JP2006313605A - ヘッド・サスペンションの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 レール部に曲がり部が存在しても捻れを抑制可能としたヘッド・サスペンションを提供する場合に、その円滑な供給を可能とする。
【解決手段】 レール部の形成代の曲がり部に沿って貫通部を形成する剛体部外郭形成工程ＡＡ及びレール部を形成するレール部形成工程ＡＡにより形成する剛体部を連設した剛体部連鎖品６９を形成する剛体部連鎖品製造工程Ａと、ばね部材１５，１７を連設したばね部材連鎖品７１を形成するばね部材連鎖品製造工程Ｂと、フレキシャ７を形成するフレキシャ製造工程Ｃと、ベース・プレート５を形成するベース部製造工程Ｄと、剛体部連鎖品６９とばね部材連鎖品７１とベース・プレート５とフレキシャ７との重合セット７７を結合形成する重合結合工程Ｅ，Ｆと、重合セット７７から各ヘッド・サスペンション１をカット分離する第１，第２カット工程Ｇ，Ｋとを備えたことを特徴とする。
【選択図】 図１

Description

本発明は、コンピュータ等の情報処理装置に内蔵されるハード・ディスク・ドライブ（ＨＤＤ「Hard Disk Drive」）のヘッド・サスペンションの製造方法に関する。

［ショック特性での課題］
一般に、ヘッド・サスペンションのヘッド部のスライダが、ショック入力時にディスクに対してリフトするか否か（ショック特性）は、ロード・ビームの自重が影響する。

一例として、厚さｔ＝５１μｍ、長さｌ_Ｌ＝７ｍｍ、グラム・ロード（Ｇｒａｍ ｌｏａｄ）：２．５ｇｆのロード・ビームを備えた第１のヘッド・サスペンションと、厚さｔ＝３０μｍ、長さｌ_Ｌ＝５．５ｍｍ、グラム・ロード（Ｇｒａｍ ｌｏａｄ）：２．５ｇｆのロード・ビームを備えた第２のヘッド・サスペンションとに１ｍｓｅｃデュレーション（ｄｕｒａｔｉｏｎ）（半波長が１ｍｓｅｃ）のショックを入力したとき、第１のヘッド・サスペンションは、６２８Ｇの発生加速度でスライダがリフトし、第２のヘッド・サスペンションは、１１０３Ｇの発生加速度でスライダがリフトした。

これより、ショック特性の良いヘッド・サスペンションは、ロード・ビームを薄く、短く、グラム・ロードを大きくするのが得策である。

図１９は、ハード・ディスク・ドライブに装備されるヘッド・サスペンション１０１の平面図であり、このヘッド・サスペンション１０１は、ベース・プレート１０３とロード・ビーム１０５とフレキシャ１０７とを備えている。ロード・ビーム１０５は、剛体部１０９及びばね部１１１を含んでいる。剛体部１０９の幅方向両縁には、レール部１１３が立ち上げ形成されている。

図２０は、ヘッド・サスペンション取付の一例を示すハード・ディスク・ドライブの一部断面図である。前記ヘッド・サスペンション１０１は、例えば図１７のようにキャリッジ１１５のアーム１１７にベース・プレート１０３がスウェージング等により取り付けられている。

キャリッジ１１５は、ボイスコイルモータなどのポジショニング用モータ１１８によって、軸１１９を中心に旋回駆動される。キャリッジ１１５が軸１１９を中心に旋回することによって、ヘッド・サスペンション１０１のヘッド部１２１がディスク１２３の所望トラックまで移動する。

前記ディスク１２３が高速回転したとき、ヘッド部１２１は、グラム・ロードに抗してディスク１２３から僅かに浮上する。

このヘッド・サスペンション１０１において、前記のような自重を考慮した対策では、長さｌ_Ｌのロード・ビーム１０５の部分を薄く、短くする。

しかし、実際はアーム１１７が振動するため、アーム１１７のＢ１周波数（１次ベンディング・モードでの共振周波数、１ｓｔ Ｂｅｎｄｉｎｇ周波数）を考慮したロード・ビーム１０５の設定が必要となる。換言すれば、アーム１１７のＢ１周波数を考慮しつつロード・ビーム１０５のＢ１周波数を設定することが必要となる。

図２１〜図２３は、２．５インチ・ハード・ディスク・ドライブのアームのＢ１周波数に対するショック特性の実験結果を示すグラフであり、図２１は、スライダがリフトする加速度（ショック入力によりハード・ディスク・ドライブに発生する加速度）、図２２は、ショック入力時のアーム先端の最大加速度、図２３は、アーム最大変位量に関する。図２１〜図２３の横軸は、アームのＢ１周波数を示し、図２１，図２２の縦軸は、アーム加速度、図２３の縦軸は、アームの変位量を示している。ショック入力により発生する加速度の大きさは何れも３００Ｇであるが、半波長が２ｍｓｅｃ，１ｍｓｅｃ，０．４ｍｓｅｃデュレーションの３種の波形のものとした。

この実験結果より、２ｍｓｅｃ，１ｍｓｅｃデュレーションのショック入力に対しては、図２１〜図２３の線分１２５Ａ，１２５Ｂ，１２５Ｃ、１２７Ａ，１２７Ｂ，１２７ＣのようにアームのＢ１周波数が高くなると（例えば、１．５ｋＨｚ）アームは殆ど動かなくなる。一方、０．４ｍｓｅｃデュレーションのショック入力に対しては、線分１２９Ａ，１２９Ｂ，１２９Ｃのように様相が異なった。

