JP2006321099A - スタンパの搬送方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 スタンパに折れや皺を発生させずに搬送するスタンパの搬送方法を提供する。
【解決手段】 ロボットアーム３８は、本体６１と、この本体６１に対して回転自在なアーム部６２と、アーム部６２の先端に取り付けられた吸着部６３とを備えている。吸着部６３は、スタンパ５２の外形に倣って枠形状にされており、下面６３ａには、微小孔６４が多数形成されている。また、吸着部６３の上面には、吸着部６３内の空気を吸引するための吸引パイプ６５が設けられている。このため、ポンプによって、吸着部６３内の空気を吸引すると、スタンパ５２が下面６３ａに真空吸着される。また、吸着部６３は、スタンパ５２の外周の端部を吸着するので、折れや皺を発生させずにスタンパ５２を搬送することができる。
【選択図】 図６

Description

本発明は、表面に凹凸部が形成された機能性シート、及び光メモリを製造する際に、製造ライン内で凹凸部を形成するためのスタンパを搬送するスタンパの搬送方法に関する。

近年、樹脂製のコア層と、このコア層の上下に積層された樹脂製のクラッド層とからなり、コア層とクラッド層との一方の界面に再生像を得るための情報を含む情報用凹凸部を形成したスラブ型の光導波路を、１個又は複数個積層させた光メモリ（情報記録媒体）が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

このような光メモリは、例えば、図１４に示すように、コア層１０１とクラッド層１０２とが交互に積層されており、光メモリに記録された情報を読み出す際には、光メモリ１００の側部に形成された光導入面１０３に対して、シリンドリカルレンズ１０４によって縦幅約５μｍに絞った光（例えばレーザ光）を入射させ、所望のコア層１０１に光を導入する。コア層１０１に導入された光は、コア層１０１とクラッド層１０２との界面に形成された情報用凹凸部で回折しながら伝播する。この時、情報用凹凸部で回折された回折光（再生光）は、導波面に対して直交方向（上下方向）に伝播し、光メモリ１００内の積層体の上部を透過し、最終的に、同位相の回折光は干渉し合い、イメージセンサ１０５の表面に再生像を形成する。

この再生像は、イメージセンサ１０５によって受光される。そして、この再生像を画像補正し、デジタル信号化することで、凹凸パターンによって光メモリに記録された元の情報が復元される。

また、コア層とクラッド層との界面に情報用凹凸部を形成する場合、コア層またはクラッド層を形成する時に、紫外線硬化樹脂を塗布して塗布膜を形成した後、情報用凹凸部に対応する凹凸パターンが形成されたスタンパを塗布膜上にラミネートし、紫外線を照射して硬化させた後、このスタンパを剥離することによって情報用凹凸部を形成する。また、このようなスタンパは、塗布膜から剥離された後も繰り返し使用される。

また、スタンパを塗布膜上にラミネートする時に、空気が入らないようにする必要があり、フレキシブルなシートであるスタンパの裏面をローラで加圧しながら、スタンパの一方の端部から他方の端部に移動させてラミネートする。
特開２００２−１２０２８６号公報

しかしながら、前述したように、スタンパはフレキシブルなシートであり、製造ライン内でスタンパを搬送する時に、スタンパに折れや皺が発生して変形し、スタンパを繰り返し使用することができないという問題があった。

本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、スタンパに折れや皺を発生させずに搬送可能なスタンパの搬送方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明のスタンパの搬送方法は、フレキシブルな透明シートの表面に凹凸パターンが形成されたスタンパを液体樹脂の塗布膜上にラミネートし、前記塗布膜を硬化させた後に前記スタンパを剥離することによって、表面に凹凸部が形成された機能性シートを製造する時に、前記機能性シートの製造ライン内で前記スタンパを搬送するスタンパの搬送方法であり、前記スタンパの外形に倣って枠形状にされた吸着部を有する搬送装置を用い、前記吸着部によって前記スタンパの外周部を均一に吸着させた状態で、前記吸着部を移動させて前記スタンパを搬送することを特徴とするものである。

