剤10を半導体チップ1やチップ部品3の上面に表面張力により多層基板2の上面よりも高くなる程度の量を塗布し、さらに多層基板2に形成されたキャビティ6以外の部分にハンダ9を塗布し、その上に金属カバー8を載せて、多層基板2と金属カバー8と半導体チップ1及びチップ部品3を接着する。
そして、金属カバー8の裏面の半導体チップ1のキャビティ6に対面する部分の絶縁レジスト10は、外周のみコーティングされ接着剤11と半導体チップ1とが直接接着されるのが望ましい。
本構造のマルチチップモジュールにより、例えば高周波パワー素子としてガリウム砒素FETなどの半導体チップ1からの発熱を半導体チップ1の両面から放熱させることができる。すなわち、接着剤11経由で金属カバー8から放熱する経路と半導体チップ1直下の多層基板2内ビアホール経由で外部接続用の電極4から放熱する経路である。
また、チップ部品3が金属カバー8と接着剤11を介して固着されているため、マルチチップモジュール110を別の基板に面実装する際のリフロー工程などによる加熱において、特に上下方向の位置ずれによる接合不良を防止でき、マルチチップモジュールの組み立て品質向上に寄与できる。
尚、本発明のマルチチップモジュール100、110の外部接続用電極4は、図示例では裏面に形成されているが、多層基板2の裏面及び/又は側面に形成されていてもよい。
本発明で実装される半導体チップは、携帯電話等の送信出力段の送信用高周波パワーアンプや送信出力モニタ用カプラ回路やアンテナスイッチモジュールであってもよく、これらを一体化したマルチチップの送信モジュールとして広く適用できる。
1、21 半導体チップ
2、22 多層基板
3、23 チップ部品
4、24 電極
5、25 バンプ
6、26 キャビティ
7 アンダーフィル
8 金属カバー
9 ハンダ
10 絶縁レジスト
11 接着剤
27 保護層
28 金属塗布膜
100、110、200 マルチチップモジュール
2、22 多層基板
3、23 チップ部品
4、24 電極
5、25 バンプ
6、26 キャビティ
7 アンダーフィル
8 金属カバー
9 ハンダ
10 絶縁レジスト
11 接着剤
27 保護層
28 金属塗布膜
100、110、200 マルチチップモジュール
Claims (8)
- 半導体チップと、表面実装用のチップ部品と、前記半導体チップとチップ部品が実装される多層基板と、前記多層基板の上面に接合される導電部材からなるカバーとを備えたマルチチップモジュールにおいて、
前記多層基板には前記半導体チップやチップ部品といった各実装部品の縦、横、高さに略等しい形状のキャビティが部品毎にそれぞれ形成され、前記各実装部品の上面と前記カバーの裏面及び前記各実装部品の側面と前記各キャビティの側面が所定の間隙を形成し、前記各キャビティに載置された前記各実装部品の上面が略面一であることを特徴とするマルチチップモジュール。 - 前記各キャビティの深さが、前記各キャビティの縦、横に等しい穴を有する所定厚さの誘電体層が複数積層されて調整されていることを特徴とする請求項1記載のマルチチップモジュール。
- 少なくとも前記各キャビティが形成されている誘電体層が、低温焼成ガラスセラミックであることを特徴とする請求項2記載のマルチチップモジュール。
- 前記半導体チップがフリップチップであることを特徴とする請求項1記載のマルチチップモジュール。
- 前記半導体チップがガリウム砒素電界効果トランジスタを用いた高周波増幅素子あることを特徴とする請求項1記載のマルチチップモジュール。
- 前記チップ部品や前記多層基板に形成される回路パターンにより高周波入出力マッチング回路や前記半導体チップのバイアス回路を構成していることを特徴とする請求項1記載のマルチチップモジュール。
- 前記カバーの裏面の前記各キャビティに対面する部分には電気絶縁性レジストがコーティングされていることを特徴とする請求項1記載のマルチチップモジュール。
- 前記電気絶縁性レジストのうち少なくとも前記半導体チップに対応する部分のレジストが外周部分にのみコーティングされ、前記半導体チップ及びチップ部品と前記カバーとの間に熱伝導率の高い電気絶縁性接着剤が塗布されていることを特徴とする請求項1記載のマルチチップモジュール。
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2004
- 2004-05-31 JP JP2004160782A patent/JP2005340713A/ja active Pending
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