JP2006329723A - 電子顕微鏡観察用試料の作製方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 切削刃による切り込み時の衝撃による剥離による破壊や紛失を無くし、簡易で、より確実な切削を行うこと。
【解決手段】 ウェハ試料10の裏面と、片側の面に溝が形成された第1の補助板11の溝の形成されてない側の面とを、切削刃8の衝撃に耐えうる接着強度で接着して一体化し、この一体化された第1の補助板11の溝が形成されている面を、第2の補助板12の溝が形成された面とワックス15で固定し、その後、切削刃8により切り出してウェハ試料片30として取り出す。
【選択図】 図2
【解決手段】 ウェハ試料10の裏面と、片側の面に溝が形成された第1の補助板11の溝の形成されてない側の面とを、切削刃8の衝撃に耐えうる接着強度で接着して一体化し、この一体化された第1の補助板11の溝が形成されている面を、第2の補助板12の溝が形成された面とワックス15で固定し、その後、切削刃8により切り出してウェハ試料片30として取り出す。
【選択図】 図2
Description
本発明は、ウェハや電子部品等の特定箇所の断面を透過型電子顕微鏡装置(TEM)で観察するための電子顕微鏡観察用試料の作製方法に関し、特に、集束イオンビーム加工装置(FIB)を用いて薄片化する前の切削刃によって切り出された試料を作製する方法に関する。
透過型電子顕微鏡装置(TEM)で観察するためには、試料を電子線が透過することが可能な厚さ(0.1μm以下)に薄片化する必要があるが、特に半導体素子においては、近年、集束イオンビーム加工装置(FIB)を用いて薄片化することが一般的になっている。FIBによる電子顕微鏡観察用試料の作製方法としては、例えば特許文献1等に開示されているのがある。
図14は、従来の電子顕微鏡観察用の試料の作製方法の1例を示す。
まず、図14(a)に示すように、電子顕微鏡観察用の観察箇所を含む試料1を、熱溶解性のワックス2を用いて補助板3に固定する。次に、図14(b)に示すように、切削刃としてのダイサー8により、観察箇所を囲むように試料1を貫通させて、補助板3の途中まで切り込み4を入れる。そして、図14(c)に示すように、ワックス2を溶かして、観察箇所を含む試料片5を取り出す。
このようにしてダイサー8により試料片5をTEMに導入可能な大きさにまで切り出し、その後、試料片5の観察箇所の近傍のみにFIBを用いて薄片化する。
しかし、従来の作製方法では、図14(d)に示すように、ダイサー8での切り込み4を入れたときの衝撃で、観察箇所を含む試料片5が、補助板3から剥離して、破壊したり、紛失してしまう場合がある。このような破壊や紛失は、特に、試料数の限られた再生不能な重要度の高い試料の場合には、重大な問題となる。
そこで、本発明の目的は、試料数が1個に限定されて再検査できないような重要度の高い試料を取り扱う場合においても、切削刃による切り込み時の衝撃による剥離による破壊や紛失を無くし、簡易で、より確実に切削を行うことが可能な、電子顕微鏡観察用試料の作製方法を提供することにある。
本発明は、集束イオンビーム加工処理前の電子顕微鏡観察用試料を作製する方法であって、ウェハ内部に電子顕微鏡観察用の観察対象箇所を含み、ウェハ表面が観察対象面とされたウェハ試料を用い、前記ウェハ試料の前記観察対象面とは反対側のウェハ裏面と、第1の補助板の溝が形成されていない面とを、切削刃による衝撃に耐えうる所定の接着強度をもつ接着剤により接着して一体に構成する工程と、前記一体に構成された前記第1の補助板の溝が形成された面と、第2の補助板の溝が形成された面との間に、熱溶解性のワックスを介在させて固定する工程と、前記ワックスで固定された前記ウェハ試料の前記観察対象面の側から、該ウェハ内部の観察対象箇所を囲んで下方の前記第2の補助板に到達する位置まで、前記切削刃により切り込みを入れる工程と、前記切り込みが入れられた前記ウェハ試料に一体に構成された前記第1の補助板と前記第2の補助板との間に介在するワックスを溶かし、該切り込みによって分離された前記観察対象箇所を囲むウェハ試料片を取り出すことにより、前記電子顕微鏡観察用試料を作成する工程とを具えることによって、電子顕微鏡観察用試料の作製方法を提供する。