また、本発明のスタンパの搬送方法は、樹脂製のコア層と、樹脂製のクラッド層とが交互に積層され、前記コア層または前記クラッド層を形成する時に、フレキシブルな透明シートの表面に凹凸パターンが形成されたスタンパを液体樹脂の塗布膜上にラミネートし、前記塗布膜を硬化させた後に、前記スタンパを剥離することにより、前記コア層または前記クラッド層の一方の界面に情報再生用の凹凸部が形成された光メモリを製造する時に、前記光メモリの製造ライン内で前記スタンパを搬送するスタンパの搬送方法であり、前記スタンパの外形に倣って枠形状にされた吸着部を有する搬送装置を用い、前記吸着部によって前記スタンパの外周部を均一に吸着させた状態で、前記吸着部を移動させて前記スタンパを搬送することを特徴とするものである。

さらに、前記吸着部は、微小孔が多数形成された吸着面を有し、前記吸着部内の空気を吸引することによって、前記スタンパを前記吸着面に真空吸着させることが好ましい。

また、前記スタンパの前記凹凸パターンが形成された面を上方に向け、前記吸着部によって前記スタンパを上方から吸着させた状態で搬送することが好ましい。さらに、前記吸着部は、前記凹凸パターンよりも外周の端部を吸着することが好ましい。

また、前記スタンパを前記塗布膜にラミネートするラミネート装置は、前記スタンパを所定位置で保持する第１の保持手段を備え、前記スタンパを前記所定位置にセットする時に、前記スタンパが吸着された前記吸着部を前記所定位置の近傍に移動させ、前記第１の保持手段によって前記スタンパが前記所定位置で保持された後、前記吸着部の吸引を停止することが好ましい。

さらに、前記スタンパを収納するスタンパストッカは、前記スタンパを所定の収納位置で保持する第２の保持手段を備え、前記スタンパを前記収納位置にセットする時に、前記スタンパが吸着された前記吸着部を前記収納位置の近傍に移動させ、前記第２の保持手段によって前記スタンパが前記収納位置で保持された後、前記吸着部の吸引を停止することが好ましい。

また、前記第１及び前記第２の保持手段は、前記スタンパを真空吸着によって保持する吸着装置であることが好ましい。

本発明のスタンパの搬送方法によれば、スタンパの外形に倣って枠形状にされた吸着部によって、スタンパの外周部を均一に吸着させた状態で搬送するので、スタンパが折れや皺によって変形することを防止できる。このため、スタンパの損傷を防止して、スタンパを繰り返し使用することが可能である。

また、スタンパの凹凸パターンが形成された面を上方に向け、吸着部によって前記スタンパを上方から吸着させた状態で搬送するので、凹凸パターンを下側に向けて設置する必要がなくなり、凹凸パターンに傷が付くことを防止できる。さらに、凹凸パターンよりも外周の端部を吸着させるので、凹凸パターンに影響を与えずに搬送することができる。

また、スタンパをラミネート装置にセットする時に、所定位置に保持された後に、吸着部による吸引を停止するので、スタンパを正確に所定位置にセットすることができる。

さらに、スタンパをスタンパストッカに収納する時に、収納位置で保持された後に、吸着部による吸引を停止するので、スタンパを収納位置に確実に収納させることができる。

図１に示す積層導波路型の光メモリ（以下、光メモリと称する）１０は、２つのユニット１１が接着層１２を介して上下に貼り合わされた構成となっている。ユニット１１は、コア層１３とクラッド層１４とがフイルム１５ａ上に交互に積層されており、最上層には、フイルム１５ｂが貼着されている。

コア層１３及びクラッド層１４は、紫外線硬化樹脂で形成されており、この紫外線硬化樹脂としては、アクリル系、エポキシ系などの樹脂が適当である。コア層１３の厚さは、１．０〜１．６μｍ程度が適当であり、例えば、１．４μｍにされている。また、クラッド層１４の厚さは、７〜９μｍ程度が適当であり、例えば、８μｍにされている。なお、コア層１３の屈折率は１．５２、クラッド層１４の屈折率は１．５１にされている。

また、コア層１３とクラッド層１４との一方の界面には、情報再生用の凹凸部である情報用凹凸部１６が形成されている。この情報用凹凸部１６の高さ方向の差は、０．１μｍ程度であり、導波方向への凹凸の配列周期は、コア層１３に入射されるレーザ光の波長（６６０ｎｍ）をコア層の屈折率（１．５２）で割った値によって決定され、約４４０ｎｍである。この情報用凹凸部１６は、光メモリ１０に記録すべき情報を２次元符号化し、その符号化された情報を元に計算機によって合成されたパターン（計算機ホログラムと称される）が転写されたものである。

