JP2006322015A - メタルマスク用フレーム及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 窓枠形状の薄板13bにエッチングにより多数の穴31を形成しておき、その薄板13bを多数枚積層し、熱拡散結合により一体化することで、一体構造のフレーム13を形成し、穴31の存在によって軽量化を図る。
【選択図】 図3
Description
12 メタルマスク
13、13A、13B フレーム
13a、13b 薄板
15 マスク部
17 開口部
19 易切断線
20 スポット溶接部
23 クランプ
24 駆動手段(エアシリンダ)
31、31B 穴
Claims (8)
- メタルマスクを取り付けるための窓枠形状のフレームであって、多数の穴を形成した窓枠形状の薄板を複数枚積層して接合し、一体化したことを特徴とするメタルマスク用フレーム。
- 前記薄板が0.1〜1mmの厚さのものであり、前記穴がエッチングで形成されており、積層した複数枚の薄板が熱拡散結合により一体化されていることを特徴とする請求項1記載のメタルマスク用フレーム。
- 前記薄板に形成した穴の直径又は相当直径が、前記薄板の肉厚tの0.3倍〜3倍であり、前記薄板に対する穴の開口率が、10〜70%であることを特徴とする請求項1又は2記載のメタルマスク用フレーム。
- 積層した複数枚の薄板における穴形成パターンが複数種類あることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項記載のメタルマスク用フレーム。
- 前記薄板がインバー材で形成されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項記載のメタルマスク用フレーム。
- 窓枠形状の薄板にエッチングで複数の穴を形成するエッチング工程と、穴を形成した複数の薄板を積層し熱拡散結合させて一体化する加圧加熱工程とを有するメタルマスク用フレームの製造方法。
- 請求項1から5のいずれか1項記載のメタルマスク用フレームと、テンションを付加された状態で前記フレームに固定されたメタルマスクとを備えたマスクユニット。
- 請求項7記載のマスクユニットを用いて、有機EL素子の有機層又はカソード電極を蒸着することを特徴とする、有機EL素子材料の蒸着方法。
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