JP2006321694A - 光ファイバ母材の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 外付け法による光ファイバ母材の製造方法において、ガラスロッドの割れを防止することが可能な製造方法の提供。
【解決手段】 光ファイバのコアまたはコアとクラッドの一部となるガラスロッドに、該ガラスロッド上の所定の開始位置から所定の終了位置まで、一定量の燃焼ガス流量としたバーナーをガラスロッド長手方向に沿って一定の速度で移動させる通常条件でガラスロッド表面に火炎研磨を施した後、該ガラスロッドにクラッドとなる石英系ガラス微粒子を堆積させて光ファイバ母材を得る際に、前記ガラスロッド表面に火炎研磨を施す工程が、火炎研磨開始時には前記通常条件と異なる条件で開始位置を加熱した後、前記通常条件で火炎研磨を開始し、火炎研磨終了時には前記通常条件と異なる条件で終了位置を加熱した後に火炎研磨を終了させることにより行われる光ファイバ母材の製造方法。
【選択図】 図1
【解決手段】 光ファイバのコアまたはコアとクラッドの一部となるガラスロッドに、該ガラスロッド上の所定の開始位置から所定の終了位置まで、一定量の燃焼ガス流量としたバーナーをガラスロッド長手方向に沿って一定の速度で移動させる通常条件でガラスロッド表面に火炎研磨を施した後、該ガラスロッドにクラッドとなる石英系ガラス微粒子を堆積させて光ファイバ母材を得る際に、前記ガラスロッド表面に火炎研磨を施す工程が、火炎研磨開始時には前記通常条件と異なる条件で開始位置を加熱した後、前記通常条件で火炎研磨を開始し、火炎研磨終了時には前記通常条件と異なる条件で終了位置を加熱した後に火炎研磨を終了させることにより行われる光ファイバ母材の製造方法。
【選択図】 図1
Description
本発明は、外付け法による光ファイバ母材の製造方法に関し、特に、ガラスロッドに火炎研磨を行った後の開始位置と終了位置での歪によるガラスロッドの割れを防止するための技術に関する。
外付け法とは、光ファイバのコアまたはコアとクラッドの一部となるガラスロッドにクラッドとなる石英系ガラス微粒子を堆積させて光ファイバ母材を製造する方法である。この外付け法による光ファイバ母材の製造方法において、通常は、ガラスロッドを母材製造装置にセットし、石英ガラス微粒子の堆積を開始する前に、該ガラスロッドの表面の傷や異物を除去するため、火炎研磨を行っている。
従来、光ファイバ母材の製造において、火炎研磨に関する技術としては、例えば特許文献1〜4に開示された従来技術が提案されている。
特許文献1及び特許文献2に開示された従来技術では、石英系ガラス微粒子堆積開始前に火炎研磨を施す例が記載されている。
また火炎研磨には、ガラスロッド内部の歪を除去する効果があり、外付けでの例ではないが、特許文献3及び特許文献4にも、火炎研磨により光ファイバ母材の歪を除去できることが記載されている。
特開平6−56448号公報
特開平11−71125号公報
特開2000−203861号公報
特開2000−319031号公報
特許文献1及び特許文献2に開示された従来技術では、石英系ガラス微粒子堆積開始前に火炎研磨を施す例が記載されている。
また火炎研磨には、ガラスロッド内部の歪を除去する効果があり、外付けでの例ではないが、特許文献3及び特許文献4にも、火炎研磨により光ファイバ母材の歪を除去できることが記載されている。
しかしながら、従来の方法で光ファイバ母材に火炎研磨を施すと、ガラス微粒子の堆積中や外付け終了後の焼結炉への搬送中に、スート内でガラスロッドに折れを生じる可能性があった。特に近年は母材の大型化によりコア母材となるガラスロッドの径も太くなっているが、それに合わせてガラスロッド折れの頻度も増加する傾向が見られた。本発明者らがガラスロッドの折れた位置を調査した結果、ガラスロッドが折れた位置は火炎研磨の開始位置又は終了位置であることが殆どであった。
さらに、火炎研磨終了後であってガラス微粒子の堆積が始まる前のガラスロッドの歪をストレインビューアで見たところ、定常部での歪は小さかったが、火炎研磨の開始位置と終了位置ではガラスロッド内に大きな歪が残っていた。開始位置と終了位置のどちらにおいても、ガラスロッド表面と内部の間で歪となっており、そのことから火炎研磨の際に開始位置と終了位置ではガラスロッドが中心まで溶融状態になっていないことが予想された。また、ガラスロッドの太径化に伴う割れ増加の原因は、太径化によりガラスロッド内に歪が残留しやすくなっていたためと考えられた。