また、コア層１３は、前述したように、上下に積層されたクラッド層１４よりも屈折率が高くされており、１つのコア層１３と、その上下に積層された２つのクラッド層１４とにより、１つの情報再生用の光導波路１７が構成される。ただし、ユニット１１の最下層のコア層１３ａには、情報用凹凸部１６が形成されていないので、情報再生用の光導波路としては機能しない。一方、各ユニット１１の最上層に形成されたコア層１３ｂの上にはクラッド層１４が形成されていないが、その上に形成されたフイルム１５ｂがクラッド層１４と略同一の屈折率（１．５１）で形成されているため、最上層のコア層１３ｂは情報再生用の光導波路として機能する。

また、ユニット１１は、光導波路１７が一定数積層された積層体の上下をフイルム１５ａ，１５ｂで支持して構成されているが、これは、紫外線硬化樹脂であるコア層１３及びクラッド層１４のみでは、積層体にカール（反り）が発生するため、フイルム１５ａ，１５ｂによって支持してカールを防止するためである。

また、フイルム１５ａ，１５ｂは樹脂フイルムであり、ＪＳＲ社製のアートン（登録商標）等の非晶質ポリオレフィン、ポリカーボネート、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート）などによって形成されている。また、前述したように、フイルム１５ａ，１５ｂの屈折率は、クラッド層１４と略同一であり、その厚さは、１００〜２００μｍ程度にされている。

また、各ユニット１１を接着する接着層１２としては、コア層１３やクラッド層１４に用いられている紫外線硬化樹脂が用いられる。接着層１２の屈折率が、フイルム１５ａ，１５ｂの屈折率と大きく異なると、接着層１２とフイルム１５ａ，１５ｂとの界面で再生光の再生角や、回折効率が変化するため、光量やＳ／Ｎ比が低下してしまう。このため、接着層１２とフイルム１５ａ，１５ｂとの屈折率は略等しくされている。なお、接着層１２としては、紫外線硬化樹脂材などの光硬化型のものには限られず、熱硬化型、熱可塑性型などを用いることが可能であり、材質としては、アクリル系、エポキシ系、ウレタン系、オレフィン系などが挙げられる。

各ユニット１１の端部に形成された光導入面１８からコア層１３に光が導入されると、導入光は、クラッド層１４との界面で反射されながらコア層１３を伝播するとともに、一部が情報用凹凸部１６によって回折される。また、光メモリ１０を構成するコア層１３、クラッド層１４、フイルム１５ａ，１５ｂ、及び接着層１２は、情報用凹凸部１６で回折された回折光（再生光）の波長に対して透明である。

このため、各光導波路１７から上下に放出される再生光は、光メモリ１０内の各層を透過し、光メモリ１０の上面及び下面から外部へ放出される。なお、光導波路１７から上下に放出された再生光は、別の光導波路１７を横切ることになるが、コア層１３とクラッド層１４との屈折率の差が極めて小さく、さらに、情報用凹凸部１６の厚みが極めて小さいため、光路長差が極めて小さいので、この再生光が別の光導波路１７に形成された情報用凹凸部１６で再度回折されることは殆どなく（１０^-4未満）、外部に結像される再生像に対する影響は無視できる。

以下に、上記構成の光メモリ１０の製造方法について説明する。光メモリ１０は、前処理工程と、積層工程と、後処理工程との３つの工程で製造される。

前処理工程では、基板としてガラス基板２１を用意する。このガラス基板２１は、厚さが約０．５ｍｍ〜３ｍｍ程度、好ましくは約１ｍｍ程度のものを用い、その上面及び下面は凹凸がなく平坦である。なお、基板としては、ガラス基板に限らず、例えば、シリコンウェハーや、金属板や、厚みのあるポリカーボネート等の基板を用いても良い。

ガラス基板２１の表面には、スピンコータによって、硬化後の屈折率が１．５１の紫外線硬化樹脂をガラス基板２１上に塗布して、図２（Ａ）に示すように、接着層１２ａを形成する。この接着層１２ａの厚さは、約３μｍにされる。スピンコータとは、円盤上に設置した基板上に塗布液を滴下し、円盤を回転させることにより均一な厚さの塗布膜を形成する塗布装置である。

その後、接着層１２ａとフイルム１５ａとの間に気泡が入らないように、図２（Ｂ）に示すように、ローラ２２によって、一定の圧力でフイルム１５ａを加圧しながら接着層１２ａ上にフイルム１５ａをラミネートする。