その理由は、アームのＢ１周波数が高くなっても、０．４ｍｓｅｃデュレーションのショック入力では、大きなアーム・アクション（Ａｒｍ ａｃｔｉｏｎ）が発生するためである。

従って、ヘッド・サスペンションは、アーム・アクションに追従する必要がある。すなわち、アームの振動に対してロード・ビームの追従性を高め、スライダがディスクからリフトしないようにする。
［オフ・トラック特性での課題］
オフ・トラック特性に関し、ヘッド・サスペンションの縦剛性は、オフ・トラック（ｏｆｆ Ｔｒａｃｋ）方向には関係しないと考えることができる。

しかし、実際は、ヘッド・サスペンションの僅かな捻れや、ディスクの僅かな傾きにより縦剛性（Ｂ１周波数）が関係してくる。

図２４は、Ｂ１周波数が３．１ｋＨｚのヘッド・サスペンションに関し、オフ・トラック特性の実験結果を示すグラフである。図２４の横軸は、周波数、同縦軸は、変位量を示す。ディスクは、２．５インチであり、回転数は、５４００ｒｐｍ，７２００ｒｐｍの２種類とした。

Ｂ１周波数が３．１ｋＨｚと低いヘッド・サスペンションでは、アームのベンディング・モード（Ｂｅｎｄｉｎｇ Ｍｏｄｅ）とヘッド・サスペンションのベンディング・モードとが重なる。これらモードの重なりにより、図２４のように３．０ｋＨｚ，３．３ｋＨｚにオフ・トラック現象が発生する。

従って、ヘッド・サスペンション及びアームのベンディング・モードが重ならないようにロード・ビームのＢ１周波数をできるだけ高める必要がある。

ロード・ビームのＢ１周波数を高めるためには、例えば、前記図１９のように剛体部１０９の幅方向両縁に、レール部１１３を立ち上げ、そのレール部１１３を剛体部１０９の全体に連続して設けることが得策である。

しかし、例えば図２５のようなロード・ビーム構造において剛体部全体に連続するレール部を立ち上げることは容易ではない。

図２５は、ヘッド・サスペンションの斜視図である。なお、図１９と対応する構成部分には同符号にＡを付して説明する。

図２５のヘッド・サスペンション１０１Ａでは、ロード・ビーム縦剛性を高めるためにロード・ビーム１０５Ａの剛体部１０９Ａにレール部１１３Ａを設けている。剛体部１０９Ａの基端側には、ばね部１１１Ａに向かって漸次幅を拡大する形状、例えば平面視で台形形状の幅広部１３１が形成されている。幅広部１３１には、レール部は設けられていない。

図２５のヘッド・サスペンションは、例えば３．５インチ用であり、ショック特性への要求は小さく、むしろ高いスウェイ（Ｓｗａｙ）周波数を実現するために剛体部１０９Ａの基端側に幅広部１３１が設けられ、幅広部１３１にまでレール部を設けることはそれほど要求はされない。

これに対し、２．５インチ用のヘッド・サスペンションなどでは、前記のようなショック特性が要求されるため、幅広部１３１にレール部が設けられていない構造では、ロード・ビームのＢ１周波数が低く、十分に満足する結果を得ることはできない。

そこで、図２５のロード・ビーム構造を前提として図２６のような構造が考えられる。図２６は、ヘッド・サスペンションの斜視図である。なお、図２５と対応する構成部分には同符号のＡをＢに代えて説明する。

図２６のヘッド・サスペンション１０１Ｂでは、レール部１１３Ｂを剛体部１０９Ｂの先端側から幅広部１３１Ｂにまで連続して設けたものである。この場合は、ロード・ビーム１０５ＢのＢ１周波数を要求に応じて高めることができ、ショック特性を満足しながらスウェイ周波数を高めることができる。

しかし、レール部Ｂを剛体部１０９Ｂの先端側から幅広部１３１Ｂに連続して設けると、レール部１１３Ｂの中間に曲がり部１３３が存在することになる。このため、レール部１１３Ｂを折り曲げにより立ち上げ形成すると曲がり部１３３で歪みが発生しやすく、剛体部１０９Ｂに捻れを招きやすくなり、結果としてオフ・トラック特性を十分満足することができない。

そこで、以上の各種課題を考慮したヘッド・サスペンションを提供するが、これをどのように製造するかも新たなヘッド・サスペンションを円滑に供給するために重大な課題となる。

ＵＳ６７６５７５９Ｂ２号公報 特開平９−２８２６２４号公報

解決しようとする問題点は、ヘッド・サスペンションのショック特性等の要求性能を満足するためにロード・ビームにレール部を立ち上げ形成する場合、レール部に曲がり部が存在するとヘッド・サスペンションに捻れを招くため、これを考慮したヘッド・サスペンションを提供する場合に、その円滑な供給をいかにするかの点である。

本発明は、レール部に曲がり部が存在しても捻れを抑制したヘッド・サスペンションを提供する場合に、その円滑な供給を可能とするため、レール部形成のための形成代を含めて剛体部形成のための平板状の外郭を形成すると共に前記形成代の曲がり部に沿って易変形部を形成する剛体部外郭形成工程と、前記形成代を折り曲げにより立ち上げてレール部を形成するレール部形成工程とを備えたことを最も主要な特徴とする。

