JP2006338881A - 電子顕微鏡応用装置および試料検査方法 - Google Patents
電子顕微鏡応用装置および試料検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006338881A JP2006338881A JP2005158282A JP2005158282A JP2006338881A JP 2006338881 A JP2006338881 A JP 2006338881A JP 2005158282 A JP2005158282 A JP 2005158282A JP 2005158282 A JP2005158282 A JP 2005158282A JP 2006338881 A JP2006338881 A JP 2006338881A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- electrode
- wafer
- ultraviolet light
- electron microscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/026—Means for avoiding or neutralising unwanted electrical charges on tube components
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/004—Charge control of objects or beams
- H01J2237/0041—Neutralising arrangements
- H01J2237/0042—Deflection of neutralising particles
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/004—Charge control of objects or beams
- H01J2237/0041—Neutralising arrangements
- H01J2237/0044—Neutralising arrangements of objects being observed or treated
- H01J2237/0047—Neutralising arrangements of objects being observed or treated using electromagnetic radiations, e.g. UV, X-rays, light
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/26—Electron or ion microscopes
- H01J2237/28—Scanning microscopes
- H01J2237/2813—Scanning microscopes characterised by the application
- H01J2237/2817—Pattern inspection
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
Abstract
【解決手段】光電子2を放出する帯電制御電極4を、ウェハ3(試料)の直上に平行に配置し、且つ、帯電制御電極4を通して紫外光をウェハ3に照射できるように、貫通する孔を持つ構造とした。具体的には、メッシュ形状もしくは1つあるいは複数の孔が開いた金属板を帯電制御電極4とする。帯電制御電極4を試料の直上に平行に設置することで、負電圧を印加した場合、ウェハ3に対してほぼ垂直に電界が発生する為、光電子2が効率良くウェハ3に吸着する。また、ウェハ3と同程度の大きさを持つ帯電制御電極4を使用する事で、ウェハ3全面の帯電を一括で均一に除去でき、処理にかかる時間を短縮することができる。
【選択図】図5
Description
図1は本発明の実施の形態1による電子顕微鏡応用装置の構成を示す図である。
前記実施の形態1で示した電子顕微鏡応用装置では、紫外光源1と帯電制御電極4を用いて試料表面の帯電を正負両極性に制御できることを示した。本実施の形態2では、ウェハ3と同程度の面積に紫外光を照射し、ウェハ全面の帯電を一括で制御する方法について示す。
図13は、本実施の形態3に係る電子顕微鏡応用装置の構成を示す図である。
SEMにおいて電子線走査が引き起す帯電により、二次電子軌道が曲がり、正確な試料形状が観察できないという問題がある。本実施の形態4では、前記実施の形態3で示したパターン検査装置を用いて、電子線走査中に間欠的に紫外光を照射することで、帯電を抑制し、正確な試料形状を観察する技術について説明する。
本実施の形態5では、本発明に係る電子顕微鏡応用装置を測長SEMに搭載した場合の構成および使用方法について述べる。
2 光電子
3 ウェハ
4 帯電制御電極
5 フィルタ
6,18 帯電制御筐体
10 SEM筐体
11 電子源
12 コンデンサレンズA
13 絞り
14 コンデンサレンズB
15 検出器
16 偏向器
17 対物レンズ
19 偏向コイル
20 試料室
21 ウェハホルダ
22 絶縁材
23 ステージ
30 画像形成部
31 ADコンバータ部
32 光ファイバ
33 画像処理部
34 画像表示部
40 ステージ制御部
41 リレー回路
42 リターディング電源
43 ステージ駆動部
44 ステージコントローラ
50 SEM制御部
51 SEM用電子銃電源
52 レンズ制御部
60 帯電制御システム部
61 帯電制御装置
62 紫外光源電源
63 制御電極電源
64 帯電モニタ部
65 プローブ制御装置
66 電圧測定プローブ
70 試料準備室
71 バルブ
80 真空排気システム部
90 検査システム制御部
91 測長システム制御部
151 紫外光
Claims (14)
- 試料の上部に設置した電極および前記試料に紫外光を照射し、前記電極と前記試料との間に印加した電界により、前記電極および前記試料から発生する光電子の前記試料への入射を制御する手段を有し、
前記試料の帯電を任意の電位に設定できることを特徴とする電子顕微鏡応用装置。 - 試料の上部に設置され少なくとも1つ以上の孔を有する電極と、
前記試料および前記電極に紫外光を照射する紫外光源とを備え、
前記紫外光は、前記電極の孔を通して前記試料に照射されることを特徴とする電子顕微鏡応用装置。 - 請求項2記載の電子顕微鏡応用装置において、
前記電極がメッシュ形状であり、メッシュの孔を通して前記紫外光が前記試料に照射されることを特徴とする電子顕微鏡応用装置。 - 請求項2記載の電子顕微鏡応用装置において、
前記電極と前記試料との間に印加した電界により、前記電極および前記試料から発生する光電子の前記試料への入射を制御する手段を有することを特徴とする電子顕微鏡応用装置。 - 請求項2記載の電子顕微鏡応用装置において、
前記試料の帯電を制御するために、前記紫外光の波長が177nm以下であり、前記試料が製造途中の半導体ウェハであることを特徴とする電子顕微鏡応用装置。 - 請求項2記載の電子顕微鏡応用装置において、
前記電極は、光電子放出効率が高い化合物が蒸着されていることを特徴とする電子顕微鏡応用装置。 - 試料の上部に設置した電極および前記試料に紫外光を照射し、
前記電極と前記試料との間に印加した電界により、前記電極および前記試料から発生する光電子の前記試料への入射を制御し、