フイルム１５ａを接着層１２ａ上にラミネートした後、紫外線照射装置によって、図２（Ｃ）に示すように、フイルム１５ａに向けて紫外線を照射する。この時、接着層１２ａは、ガラス基板２１とフイルム１５ａとで挟まれており、酸素の影響がないため、紫外線を照射する時に、窒素パージ等によって酸素を遮断する必要はない。また、フイルム１５ａは、紫外線に対して透過性を有しており、フイルム１５ａを透過した紫外線が接着層１２ａに照射されて硬化する。これにより、フイルム１５ａが、接着層１２ａによってガラス基板２１上に接着されて、前処理工程が終了する。

積層工程では、図３に示す積層ライン３０によって、コア層１３とクラッド層１４とを交互に積層する。この積層ライン３０は、スピンコータ３１と、紫外線照射装置３２と、スピンコータ３３と、ラミネート装置３４と、紫外線照射装置３５と、スタンパ剥離装置３６とを備えており、これらが、搬送用コンベア３７に沿って配置されている。また、積層ライン３０は、ロボットアーム３８と、スタンパストッカ３９とを備えており、これらがラミネート装置３４の近傍に配置されている。

また、積層ライン３０の入口には、停止ステージ４１ａが設けられており、出口には停止ステージ４１ｂが設けられている。停止ステージ４１ａは、基板ストッカ４２を介して、搬入用のコンベア４３が接続されており、停止ステージ４１ｂには、搬出用のコンベア４４が接続されている。また、停止ステージ４１ａと停止ステージ４１ｂとの間には、循環用コンベア４５が設けられている。また、この循環用コンベア４５の中央部には、基板ストッカ４６が配置されている。

また、スタンパ剥離装置３６には、スタンパ搬送用のコンベア５０の一端が接続されており、他端は、ロボットアーム３８の近傍に設けられた停止ステージ５１に接続されている。このコンベア５０は、スタンパ剥離装置３６から停止ステージ５１にスタンパを搬送する。なお、このコンベア５０は、スタンパの裏面側から外周端部を真空吸着させた状態で、スタンパを搬送する。

前述したように、ラミネート装置３４の近傍には、ロボットアーム３８と、スタンパストッカ３９とが配置されている。図４に示すように、スタンパストッカ３９は、スタンパ５２を収納する収納部５３を多数備えている。

このスタンパ５２は、紫外線に対して透過性を有し、かつ可撓性を有するフイルム状の樹脂材で形成されており、表面には、クラッド層１４の表面に形成する情報用凹凸部１６に対応する凹凸パターンが形成されている。なお、このスタンパ５２は、例えば、特開２００２−１２０２８６号公報に記載されているように、情報用凹凸部１６に対応する凹凸パターンが表面に刻まれたスタンパ層と、樹脂フイルムと、これらを接着する接着層とで構成すれば良い。また、凹凸パターンの高さは、０．１μｍ程度にされている。

また、多数の収納部５３には、凹凸パターンの異なるスタンパや、凹凸パターンが同一のスタンパが収納される。この収納部５３の底部には、図５に示すように、吸着装置（第２の保持手段）５４が設けられている。この吸着装置５４の上面には、スタンパ５２が吸着される吸着板５５が設けられており、背面側には、吸着装置５４内の空気を吸引するための吸引パイプ５６が設けられている。また、吸着板５５は、多数の微小孔が形成されている。このため、ポンプ（図示せず）によって、吸着装置５４内の空気を吸引することによって、吸着装置５４内の気圧が低下して、吸着板５５上に載置されたものが真空吸着される。

スタンパ５２を収納部５３に収納する場合、図５に示すように、凹凸パターン５２ａが形成された表面を上に向けた状態で、吸着板５５上に載置して吸着させる。このため、スタンパ５２は、吸着板５５上に保持されて収納部５３内での移動が防止される。

また、ロボットアーム３８は、図６に示すように、本体６１と、この本体６１に対して回転自在に取り付けられたアーム部６２と、アーム部６２の先端に取り付けられた吸着部６３とを備えている。吸着部６３は、スタンパ５２の外形に倣って枠形状にされている。本実施形態では、スタンパ５２が正方形状にされているため、吸着部６３は、正方形の枠形状にされている。また、吸着部６３の下面６３ａには、図７に示すように、微小孔６４が多数形成されている。

