JP2006339049A - 封止膜形成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 有機EL素子11が形成された基板1上に、封止膜12を形成する封止膜形成装置であって、前記基板1裏面側にはこの基板1裏面を略覆うことができる大きさにて磁力発生装置を配置し、また、前記有機EL素子11が形成された基板1表面側にはマスクを配置して、前記磁力発生装置により前記マスクを前記基板1表面に密着させた状態で、前記基板1上にポリマ膜13を形成するポリマ膜形成機構2と、この有機EL素子11及びポリマ膜13が形成された基板1上に、バリア膜14を形成するバリア膜形成機構3とを備えたものである。
【選択図】 図1
Description
液状モノマであるトリプロピレングリコールジアクリレート(CAS番号42978−66−5、新中村化学(株)製NKエステルAPG−200)に、光重合開始剤として、ベンゾフェノン(CAS番号119−61−9、東京化成(株)製B0083)を作製し、ポリマ膜形成用モノマとして用いた。
上述の工程と同様な工程で封止膜を全く形成してないCa基板を作製し、それをそのまま室内雰囲気中に保存して、カルシウム部分の視感透過率(Tv)の経時変化を測定し、図3にプロットした。
上述の工程と同様な工程でCa部分にポリマ膜13のみを1μm形成したポリマ膜付きCa基板を作製し、室内雰囲気中に保存してカルシウム部分の視感透過率(Tv)の経時変化を測定し図3にプロットした。
上記工程と同様な工程でCa基板を作製し、更にバリア膜14であるAl2O3膜のみを1000Åスパッタ成膜してAl2O3膜付きCa基板を作製し、室内雰囲気中に保存して、Ca部分の視感透過率(Tv)の経時変化を測定し、図3にプロットした。
本実施例に係る封止膜形成装置を用いてOLED11に封止膜12を形成した場合の封止性能について説明する。
ポリマ膜形成機構とバリア膜形成機構とを離隔できる構造にしなかった場合には、モノマ蒸気が、バリア膜成膜機構に進入し、成膜雰囲気がモノマ蒸気で汚染されたため、真空引きが著しく遅くなり、成膜されたAl2O3がモノマ蒸気中の炭素を取り込み褐色化するとともにバリア性能が劣化した。そして、さらに、バリア膜成膜機構6にあるAlターゲット表面を観察したところ、モノマ蒸気の凝縮物が付着しており、これも、Al2O3膜の不純物生成に寄与したこと、および、スパッタ時のアーキング増加を招き、Al2O3膜にピンホール等の欠陥を生成したため、バリア性が劣化することを見出した。
2 ポリマ膜形成機構
3 バリア膜形成機構
4 マスク密着機構
5 マスク交換機構
6 バリア膜成膜機構
7 モノマ膜形成機構
8 モノマ蒸着機構
9 モノマ蒸発機構
10 モノマ重合機構
11 有機EL素子(OLED)
12 封止膜
13 ポリマ膜
14 バリア膜
15 ポリマ膜形成用真空室
16 バリア膜形成用真空室
17 搬送室
18 開閉部
Claims (5)
- 有機EL素子が形成された基板上に、封止膜を形成する封止膜形成装置であって、前記基板裏面側にはこの基板裏面を略覆うことができる大きさにて磁力発生装置を配置し、また、前記有機EL素子が形成された基板表面側にはマスクを配置して、前記磁力発生装置により前記マスクを前記基板表面に密着させた状態で、前記基板上にポリマ膜を形成するポリマ膜形成機構と、この有機EL素子及びポリマ膜が形成された基板上に、バリア膜を形成するバリア膜形成機構とを備え、前記マスクによって前記ポリマ膜を形成する際、有機EL素子の外周端部をポリマー膜が被覆し、かつ、そのポリマ膜の外周端部が前記基板上にて明確になるように成膜せしめた後、そのポリマ膜の外周端部を被覆するようにポリマ膜上に前記バリア膜を成膜することで積層して形成される封止膜を、基板表面上に一以上の層状に形成し得るように構成したことを特徴とする封止膜形成装置。
- 前記ポリマ膜形成機構は、前記基板裏面側に磁力発生装置を配置し、前記基板表面側にマスクを基板に密着するように配置するマスク密着機構と、モノマを加熱して蒸発させ、モノマ蒸気を生成せしめるモノマ蒸発機構及び前記モノマ蒸気を、前記マスクを配置した前記基板表面上に前記マスクを介して蒸着せしめてモノマ膜を成膜するモノマ蒸着機構とで構成されるモノマ膜形成機構と、この基板上に成膜されたモノマ膜を紫外線で重合させて硬化せしめることで、ポリマ膜を形成するモノマ膜重合機構とを備え、このポリマ膜形成機構を配設したポリマ膜形成用真空室とは隔離されるバリア膜形成用真空室に、前記バリア膜形成機構を配設したことを特徴とする請求項1記載の封止膜形成装置。
- 前記バリア膜形成機構は、前記基板表面側に密着せしめられる前記ポリマ膜形成用マスクと前記バリア膜を形成するためのバリア膜形成用マスクとを交換するマスク交換機構と、このバリア膜形成用マスクが重ね合わせられた基板表面側にバリア膜を成膜するバリア膜成膜機構とから成ることを特徴とする請求項1,2のいずれか1項に記載の封止膜形成装置。
- 前記ポリマ膜形成機構が配設されるポリマ膜形成用真空室と前記バリア膜形成機構が配設されるバリア膜形成用真空室とを、開閉切替自在な開閉部を介して連設し、バリア膜形成の際に前記モノマ蒸気が混在することを阻止し得るようにしたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の封止膜形成装置。
- 前記ポリマ膜形成機構が配設されるポリマ膜形成用真空室と前記バリア膜形成機構が配設されるバリア膜形成用真空室とは、各々独立の開閉切替自在な開閉部を有し、この2つの真空室をその各々の開閉部を介して搬送装置を有する搬送室に連設し、バリア膜形成の際に前記モノマ蒸気が混在することを阻止し得るようにしたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の封止膜形成装置。
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