本発明は前記事情に鑑みてなされ、外付け法による光ファイバ母材の製造方法において、ガラスロッドの割れを防止することが可能な製造方法の提供を目的とする。
前記目的を達成するため、本発明は、光ファイバのコアまたはコアとクラッドの一部となるガラスロッドに、該ガラスロッド上の所定の開始位置から所定の終了位置まで、一定量の燃焼ガス流量としたバーナーをガラスロッド長手方向に沿って一定の速度で移動させる通常条件でガラスロッド表面に火炎研磨を施した後、該ガラスロッドにクラッドとなる石英系ガラス微粒子を堆積させて光ファイバ母材を得る光ファイバ母材の製造方法であって、前記ガラスロッド表面に火炎研磨を施す工程が、火炎研磨開始時には前記通常条件と異なる条件で開始位置を加熱した後、前記通常条件で火炎研磨を開始し、火炎研磨終了時には前記通常条件と異なる条件で終了位置を加熱した後に火炎研磨を終了させることにより行われることを特徴とする光ファイバ母材の製造方法を提供する。
本発明の光ファイバ母材の製造方法において、火炎研磨開始位置と終了位置の少なくとも一方では、燃焼ガス流量を一定にしたままバーナー移動を停止させることが好ましい。
この製造方法において、バーナー停止時間が、10秒〜5分の範囲であることが好ましい。
この製造方法において、バーナー停止時間が、10秒〜5分の範囲であることが好ましい。
本発明の光ファイバ母材の製造方法において、火炎研磨開始位置と終了位置の少なくとも一方では、燃焼ガス流量を一定にしたままバーナー移動を通常速度より下げることが好ましい。
この製造方法において、バーナー移動速度が、通常条件での移動速度の1/10〜2/3の範囲であることが好ましい。
この製造方法において、バーナー移動速度が、通常条件での移動速度の1/10〜2/3の範囲であることが好ましい。
本発明の光ファイバ母材の製造方法において、火炎研磨開始位置と終了位置の少なくとも一方では、バーナー移動速度を一定にしたまま燃焼ガス流量を増加させることが好ましい。
この製造方法において、燃焼ガス流量が、可燃性ガス・助燃性ガスともに通常条件での流量の1.5倍〜3倍の範囲であることが好ましい。
この製造方法において、燃焼ガス流量が、可燃性ガス・助燃性ガスともに通常条件での流量の1.5倍〜3倍の範囲であることが好ましい。
本発明の光ファイバ母材の製造方法において、火炎研磨開始位置と終了位置の少なくとも一方では、バーナーを停止させ、且つ燃焼ガス流量を増加させることが好ましい。
前記製造方法において、バーナー停止時間が、10秒〜5分の範囲であり、且つ燃焼ガス流量が、可燃性ガス・助燃性ガスともに通常条件での流量の1.5倍〜3倍の範囲であることが好ましい。
前記製造方法において、バーナー停止時間が、10秒〜5分の範囲であり、且つ燃焼ガス流量が、可燃性ガス・助燃性ガスともに通常条件での流量の1.5倍〜3倍の範囲であることが好ましい。
本発明の光ファイバ母材の製造方法において、火炎研磨開始位置と終了位置の少なくとも一方では、バーナー移動速度を減少させ、且つ燃焼ガス流量を増加させることが好ましい。
前記製造方法において、バーナー移動速度が、通常条件での移動速度の1/5〜3/4の範囲であり、且つ燃焼ガス流量が、可燃性ガス・助燃性ガスともに通常条件での流量の1.5倍〜3倍の範囲であることが好ましい。
前記製造方法において、バーナー移動速度が、通常条件での移動速度の1/5〜3/4の範囲であり、且つ燃焼ガス流量が、可燃性ガス・助燃性ガスともに通常条件での流量の1.5倍〜3倍の範囲であることが好ましい。
本発明の光ファイバ母材の製造方法において、火炎研磨開始位置と終了位置の少なくとも一方では、複数のバーナーを使用することが好ましい。
前記製造方法において、バーナー本数は2本または3本であることが好ましい。
前記製造方法において、バーナー本数は2本または3本であることが好ましい。
本発明の光ファイバ母材の製造方法において、火炎研磨後の開始位置と終了位置の少なくとも一方の残留応力が100kPa以下であることが好ましい。
本発明の光ファイバ母材の製造方法によれば、外付け法による光ファイバ母材の製造方法において、ガラスロッドの割れを防止することができる。