さらに、吸着部６３の上面には、吸着部６３内の空気を吸引するための吸引パイプ６５が設けられている。このため、ポンプ（図示せず）によって、吸着部６３内の空気を吸引することにより、スタンパ５２を下面６３ａに真空吸着させることができる。この時、吸着部６３が、スタンパ５２の外形に倣って枠形状にされているので、スタンパ５２の外周端部が真空吸着されて、スタンパ５２に折れや皺が生じることが防止できる。このため、ロボットアーム３８によって、スタンパ５２を搬送する時に、スタンパ５２が変形して劣化することを防止できる。なお、スタンパ５２を搬送する場合、図５に示すように、吸着部６３によって、スタンパ５２の表面側で凹凸パターン５２ａよりも外周の端部を吸着して搬送する。

また、ラミネート装置３４は、図８に示すように、本体（第１の保持手段）７１と、吸着盤７２とを備えて構成されている。本体７１は、略直方体形状を有する筐体であり、上面は可撓性を有するシート７１ａで形成されている。このシート７１ａは、多数の微小孔が形成されてメッシュ状にされている。さらに、本体７１の側面には、本体７１内の空気を吸引するための吸引パイプ７１ｂが設けられている。このため、ポンプ（図示せず）によって、本体７１内の空気を吸引することによって、シート７１ａ上に載置されたものを真空吸着させることができる。

また、本体７１内には、ローラ７３と、このローラ７３を回転自在に保持する保持部材７４と、この保持部材７４を移動させる移動手機構７５とが設けられている。ローラ７３は、シート７１ａの長手方向に対して直交する向きにされ、さらに、外周面がシート７１ａに対面するように配置されている。また、移動機構７５は、シート７１ａに対して垂直な方向と、シート７１ａの長手方向と平行な方向とに保持部材７５を移動させる。

吸着盤７２は、略直方体形状を有する筐体であり、吸着面７２ａには、微小孔が多数形成されている。さらに、この吸着盤７２の側面には、吸着盤７２内の空気を吸引するための吸引パイプ７２ｂが設けられている。このため、ポンプ（図示せず）によって、吸着盤７２内の空気を吸引することによって、吸着面７２ａに載置されたものが真空吸着される。

また、この吸着盤７２は、吸着面７２ａがシート７１ａに対面する対面位置（図８に示す位置）と、吸着面７２ａがシート７１ａから退避する退避位置（図９に示す位置）との間で回動自在にされている。さらに、吸着盤７２が前述の対面位置にある時に、吸着盤７２が上下方向（シート７１ａに対して垂直な方向）に移動されて、吸着面７２ａとシート７１ａとの間隔が調整される。

次に、上記構成の積層ライン３０を用いて行う積層工程について説明する。前処理工程にて、フイルム１５ａが接着されたガラス基板２１は、コンベア４３によって、基板ストッカ４２に搬送されて、この基板ストッカ４２によって、一時的に保管される。その後、ガラス基板２１は、基板ストッカ４２から停止ステージ４１ａに順次搬出され、さらに、ロボットアーム（図示せず）によって、ガラス基板２１がスピンコータ３１に移動される。

スピンコータ３１は、屈折率が１．５２の紫外線硬化樹脂であるコア材（液体コア樹脂）をフイルム１５ａ上に塗布して、図１０（Ａ）に示すように、塗布膜（コア層）１３ａを形成する。この時、塗布膜１３ａの膜厚は、１．４μｍ程度にされる。その後、ガラス基板２１は、ロボットアーム（図示せず）によって、コンベア３７に移動される。コンベア３７は、ガラス基板２１を紫外線照射装置３２に搬送する。紫外線照射装置３２は、図１０（Ｂ）に示すように、塗布膜１３ａに向けて紫外線を照射する。これにより、塗布膜１３ａが硬化されて、コア層１３ａが形成される。なお、この紫外線照射装置３２は、窒素パージ式の紫外線照射装置であり、窒素パージによって酸素を遮断した状態で塗布膜１３ａに紫外線を照射する。

その後、ガラス基板２１が、コンベア３７によって停止ステージ４７に搬送され、さらに、ロボットアーム（図示せず）によって、ガラス基板２１がスピンコータ３３に移動される。スピンコータ３３は、屈折率が１．５１である紫外線硬化樹脂であるクラッド材（液体クラッド樹脂）をコア層１３ａ上に塗布して、図１０（Ｃ）に示すように、塗布膜（クラッド層）１４を形成する。この時、クラッド層１４の膜厚は、８μｍ程度にされる。その後、ロボットアーム（図示せず）によって、ガラス基板２１が停止ステージ４８に移動され、さらに、ラミネート装置３４に移動される。

ラミネート装置３４は、塗布膜１４上にスタンパ５２をラミネートする。このスタンパ５２は、ロボットアーム３８によって、スタンパストッカ３９から搬送される。ロボットアーム３８が、スタンパストッカ３９からスタンパ５２を搬出する場合、最初に、所望のスタンパ５２が収納されている収納部５３に、吸着部６３を移動させて、図５に示すように、吸着部６３の下面６３ａをスタンパ５２の外周の端部に対面させる。

その後、ポンプ（図示せず）によって、吸着部６３内の空気を吸引してスタンパ５２を吸着させた後、収納部５３の吸着装置５４による吸引を停止する。このように、スタンパ５２が吸着部６３に吸着された後に、吸着装置５４による吸引を停止するので、スタンパ５２が変形することなく、吸着部６３に確実に吸着させることができる。その後、吸着部６３にスタンパ５２が吸着された状態でアーム部６２を移動させて、スタンパ５２をラミネート装置３４に搬送する。

スタンパ５２をラミネート装置３４にセットする場合、ロボットアーム３８は、図９に示すように、スタンパ５２が吸着された吸着部６３をラミネート装置３４のシート７１ａ上に移動させ、スタンパ５２の裏面をシート７１ａに近接させる。その後、ポンプ（図示せず）によって、本体７１内の空気を吸引することによって、シート７１ａ上にスタンパ５２を吸着させる。その後、ロボットアーム３８の吸着部６３による吸引を停止する。このように、スタンパ５２がシート７１ａ上に吸着された後に、吸着６３による吸引を停止するので、スタンパ５２の変形や位置ずれの発生を防止することができるので、スタンパ５２をシート７１ａ上の所定位置に確実にセットすることができる。その後、ロボットアーム３８は、ラミネート装置３４から退避する。

また、ガラス基板２１は、吸着盤３２の所定位置にセットされて真空吸着される。スタンパ５２を塗布膜１４上にラミネートする場合、図１１に示すように、吸着盤３２を回動させて、塗布膜１４とスタンパ５２と対面させる。その後、ローラ７３によってシート７１ａを介してスタンパ５２を一定の圧力で押圧しながら、ローラ７３を左右方向に移動させることにより、塗布膜１４上にスタンパ５２をラミネートする。また、塗布膜１４の膜厚が変動しないように、ローラ７３によってスタンパ５２の裏面へ与える圧力を一定に保ちながらラミネートを行う。

その後、ガラス基板２１は、クラッド層１４上にスタンパ５２がラミネートされたまま、ロボットアーム（図示せず）によって、停止ステージ４９に移動され、さらに、コンベア３７によって紫外線照射装置３５に搬送される。紫外線照射装置３５は、図１２（Ａ）に示すように、スタンパ５２の裏面側から紫外線を照射する。スタンパ５２は紫外線を透過させるので、紫外線が塗布膜１４に照射されて硬化する。なお、塗布膜１４は、コア層１３ａとスタンパ５２との間で挟まれており、酸素の影響を受けないので、紫外線を照射する時に、窒素パージ等によって酸素を遮断する必要はない。

その後、ガラス基板２１は、コンベア３７によってスタンパ剥離装置３６に搬送され、スタンパ５２が塗布膜１４から剥離されて、図１２（Ｂ）に示すように、クラッド層１４が形成される。このクラッド層１４の表面には、スタンパ５２の凹凸パターン５２ａが転写されて情報用凹凸部１６が形成される。この情報用凹凸部１６の高さは、０．１μｍ程度にされている。

以上の工程によって、コア層１３とクラッド層１４とが積層されて、１回の積層工程が終了する。その後、スタンパ５２が剥離されたガラス基板３１は、停止ステージ４１ｂに搬送され、循環用コンベア４５によって、基板ストッカ４６に搬送されて、ガラス基板２１が一時的に保管される。