本発明のヘッド・サスペンションの製造方法は、レール部形成のための形成代を含めて剛体部形成のための平板状の外郭を形成すると共に前記形成代の曲がり部に沿って易変形部を形成する剛体部外郭形成工程と、前記形成代を折り曲げにより立ち上げてレール部を形成するレール部形成工程とを備えたため、捻れを抑制しながらレール部によりロード・ビームの縦剛性を高めてロード・ビームのＢ１周波数を高め、ショック特性及びオフ・トラック特性を満足することができるヘッド・サスペンションを、簡単に製造することができる。

ヘッド・サスペンションのショック特性の要求性能を満足するためにロード・ビームに立ち上げ形成したレール部に曲がり部が存在しても捻れを抑制できるヘッド・サスペンションを提供する場合に、簡単な工程により実現した。

［ヘッド・サスペンションの構成］
図１〜図３は、本発明実施例１を適用したヘッド・サスペンションに係り、図１は、反ディスク側の斜視図、図２は、ディスク側の斜視図、図３（ａ）は、要部拡大斜視図、図３（ｂ）は、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線矢視要部拡大断面図、図３（ｃ）は、変形例に係る図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線矢視対応要部拡大断面図である。

図１〜図３で示すヘッド・サスペンション１は、例えば２．５インチ用のものであり、ロード・ビーム３と、ベース部としてのベース・プレート５と、フレキシャ７とを備えている。

前記ロード・ビーム３は、ヘッド部９に負荷荷重を与えるもので、剛体部１１とばね部１３とを備えている。剛体部１１は、例えばステンレス鋼で形成され、その厚みは、例えば３８μｍ程度に設定されている。

前記ばね部１３は、剛体部１１とは別体のばね部材１５，１７によって形成されたもので、ばね部材１５，１７は、例えばばね性のある薄いステンレス鋼圧延板からなっている。このばね部材１５，１７は、その一端部が剛体部１１の基端側１９にレーザ溶接などの熔着部２１によって固着され、他端部が前記ベース・プレート５にレーザ溶接などの熔着部２３によって固着されている。

前記ベース・プレート５は、ボス部２５を備え、ボス部２５においてキャリッジ側のアームにスウェージング等により取り付けられ、軸回りに回転駆動可能となっている。なお、ベース・プレート５は、アームに一体に形成されてキャリッジ側に取り付けられる構成にすることもできる。

前記フレキシャ７は、ばね性を有する薄いステンレス鋼圧延板（ＳＳＴ）などの導電性薄板であり、電気絶縁層を介して配線パターンを形成している。フレキシャ７は、レーザ溶接などによって剛体部１１に固着されている。フレキシャ配線パターンの一端は、ヘッド部９のスライダ２７に支持された書き込み用の端子、読み取り用の端子に導通接続され、他端はベース・プレート５側に延設されている。

［レール部及び易変形部］
前記剛体部１１は、先端側２９が所定幅で細く形成され、先端にロード・アンロード用のタブ３１を備え、先端側２９にディンプル３３が設けられている。剛体部１１の基端側１９には、ばね部１３に向かって漸次幅を拡大する形状、例えば平面視で台形形状の幅広部３５が形成されている。幅広部３５の端末には、ばね部１３への結合部３７が設けられている。この結合部３７において剛体部１１は、前記ばね部材１５，１７に前記のように結合されている。

前記剛体部１１の幅方向両縁には、先端側２９から基端側１９の幅広部３５まで連続するレール部３９が、折り曲げにより剛体部厚み方向に立ち上げられている。

前記レール部３９は、立ち上げ方向の湾曲部Ｓを含めた全体が剛体部１１の肉厚よりも薄肉に形成されている。この薄肉のレール部３９は、例えばハーフ・エッチングにより形成されている。このように薄肉のレール部３９とすることで、より厚い剛体部にも無理なく適用することができる。

前記レール部３９には、先端側２９と基端側１９との間で、レール部３９の延出方向での曲がり部４１が存在する。曲がり部４１は、前記幅広部３５により基端側１９の幅が拡大開始する前後間に渡って位置している。レール部３９には、曲がり部４１において易変形部として貫通部４３が矩形窓状に形成されている。

前記貫通部４３は、本実施例において、図３（ａ），（ｂ）のように、前記曲がり部４１の前記延出方向での湾曲部Ｈ全体及び前記立ち上げ方向での湾曲部Ｓ全体に渡る範囲又はこの範囲よりも若干大きく形成され、該範囲でレール部２３が除去されている。但し、貫通部４３は、湾曲部Ｈ，Ｓの範囲の一部として小さく設けることもできる。レール部３９は、貫通部４３が形成されない曲がり部４１の一部４５により連続している。

前記曲がり部４１は、貫通部２７により曲がり部のない他の箇所に比較してレール部３９の延出方向及び立ち上げの方向の変形が容易となる。貫通部４３により、レール部３９の折り曲げによる立ち上げ形成に際し、該レール部３９の延出方向及び立ち上げの方向等で対向し又は交差するように曲がり部４１に向かう応力を逃がし又は緩和することができる。

なお、易変形部は、図３（ｃ）のように、曲がり部４１に凹部４３ａ及び膜部４３ｂを設けて構成することもできる。凹部４３ａ及び膜部４３ｂを設ける範囲等は、貫通部４３と同様にすることができる。膜部４３ｂは、レール部３９立ち上げ方向での湾曲部Ｓの厚み方向内側或いは中間に配置することもできる。