以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。
図1は、本発明の光ファイバ母材の製造方法において、ガラスロッドに火炎研磨を施す工程を説明する構成図である。この火炎研磨工程では、ガラスロッド1を2つのチャック2,3間に回転可能に取り付け、該ガラスロッド1に、バーナー4を固定しガラスロッド1の長手方向に沿って移動可能なバーナー固定台5が設けられ、そのバーナー4から噴出した火炎6(酸水素火炎)をガラスロッド1に当て、ガラスロッド1の開始位置から終了位置まで火炎研磨を施すように構成されている。
図1は、本発明の光ファイバ母材の製造方法において、ガラスロッドに火炎研磨を施す工程を説明する構成図である。この火炎研磨工程では、ガラスロッド1を2つのチャック2,3間に回転可能に取り付け、該ガラスロッド1に、バーナー4を固定しガラスロッド1の長手方向に沿って移動可能なバーナー固定台5が設けられ、そのバーナー4から噴出した火炎6(酸水素火炎)をガラスロッド1に当て、ガラスロッド1の開始位置から終了位置まで火炎研磨を施すように構成されている。
この火炎研磨工程において用いる処理装置は、火炎研磨工程のみを行うための処理装置でもよいが、好ましくは火炎研磨工程の後、そのガラスロッド1の表面に、クラッドとなる石英系ガラス微粒子を堆積させるシリカガラス微粒子堆積工程を行うことができるような外付け装置(光ファイバ母材製造装置)を用いることが望ましい。図1においては、外付け装置のチャンバー、排気口、火炎研磨バーナー移動機構、シリカガラス微粒子用のバーナー(ここでは火炎研磨用バーナーと別のバーナー)等のシリカガラス微粒子堆積工程のための装置は省略してある。
ここで用いられるガラスロッド1は、製造する光ファイバのコアまたはコアとクラッドの一部となるガラスからなり、例えばGeO2を添加したシリカ(SiO2)ガラスからなる円柱状ガラスロッドが用いられる。ガラスロッド1の直径及び長さは、作製する光ファイバ母材の種類やシリカガラス微粒子堆積量などにより適宜変更可能であり、特に限定されない。
前記バーナ4には、水素供給源と酸素供給源とが接続され、それぞれの供給源から所定量の水素ガスと酸素ガスとがバーナ4に供給され、その先端から火炎6を噴出するようになっている。これらの水素ガス及び酸素ガスの供給量は、図示していない流量調節手段によって調節できるようになっている。
前記バーナ固定台5は、図示していない移動手段によって、回転駆動するチャック2,3に取り付けたガラスロッド1の長手方向に沿って所定速度で移動可能に設けられている。
通常の方法において光ファイバ母材を製造するには、図1に示すように、光ファイバのコアまたはコアとクラッドの一部となるガラスロッド1に、該ガラスロッド1上の所定の開始位置から所定の終了位置まで、一定量の燃焼ガス流量としたバーナー4をガラスロッド長手方向に沿って一定の速度で移動させる通常条件でガラスロッド表面に火炎研磨を施した後、該ガラスロッドにクラッドとなる石英系ガラス微粒子を堆積させて光ファイバ母材を得る。
本発明の光ファイバ母材の製造方法では、ガラスロッド1の火炎研磨工程に際し、次の(A)及び(B)を実施することを特徴としている。
(A)火炎研磨の開始の際は、開始位置での火炎研磨条件を変えて、ガラスロッド1が中心まで溶融状態になるまで十分に加熱し、その後に通常条件での火炎研磨を開始させる。
(B)火炎研磨の終了の際は、終了位置での火炎研磨条件を変えて、ガラスロッド1が中心まで溶融状態になるまで十分に加熱し、その後に火炎研磨を終了させるために燃焼ガスを停止又は減少させる。
これらのバーナー動作を行うことによって、火炎研磨の開始位置と終了位置でガラスロッド1の表面と中心との間に歪が残らないようになる。
(A)火炎研磨の開始の際は、開始位置での火炎研磨条件を変えて、ガラスロッド1が中心まで溶融状態になるまで十分に加熱し、その後に通常条件での火炎研磨を開始させる。
(B)火炎研磨の終了の際は、終了位置での火炎研磨条件を変えて、ガラスロッド1が中心まで溶融状態になるまで十分に加熱し、その後に火炎研磨を終了させるために燃焼ガスを停止又は減少させる。
これらのバーナー動作を行うことによって、火炎研磨の開始位置と終了位置でガラスロッド1の表面と中心との間に歪が残らないようになる。
火炎研磨開始位置、終了位置でガラスロッド中心まで溶融状体にさせる具体的な方法としては、次の(1)〜(6)が挙げられる。
(1)燃焼ガス流量を一定にしたままバーナー移動を停止させる。
(2)燃焼ガス流量を一定にしたままバーナー移動速度を通常速度より下げる。
(3)バーナー移動速度を一定にしたまま燃焼ガス流量を増加させる。
(4)バーナー移動を停止させ、且つ燃焼ガス流量を増加させる。
(5)バーナー移動速度を減少させ、且つ燃焼ガス流量を増加させる。
(6)複数のバーナーを使用する。
(1)燃焼ガス流量を一定にしたままバーナー移動を停止させる。
(2)燃焼ガス流量を一定にしたままバーナー移動速度を通常速度より下げる。
(3)バーナー移動速度を一定にしたまま燃焼ガス流量を増加させる。
(4)バーナー移動を停止させ、且つ燃焼ガス流量を増加させる。
(5)バーナー移動速度を減少させ、且つ燃焼ガス流量を増加させる。
(6)複数のバーナーを使用する。
前記(1)〜(6)の各方法において、ガラスロッド1に歪を残留させない条件としては、次の範囲が望ましい。
(1’)(1)において、バーナー移動停止時間を10秒〜5分とする。
(2’)(2)において、バーナー移動速度を通常移動速度の1/10〜2/3の速度とする。
(3’)(3)において、可燃性ガス・助燃性ガスともに通常流量の1.5倍〜3倍とする。
(4’)(4)において、バーナー移動停止時間を10秒〜3分とし、かつ可燃性ガス・助燃性ガスともに通常流量の1.5倍〜3倍とする。
(5’)(5)において、バーナー移動速度を通常移動速度の1/5〜3/4の速度とし、かつ可燃性ガス・助燃性ガスともに通常流量の1.5倍〜3倍とする。
(6’)(6)において、バーナーの本数を2本又は3本とする。
(1’)(1)において、バーナー移動停止時間を10秒〜5分とする。
(2’)(2)において、バーナー移動速度を通常移動速度の1/10〜2/3の速度とする。
(3’)(3)において、可燃性ガス・助燃性ガスともに通常流量の1.5倍〜3倍とする。
(4’)(4)において、バーナー移動停止時間を10秒〜3分とし、かつ可燃性ガス・助燃性ガスともに通常流量の1.5倍〜3倍とする。
(5’)(5)において、バーナー移動速度を通常移動速度の1/5〜3/4の速度とし、かつ可燃性ガス・助燃性ガスともに通常流量の1.5倍〜3倍とする。
(6’)(6)において、バーナーの本数を2本又は3本とする。
より最適な停止時間、バーナー移動速度、ガス流量、バーナー本数などの条件は、ガラスロッド直径、使用するバーナーの構造、バーナー本数、燃焼ガスの流量などによって異なるので、種々の条件での火炎研磨後の歪を観察する実験を行い、最適な条件を決めればよい。
外付け装置にターゲットとなるガラスロッド(φ30mm、全長2000mm)を把持し(図1参照)、表1に示す種々の条件(各条件10回ずつ)で火炎研磨を行った後、スートの堆積(デポジション)は行わずにガラスロッドが30℃になるまで放置し、ガラスロッド折れ(クラックも含む)の有無を調査した。
表1において、通常条件は次の通りとした。
・開始位置…バーナー移動が停止状態で水素と酸素の流量が火炎研磨用の流量に到達した1秒後、火炎研磨用の移動速度で移動を開始する。バーナー本数は1本。
・終了位置…火炎研磨用の移動速度から1秒以内に停止状態にさせ、1秒後に水素酸素の減少を開始させて火炎を消火する。バーナー本数は1本。
・火炎研磨用ガス流量…水素200SLM、酸素100SLM。
・火炎研磨用バーナー移動速度…100mm/分。
・開始位置…バーナー移動が停止状態で水素と酸素の流量が火炎研磨用の流量に到達した1秒後、火炎研磨用の移動速度で移動を開始する。バーナー本数は1本。
・終了位置…火炎研磨用の移動速度から1秒以内に停止状態にさせ、1秒後に水素酸素の減少を開始させて火炎を消火する。バーナー本数は1本。
・火炎研磨用ガス流量…水素200SLM、酸素100SLM。
・火炎研磨用バーナー移動速度…100mm/分。
表1の結果から、実験番号9の通常条件での火炎研磨(比較例)では、10回のうちガラスロッドの折れが4回発生し、また開始位置、終了位置での残留応力が130〜250kPaと高くなった。
また、火炎研磨の開始位置、終了位置のいずれか一方の火炎研磨条件を通常条件と変えた実験番号2及び3(比較例)では、火炎研磨条件を通常条件と変えた一方の位置での残留応力が30kPa以下と低くなったが、通常条件とした他方の位置では残留応力が100kPa以上と高くなり、10回のうちガラスロッドの折れが2〜3回発生した。
また、火炎研磨の開始位置、終了位置のいずれか一方の火炎研磨条件を通常条件と変えた実験番号2及び3(比較例)では、火炎研磨条件を通常条件と変えた一方の位置での残留応力が30kPa以下と低くなったが、通常条件とした他方の位置では残留応力が100kPa以上と高くなり、10回のうちガラスロッドの折れが2〜3回発生した。
一方、火炎研磨の開始位置、終了位置の両方の火炎研磨条件を通常条件と変えた実験番号1、4〜8(実施例)では、開始位置、終了位置のりょうほうとも残留応力が100kPa以下と低くなり、これらについては10回の実験でガラスロッドの折れが生じなかった。
1…ガラスロッド、2,3…チャック、4…バーナー、5…バーナー固定台、6…火炎。
Claims (14)
- 光ファイバのコアまたはコアとクラッドの一部となるガラスロッドに、該ガラスロッド上の所定の開始位置から所定の終了位置まで、一定量の燃焼ガス流量としたバーナーをガラスロッド長手方向に沿って一定の速度で移動させる通常条件でガラスロッド表面に火炎研磨を施した後、該ガラスロッドにクラッドとなる石英系ガラス微粒子を堆積させて光ファイバ母材を得る光ファイバ母材の製造方法であって、
前記ガラスロッド表面に火炎研磨を施す工程が、火炎研磨開始時には前記通常条件と異なる条件で開始位置を加熱した後、前記通常条件で火炎研磨を開始し、火炎研磨終了時には前記通常条件と異なる条件で終了位置を加熱した後に火炎研磨を終了させることにより行われることを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。 - 火炎研磨開始位置と終了位置の少なくとも一方では、燃焼ガス流量を一定にしたままバーナー移動を停止させることを特徴とする請求項1に記載の光ファイバ母材の製造方法。
- バーナー停止時間が、10秒〜5分の範囲であることを特徴とする請求項2に記載の光ファイバ母材の製造方法。
- 火炎研磨開始位置と終了位置の少なくとも一方では、燃焼ガス流量を一定にしたままバーナー移動を通常速度より下げることを特徴とする請求項1に記載の光ファイバ母材の製造方法。
- バーナー移動速度が、通常条件での移動速度の1/10〜2/3の範囲であることを特徴とする請求項4に記載の光ファイバ母材の製造方法。
- 火炎研磨開始位置と終了位置の少なくとも一方では、バーナー移動速度を一定にしたまま燃焼ガス流量を増加させることを特徴とする請求項1に記載の光ファイバ母材の製造方法。
- 燃焼ガス流量が、可燃性ガス・助燃性ガスともに通常条件での流量の1.5倍〜3倍の範囲であることを特徴とする請求項6に記載の光ファイバ母材の製造方法。
- 火炎研磨開始位置と終了位置の少なくとも一方では、バーナーを停止させ、且つ燃焼ガス流量を増加させることを特徴とする請求項1に記載の光ファイバ母材の製造方法。
- バーナー停止時間が、10秒〜5分の範囲であり、且つ燃焼ガス流量が、可燃性ガス・助燃性ガスともに通常条件での流量の1.5倍〜3倍の範囲であることを特徴とする請求項8に記載の光ファイバ母材の製造方法。
- 火炎研磨開始位置と終了位置の少なくとも一方では、バーナー移動速度を減少させ、且つ燃焼ガス流量を増加させることを特徴とする請求項1に記載の光ファイバ母材の製造方法。
- バーナー移動速度が、通常条件での移動速度の1/5〜3/4の範囲であり、且つ燃焼ガス流量が、可燃性ガス・助燃性ガスともに通常条件での流量の1.5倍〜3倍の範囲であることを特徴とする請求項10に記載の光ファイバ母材の製造方法。
- 火炎研磨開始位置と終了位置の少なくとも一方では、複数のバーナーを使用することを特徴とする請求項1〜11のいずれかに記載の光ファイバ母材の製造方法。
- バーナー本数が2本または3本であることを特徴とする請求項12に記載の光ファイバ母材の製造方法。
- 火炎研磨後の開始位置と終了位置の少なくとも一方の残留応力が100kPa以下であることを特徴とする請求項1〜13のいずれかに記載の光ファイバ母材光ファイバ母材の製造方法。
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