その後、ガラス基板２１が、循環用コンベア４５によって、基板ストッカ４６から停止ステージ４１ａに順次搬送される。その後、前述と同様の積層工程が繰り返し行われて、図１２（Ｃ）に示すように、光導波路１７が複数積層される。その後、ガラス基板２１は、コンベア４４によって搬出される。

また、スタンパ剥離装置３６によって剥離されたスタンパ５２は、スタンパ搬送用のコンベア５０によって停止ステージ５１に搬送される。この時、スタンパ５２は、凹凸パターン５２ａが形成された面を上方に向けた状態でコンベア５０上に設置されて搬送される。このため、凹凸パターン５２ａに傷が付くことを防止できる。

このスタンパ５２を繰り返して使用する場合、ロボットアーム３８によって、再びラミネート装置３４に搬送される。また、スタンパストッカ３９に、同じ凹凸パターン形状のスタンパ５２が収納されている場合、スタンパ剥離装置３６からスタンパ５２が戻ってくるのを待たずに、ロボットアーム３８によって、スタンパストッカ３９から同じ凹凸パターンを有するスタンパ５２をラミネート装置３４に搬送しても良い。この場合、光メモリの製造効率を向上させることができる。

また、スタンパ５２を変更する場合、ロボットアーム３８によって、スタンパストッカ３９からラミネート装置３４に、凹凸パターンの異なるスタンパを搬送する。また、コンベア５０によって、変更前のスタンパ５２が停止ステージ５１に搬送された時に、ロボットアーム３８が、このスタンパ５２を対応する収納部５３に搬送する。この時、ロボットアーム３８は、スタンパ５２が収納部５３の吸着装置５４に吸着された後、吸着部６３による吸引を停止する。

次に、後処理工程について説明する。後処理工程では、最初に、クラッド層１４上に、コア材を塗布して塗布膜１３ｂを形成する。この塗布膜１３ｂ上には、前述のフイルム１５ａと同様のフイルム１５ｂがラミネートされる。このフイルム１５ｂには、図１３（Ａ）に示すように紫外線が照射され、塗布膜１３ｂが硬化してコア層１３ｂが形成される。フイルム１５ｂは、コア層１３ｂによって接着される。このフイルム１５ｂ上には、硬化後の屈折率が１．５１である紫外線硬化樹脂が塗布されて接着層１２ｂが形成され、さらに、図１３（Ｂ）に示すように、紫外線が照射されて接着層１２ｂが硬化される。これにより、ユニット１１が作製される。

その後、図１３（Ｃ）に示すように、ユニット１１がガラス基板２１から剥離され、さらに、ユニット１１の側端部（４面）が切断される。なお、この切断は、ダイシング加工によって行う。これは、レーザ光（入射光）が、所望のコア層１３に確実に入射されるように、光導入面１８の平面粗さを小さくするためである。その後、２つのユニット１１を積重して、加圧及び加熱を施すことにより、接着層１２を介して互いのユニット１１が接着され、図１に示す光メモリ１０が完成する。

前述したように、スタンパを搬送する時に、ロボットアームの吸着部によって、スタンパの外周を真空吸着させて移動させるので、フレキシブルなシート状のスタンパに折れや皺が発生して、スタンパが変形することを防止できる。

また、スタンパをスタンパストッカの収納位置にセットする時や、ラミネート装置の所定位置にセットする時に、収納位置または所定位置に吸着させた後に、ロボットアームの吸着部による吸引を停止するので、スタンパを収納位置または所定位置に確実に保持させることができる。

なお、上記実施形態において、各ユニット１１が３層の光導波路１７で構成される場合を例に説明したが、光導波路１７の積層数は３層に限るものではなく、例えば、１層や２層でも良いし、４層以上でも良い。２０層積層した場合、ユニット１１の厚さは、０．４ｍｍ程度となる。

また、上記実施形態において、吸着部を正方形の枠形状にする場合を例に説明したが、これに限るものではなく、スタンパの外形に沿うように枠形状にされていれば良く、例えば、スタンパが円形の場合には、吸着部を円形の枠形状にすれば良い。

さらに、上記実施形態において、スタンパストッカの収納部、及びラミネート装置のシート７１ａに、スタンパ５２が真空吸着される場合を例に説明したが、これに限るものではなく、スタンパ５２の端部を保持部材で保持しても良い。

また、上記実施形態において、光メモリを製造する際に、光メモリの製造ライン内でスタンパ５２を搬送する場合を例に説明したが、これに限るものではなく、表面に凹凸部が形成された機能性シート（例えば、電子ディスプレイ材料等）を製造する時に用いられるスタンパの搬送に本発明を適用しても良い。

光メモリの構成を示す断面図である。 光メモリの製造方法（前処理工程）を示す断面図である。 積層ラインの構成を示す概略図である。 スタンパストッカの構成を示す斜視図である。 収納部の構成を示す断面図である。 ロボットアームの構成を示す斜視図である。 ロボットアームの吸着部の構成を示す平面図である。 ラミネート装置の構成を示す側面概略図である。 ラミネート装置の側面概略図であり、スタンパのセット位置を示している。 光メモリの製造方法（積層工程）を示す断面図である。 ラミネート装置の作用を示す側面概略図である。 光メモリの製造方法（積層工程）を示す断面図である。 光メモリの製造方法（後処理工程）を示す断面図である。 従来の光メモリとその動作原理を説明する斜視図である。

符号の説明

１０ 光メモリ
１３ コア層
１４ クラッド層
１６ 情報用凹凸部
１７ 光導波路
２１ ガラス基板
３０ 積層ライン
３４ ラミネート装置
３８ ロボットアーム
３９ スタンパストッカ
５２ スタンパ
５３ 収納部
５４ 吸着装置
６３ 吸着部
７１ 本体
７２ 吸着盤

Claims (8)

1. フレキシブルな透明シートの表面に凹凸パターンが形成されたスタンパを液体樹脂の塗布膜上にラミネートし、前記塗布膜を硬化させた後に前記スタンパを剥離することによって、表面に凹凸部が形成された機能性シートを製造する時に、前記機能性シートの製造ライン内で前記スタンパを搬送するスタンパの搬送方法において、
   前記スタンパの外形に倣って枠形状にされた吸着部を有する搬送装置を用い、前記吸着部によって前記スタンパの外周部を均一に吸着させた状態で、前記吸着部を移動させて前記スタンパを搬送することを特徴とするスタンパの搬送方法。
2. 樹脂製のコア層と、樹脂製のクラッド層とが交互に積層され、前記コア層または前記クラッド層を形成する時に、フレキシブルな透明シートの表面に凹凸パターンが形成されたスタンパを液体樹脂の塗布膜上にラミネートし、前記塗布膜を硬化させた後に、前記スタンパを剥離することにより、前記コア層または前記クラッド層の一方の界面に情報再生用の凹凸部が形成された光メモリを製造する時に、前記光メモリの製造ライン内で前記スタンパを搬送するスタンパの搬送方法において、
   前記スタンパの外形に倣って枠形状にされた吸着部を有する搬送装置を用い、前記吸着部によって前記スタンパの外周部を均一に吸着させた状態で、前記吸着部を移動させて前記スタンパを搬送することを特徴とするスタンパの搬送方法。
3. 前記吸着部は、微小孔が多数形成された吸着面を有し、前記吸着部内の空気を吸引することによって、前記スタンパを前記吸着面に真空吸着させることを特徴とする請求項１または請求項２記載のスタンパの搬送方法。
4. 前記スタンパの前記凹凸パターンが形成された面を上方に向け、前記吸着部によって前記スタンパを上方から吸着させた状態で搬送することを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか記載のスタンパの搬送方法。
5. 前記吸着部は、前記凹凸パターンよりも外周の端部を吸着することを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか記載のスタンパの搬送方法。
6. 前記スタンパを前記塗布膜にラミネートするラミネート装置は、前記スタンパを所定位置で保持する第１の保持手段を備え、前記スタンパを前記所定位置にセットする時に、前記スタンパが吸着された前記吸着部を前記所定位置の近傍に移動させ、前記第１の保持手段によって前記スタンパが前記所定位置で保持された後、前記吸着部の吸引を停止することを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか記載のスタンパの搬送方法。
7. 前記スタンパを収納するスタンパストッカは、前記スタンパを所定の収納位置で保持する第２の保持手段を備え、前記スタンパを前記収納位置にセットする時に、前記スタンパが吸着された前記吸着部を前記収納位置の近傍に移動させ、前記第２の保持手段によって前記スタンパが前記収納位置で保持された後、前記吸着部の吸引を停止することを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか記載のスタンパの搬送方法。
8. 前記第１及び前記第２の保持手段は、前記スタンパを真空吸着によって保持する吸着装置であることを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれか記載のスタンパの搬送方法。
   

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