このように、レール部３９を薄肉とすることで、剛体部１１が厚肉のヘッド・サスペンション１であっても、レール部３９の立ち上げ形成を無理なく行わせることができる。

図４は、ヘッド・サスペンションの縦剛性の計算例を示すグラフであり、横軸は、ボス部１２のセンターからの距離を示し、縦軸は、縦剛性を示している。

図４の線分４７は、例えば図２２のように剛体部１０９Ａの先端側にのみレール部１１３Ａが立ち上げ形成されたヘッド・サスペンション１０１Ａの計算例、同線分４９は、例えば図２３のように剛体部１０９Ｂの先端側から基端側の幅広部１３１Ｂまで連続してレール部１１３Ｂが立ち上げ形成され、レール部１１３Ｂに貫通部がないヘッド・サスペンション１０１Ｂの計算例、同線分５１は、本実施例のヘッド・サスペンション１の計算例を示す。

図４から明らかなように、剛体部１０９Ｂの先端側から基端側の幅広部１３１Ｂまで連続してレール部１１３Ｂが立ち上げ形成されたヘッド・サスペンション１０１Ｂ（図２３）及び本実施例のヘッド・サスペンション１の何れも、剛体部１０９Ａの先端側にのみレール部１１３Ａが立ち上げ形成されたヘッド・サスペンション１０１Ａ（図２２）と比較して縦剛性を高めることができた。また、剛体部１０９Ｂの先端側から基端側の幅広部１３１Ｂまで連続したレール部１１３Ｂに貫通部がないヘッド・サスペンション１０１Ｂと比較しても、貫通部２７のある本実施例のヘッド・サスペンション１は、縦剛性に殆ど劣化が無かった。

［ショック特性とＢ１周波数］
本願出願人は、アームに対するロード・ビームの追従性に要求されるロード・ビームの性能は何かを解析した。

図５（ａ）は、ヘッド・サスペンションのスケルトン、同図（ｂ）は、ヘッド・サスペンションの振動モデルである。図５において、Ｍは、ロード・ビーム３の重心位置に集中したと仮定した場合の質量、Ｋｓｐは、ロード・ビーム３の剛体部１１をアーム５３側に支持するばね部１３を含め、重心位置からばね部１３側のばね定数、Ｋｌｂは、重心位置からディンプル位置までの剛体部１１の剛性によるばね定数、Ｇ｀ｓは、ショック入力、Ｘ_０は、アーム・アクション、Ｘは、重心位置でのロード・ビーム３の変位量を示す。

変位量Ｘは、次式で表すことができる。

Ｘ＝Ａ／｛（Ｋｌｂ／Ｋｓｐ）−（ω／ω_０）^２＋ω_０ ^２｝ ・・・（１）
ω_０ ^２＝Ｋｓｐ／Ｍ
（１）式において、変位量Ｘを小さくすることにより、スライダのディスクに対するリフトを抑制するためには、（Ｋｌｂ／Ｋｓｐ）及び ω_０ ^２を大きくすることが必要となる。図６は、（Ｋｌｂ／Ｋｓｐ）の増大とゲイン（Ｇａｉｎ）との関係を示すグラフである。図６のように、（Ｋｌｂ／Ｋｓｐ）が、０．５，１，２，４，８と高くなるに従って周波数も上がり、ゲインも小さくなりることが分かる。

（Ｋｌｂ／Ｋｓｐ）を大きくする場合、Ｋｓｐには、ばね部との関係で限界があるため、Ｋｌｂを大きくする必要があり、ロード・ビームのいわゆる縦剛性を高めることになる。ω_０ ^２を大きくする場合、Ｍを小さくすることになる。

結果として、変位量Ｘを小さくするためには、ロード・ビームの縦剛性を高め、質量Ｍを小さくすることが必要になることが分かった。

図７は、アームのＢ１周波数とロード・ビームのＢ１周波数との関係でスライダがリフトする加速度に関し、ショック特性の実験結果を示すグラフである。図７の横軸は、ロード・ビームのＢ１周波数、同縦軸は、加速度を示している。線分５５は、アームのＢ１周波数が１．５２ｋＨｚ、線分５７は、同１．２０ｋＨｚの結果である。

図７のように、ロード・ビームのＢ１周波数が低いと高いアームのＢ１周波数には追従できず、ショック特性は劣化し、低い発生加速度でスライダはリフトする。一方、ロード・ビームのＢ１周波数を４ｋＨｚ等と高めると、アームのＢ１周波数が１．５２ｋＨｚの高い周波数でも十分追従し、ショック特性の劣化は少なく、スライダがリフトする加速度を高めることができた。

但し、図７の結果は、キャリッジ及びヘッド・サスペンションのみの組合せによるものであり、実際は、ベースやディスクのモードも作用するため、簡単ではないが、それでも図８のような結果を得ることができた。

図８は、実際の２．５インチ・ハード・ディスク・ドライブでの実験結果を示す図表である。図８のように、ロード・ビームのＢ１周波数を３．１１ｋＨｚから同４．０２ｋＨｚに高めると、０．４ｍｓｅｃのショート・デュレーションのショック入力でスライダがリフトする加速度を２９６Ｇから３２５Ｇへと高めることができ、効果を確認することができた。

［オフ・トラックとＢ１周波数］
図９は、Ｂ１周波数が３．６ｋＨｚのヘッド・サスペンションに関し、オフ・トラック特性の実験結果を示すグラフである。図９の横軸は、周波数、同縦軸は、オフ・トラック量を示す。ディスクは、２．５インチであり、回転数は、７２００ｒｐｍとした。

