JP2006318806A - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
プラズマ処理の非処理時に消費するエネルギを低減することのできるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】
真空処理容器4と、該真空処理容器4に試料12を搬入出する搬送装置と、前記真空処理容器4に導入した処理ガスをプラズマ化して載置電極5上に載置した試料12にプラズマ処理を施すプラズマ生成装置と、前記真空処理容器内を真空引きするターボ分子ポンプ2および該ターボ分子ポンプ吐出口側を真空引きするドライポンプ1を備えた真空排気装置と、温度調整された冷媒を前記載置電極5および真空処理容器に供給する冷媒循環装置10,11と、前記各装置を制御する制御装置17を備え、該制御装置により、前記載置電極5上に試料12を連続して供給し、供給した試料12に連続してプラズマ処理を施すプラズマ処理装置において、前記制御装置17は、前記試料にプラズマ処理を施した後、所定期間試料12が真空処理容器4内に搬入されないとき、前記冷媒循環装置の冷媒循環量を低下させて運転する。また、前記ターボ分子ポンプ2の回転速度を低下させて運転する。
【選択図】 図1
Description
2 ターボ分子ポンプ
3 調圧バルブ
4 真空処理容器
5 載置電極
6 ガス導入系
7 上部電極
8 プラズマ生成用高周波電源
9 バイアス用高周波電源
10 真空処理容器用冷媒循環装置
11 載置電極用冷媒循環装置
12 試料
13 磁場発生手段
14 粗引き用バルブ
15、16 管路
17 制御装置
Claims (6)
- 真空処理容器と、
該真空処理容器に試料を搬入出する搬送装置と、
前記真空処理容器に導入した処理ガスをプラズマ化して載置電極上に載置した試料にプラズマ処理を施すプラズマ生成装置と、
前記真空処理容器内を真空引きするターボ分子ポンプおよび該ターボ分子ポンプ吐出口側を真空引きするドライポンプを備えた真空排気装置と、
温度調整された冷媒を前記載置電極および真空処理容器に供給する冷媒循環装置と、
前記各装置を制御する制御装置を備え、該制御装置により、前記載置電極上に試料を連続して供給し供給した試料に連続してプラズマ処理を施すプラズマ処理装置において、
前記制御装置は、前記試料にプラズマ処理を施した後、所定期間、次の試料が真空処理容器内に搬入されないとき、前記ターボ分子ポンプの回転速度を低下させて運転することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1記載のプラズマ処理装置において、
前記試料にプラズマ処理を施した後、所定期間、次の試料が真空処理容器内に搬入されないことを表す情報を、前記プラズマ装置の上位装置から取得することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 真空処理容器と、
該真空処理容器に試料を搬入出する搬送装置と、
前記真空処理容器に導入した処理ガスをプラズマ化して載置電極上に載置した試料にプラズマ処理を施すプラズマ生成装置と、
前記真空処理容器内を真空引きするターボ分子ポンプおよび該ターボ分子ポンプ吐出口側を真空引きするドライポンプを備えた真空排気装置と、
温度調整された冷媒を前記載置電極および真空処理容器に供給する冷媒循環装置と、
前記各装置を制御する制御装置を備え、該制御装置により、前記載置電極上に試料を連続して供給し供給した試料に連続してプラズマ処理を施すプラズマ処理装置において、
前記制御装置は、前記試料にプラズマ処理を施した後、所定期間、次の試料が真空処理容器内に搬入されないとき、前記冷媒循環装置の循環量を低下させて運転することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項3記載のプラズマ処理装置において、
前記試料にプラズマ処理を施した後、所定期間、次の試料が真空処理容器内に搬入されないことを表す情報を、前記プラズマ装置の上位装置から取得することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 真空処理容器と、
該真空処理容器に試料を搬入出する搬送装置と、
前記真空処理容器に導入した処理ガスをプラズマ化して載置電極上に載置した試料にプラズマ処理を施すプラズマ生成装置と、
前記真空処理容器内を真空引きするターボ分子ポンプおよび該ターボ分子ポンプ吐出口側を真空引きするドライポンプを備えた真空排気装置と、
温度調整された冷媒を前記載置電極および真空処理容器に供給する冷媒循環装置と、
前記各装置を制御する制御装置を備え、該制御装置により、前記載置電極上に試料を連続して供給し供給した試料に連続してプラズマ処理を施すプラズマ処理装置において、
前記制御装置は、前記試料にプラズマ処理を施した後、所定期間、次の試料が真空処理容器内に搬入されないとき、前記ターボ分子ポンプの回転速度を低下させ、かつ前記冷媒循環装置の循環量を低下させて運転することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項5記載のプラズマ処理装置において、所定期間、次の試料が真空処理容器内に搬入されないことを表す情報を前記プラズマ処理装置を監視制御する上位装置から取得することを特徴とするプラズマ処理装置。
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