本発明は、集束イオンビーム加工処理前の電子顕微鏡観察用試料を作製する方法であって、試料内部に電子顕微鏡観察用の観察対象箇所を含み、該観察対象箇所から試料表面の観察対象面までの距離が、前記集束イオンビーム加工処理を行うために必要な所定の範囲内に収まるように設定された試料を用い、前記試料に設けられた前記観察対象面とは反対側の裏面領域に溝を形成する工程と、前記溝が形成された試料の裏面領域と、補助板の溝が形成された面との間に、熱溶解性のワックスを介在させて固定する工程と、前記ワックスで固定された前記試料の前記観察対象面の側から、該試料内部の観察対象箇所を囲む下方の前記補助板に到達する位置まで、切削刃により切り込みを入れる工程と、前記切り込みが入れられた前記試料と前記補助板との間に介在するワックスを溶かし、該切り込みによって分離された前記観察対象箇所を囲む試料片を取り出すことにより、前記電子顕微鏡観察用試料を作成する工程とを具えることによって、電子顕微鏡観察用試料の作製方法を提供する。
本発明によれば、ウェハ試料の裏面と、片側の面に溝が形成された第1の補助板の溝の形成されてない側の面とを、切削刃の衝撃に耐えうる接着強度で接着して一体化し、この一体化された第1の補助板の溝が形成されている面を、第2の補助板の溝が形成された面とワックスで固定し、その後、切削刃により切り出してウェハ試料片を取り出すようにしたので、第1および第2の補助板にそれぞれ形成された溝の分だけワックスに接する面積が増えて接着強度が高くなり、切削刃でウェハ試料片の表面から第2の補助板に達する切り込みを入れても観察対象箇所を含むウェハ試料片が剥離、紛失するおそれがなくなり、これにより、試料数が1個に限定されて再検査できないような重要度の高い試料の場合においても、切り出し作業に失敗することがなくなり、簡略な工程で、より確実に電子顕微鏡観察用試料を作製することができる。
また、本発明によれば、電子部品の裏面に溝を形成し、この電子部品の溝が形成されている面を、補助板の溝が形成された面とワックスで固定し、その後、切削刃により切削して電子部品試料片を切り出すようにしたので、補助板自体が不要となり、その分、試料の作製工程数を削減することができ、工程の簡略化を図ることができる。
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を詳細に説明する。
[第1の例]
本発明の第1の実施の形態を、図1〜図7に基づいて説明する。
本発明の第1の実施の形態を、図1〜図7に基づいて説明する。
(試料の作製方法)
まず、電子顕微鏡観察用試料の作製方法を、図1のフローチャート、および、図2〜図6に基づいて説明する。
まず、電子顕微鏡観察用試料の作製方法を、図1のフローチャート、および、図2〜図6に基づいて説明する。
ステップS1では、図2(a)〜(c)に示すように、ウェハ試料10、第1の補助板11、第2の補助板12を用意する。
ウェハ試料10は、図2(a)に示すように、ウェハ内部に電子顕微鏡観察用の観察対象箇所Pを含み、ウェハ表面が観察対象面10aとされている。10bは、観察対象面10aとは反対側のウェハ裏面である。
観察対象箇所Pは、観察対象面10aからの深さ(Z方向)が約50μm以内であり、幅(X方向)が約20μm以内のウェハ表層領域にある。この場合、ウェハ試料10の観察対象面10aから観察対象箇所Pまでの深さは、集束イオンビーム加工処理を行うために必要な所定の範囲内に収まるよう設定されているものとする。
第1の補助板11は、図2(b)に示すように、平坦な面11aと、溝13が形成された面11bとを有する平板からなる。
第2の補助板12は、図2(c)に示すように、溝14が形成された面12aと、平坦な面12bとを有する平板からなる。