前記のように、図２１の結果では、ヘッド・サスペンションのＢ１周波数が低く、アームのベンディング・モードとヘッド・サスペンションのベンディング・モードとが重なり、オフ・トラック現象が発生していた。

これに対し、本実施例のように縦剛性を高めることでヘッド・サスペンション１のＢ１周波数を高めると、ヘッド・サスペンション１及びアームのベンディング・モードの重なりが無くなり、剛性向上によりベンディングの振幅も小さくなる。このため、図９の結果では、図２１の結果と比較して明らかなように、ベンディング・モードに関するオフ・トラック現象は生じなかった。

［ヘッド・サスペンションの作用］
以上、本発明実施例１のヘッド・サスペンション１は、レール部３９の延出方向での曲がり部４１に、レール部３９立ち上げによる歪みを規制又は緩和する貫通部４３を形成したため、レール部３９によりロード・ビーム３の縦剛性を高めてロード・ビーム３のＢ１周波数を高め、ヘッド・サスペンション１のショック特性の要求性能を満足することができる。また、幅広部３５の存在によりスウェイ周波数を高めることもできる。幅広部３５には、剛体部１１の先端側２９から連続するレール部３９が存在するため、かかる点からもスウェイ周波数をより高めることができる。

前記貫通部４３は、前記曲がり部４１の前記延出方向での湾曲部全体及び前記立ち上げ方向での湾曲部全体に渡るため、他の箇所に比較して前記延出方向及び立ち上げの方向での曲がり部４１の変形が容易となる。このため、レール部３９の延出方向及び立ち上げの方向で対向し又は交差する応力を逃がし又は緩和することができ、レール部３９立ち上げによる曲がり部４１での歪みを確実に抑制し、ヘッド・サスペンション１の捻れを抑制してオフ・トラック特性を満足することができる。

［ヘッド・サスペンションの製造方法］
図１０は、本発明実施例１に係るヘッド・サスペンションの製造方法を実現する概略の製造工程図である。図１１は、剛体部外郭形成工程後の連鎖品の要部拡大図、図１２は、エッチング工程後の連鎖品の要部拡大図、図１３は、レール部形成工程後の連鎖品の要部拡大図である。

図１０において、（１）は、剛体部連鎖品製造工程Ａであり、剛体部外郭形成工程ＡＡ、エッチング工程ＡＢ、レール部形成工程ＡＣを備えている。

図１０、図１１において、剛体部連鎖品製造工程Ａの剛体部外郭形成工程ＡＡでは、前記レール部３９形成のための形成代５９を含めて前記剛体部１１形成のための平板状の外郭６１が形成されると共に前記形成代５９の曲がり部６３に沿って貫通部４３（又は凹部４３ａ及び膜部４３ｂ）が易変形部として形成される。同時に、ディンプル３３，リミッター・ストッパ３４，幅広部３５，結合部３７等が形成され、タブ３１形成のためのタブ外郭部６４が形成されて連鎖品６５を得る。

図１０、図１２において、剛体部外郭形成工程ＡＡ後のエッチング工程ＡＢでは、前記形成代５９の全体をパーシャル・エッチングにより前記剛体部１１の肉厚よりも薄肉に形成した連鎖品６７が形成される。

図１０、図１３において、エッチング工程ＡＢ後のレール部形成工程ＡＣでは、プレスなどにより前記レール部３９の形成代５９を立ち上げて前記レール部３９を形成し、前記タブ外郭部６４がプレスされてタブ３１が形成される。これにより剛体部１１を連設した剛体部連鎖品６９が形成される。

図１０において、（２）は、ばね部材製造工程に含まれるばね部材連鎖品製造工程Ｂであり、このばね部材連鎖品製造工程Ｂでは、ばね部１３を構成するためのばね部材１５，１７を連設したばね部材連鎖品７１が形成される。

図１０において、（３）は、フレキシャ製造工程Ｃであり、フレキシャ製造工程Ｃでは、フレキシャ７を連設したフレキシャ連鎖品７３が形成される。このフレキシャ連鎖品７３の各フレキシャ７には、薄板のカット、配線部の形成、リミッターの形成、アウト・リガーの形成等が行われている。

図１０において、（４）は、ベース部製造工程Ｄであり、ベース部として必要な個数のベース・プレート５が形成される。ベース・プレート５には、プレスなどにより前記ボス部２５が形成されている。

図１０において、（５）（６）は、重合結合工程Ｅ，Ｆであり、（５）の半重合熔着工程Ｅと、（６）の重合熔着工程Ｆとを備えている。

前記半重合熔着工程Ｅでは、前記剛体部連鎖品６９とばね部材連鎖品７１とベース・プレート５との適所をレーザー溶接などにより熔着して半重合セット７５が形成される。

前記重合熔着工程Ｆでは、前記フレキシャ連鎖品７３から、フレキシャ７をそれぞれカットし、各フレキシャ７を半重合セット７５の所定位置に重ね、レーザー溶接などにより熔着して重合セット７７を形成する。半重合セット７５に対する各フレキシャ７の位置決めは、位置決めタブにより行われている。