前記試料の帯電を任意の電位に設定することを特徴とする試料検査方法。 - 請求項7記載の試料検査方法において、
前記電極はメッシュ形状であり、メッシュの孔を通して前記紫外光を前記試料に照射することを特徴とする試料検査方法。 - 請求項8記載の試料検査方法において、
前記電極に前記試料に対して負電圧を印加し、前記電極から放出された光電子を前記試料に引き戻す電界を発生させ、
前記電極のメッシュの孔を通して前記紫外光を照射し、
前記電極から発生した光電子を前記試料に引き戻すことにより、前記試料を負帯電させることを特徴とする試料検査方法。 - 請求項8記載の試料検査方法において、
前記電極に前記試料に対して正電圧を印加し、前記試料から放出された光電子を前記試料から引き上げる電界を発生させ、
前記電極のメッシュの孔を通して前記紫外光を照射し、
前記試料から発生した光電子を前記試料から引き上げることにより、前記試料を正帯電させることを特徴とする試料検査方法。 - 請求項7記載の試料検査方法において、
前記電極が、約中心に貫通した孔を持つ形状であり、
前記孔を通して前記紫外光を前記試料に照射することを特徴とする試料検査方法。 - 請求項7記載の試料検査方法において、
前記電極は、光電子放出効率が高い化合物が蒸着されていることを特徴とする試料検査方法。 - 請求項7記載の試料検査方法において、
前記試料の製造工程で、荷電粒子による計測工程の前または後に、前記試料に残留している帯電を除去することを特徴とする試料検査方法。 - 請求項7記載の試料検査方法において、
荷電粒子ビームを走査することで像を形成して前記試料上のパターンを計測する際、前記荷電粒子ビームの走査の合間に前記紫外光を前記試料に照射し、前記試料の観察領域内の帯電を除去しつつ、前記像を取得することを特徴とする試料検査方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005158282A JP4828162B2 (ja) | 2005-05-31 | 2005-05-31 | 電子顕微鏡応用装置および試料検査方法 |
US11/442,566 US7501625B2 (en) | 2005-05-31 | 2006-05-30 | Electron microscope application apparatus and sample inspection method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005158282A JP4828162B2 (ja) | 2005-05-31 | 2005-05-31 | 電子顕微鏡応用装置および試料検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006338881A true JP2006338881A (ja) | 2006-12-14 |
JP4828162B2 JP4828162B2 (ja) | 2011-11-30 |
Family
ID=37559276
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005158282A Expired - Fee Related JP4828162B2 (ja) | 2005-05-31 | 2005-05-31 | 電子顕微鏡応用装置および試料検査方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7501625B2 (ja) |
JP (1) | JP4828162B2 (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006351303A (ja) * | 2005-06-15 | 2006-12-28 | Hitachi High-Technologies Corp | パターン欠陥検査方法および装置 |
JP2008064505A (ja) * | 2006-09-05 | 2008-03-21 | Advantest Corp | 電子ビーム寸法測定装置及び電子ビーム寸法測定方法 |
WO2010055610A1 (ja) * | 2008-11-14 | 2010-05-20 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | パターンの検査装置、およびパターンの検査方法 |
JP2011159636A (ja) * | 2011-05-11 | 2011-08-18 | Hitachi High-Technologies Corp | パターン欠陥検査方法および装置 |
WO2012008091A1 (ja) * | 2010-07-15 | 2012-01-19 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
JP2018125373A (ja) * | 2017-01-31 | 2018-08-09 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置、基板処理システムおよび基板処理方法 |
TWI682423B (zh) * | 2015-05-12 | 2020-01-11 | 以色列商應用材料以色列公司 | 用於藉由使電子束掃瞄過的區域放電以對物體成像的系統 |
WO2020115876A1 (ja) * | 2018-12-06 | 2020-06-11 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子線装置 |
WO2024127586A1 (ja) * | 2022-12-15 | 2024-06-20 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子線装置及び試料の特性を推定する方法 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4248382B2 (ja) * | 2003-12-04 | 2009-04-02 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子ビームによる検査方法および検査装置 |
JP4981410B2 (ja) * | 2006-10-31 | 2012-07-18 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査型電子顕微鏡、走査型電子顕微鏡を用いたパターンの複合検査方法、および走査型電子顕微鏡の制御装置 |
JP5963453B2 (ja) | 2011-03-15 | 2016-08-03 | 株式会社荏原製作所 | 検査装置 |
JP5914020B2 (ja) * | 2012-02-09 | 2016-05-11 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
US20160189923A1 (en) * | 2013-08-15 | 2016-06-30 | Swinburne University Of Technology | Apparatus and method |