ステップS2では、図3に示すように、ウェハ試料10の観察対象面10aとは反対側のウェハ裏面10bと、第1の補助板11の溝13が形成されていない面11aとを接着して一体に構成する。
ウェハ試料10と、第1の補助板11との接着は、市販の瞬間接着剤やエポキシ系接着剤を使用してもよい。接着の強度は、切削刃としてのダイサー8で切り込みを入れるときの衝撃に耐え、この部分で剥離が起こらない程度の強度であればよい。
ステップS3では、図4(a)(b)に示すように、一体に構成された第1の補助板11の溝13が形成された面11bと、第2の補助板12の溝14が形成された面12aとが対向するように配置し、これらの面11b,12aの間に熱溶解性のワックス15を挟んだ状態にして固定する。
前述した図14に示すように、試料1を従来の平坦な補助板3の面上にワックス15を塗布して固定する方法では、固定時の接着強度が低く、ダイサー8の衝撃に耐えられない場合があったが、本発明にようにそれぞれ溝13,14が形成された面11b,12aの間にワックス15を挟んで固定することにより、ワックス15と接する接触面積が増えて、固定時の接着強度を増加させることができる。
第1および第2の補助板11,12は、ダイサー8で切り込みを入れるときにクラックの発生等の問題が起こらない材質であればよく、シリコン、金属、樹脂等を用いることができる。
第1の補助板11の厚さは、ダイサー8で切り込みを入れるときにクラックの発生が起こらない厚さで、かつ、接着した試料との合計の厚さが透過型電子顕微鏡(TEM)装置に導入可能な大きさであればよい。
第1および第2の補助板11,12の溝13,14は、その材質に応じて、エッチング、切削等で形成することができる。
第1の補助板11の溝13の幅、間隔は、最終的に切り出される試料の大きさよりも小さいことが望ましく、切り出された面に複数の溝が入ることが望ましい。
第1および第2の補助板11,12の溝13,14の代わりに、穴を形成してもよい。
また、上記以外に、予め、第1の補助板11の溝13のある面11bと、第2の補助板12の溝14のある面12aとの間でワックス15を挟み込んで一体に構成したものを用意しておき、その後、第1の補助板11の溝13のない面11a上にウェハ試料10を接着して使用することもできる。
ステップS4では、図5(a)(b)に示すように、ワックス15で固定されたウェハ試料10の観察対象面10aの側から、ウェハ内部の観察対象箇所Pを囲むようにした状態でダイサー8を用いて下方(Z方向)の第2の補助板12に到達する位置まで切り込み20を入れる。
この切り込みに際して、ウェハ試料10のウェハ表面10aから第2の補助板12の中間位置まで、TEM試料ホルダーに取り付け可能なサイズとなるように、観察対象箇所Pを囲むようにダイサー8で切り込みを入れる。そして、後工程である集束イオンビーム加工(FIB)装置の加工時間を短縮するため、観察対象箇所Pの近傍は、厚さ20μm〜40μmにするのが望ましい。
ステップS5では、図6(a)(b)に示すように、切り込みが入れられたウェハ試料10に一体に構成された第1の補助板11と第2の補助板12との間に介在するワックス15を溶かし、切り込みによって分離された観察対象箇所Pを囲むウェハ試料片30を取り出す。
この場合、ワックス15は、ホットプレート等(図示せず)を用いて簡単に溶かすことができ、これにより切り込みによって分離された観察対象箇所Pを含むウェハ試料片30を取り出す。このようにして作成されたウェハ試料片30が、電子顕微鏡観察用試料として用いられる。
以上のステップS1ステップS5の工程により、電子顕微鏡観察用試料の作製工程は終了する。
その後の工程としては、集束イオンビーム加工(FIB)装置を用いて、電子顕微鏡観察用試料としてのウェハ試料片30の表面に対して、集束イオンビームの照射による表面加工処理を行う。
図7(a)はビーム加工前のウェハ試料片30の表面を拡大して示し、図7(b)はビーム加工後のウェハ試料片30の表面状態を示す。