図１０において、（７）の第１カット工程Ｇでは、重合セット７７から剛体部１１に結合していたフレーム７９がカットされると共に各フレキシャ７の位置決めタブがカットされる。（８）は、洗浄工程Ｈであり、第１カット工程Ｇ後の半製品を洗浄する。（９）は、ショート・チェック工程Ｉであり、電気的なチェックが行われる。（１０）は、ＧＬ工程Ｊであり、曲げ荷重の測定及び過負荷の付与によるへたり防止を図る。（１１）は、第２カット工程Ｋであり、最終的に個々のヘッド・サスペンション１としてカットする。この第２カット工程Ｋ及び前記第１カット工程Ｇは、重合セット７７から各ヘッド・サスペンション１をカット分離する切断工程を構成している。

かかる製造方法により、ヘッド・サスペンション１を円滑且つ確実に提供することができる。

しかも、剛体部１１の先端側２９から幅広部３５に渡るレール部３９を設けながら、剛体部１１に残留応力による捻れが発生するのを確実に抑制することができる。

前記図３（ｃ）の凹部４３ａ及び膜部４３ｂは、剛体部連鎖品製造工程Ａでのハーフ・エッチング或いはプレス等により形成することができる。

［易変形部の変形例］
図１４，図１５は、易変形部の変形例に係り、図１４（ａ）（ｂ），図１５（ａ）（ｂ）は、図３（ｂ）（ｃ）に対応する要部拡大断面図である。なお、図３と同一又は対応する構成部分には、同符号又は同符号にＡ又はＢ若しくはＣを付して説明する。

図１４の変形例は、薄い剛体部１１Ａに適したもので、レール部３９Ａの厚みは、剛体部１１Ａの一般部の厚みと同一に形成されている。

図１４（ａ）の易変形部は、矩形窓状の貫通部４３Ａとして形成されている。図１４（ｂ）の易変形部は、凹部４３Ａａ及び膜部４３Ａｂとして形成されている。

前記貫通部４３Ａは、前記貫通部４３と同様に形成することができ、凹部４３Ａａ及び膜部４３Ａｂは、剛体部連鎖品製造工程Ａでのハーフ・エッチング或いはプレス等により形成することができる。

従って、前記同様にレール部３９Ａの立ち上げ形成を無理なく行わせることができる。

図１５の易変形部は、図１４の変形例よりも若干厚肉の剛体部１１Ｂに適したもので、剛体部１１Ｂの肉厚が例えば５１μｍ程度のものである。

図１５（ａ）の易変形部は、矩形窓状の貫通部４３Ｂとして形成され、レール部３９Ｂは、立ち上げ方向で湾曲部Ｓ１のみが例えばハーフ・エッチングにより剛体部１１Ｂの肉厚よりも薄肉に形成されている。図１５（ｂ）の易変形部は、凹部４３Ｂａ及び膜部４３Ｂｂとして形成されている。

前記貫通部４３Ｂは、前記貫通部４３と同様に形成することができ、凹部４３Ｂａ及び膜部４３Ｂｂは、剛体部連鎖品製造工程Ａでのハーフ・エッチング或いはプレス等により形成することができる。

前記湾曲部Ｓ１を薄肉とすることで、剛体部１１Ｃが若干厚肉のヘッド・サスペンションであっても、レール部３９Ｂの立ち上げ形成を無理なく行わせることができる。

［ヘッド・サスペンションの構造］
図１６は、本発明実施例２の製造方法により製造されるヘッド・サスペンションの透視平面図である。なお、基本的な構成は実施例１の製造方法により製造されるヘッド・サスペンションと同様であり、同一又は対応する構成部分には同符号又は同符号にＡを付して説明する。

ヘッド・サスペンション１Ａでは、ばね部１３Ａをフレキシャ７Ａのばね性を有する薄いステンレス鋼圧延板（ＳＳＴ）などの薄板７Ａａにより一体に形成した。ばね部１３Ａは、薄板７Ａａに孔８１を設けることで孔８１の両側に構成されている。すなわち、孔８１は、導体及び絶縁層でなる配線パターン８３の下側に幅方向に渡って形成されている。

フレキシャ７Ａは、熔着部２１Ａにより剛体部１１の結合部３７に、熔着部２３Ａによりベース・プレート５に、それぞれ熔着されている。フレキシャ７Ａは、その他、熔着部８５，８７により剛体部１１に、熔着部８９，９１，９３によりベース・プレート５に、それぞれ熔着されている。

かかるヘッド・サスペンション１Ａにおいても、貫通部４３の存在により、ヘッド・サスペンション１と同様な作用効果を奏することができる。また、フレキシャ７Ａに、ばね部１３Ａが一体に形成されているので、部品点数が削減され、組立、部品管理が極めて容易なものとなる。

［ヘッド・サスペンションの製造方法］
図１７は、本発明実施例２に係るヘッド・サスペンションの製造方法を実現する概略の製造工程図である。図１８は、フレキシャの平面図である。なお、基本的には図１０の製造工程と同様であり、対応する構成部分には同符号又は同符号にＡを付して説明する。

本実施例の製造方法では、ばね部１３Ａをフレキシャ７Ａの一部で形成するため、図１０のばね部材連鎖品製造工程Ｂが省略され、（１）の剛体部連鎖品製造工程Ａ、（２）のフレキシャ製造工程Ｃ１、（３）のベース部製造工程Ｄ、（４）の重合工程Ｅ１及び（５）の熔着工程Ｆ１の重合結合工程、（６）の第１カット工程Ｇ、（７）の洗浄工程Ｈ、（８）のショート・チェック工程Ｉ、（９）のＧＬ工程Ｊ、（１０）の第２カット工程Ｋからなっている。

本実施例では、特に、前記フレキシャ製造工程Ｃ１において、図１７，図１８のように、フレキシャ７Ａの薄板７Ａａに孔８１、タング９５等が形成され、薄板７Ａａ上に配線パターン８３が設けられる。こうしてフレキシャ製造工程Ｃ１では、フレキシャ７Ａを連設したフレキシャ連鎖品７３Ａが形成される。

前記重合工程Ｅ１では、剛体部連鎖品６９と各ベース・プレート５と各フレキシャ７Ａとを重ね合わせて位置決められる。フレキシャ７Ａは、前記同様にフレキシャ連鎖品７３Ａからそれぞれカットされる。

前記熔着工程Ｆ１では、重合工程Ｅ１後に各部をレーザー溶接などにより熔着して重合セット７７を形成する。

他の工程は、実施例１とほぼ同様である。

従って、本実施例においても、実施例１と同様な効果を奏することができる。

また、本実施例では、ばね部材連鎖品製造工程Ｂを省略できるため、ヘッド・サスペンションの製造をより簡素化することができる。さらに、切断工程も簡素化することが可能である。

ヘッド・サスペンションの反ディスク側の斜視図である（実施例１）。 ヘッド・サスペンションのディスク側の斜視図である（実施例１）。 （ａ）は、ヘッド・サスペンションの要部拡大斜視図、（ｂ）は、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線矢視要部拡大断面図、（ｃ）は、変形例に係る図１のＳＡ−ＳＡ矢視対応要部拡大断面図である（実施例１）。 ヘッド・サスペンションの縦剛性の計算例を示すグラフである（実施例１）。 （ａ）は、ヘッド・サスペンションのスケルトン、（ｂ）は、ヘッド・サスペンションの振動モデルである（実施例１）。 （Ｋｌｂ／Ｋｓｐ）の増大とゲイン（Ｇａｉｎ）との関係を示すグラフである（実施例１）。 アームのＢ１周波数とロード・ビームのＢ１周波数との関係でスライダがリフトする加速度に関し、ショック特性の実験結果を示すグラフである（実施例１）。 実際の２．５インチ・ハード・ディスク・ドライブでの実験結果を示す図表である（実施例１）。 アームを含めた全体のＢ１周波数が３．６ｋＨｚのヘッド・サスペンションに関し、オフ・トラック特性の実験結果を示すグラフである（実施例１）。 ヘッド・サスペンションの製造方法を実現する概略の製造工程図である（実施例１）。 剛体部外郭形成工程後の連鎖品の要部拡大図である（実施例１）。 エッチング工程後の連鎖品の要部拡大図である（実施例１）。 レール部形成工程後の連鎖品の要部拡大図である（実施例１）。 易変形部の変形例に係り、（ａ）は、図３（ｂ）に対応する同要部拡大断面図、（ｃ）は、図３（ｃ）に対応する要部拡大断面図である（実施例１）。 易変形部の変形例に係り、（ａ）は、図３（ｂ）に対応する同要部拡大断面図、（ｃ）は、図３（ｃ）に対応する要部拡大断面図である（実施例１）。 ヘッド・サスペンションの透視平面図である（実施例２）。 ヘッド・サスペンションの製造方法を実現する概略の製造工程図である（実施例２）。 フレキシャの平面図である（実施例２）。 ヘッド・サスペンションの平面図である（従来例）。 ヘッド・サスペンション取付の一例を示すハード・ディスク・ドライブの一部断面図である（従来例）。 ２．５インチ・ハード・ディスク・ドライブのアームのＢ１周波数に対するショック特性の実験結果を示すグラフである（従来例）。 ２．５インチ・ハード・ディスク・ドライブのアームのＢ１周波数に対するショック特性の実験結果を示すグラフである（従来例）。 ２．５インチ・ハード・ディスク・ドライブのアームのＢ１周波数に対するショック特性の実験結果を示すグラフである（従来例）。 アームを含めた全体のＢ１周波数が３．１ｋＨｚのヘッド・サスペンションに関し、オフ・トラック特性の実験結果を示すグラフである（従来例）。 ヘッド・サスペンションの斜視図である（従来例）。 ヘッド・サスペンションの斜視図である。

符号の説明

１，１Ａ ヘッド・サスペンション
３ ロード・ビーム
５ ベース・プレート（ベース部）
７，７Ａ フレキシャ
９ ヘッド部
１１ 剛体部
１３，１３Ａ ばね部
１９ 基端側
２９ 先端側
３５ 幅広部
３９，３９Ａ，３９Ｂ レール部
４１ 曲がり部
４３，４３Ａ，４３Ｂ 貫通部（易変形部）
４３Ａａ，４３Ｂａ 凹部（易変形部）
４３Ａｂ，４３Ｂｂ 膜部（易変形部）
６１ 平板状の外郭
６３ レール部の形成代の曲がり部
６５，６７ 連鎖品
６９ 剛体部連鎖品
７１ ばね部材連鎖品
７５ 半重合セット
７７ 重合セット
Ａ 剛体部連鎖品製造工程
ＡＡ 剛体部外郭形成工程
ＡＢ エッチング工程
ＡＣ レール部形成工程
Ｂ ばね部材連鎖品製造工程（ばね部材製造工程）
Ｃ，Ｃ１ フレキシャ製造工程
Ｄ ベース部製造工程
Ｅ 半重合熔着工程（重合結合工程）
Ｅ１ 重合工程（重合結合工程）
Ｆ 重合熔着工程（重合結合工程）
Ｆ１ 熔着工程（重合結合工程）
Ｇ 第１カット工程（切断工程）
Ｋ 第２カット工程（切断工程）
Ｈ，Ｓ，Ｓ１ 湾曲部