US9165742B1 (en) | 2014-10-10 | 2015-10-20 | Kla-Tencor Corporation | Inspection site preparation |
US10168614B1 (en) | 2017-06-14 | 2019-01-01 | Applied Materials Israel Ltd. | On-axis illumination and alignment for charge control during charged particle beam inspection |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS636737A (ja) * | 1986-06-25 | 1988-01-12 | Sharp Corp | 電子線照射装置における帯電防止装置 |
JPH01210828A (ja) * | 1988-02-18 | 1989-08-24 | Canon Inc | 光電子ビーム変換素子 |
JPH0445264A (ja) * | 1990-06-11 | 1992-02-14 | Mitsubishi Electric Corp | 薄膜形成装置 |
WO2002001596A1 (en) * | 2000-06-27 | 2002-01-03 | Ebara Corporation | Charged particle beam inspection apparatus and method for fabricating device using that inspection apparatus |
JP2003151483A (ja) * | 2001-11-19 | 2003-05-23 | Hitachi Ltd | 荷電粒子線を用いた回路パターン用基板検査装置および基板検査方法 |
JP2004047610A (ja) * | 2002-07-10 | 2004-02-12 | Yuji Takakuwa | 基板の表面処理方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH065691B2 (ja) * | 1987-09-26 | 1994-01-19 | 株式会社東芝 | 半導体素子の試験方法および試験装置 |
JPH0312928A (ja) * | 1989-06-12 | 1991-01-21 | Nec Corp | 半導体製造装置 |
US5004919A (en) * | 1989-07-05 | 1991-04-02 | Jeol, Ltd. | Transmission electron microscope |
GB9122161D0 (en) * | 1991-10-18 | 1991-11-27 | Kratos Analytical Ltd | Charged particle energy analysers |
EP0949653B1 (en) * | 1991-11-27 | 2010-02-17 | Hitachi, Ltd. | Electron beam apparatus |
US6066849A (en) | 1997-01-16 | 2000-05-23 | Kla Tencor | Scanning electron beam microscope |
US6504393B1 (en) | 1997-07-15 | 2003-01-07 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for testing semiconductor and integrated circuit structures |
US5973323A (en) * | 1997-11-05 | 1999-10-26 | Kla-Tencor Corporation | Apparatus and method for secondary electron emission microscope |
US6979819B2 (en) * | 2001-11-30 | 2005-12-27 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Photoelectron emission microscope for wafer and reticle inspection |
US7138629B2 (en) | 2003-04-22 | 2006-11-21 | Ebara Corporation | Testing apparatus using charged particles and device manufacturing method using the testing apparatus |
JP2004363085A (ja) | 2003-05-09 | 2004-12-24 | Ebara Corp | 荷電粒子線による検査装置及びその検査装置を用いたデバイス製造方法 |
JP4248382B2 (ja) | 2003-12-04 | 2009-04-02 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子ビームによる検査方法および検査装置 |
-
2005
- 2005-05-31 JP JP2005158282A patent/JP4828162B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-05-30 US US11/442,566 patent/US7501625B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS636737A (ja) * | 1986-06-25 | 1988-01-12 | Sharp Corp | 電子線照射装置における帯電防止装置 |
JPH01210828A (ja) * | 1988-02-18 | 1989-08-24 | Canon Inc | 光電子ビーム変換素子 |
JPH0445264A (ja) * | 1990-06-11 | 1992-02-14 | Mitsubishi Electric Corp | 薄膜形成装置 |
WO2002001596A1 (en) * | 2000-06-27 | 2002-01-03 | Ebara Corporation | Charged particle beam inspection apparatus and method for fabricating device using that inspection apparatus |
JP2003151483A (ja) * | 2001-11-19 | 2003-05-23 | Hitachi Ltd | 荷電粒子線を用いた回路パターン用基板検査装置および基板検査方法 |
JP2004047610A (ja) * | 2002-07-10 | 2004-02-12 | Yuji Takakuwa | 基板の表面処理方法 |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006351303A (ja) * | 2005-06-15 | 2006-12-28 | Hitachi High-Technologies Corp | パターン欠陥検査方法および装置 |