このビーム加工により、ウェハ試料片30の観察対象箇所Pを含む領域をTEM観察可能な厚みとなるように薄片化するが、その薄片化する厚みはFIB装置の加工能力によって異なり、一般的には、最大で深さ50μm、幅20μm程度まで加工できる。このビーム加工により、ウェハ試料片30の観察対象箇所Pを、TEM観察可能な0.1μm以下の厚みに薄片化することができる。
(具体例)
次に、上記作製方法を用いた、電子顕微鏡観察用試料の作製例について説明する。
次に、上記作製方法を用いた、電子顕微鏡観察用試料の作製例について説明する。
[試料の概要]
ウェハ試料10としては、表層部分に観察対象箇所Pがある、厚さ500μmのSiウェハ片を使用する。
ウェハ試料10としては、表層部分に観察対象箇所Pがある、厚さ500μmのSiウェハ片を使用する。
第1および第2の補助板11,12としては、400μmのSiウェハ片に間隔300μm、深さ100μmの溝13,14を、ダイサーによる切削で形成したものを使用する。
[切り出し前の準備]
図2〜図4に示すように、ウェハ試料10のウェハ裏面10bに第1の補助板11を接着した後、この第1の補助板11を第2の補助板12と溝13,14同士を向かい合わせるようにしてホットプレートで熱しながらワックス15を挟んで固定した。
図2〜図4に示すように、ウェハ試料10のウェハ裏面10bに第1の補助板11を接着した後、この第1の補助板11を第2の補助板12と溝13,14同士を向かい合わせるようにしてホットプレートで熱しながらワックス15を挟んで固定した。
[ダイサーによる切り出し]
図5〜図6に示すように、観察対象箇所Pを囲むように、ウェハ試料10のウェハ表面10aから第2の補助板12の中間位置までダイサー8で切り込み20を入れた。切り込み20は、観察対象箇所Pを挟んでX方向に2本、X方向に2入れた。切り込み20で囲まれた外形は、TEM試料ホルダーに取り付け可能なように、第1の補助板11の溝13の方向と垂直な方向(Y方向)に2mm、平行な方向(X方向)に0.2mmとした。
図5〜図6に示すように、観察対象箇所Pを囲むように、ウェハ試料10のウェハ表面10aから第2の補助板12の中間位置までダイサー8で切り込み20を入れた。切り込み20は、観察対象箇所Pを挟んでX方向に2本、X方向に2入れた。切り込み20で囲まれた外形は、TEM試料ホルダーに取り付け可能なように、第1の補助板11の溝13の方向と垂直な方向(Y方向)に2mm、平行な方向(X方向)に0.2mmとした。
このとき、後工程のFIBによるビーム加工の時間を短縮するため、観察対象箇所Pの近傍は幅30μmになるように、ウェハ試料10のウェハ表面10aから50μmの深さまでダイサーで切削した。
試作品として用いた10個の試料のうち10個全てについて、この切り出し作業の後でも、第2の補助板12から剥離することはなかった。
その後、ウェハ試料10と第1の補助板11と第2の補助板12とが一体に構成された試料を、ホットプレートで熱してワックス15を溶かすことにより、切り込みによって分離された観察対象箇所Pを含むウェハ試料10と第1の補助板11とからなるウェハ試料片30を切り出した。このようにして、電子顕微鏡観察用試料として用いられるウェハ試料片30を作製した。
その後、ウェハ試料10と第1の補助板11と第2の補助板12とが一体に構成された試料を、ホットプレートで熱してワックス15を溶かすことにより、切り込みによって分離された観察対象箇所Pを含むウェハ試料10と第1の補助板11とからなるウェハ試料片30を切り出した。このようにして、電子顕微鏡観察用試料として用いられるウェハ試料片30を作製した。
[FIBによる薄膜化]
次に、ウェハ試料片30に対してFIB装置によりビーム加工を施すことにより、図7に示すような、観察対象箇所Pが厚さ0.1μm以下に薄膜化された電子顕微鏡観察用試料を作製できた。
次に、ウェハ試料片30に対してFIB装置によりビーム加工を施すことにより、図7に示すような、観察対象箇所Pが厚さ0.1μm以下に薄膜化された電子顕微鏡観察用試料を作製できた。
本例により作製した電子顕微鏡観察用試料を、TEM装置で観察したところ、良好な像が得られた。
(比較例)
図14(a)に示したような、溝の形成されていない補助板3に、試料1をワックス2により直接固定し、上記作製例と同様な方法で切り出しを行った。
図14(a)に示したような、溝の形成されていない補助板3に、試料1をワックス2により直接固定し、上記作製例と同様な方法で切り出しを行った。
これにより、50個の試料中10個の試料が切り出し作業の後に、試料1とワックス2との間で剥離し、また、50個の試料中5個の試料がワックス2と補助板3との間で剥離した。
これに対して、本願発明の上記作製方法では、切り出し時に1個の剥離も発生しておらず、これにより、ビーム加工処理前の試料作製工程において、剥離による破壊や紛失を無くすことができる。
以上より、第1および第2の補助板11,12にそれぞれ形成された溝13,14の分だけワックス15に接する面積が増えて接着強度が高くなり、ダイサー8でウェハ試料片30の表面から第2の補助板12に達する切り込みを入れても観察対象箇所Pを含むウェハ試料片30が剥離、紛失するおそれがなくなる。その結果、試料数が1個に限定されて再検査できないような重要度の高い貴重な試料を取り扱う場合においても、切り出し作業に失敗することがなくなり、簡略な工程で、より確実に電子顕微鏡観察用試料を作製することができる。
[第2の例]
本発明の第2の実施の形態を、図8〜図13に基づいて説明する。なお、前述した第1の例と同一部分については、その説明を省略し、同一符号を付す。
本発明の第2の実施の形態を、図8〜図13に基づいて説明する。なお、前述した第1の例と同一部分については、その説明を省略し、同一符号を付す。
本例は、電子顕微鏡観察用として、前述したようなウェハ試料10を対象としたものではなく、半導体素子等の電子部品を対象にした例である。
電子顕微鏡観察用試料の作製方法を、図8のフローチャート、図9〜図13に基づいて説明する。
ステップS10では、図9(a)、(b)に示すように、電子部品100、補助板101を用意する。
電子部品100は、図9(a)に示すように、部品内部に電子顕微鏡観察用の観察対象箇所Qを含み、部品表面が観察対象面100aとされている。100bは、観察対象面100aとは反対側の裏面100bである。
観察対象箇所Qは、観察対象面100aからの深さ(Z方向)が約50μm以内であり、幅(X方向)が約20μm以内の表層領域にある。この場合、電子部品100の観察対象面100aから観察対象箇所Qまでの深さは、集束イオンビーム加工処理を行うために必要な所定の範囲内に収まるように設定されているものとする。
補助板101は、図9(b)に示すように、溝103が形成された面101aと、平坦な面101bとを有する平板からなる。
ステップS11では、図10に示すように、電子部品100の観察対象面100aとは反対側の裏面100bに、溝102を形成する。
ステップS12では、図11に示すように、電子部品100の溝102が形成された裏面100bと、補助板101の溝103が形成された面101aとの間に、熱溶解性のワックス105を介在させて固定する。
ステップS13では、図12に示すように、ワックス105で固定された電子部品100の観察対象面100aの側から、部品内部の観察対象箇所Qを囲む下方の補助板101に到達する位置まで、ダイサー8により切り込みを入れる。
ステップS14では、図13に示すように、切り込み120が入れられた電子部品100と補助板101との間に介在するワックス105を溶かし、切り込みによって分離された観察対象箇所Qを囲む電子部品試料片130を取り出す。このようにして作製した電子部品試料片130を、FIBによるビーム加工のための電子顕微鏡観察用試料として用いる。
以上のような作製方法とすることにより、前述したような第1の補助板11がなくなり、補助板の数を減少させることができ、工程の簡略化を図ることができる。
1 試料
2 ワックス
3 補助板
4 切り込み
5 試料片
8 切削刃(ダイサー)
10 ウェハ試料
10a 観察対象面
10b ウェハ裏面
11 第1の補助板
11a,11b 面
12 第2の補助板
13,14 溝
15 ワックス
20 切り込み
30 ウェハ試料
100 電子部品
100a 観察対象面
100b 裏面
101 補助板
102,103 溝
105 ワックス
120 切り込み
130 ウェハ試料
P,Q 観察対象箇所
2 ワックス
3 補助板
4 切り込み
5 試料片
8 切削刃(ダイサー)
10 ウェハ試料
10a 観察対象面
10b ウェハ裏面
11 第1の補助板
11a,11b 面
12 第2の補助板
13,14 溝
15 ワックス
20 切り込み
30 ウェハ試料
100 電子部品
100a 観察対象面
100b 裏面
101 補助板
102,103 溝
105 ワックス
120 切り込み
130 ウェハ試料
P,Q 観察対象箇所
Claims (2)
- 集束イオンビーム加工処理前の電子顕微鏡観察用試料を作製する方法であって、
ウェハ内部に電子顕微鏡観察用の観察対象箇所を含み、ウェハ表面が観察対象面とされたウェハ試料を用い、
前記ウェハ試料の前記観察対象面とは反対側のウェハ裏面と、第1の補助板の溝が形成されていない面とを、切削刃による衝撃に耐えうる所定の接着強度をもつ接着剤により接着して一体に構成する工程と、
前記一体に構成された前記第1の補助板の溝が形成された面と、第2の補助板の溝が形成された面との間に、熱溶解性のワックスを介在させて固定する工程と、
前記ワックスで固定された前記ウェハ試料の前記観察対象面の側から、該ウェハ内部の観察対象箇所を囲んで下方の前記第2の補助板に到達する位置まで、前記切削刃により切り込みを入れる工程と、
前記切り込みが入れられた前記ウェハ試料に一体に構成された前記第1の補助板と前記第2の補助板との間に介在するワックスを溶かし、該切り込みによって分離された前記観察対象箇所を囲むウェハ試料片を取り出すことにより、前記電子顕微鏡観察用試料を作成する工程と
を具えたことを特徴とする電子顕微鏡観察用試料の作製方法。 - 集束イオンビーム加工処理前の電子顕微鏡観察用試料を作製する方法であって、
試料内部に電子顕微鏡観察用の観察対象箇所を含み、該観察対象箇所から試料表面の観察対象面までの距離が、前記集束イオンビーム加工処理を行うために必要な所定の範囲内に収まるように設定された試料を用い、
前記試料に設けられた前記観察対象面とは反対側の裏面領域に溝を形成する工程と、
前記溝が形成された試料の裏面領域と、補助板の溝が形成された面との間に、熱溶解性のワックスを介在させて固定する工程と、
前記ワックスで固定された前記試料の前記観察対象面の側から、該試料内部の観察対象箇所を囲む下方の前記補助板に到達する位置まで、切削刃により切り込みを入れる工程と、
前記切り込みが入れられた前記試料と前記補助板との間に介在するワックスを溶かし、該切り込みによって分離された前記観察対象箇所を囲む試料片を取り出すことにより、前記電子顕微鏡観察用試料を作成する工程と
を具えたことを特徴とする電子顕微鏡観察用試料の作製方法。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010002308A (ja) * | 2008-06-20 | 2010-01-07 | Sii Nanotechnology Inc | Tem試料作製方法、tem試料及び薄片試料 |
CN112179731A (zh) * | 2020-09-17 | 2021-01-05 | 长江存储科技有限责任公司 | 制样方法、应力检测方法及一种待检测试样 |
CN115083903A (zh) * | 2022-07-21 | 2022-09-20 | 山东中清智能科技股份有限公司 | 一种晶圆的切割方法以及单芯片封装体 |
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- 2005-05-24 JP JP2005151389A patent/JP2006329723A/ja active Pending
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