Claims (6)

1. キャリッジ側に取り付けられて軸回りに回転駆動されるベース部と、
   剛体部及びばね部を含み前記ベース部側に前記剛体部の基端側が前記ばね部を介して支持されると共に情報の書き込み，読み取りを行う先端側のヘッド部に負荷荷重を与えるロード・ビームと、
   前記ヘッド部を書き込み用及び読み取り用の配線に接続すると共に該ヘッド部を支持して前記ロード・ビームに取り付けられたフレキシャとを備え、
   前記剛体部の幅方向両縁に、前記先端側から前記基端側まで連続するレール部を立ち上げ形成したヘッド・サスペンションであって、
   前記レール部形成のための形成代を含めて前記剛体部形成のための平板状の外郭を形成すると共に前記形成代の曲がり部に沿って易変形部を形成する剛体部外郭形成工程と、
   前記形成代を折り曲げにより立ち上げて前記レール部を形成するレール部形成工程と
   を備えたことを特徴とするヘッド・サスペンションの製造方法。
2. キャリッジ側に取り付けられて軸回りに回転駆動されるベース部と、
   剛体部及びばね部を含み前記ベース部側に前記剛体部の基端側が前記ばね部を介して支持されると共に情報の書き込み，読み取りを行う先端側のヘッド部に負荷荷重を与えるロード・ビームと、
   前記ヘッド部を書き込み用及び読み取り用の配線に接続すると共に該ヘッド部を支持して前記ロード・ビームに取り付けられたフレキシャとを備え、
   前記ばね部を、前記剛体部とは別体のばね部材で形成し、
   前記剛体部の幅方向両縁に、前記先端側から前記基端側まで連続するレール部を立ち上げ形成したヘッド・サスペンションであって、
   前記レール部形成のための形成代を含めて前記剛体部形成のための平板状の外郭を形成すると共に前記形成代の曲がり部に沿って易変形部を形成する剛体部外郭形成工程及び前記形成代を折り曲げにより立ち上げて前記レール部を形成するレール部形成工程により形成する前記剛体部を連設した剛体部連鎖品を形成する剛体部連鎖品製造工程と、
   前記ばね部材を連設したばね部材連鎖品を形成するばね部材連鎖品製造工程と、
   前記フレキシャを形成するフレキシャ製造工程と、
   前記ベース部を形成するベース部製造工程と、
   前記剛体部連鎖品とばね部材連鎖品とベース部とフレキシャとの重合セットを結合形成する重合結合工程と、
   前記重合セットから各ヘッド・サスペンションをカット分離する切断工程と
   を備えたことを特徴とするヘッド・サスペンションの製造方法。
3. キャリッジ側に取り付けられて軸回りに回転駆動されるベース部と、
   剛体部及びばね部を含み前記ベース部側に前記剛体部の基端側が前記ばね部を介して支持されると共に情報の書き込み，読み取りを行う先端側のヘッド部に負荷荷重を与えるロード・ビームと、
   前記ヘッド部を書き込み用及び読み取り用の配線に接続すると共に該ヘッド部を支持して前記ロード・ビームに取り付けられたフレキシャとを備え、
   前記ばね部を、前記フレキシャの一部で形成し、
   前記剛体部の幅方向両縁に、前記先端側から前記基端側まで連続するレール部を立ち上げ形成したヘッド・サスペンションであって、
   前記レール部形成のための形成代を含めて前記剛体部形成のための平板状の外郭を形成すると共に前記形成代の曲がり部に沿って易変形部を形成する剛体部外郭形成工程及び前記形成代を折り曲げにより立ち上げて前記レール部を形成するレール部形成工程により形成する前記剛体部を連設した剛体部連鎖品を形成する剛体部連鎖品製造工程と、
   前記フレキシャを形成するフレキシャ製造工程と、
   前記ベース部を形成するベース部製造工程と、
   前記剛体部連鎖品とベース部とフレキシャとの重合セットを結合形成する重合結合工程と、
   前記重合セットから各ヘッド・サスペンションをカット分離する切断工程と
   を備えたことを特徴とするヘッド・サスペンションの製造方法。
4. 請求項１〜３記載のヘッド・サスペンションの製造方法であって、
   前記剛体部外郭形成工程は、前記易変形部を貫通部又は凹部として形成する
   ことを特徴とするヘッド・サスペンションの製造方法。
5. 請求項１〜４の何れかに記載のヘッド・サスペンションの製造方法であって、
   前記剛体部外郭形成工程は、前記剛体部の基端側に前記ばね部に向かって漸次幅を拡大する形状の幅広部を形成する
   ことを特徴とするヘッド・サスペンションの製造方法。
6. 請求項１〜５の何れかに記載のヘッド・サスペンションの製造方法であって、
   前記剛体部外郭形成工程と前記レール部形成工程との間に、前記レール部の形成代の一部又は全体をパーシャル・エッチングにより前記剛体部の肉厚よりも薄肉に形成するエッチング工程を設けた
   ことを特徴とするヘッド・サスペンションの製造方法。
   

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