JP2008064505A (ja) * | 2006-09-05 | 2008-03-21 | Advantest Corp | 電子ビーム寸法測定装置及び電子ビーム寸法測定方法 |
WO2010055610A1 (ja) * | 2008-11-14 | 2010-05-20 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | パターンの検査装置、およびパターンの検査方法 |
US8421008B2 (en) | 2008-11-14 | 2013-04-16 | Hitachi High-Technologies Corporation | Pattern check device and pattern check method |
US8822920B2 (en) | 2010-07-15 | 2014-09-02 | Hitachi High-Technologies Corporation | Charged particle beam apparatus |
WO2012008091A1 (ja) * | 2010-07-15 | 2012-01-19 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
JP2012022907A (ja) * | 2010-07-15 | 2012-02-02 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
JP2011159636A (ja) * | 2011-05-11 | 2011-08-18 | Hitachi High-Technologies Corp | パターン欠陥検査方法および装置 |
TWI682423B (zh) * | 2015-05-12 | 2020-01-11 | 以色列商應用材料以色列公司 | 用於藉由使電子束掃瞄過的區域放電以對物體成像的系統 |
JP2018125373A (ja) * | 2017-01-31 | 2018-08-09 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置、基板処理システムおよび基板処理方法 |
WO2018142715A1 (ja) * | 2017-01-31 | 2018-08-09 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置、基板処理システムおよび基板処理方法 |
WO2020115876A1 (ja) * | 2018-12-06 | 2020-06-11 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子線装置 |
WO2024127586A1 (ja) * | 2022-12-15 | 2024-06-20 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子線装置及び試料の特性を推定する方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20060289755A1 (en) | 2006-12-28 |
US7501625B2 (en) | 2009-03-10 |
JP4828162B2 (ja) | 2011-11-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4828162B2 (ja) | 電子顕微鏡応用装置および試料検査方法 | |
JP4248382B2 (ja) | 荷電粒子ビームによる検査方法および検査装置 | |
US8076654B2 (en) | Sample surface inspection apparatus and method | |
KR101858351B1 (ko) | 전기적으로 하전된 표본 표면을 검사하기 위한 방법 및 장치 | |
JP3661592B2 (ja) | パターン検査装置 | |
TWI484522B (zh) | Charged particle - ray device | |
JP2014182984A (ja) | 試料検査装置及び試料の検査方法 | |
US6952105B2 (en) | Inspection method and apparatus for circuit pattern of resist material | |
JP6411799B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JP3711244B2 (ja) | ウエハの欠陥検査装置 | |
JP2008311364A (ja) | 半導体検査装置 | |
US7205539B1 (en) | Sample charging control in charged-particle systems | |
JP4658783B2 (ja) | 試料像形成方法 | |
JP4178003B2 (ja) | 半導体回路パターンの検査装置 | |
JP4283835B2 (ja) | 荷電粒子線装置及び該装置を用いたデバイス製造方法 | |
WO2023276127A1 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JP2004347483A (ja) | 電子線を用いたパターン検査装置、及び、電子線を用いたパターン検査方法 | |
JP2008071492A5 (ja) | ||
KR20080090118A (ko) | 반도체 검사 장치의 제어 방법 | |
JPH1074808A (ja) | 荷電粒子線を用いた理化学装置,半導体製造及び検査装置 | |
JP4960393B2 (ja) | 荷電粒子線装置及び該装置を用いたデバイス製造方法 | |
JP4463249B2 (ja) | 欠陥検査方法 | |
JP4379420B2 (ja) | 試料検査装置 | |
JP2005121634A (ja) | パターン検査装置 | |
JP2005121635A (ja) | パターン検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080306 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100708 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100713 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100913 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101221 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110221 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110823 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110914 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140922 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |